RU197959U1 - DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS - Google Patents

DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS Download PDF

Info

Publication number
RU197959U1
RU197959U1 RU2020103578U RU2020103578U RU197959U1 RU 197959 U1 RU197959 U1 RU 197959U1 RU 2020103578 U RU2020103578 U RU 2020103578U RU 2020103578 U RU2020103578 U RU 2020103578U RU 197959 U1 RU197959 U1 RU 197959U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
block
spectrometer
nmr
microwave plasma
aes
Prior art date
Application number
RU2020103578U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Евгений Владимирович Ерохин
Анатолий Анатольевич Перов
Анатолий Александрович Ищенко
Юрий Игоревич Тарасов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА - Российский технологический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА - Российский технологический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА - Российский технологический университет"
Priority to RU2020103578U priority Critical patent/RU197959U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU197959U1 publication Critical patent/RU197959U1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/09Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being neutrons

Abstract

Полезная модель относится к области исследования и анализа материалов. Предложено устройство для исследования компонент вещества, включающее последовательно соединенные блоки: первый блок распылителя и распылительной камеры, второй блок плазменной горелки с магнетроном и третий блок системы пробоотборных конусов, электростатических линз и зеркала. При этом в указанном третьем блоке происходит разделение микроволновой плазмы на поток света и поток ионов. Свет с помощью зеркала направляется в атомно-эмиссионный спектрометр (АЭС-спектрометр), а поток ионов проходит через отверстия в системе пробоотборных конусов и затем с помощью электростатических линз направляется в ЯМР-спектрометр. Все указанные блоки соединены с компьютером, который управляет их работой, а также запоминает и обрабатывает по общей компьютерной программе результаты работы ЯМР-спектрометра и АЭС-спектрометра. Достигаемый технический результат заключается в возможности получения спектров ЯМР и атомно-эмиссионного спектра исследуемого вещества одновременно, что позволяет более надежно и точно исследовать образец, исключая неоднозначности и затруднения в расшифровке ЯМР спектра. 1 ил.The utility model relates to the field of research and analysis of materials. A device for studying the components of a substance is proposed, which includes series-connected blocks: the first block of the atomizer and the spray chamber, the second block of a plasma torch with a magnetron, and the third block of the system of sampling cones, electrostatic lenses, and mirrors. In this third block, microwave plasma is divided into a stream of light and a stream of ions. The light is directed through a mirror to an atomic emission spectrometer (AES spectrometer), and the ion flux passes through holes in the sampling cone system and then is sent to an NMR spectrometer using electrostatic lenses. All of these blocks are connected to a computer that controls their work, and also stores and processes the results of the NMR spectrometer and AES spectrometer using a common computer program. The technical result achieved consists in the possibility of obtaining NMR and atomic emission spectra of the test substance at the same time, which allows a more reliable and accurate study of the sample, eliminating ambiguities and difficulties in decoding the NMR spectrum. 1 ill.

Description

Область техники, к которой относится полезная модельThe technical field to which the utility model relates.

Предлагаемая полезная модель относится к области исследования и анализа материалов, а именно к устройству для исследования веществ с помощью методов спектроскопии ядерного магнитного резонанса (ЯМР) (элементного, изотопного, структурного) и атомно-эмиссионной спектроскопии (АЭС) (элементного, структурного) с помощью микроволновой плазмы (МП). Это устройство объединяет два самостоятельных метода: спектроскопию ядерного магнитного резонанса с микроволновой плазмой (ЯМРС-МП) и атомно-эмиссионную спектроскопию с микроволновой плазмой (АЭС-МП).The proposed utility model relates to the field of research and analysis of materials, and in particular to a device for the study of substances using nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy (elemental, isotopic, structural) and atomic emission spectroscopy (nuclear) (elemental, structural) methods using microwave plasma (MP). This device combines two independent methods: nuclear magnetic resonance spectroscopy with microwave plasma (NMR-MP) and atomic emission spectroscopy with microwave plasma (AES-MP).

Уровень техникиState of the art

Из уровня техники [Robert S. Houk et. al. Inductively coupled argon plasma as an ion source for mass spectrometric determination of trace elements / Analytical Chemistry, 1980, V. 52, N. 14, pp. 2283-2289] известно устройство масс-спектрометра с индуктивно связанной плазмой, которое, по существу, есть ЯМР спектрометр с индуктивно связанной плазмой [Беккер Ю. Спектроскопия / Пер. с нем. - М.: Техносфера, 2017, 528 с., с. 225]. В отечественной литературе такое устройство известно как масс-спектрометр с ионно-циклотронным резонансом, который обладает наивысшей в масс-спектрометрии разрешающей способностью.From the prior art [Robert S. Houk et. al. Inductively coupled argon plasma as an ion source for mass spectrometric determination of trace elements / Analytical Chemistry, 1980, V. 52, N. 14, pp. 2283-2289] known device mass spectrometer with inductively coupled plasma, which, in essence, is an NMR spectrometer with inductively coupled plasma [Becker J. Spectroscopy / TRANS. with him. - M .: Technosphere, 2017, 528 p., P. 225]. In the domestic literature, such a device is known as a mass spectrometer with ion cyclotron resonance, which has the highest resolution in mass spectrometry.

В качестве недостатка этого устройства следует отметить невозможность получения атомно-эмиссионного спектра исследуемого образца.The disadvantage of this device is the impossibility of obtaining the atomic emission spectrum of the test sample.

Микроволновая плазма отличается от индуктивно связанной плазмы более низкой предельной температурой (примерно до 6000°К), но может также быть использована для работы ЯМР спектрометра.A microwave plasma differs from an inductively coupled plasma in a lower limit temperature (up to about 6000 ° K), but can also be used to operate an NMR spectrometer.

При этом из уровня техники также известно устройство оптического спектрометра с микроволновой плазмой [Ng K.С., Garner T.J. Microwave-Induced Plasma Atomic Absorption Spectrometry with Solution Nebulization and Desolvation-Condensation / Applied Spectroscopy, 1993, V. 47, №2, pp. 241-243].Moreover, the device of an optical spectrometer with a microwave plasma [Ng K.C., Garner T.J. Microwave Induced Plasma Atomic Absorption Spectrometry with Solution Nebulization and Desolvation-Condensation / Applied Spectroscopy, 1993, V. 47, No. 2, pp. 241-243].

В качестве недостатка этого устройства следует отметить невозможность получения ЯМР спектра исследуемого образца.As a disadvantage of this device, it is necessary to note the impossibility of obtaining the NMR spectrum of the test sample.

Раскрытие сущности полезной моделиUtility Model Disclosure

Технический результат предлагаемой полезной модели заключается в возможности получения спектров ЯМР и атомно-эмиссионного спектра исследуемого вещества одновременно, что позволяет более надежно и точно исследовать образец, исключая неоднозначности и затруднения в расшифровке ЯМР спектра. Эти неоднозначности и затруднения в ЯМР-спектрометре с МП могут быть исключены или уменьшены с помощью информации, полученной из расшифровки АЭС-МП и обработки этой информации по компьютерной программе, учитывающей одновременно результаты работы ЯМРС-МП и АЭС-МП.The technical result of the proposed utility model is the possibility of obtaining NMR spectra and the atomic emission spectrum of the test substance at the same time, which allows more reliable and accurate study of the sample, eliminating ambiguities and difficulties in decoding the NMR spectrum. These ambiguities and difficulties in the NMR spectrometer with MP can be eliminated or reduced with the help of information obtained from decoding the AES-MP and processing this information using a computer program that takes into account the results of the operation of the NMR-MP and AES-MP.

Указанный технический результат достигается предлагаемым в данной заявке устройством для исследования компонент вещества, которое включает последовательно соединенные блоки: первый блок распылителя и распылительной камеры, второй блок плазменной горелки с магнетроном и третий блок системы пробоотборных конусов, электростатических линз и зеркала, при этом в указанном третьем блоке происходит разделение микроволновой плазмы на поток света, который с помощью зеркала направляется в атомно-эмиссионный спектрометр (АЭС-спектрометр), и на поток ионов, который проходит через отверстия в системе пробоотборных конусов и затем с помощью электростатических линз направляется в ЯМР-спектрометр. Все указанные блоки соединены с компьютером, который управляет их работой, а также запоминает и обрабатывает по общей компьютерной программе результаты работы ЯМР-спектрометра и АЭС-спектрометра.The specified technical result is achieved by the device for studying the component of the substance proposed in this application, which includes series-connected blocks: the first block of the sprayer and the spray chamber, the second block of the plasma torch with a magnetron and the third block of the sampling cone system, electrostatic lenses and mirrors, while in the third In the unit, the microwave plasma is divided into a stream of light, which is sent through a mirror to an atomic emission spectrometer (AES spectrometer), and to an ion stream, which passes through holes in the system of sampling cones and then is sent to an NMR spectrometer using electrostatic lenses. All of these blocks are connected to a computer that controls their work, and also stores and processes the results of the NMR spectrometer and AES spectrometer using a common computer program.

Краткое описание чертежаBrief Description of the Drawing

На фиг. 1 представлена структурная схема предлагаемого устройства. Устройство включает: распылитель и распылительную камеру (блок 1); плазменную горелку с магнетроном (блок 2); систему пробоотборных конусов, электростатических линз и зеркала (блок 3); ЯМР-спектрометр (блок 4); АЭС-спектрометр (блок 5); компьютер (блок 6).In FIG. 1 presents a structural diagram of the proposed device. The device includes: a sprayer and a spray chamber (block 1); plasma torch with magnetron (block 2); a system of sampling cones, electrostatic lenses and mirrors (block 3); NMR spectrometer (block 4); AES spectrometer (block 5); computer (block 6).

Осуществление полезной моделиUtility Model Implementation

Блоки 1, 2, 3 и 4 соединены между собой вакуумно-плотно, подключены к системе форвакуумной и высоковакуумной откачки, снабжены системой вентилей, позволяющей регулировать в каждом из них давление, а также измерять его с помощью соответствующих устройств. АЭС-спектрометр (блок 5) работает при атмосферном давлении. Все блоки соединены с компьютером 6, который управляет работой каждого блока, запоминает результаты работы ЯМР-спектрометра и АЭС-спектрометра, а затем расшифровывает и обрабатывает их совместно по единой программе.Blocks 1, 2, 3 and 4 are interconnected vacuum tightly, connected to a fore-vacuum and high-vacuum pumping system, equipped with a valve system that allows you to adjust the pressure in each of them, as well as measure it using appropriate devices. AES spectrometer (block 5) operates at atmospheric pressure. All blocks are connected to a computer 6, which controls the operation of each block, remembers the results of the NMR spectrometer and nuclear power spectrometer, and then decrypts and processes them together according to a single program.

Исследуемый образец поступает в распылитель, а затем в распылительную камеру (блок 1). Из распылительной камеры аэрозоль потоком газа-носителя переносится в плазменную горелку кассетного типа (блок 2). В качестве газа-носителя можно использовать азот из воздуха, который можно получить с помощью генератора азота, что значительно дешевле, чем использование Аг или Не. В плазменной горелке (блок 2) с помощью магнетрона возбуждается плазма. Магнетрон аналогичен тому, который используется в бытовых микроволновых печах и выпускается промышленностью для них в огромных количествах, а потому во много раз дешевле высоко частотных генераторов для индуктивно связанной плазмы. Магнитное поле магнетрона частотой ~2450 МГц создает линии магнитной индукции, совпадающие с осью плазменной горелки, а силовые линии электрического поля направлены перпендикулярно магнитным. Это приводит к получению стабильной микроволновой плазмы с температурой до 6000°К, что позволяет получать атомно-эмиссионный спектр элементов проще, чем при работе с индуктивно связанной плазмой. Далее в блоке 3 световое излучение МП зеркалом (закрепленным в пространстве до системы пробоотборных конусов) направляется в АЭС-спектрометр (блок 5). Вариант расположения зеркала до пробоотборных конусов дает значительно больший поток света в АЭС-спектрометр, по сравнению с тем вариантом, когда зеркало расположено после системы пробоотборных конусов, так как диаметр отверстия в конусах порядка долей миллиметра.The test sample enters the atomizer, and then into the spray chamber (block 1). From the spraying chamber, the aerosol is transferred by a carrier gas stream to a cassette-type plasma torch (block 2). Nitrogen from air can be used as a carrier gas, which can be obtained using a nitrogen generator, which is much cheaper than using Ar or He. In a plasma torch (block 2), plasma is excited using a magnetron. The magnetron is similar to that used in household microwave ovens and is produced by industry in large quantities for them, and therefore is many times cheaper than high-frequency generators for inductively coupled plasma. A magnetron’s magnetic field with a frequency of ~ 2450 MHz creates lines of magnetic induction that coincide with the axis of the plasma torch, and the lines of force of the electric field are directed perpendicular to the magnetic. This leads to the production of a stable microwave plasma with temperatures up to 6000 ° K, which makes it possible to obtain the atomic emission spectrum of elements more easily than when working with inductively coupled plasma. Then, in block 3, the light radiation of the MP by a mirror (fixed in space to the system of sampling cones) is sent to the NPP spectrometer (block 5). The arrangement of the mirror to the sampling cones gives a much larger light flux to the NPP spectrometer, compared to the option when the mirror is located after the sampling cone system, since the diameter of the hole in the cones is of the order of a millimeter.

АЭС-спектрометр (блок 5) работает при атмосферном давлении, а ЯМР-спектрометр (блок 4) работает при давлении порядка 10-4 Па. По этой причине световой луч выходит из блока 3 через светопроводящий материал (кварц, сапфир), который вакуумно плотно через прокладки разделяет блок 3 и блок 5. Блок 3 герметичен, откачивается форвакуумными и высоковакуумными насосами. При этом в блоке 3 поток ионов плазмы проходит через систему пробоотборных охлаждаемых конусов с отверстиями в вершинах, между которыми производится ступенчатая откачка: вначале на форвакуум (примерно до 0,1 Па), а затем на высокий вакуум (примерно до 10-4 Па). Ионы плазмы проходят через отверстия в вершинах пробоотборных конусов (так называемых, самплеров и скиммеров), а затем с помощью системы электростатических линз (так называемых, омега-линз) направляются в ЯМР-спектрометр (блок 4). Прямолинейный световой луч, проходящий через тонкие отверстия в вершинах пробоотборных конусов (диаметром порядка десятых долей миллиметра), ослабляется и гасится, попадая в заслонку. Результаты работы АЭС-спектрометра (блок 5) и ЯМР-спектрометра (блок 4) запоминаются компьютером (блок 6) и поступают в программу совместной обработки данных, полученных одновременно двумя методами, что значительно повышает надежность и точность анализа образца.AES spectrometer (block 5) operates at atmospheric pressure, and an NMR spectrometer (block 4) operates at a pressure of the order of 10 -4 Pa. For this reason, a light beam exits block 3 through a light guide material (quartz, sapphire), which vacuum separates block 3 and block 5 through the gaskets tightly. Block 3 is sealed, pumped by forevac and high vacuum pumps. At the same time, in block 3, the plasma ion flow passes through a system of sampled cooled cones with holes in the vertices between which a step-by-step pumping is carried out: first at the forevacuum (up to about 0.1 Pa) and then at high vacuum (up to about 10 -4 Pa) . Plasma ions pass through the holes at the tops of the sampling cones (the so-called samplers and skimmers), and then are sent to the NMR spectrometer using a system of electrostatic lenses (so-called omega lenses) (block 4). A rectilinear light beam passing through thin holes at the tops of the sampling cones (with a diameter of the order of tenths of a millimeter) is attenuated and extinguished, falling into the damper. The results of the AES spectrometer (block 5) and the NMR spectrometer (block 4) are stored by a computer (block 6) and enter the program for joint processing of data obtained simultaneously by two methods, which significantly increases the reliability and accuracy of the sample analysis.

Спектроскопия ядерного магнитного резонанса с микроволновой плазмой (ЯМРС-МП) обладает преимуществом по сравнению с атомно-эмиссионной спектроскопией с микроволновой плазмой (АЭС-МП) за счет более высокой чувствительности и стабильности ЯМР спектра и более широкого диапазона концентраций образцов. При этом в методе ЯМРС-МП также существует много проблем, связанных с изобарными интерференциями, полиатомными наложениями, двух и многозарядными ионами, разрешающей способностью и т.д. По этой причине дополнительная информация из АЭС-МП позволит уменьшить эти проблемы и повысить пределы обнаружения элементов.Microwave plasma nuclear magnetic resonance spectroscopy (NMR-MP) has an advantage over microwave plasma atomic emission spectroscopy (AES-MP) due to the higher sensitivity and stability of the NMR spectrum and a wider range of sample concentrations. Moreover, in the NMR-MP method, there are also many problems associated with isobaric interference, polyatomic overlays, two and multiply charged ions, resolution, etc. For this reason, additional information from NPP-MP will reduce these problems and increase the detection limits of elements.

Claims (1)

Устройство для исследования компонент вещества, характеризующееся тем, что включает последовательно соединенные первый блок распылителя и распылительной камеры, второй блок плазменной горелки с магнетроном и третий блок системы пробоотборных конусов, электростатических линз и зеркала, при этом в указанном третьем блоке происходит разделение микроволновой плазмы на поток света, который с помощью зеркала направляется в атомно-эмиссионный спектрометр (АЭС-спектрометр), и на поток ионов, который проходит через отверстия в системе пробоотборных конусов и затем с помощью электростатических линз направляется в спектрометр ядерного магнитного резонанса (ЯМР-спектрометр), причем все указанные блоки выполнены с возможностью соединения с компьютером, выполненным с возможностью управления их работой и обработки результатов работы ЯМР-спектрометра и АЭС-спектрометра.A device for examining the components of a substance, characterized in that it includes serially connected the first block of the atomizer and the spray chamber, the second block of the plasma torch with a magnetron and the third block of the system of sampling cones, electrostatic lenses and mirrors, and in this third block the microwave plasma is divided into a stream light, which is directed through a mirror to an atomic emission spectrometer (AES spectrometer), and to an ion stream that passes through openings in the system of sampling cones and then, using electrostatic lenses, is sent to a nuclear magnetic resonance spectrometer (NMR spectrometer), moreover all of these blocks are configured to connect to a computer configured to control their operation and process the results of the NMR spectrometer and nuclear power spectrometer.
RU2020103578U 2020-01-28 2020-01-28 DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS RU197959U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020103578U RU197959U1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020103578U RU197959U1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU197959U1 true RU197959U1 (en) 2020-06-09

Family

ID=71067014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020103578U RU197959U1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU197959U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2007703C1 (en) * 1991-06-14 1994-02-15 Институт общей физики РАН Method and device for spectral analyzing of material element composition
DE69605041T2 (en) * 1995-06-07 2000-03-16 Univ California DETECTION OF TRANSMEMBRANE POTENTIALS BY OPTICAL PROCESSES
RU2157988C2 (en) * 1998-06-15 2000-10-20 Томский политехнический университет Method for nuclear-absorption spectral analysis of elementary composition of material and device which implements said method
RU2702854C1 (en) * 2019-03-27 2019-10-11 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, (ИАиЭ СО РАН) Method of determining content of elements and forms of their presence in a dispersed sample and its granulometric composition

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2007703C1 (en) * 1991-06-14 1994-02-15 Институт общей физики РАН Method and device for spectral analyzing of material element composition
DE69605041T2 (en) * 1995-06-07 2000-03-16 Univ California DETECTION OF TRANSMEMBRANE POTENTIALS BY OPTICAL PROCESSES
RU2157988C2 (en) * 1998-06-15 2000-10-20 Томский политехнический университет Method for nuclear-absorption spectral analysis of elementary composition of material and device which implements said method
RU2702854C1 (en) * 2019-03-27 2019-10-11 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, (ИАиЭ СО РАН) Method of determining content of elements and forms of their presence in a dispersed sample and its granulometric composition

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104569234B (en) It connects four polar form mass spectrographs
Li et al. Hydride generation-point discharge microplasma-optical emission spectrometry for the determination of trace As, Bi, Sb and Sn
Galli et al. Optical detection of radiocarbon dioxide: first results and AMS intercomparison
WO2021093278A1 (en) Light spectrum-mass spectrum combined apparatus and detection method
CN104241077B (en) Normal pressure micro-glow discharge maldi mass spectrometer ion gun of magnetically confined and mass spectrometer
CN111477533A (en) Device for ion generation, transmission and mass spectrum combination of low vacuum system
US11705319B2 (en) Discharge chambers and ionization devices, methods and systems using them
RU197959U1 (en) DEVICE FOR RESEARCH OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA BY OPTICAL AND NMR SPECTROSCOPY METHODS
JP4848657B2 (en) MS / MS mass spectrometer
CN106885837B (en) A kind of method of the highly sensitive detection pesticide sample of fast and stable
RU195642U1 (en) DEVICE FOR MASS-SPECTROMETRIC AND SPECTROSCOPIC STUDY OF SUBSTANCE COMPONENTS USING MICROWAVE PLASMA
Li et al. Ambient ionization and direct identification of volatile organic compounds with microwave‐induced plasma mass spectrometry
RU190046U1 (en) DEVICE FOR MASS SPECTROMETRIC AND SPECTROSCOPIC RESEARCH COMPONENTS OF SUBSTANCE WITH THE HELP OF AN INDUCTIVE ASSOCIATED PLASMA
Albert et al. Chemometric optimization of a low-temperature plasma source design for ambient desorption/ionization mass spectrometry
Brkić et al. An optimised quadrupole mass spectrometer with a dual filter analyser for in-field chemical sniffing of volatile organic compounds
CN114430855B (en) Automatic standardized spectrometer
JP2000100374A (en) Icp-ms analytical equipment
US11906449B2 (en) Mass spectrometer
WO2022209076A1 (en) Mass spectrometry device and mass spectrometry method
KR20190068836A (en) TOF MS gas mass analysis monitoring system for semiconductor process chamber and gas line
WO2023074480A1 (en) Gas analysis device and control method
Dünnbier Plasma jets for life science applications: characterisation and tuning of the reactive species composition
US20240038515A1 (en) Mass Spectrometer and Mass Spectrometry Method
JP2012234632A (en) Mass spectroscopy
WO2022201705A1 (en) Mass spectrometry device and mass spectrometry method