RU195681U1 - Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора - Google Patents

Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора Download PDF

Info

Publication number
RU195681U1
RU195681U1 RU2019134232U RU2019134232U RU195681U1 RU 195681 U1 RU195681 U1 RU 195681U1 RU 2019134232 U RU2019134232 U RU 2019134232U RU 2019134232 U RU2019134232 U RU 2019134232U RU 195681 U1 RU195681 U1 RU 195681U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
housing
contact pads
quartz
terminals
generator
Prior art date
Application number
RU2019134232U
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Николаевич Сигутин
Михаил Сергеевич Поярков
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью НПП «МЕТЕОР-КУРС»
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью НПП «МЕТЕОР-КУРС» filed Critical Общество с ограниченной ответственностью НПП «МЕТЕОР-КУРС»
Priority to RU2019134232U priority Critical patent/RU195681U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU195681U1 publication Critical patent/RU195681U1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области радиотехники и может быть использована в устройствах генерирования и формирования радиосигналов, в телекоммуникационных и навигационных системах, в космической технике, в устройствах мобильной связи, микропроцессорах и т.д., заключается в повышении механической надежности и рабочих частот. Тактовый пьезоэлектрический генератор содержит установленные в прямоугольном корпусе крышку корпуса, выполненную с возможностью образования неразъемного соединения с расположенной на верхней поверхности корпуса монтажной рамкой, ниже которой внутри верхней части корпуса вдоль одной из коротких сторон установлены с зазором между собой две контактные площадки, на которые установлен кварцевый элемент, выполненный в виде кварцевой пластины, содержащей на каждой из поверхностей два электрода и контактную площадку, соединенную с одним из электродов, причем кварцевый элемент сопряжен выводами электродов с контактными площадками верхней части корпуса, а на нижней внешней поверхности корпуса в углах расположены выводы, часть из которых электрически связана с двумя контактными площадками верхней части корпуса, расположенную на дне корпуса интегральную микросхему, на верхней поверхности которой вдоль двух противоположных сторон расположены выводы и расположенные ниже двух контактных площадок верхней части корпуса контактные площадки, выполненные с возможностью соединения с помощью проводников с выводами интегральной микросхемы и электрически с выводами нижней внешней поверхности корпуса и с кварцевым элементом, который дополнительно опирается на площадку, расположенную внутри верхней части корпуса вдоль короткой стороны, противоположной стороне с двумя контактными площадками. 5 ил.

Description

Полезная модель относится к области радиотехники и может быть использована в устройствах генерирования и формирования радиосигналов, в телекоммуникационных и навигационных системах, в космической технике, в устройствах мобильной связи, микропроцессорах и т.д.
Известен корпус электронного компонента (кварцевого генератора), который содержит углубление, предусмотренное в центральной части верхней части керамической подложки, соединительную контактную площадку, предусмотренную на нижней поверхности углубления или в полочной части ступени для обеспечения электропроводности с полупроводниковым элементом, удерживающую контактную площадку для обеспечения состояния электропроводности путем удержания кварцевого генератора в самой верхней части полки и контактные площадки внешнего соединения, предусмотренные в четырех углах нижней поверхности. Заземляющие клеммы предусмотрены на нижней поверхности многослойной керамической подложки, и каждая из площадок заземляющих клемм имеет состояние электропроводности с удерживающей контактной площадкой (заявка на изобретение JP 2016111242 А, опубликовано 20.06.2016 г.).
Недостатком известного корпуса электронного компонента является соединение пьезоэлемента и корпуса только с одной стороны, что при воздействии вибраций и механических факторов может вызвать отрыв пластины пьезоэлемента от корпуса. Наличие большого количества электродов на пьезоэлементе приводит к усложнению специализированной оснастки и применению более высокоточных приборов для изготовления корпуса (установка лазерной резки, координатный станок и т.д.).
Известна конструкция пьезоэлектрического генератора, расположенного в корпусе и содержащего кварцевый генератор и микросхему в углублении корпуса, сформированного из керамического материала. Проводящая схема предусмотрена на обеих сторонах клеммы цепи, соединенной с выходной клеммой микросхемы. Проводящая схема соединена с клеммой заземления вне монтажных клемм (заявка JP 2017050773 A, опубликована 09.03.2017 г.).
К недостаткам известного пьезоэлемента можно отнести наличие большого количества электрических соединений, а, следовательно, и слоев металлокерамического корпуса, что в результате усложняет конструкцию, а также то, что большие размеры возбуждающих электродов не позволяют обеспечить необходимую высокую рабочую частоту и приводят к увеличению динамического сопротивления.
Известна упаковка электронного компонента, содержащая первый слой, на котором установлен кварцевый резонаторный элемент; второй слой, который соединен с первым слоем и на котором установлен элемент микросхемы; третий слой, который соединен с поверхностью второго слоя, которая противоположна по направлению к поверхности второго слоя, на которой смонтирован элемент микросхемы; панель подключения, которая предусмотрена на первом уровне; вывод внешней боковой поверхности, который электрически соединен с контактной площадкой; проводка резонансного элемента, которая электрически соединяет контактную площадку и клемму внешней боковой поверхности друг с другом, в которой проводка резонансного элемента расположена между третьим слоем и вторым слоем, и включает в себя проводку клеммы, которая соединена с клеммой внешней боковой поверхности и межслойная проводка, соединяющая контактную площадку и клеммную проводку (заявка US 2018097474 A, опубликована 05.04.2018 г.).
К недостаткам известного пьезоэлемента можно отнести недостаточно высокую надежность, связанную с верхним монтажом микросхемы, наличием золотых контактов и одной точкой крепления пьезоэлемента. Кроме того, электрическая цепь микросхемы построена таким образом, что заземляющие контакты подключены к нижней поверхности микросхемы, которая, в свою очередь, через токопроводящий клей соединена с заземляющим слоем корпуса, таким образом, все внутренние элементы микросхемы заземлены.
В качестве наиболее близкого технического решения заявляемой полезной модели выбрана конструкция тактового пьезоэлектрического генератора, содержащая основной корпус, имеющий вогнутую часть; крышку, прикрепленную к основному корпусу для образования герметичного соединения; кристаллическую пластину, удерживаемая внутри корпуса; интегральную микросхему, в которой используется кристаллическая пластина и имеющая множество клеммных электродов на одной их главных поверхностей; и множество соединительных клеммных участков, сформированных на нижней поверхности вогнутой части, так что каждый из соединительных клеммных участков соответствует одному из клеммных электродов, при этом клеммные электроды и соединительные клеммные части соединены друг с другом через выступ, так что микросхема прикреплена к нижней поверхности(патент на изобретение US 6445254 В, опубликовано 03.09.2002 г.).
К недостаткам ближайшего аналога можно отнести негативное воздействие внешних факторов на электрические параметры генератора и на стабильность частоты, обусловленное наличием дополнительных контактов на боковых поверхностях генератора. Кроме того, поскольку контактные площадки электродов находятся на противоположных сторонах пьезоэлемента (электрическое соединение проходит через весь пьезоэлемент), то такая конструкция генератора не позволяет обеспечить высокие рабочие частоты.
Технической проблемой, решение которой обеспечивается заявляемой полезной моделью, является создание новой конструкции тактового пьезоэлектрического генератора, расширить область использования технологии изготовления пьезоэлементов до высокочастотного и сверхвысокочастотного диапазона и получить рабочие частоты свыше 350 МГц в серийном производстве.
Технический результат, получаемый при использовании заявляемой полезной модели, заключается в повышении механической надежности и повышение рабочих частот.
Технический результат достигается тем, что тактовый пьезоэлектрический генератор, содержащий установленные в прямоугольном корпусе крышку корпуса, выполненную с возможность образования неразъемного соединения с расположенной на верхней поверхности корпуса монтажной рамкой, кварцевый элемент, выполненный в виде кварцевой пластины, интегральную микросхему и выводы, расположенные в углах на нижней внешней поверхности корпуса, согласно полезной модели ниже монтажной рамки внутри верхней части корпуса вдоль одной из коротких сторон установлены с зазором между собой две контактные площадки, на которые установлен кварцевый элемент, содержащий на каждой из поверхностей электрод и две контактные площадки, одна из которых соединена с электродом, причем кварцевый элемент сопряжен выводами электродов с контактными площадками верхней части корпуса, а часть выводов нижней внешней поверхности корпуса электрически связана с двумя контактными площадками верхней части корпуса, а другая часть выводов заземлена; при этом интегральная микросхема расположена на дне корпуса и имеет на верхней поверхности вдоль двух противоположных сторон выводы; ниже двух контактных площадок верхней части корпуса расположены контактные площадки, выполненные с возможностью соединения с помощью проводников с выводами интегральной микросхемы и электрически с выводами нижней внешней поверхности корпуса и с кварцевым элементом, который дополнительно опирается на площадку, расположенную внутри верхней части корпуса вдоль короткой стороны, противоположной стороне с двумя контактными площадками.
Настоящая полезная модель поясняется чертежами (фиг. 1-5), пример выполнения конструкции тактового пьезоэлектрического генератора на которых, однако, не является единственно возможным, но наглядно демонстрируют возможность достижения заявленного технического результата.
На фигуре 1 представлена схема компоновки тактового пьезоэлектрического генератора, на фиг. 2 - вид генератора снизу, на фиг. 3 изображено продольное сечение генератора на фиг. 1 , на фиг. 4 - вид генератора сверху(крышка и пьезоэлемент условно не показаны), на фиг. 5 слева - вид сверху пьезоэлемента, на фиг. 5 справа - вид снизу пьезоэлемента.
Согласно полезной модели конструкция тактового пьезоэлектрического генератора включает корпус генератора 2, кварцевый элемент 11, который присоединен к контактным площадкам 3а, 3b и 3c корпуса генератора 2, элемент интегральной схемы 6 (фиг. 1). Такой тактовый пьезоэлектрический генератор используется для произведения опорного сигнала, который применяется в электронном оборудовании и т.д.
Корпус генератора 2 имеет прямоугольную форму и функционирует в качестве монтажной структурной единицы для установки элемента интегральной схемы 6 и кварцевого элемента 11 (фиг. 1, 3, 5). В корпусе генератора 2 на верхней поверхности предусмотрены контактные площадки 3а, 3b и 3с для установки кварцевого элемента 11. В четырех углах внешней нижней поверхности корпуса генератора 2 имеются контактные площадки 4 (далее - выводы 4а, 4b, 4c, 4d), как показано на фиг. 2.
Корпус генератора 2 сделан из керамического материала и сформирован в цельную конструкцию.
Контактные площадки 3а и 3b предусмотрены в паре и выполнены с зазором на верхней поверхности корпуса генератора 2 вдоль одной стороны корпуса. Контактные площадки 3а и 3b, электрически связаны с выводами 4, которые предусмотрены на нижней поверхности корпуса генератора 2.
Выводы 4 предусмотрены в четырех углах нижней поверхности корпуса генератора 2 и конфигурируются первым выводом 4a, вторым выводом 4b, третьим выводом 4c и четвертым выводом 4d. Вывод 4b соединен монтажной рамкой 1, как показано на фиг. 1, на корпусе генератора 2.
Далее, в качестве прибора для измерения электрических характеристик, который используется при измерении характеристик кварцевого элемента 11, используется сетевой анализатор и т. д., который может измерять резонансную частоту и полное сопротивление кварцевого элемента 11, а также индуктивность, емкость и другие аналогичные параметры. Конфигурация контактных штырьков формируется высокоэлектропроводными штырьками, которые получают нанесением позолоты на поверхность сплава из меди, серебра и т.д., и розетками, у которых есть пружинящее свойство ослабления воздействия на контакт. Измерение выполняют путем их контакта с измерительными контактными площадками 4 при нажатии на последние.
Выводы 4a, 4b, 4c, 4d служат для монтажа на монтажной плате электронного оборудования или подобных устройств.
Кварцевый элемент 11, как показано на фиг. 1 и фиг. 3, присоединяется к контактным площадкам 3а, 3b, 3с с помощью токопроводящего клея 13. Кварцевый элемент 11 играет роль генератора опорного сигнала электронного аппарата или подобного устройства путем устойчивой механической вибрации и пьезоэлектрического эффекта.
Далее, у кварцевого элемента 11 есть структура, как показано на фиг. 1, в которой электроды возбуждения 10а и 10b и контактные площадки 9а и 9b прикреплены к верхней и нижней поверхности пластины кварцевого элемента 8. Электроды возбуждения 10 формируют путем осаждения металла на верхней и нижней поверхности пластины кварцевого элемента 8 с помощью заранее определенных шаблонов. Электроды возбуждения 10 представлены первым электродом возбуждения 10a на верхней поверхности и вторым электродом возбуждения 10b на нижней поверхности. Как показано на фиг. 5, контактные площадки 9 (по две на каждой поверхности пластины) выводятся из электродов возбуждения 10 по направлению к одной стороне пластины кварцевого элемента 8. Контактные площадки 9 представлены первым выводным электродом 9a на верхней поверхности и вторым выводным электродом 9b на нижней поверхности. Первую контактную площадку 9a выводят из первого электрода возбуждения 10a в такой степени, чтобы он вытягивался по направлению к одной стороне пластины кварцевого элемента 8. Вторую контактную площадку 9b выводят из второго электрода возбуждения 10b в такой степени, чтобы он вытягивался к одной стороне пластины кварцевого элемента 8. Таким образом, контактные площадки 9 предусмотрены в формах вдоль коротких сторон пластины кварцевого элемента 8. Далее, в настоящем исполнении, кварцевый элемент 11 фиксируется на контактные площадки 3а и 3b корпуса генератора 2 с помощью токопроводящего клея 13, и определяется как неподвижный.
Теперь объясним работу кварцевого элемента 11. Кварцевый элемент 11 разработан таким образом, чтобы, когда переменное напряжение с внешней стороны прилагается от контактных площадок 9 через электроды возбуждения 10 к пластине кварцевого элемента 8, пластина 8 вызывала возбуждение в заданных режимах вибрации или частоте.
Объясним один из возможных методов производства кварцевого элемента 11. Сначала кварцевый элемент 11 отрезают от искусственного кристалла под заданным углом реза и формируют скос для того, чтобы сделать толщину периферической части пластины кварцевого элемента 8 тоньше для того, чтобы центральная часть пластины кварцевого элемента 8 стала более толстой, чем периферийная часть пластины кварцевого элемента 8. Затем производят кварцевый элемент 11, формируя электроды возбуждения 10 и контактные площадки 9 с помощью осаждения металлических покрытий на двух основных поверхностях пластины кварцевого элемента 8, используя технологию напыления.
Объясним метод крепления кварцевого элемента 11 в корпусе генератора 2. Сначала дозированная часть токопроводящего клея 13 наносится на первую контактную площадку 3a и вторую контактную площадку 3b. Затем токопроводящий клей 13 отверждается и дает усадку при тепловом отверждении. Кварцевый элемент 11 тем самым приклеивается к контактным площадкам 3а, 3b, 3с. Контактная площадка 3с может быть выполнена диэлектрической.
Первая контактная площадка 9a кварцевого элемента 11 присоединяется ко второй контактной площадке 3b, а вторая контактная площадка 9b присоединяется к первой контактной площадке 3a. Контактная площадка 3а электрически соединена с контактной площадкой 5f корпуса генератора 2, а контактная площадка 3b электрически соединена с контактной площадкой 5а корпуса генератора 2.
Токопроводящий клей 13 может состоять из силиконовой смолы или другого связующего вещества, в котором содержится проводящий наполнитель, образованный проводящим порошком. В качестве проводящего порошка используют порошок из алюминия, молибдена, вольфрама, платины, палладия, серебра, титана, никеля и пермаллоя или порошок, содержащий комбинацию из указанных элементов. В качестве связующего вещества используют, например, силиконовую смолу, эпоксидную, полиамидную или бисмалеимидную смолы.
В качестве элемента интегральной схемы 6 используют, например, прямоугольную ИС, у которой есть контактные площадки. Выходной сигнал, который генерируется в данной генераторной схеме, выходит через первый вывод 4с корпуса генератора 2 за пределы кварцевого генератора и используется, например, в качестве опорного сигнала такого, как синхронизирующий сигнал.
Элемент интегральной схемы 6, как показано на фиг. 1, фиг. 3 и фиг. 4, может иметь прямоугольную форму и шесть выводов на верхней поверхности. Три вывода 7а, 7b, 7с располагаются вдоль одной стороны, и три других 7d, 7e, 7f располагаются вдоль стороны, которая смотрит на первую сторону.
Проводящий связующий материал 14 представляет собой, например, серебряную пасту или припой, содержащего свинец (фиг. 3). Проводящий связующий материал 14 может содержать растворитель, который добавляется для регулирования вязкости, облегчающей покрытие.
Интегральная микросхема 6, как показано на фиг. 1, монтируется на дне корпуса генератора 2 с помощью проводящего связующего материала 14. Далее выводы 7а, 7b, 7с, 7d, 7е, 7f, как показано на фиг. 3, расположенные в периферийных областях интегральной микросхемы 6, как показано на фиг. 1, фиг. 3 и фиг. 4 соединяются с контактными площадками 5а, 5b, 5с, 5d, 5е, 5f корпуса генератора 2 проволокой 15, выполненной, например, из золота или алюминия (7a-5a, 7b-5b, 7c-5c, 7d-5d, 7e-5e, 7f-5f). Контактные площадки 5b, 5с, 5d, 5е электрически соединяются посредством схем соединения с выводами 4a, 4b, 4c, 4d. Контактные площадки 5а и 5f электрически соединяются посредством схем соединения с кварцевым элементом 11. Второй вывод 4b играет роль клеммы заземления посредством соединения с опорной монтажной площадкой, которая соединена с землей в качестве опорного потенциала на монтажной плате электронного оборудования или подобного устройств.
Крышка 12 формируется, например, сплавом, содержащим, как минимум, один из элементов: железо, никель и кобальт. Такая крышка 12, как показано на фиг. 4, предназначена для воздухонепроницаемого запечатывания корпуса генератора 2 в вакуумном состоянии, заполненный азотом или подобным газом. А именно, в заданной атмосфере крышку 12 помещают на корпус генератора 2, прикладывают заданный ток, и выполняют шовную роликовую сварку таким образом, чтобы монтажная рамка 1 корпуса генератора 2 и герметизирующая структурная единица 16 крышки 12, как показано на фиг. 3, были сварены вместе, тем самым крышка 12 неразъемно прикрепляется к корпусу генератора 2.

Claims (1)

  1. Тактовый пьезоэлектрический генератор, содержащий установленные в прямоугольном корпусе крышку корпуса, выполненную с возможностью образования неразъемного соединения с расположенной на верхней поверхности корпуса монтажной рамкой, кварцевый элемент, выполненный в виде кварцевой пластины, интегральную микросхему и выводы, расположенные в углах на нижней внешней поверхности корпуса, отличающийся тем, что ниже монтажной рамки внутри верхней части корпуса вдоль одной из коротких сторон установлены с зазором между собой две контактные площадки, на которые установлен кварцевый элемент, содержащий на каждой из поверхностей электрод и две контактные площадки, одна из которых соединена с электродом, причем кварцевый элемент сопряжен выводами электродов с контактными площадками верхней части корпуса, а часть выводов нижней внешней поверхности корпуса электрически связана с двумя контактными площадками верхней части корпуса, а другая часть выводов заземлена; при этом интегральная микросхема расположена на дне корпуса и имеет на верхней поверхности вдоль двух противоположных сторон выводы; ниже двух контактных площадок верхней части корпуса расположены контактные площадки, выполненные с возможностью соединения с помощью проводников с выводами интегральной микросхемы и электрически с выводами нижней внешней поверхности корпуса и с кварцевым элементом, который дополнительно опирается на площадку, расположенную внутри верхней части корпуса вдоль короткой стороны, противоположной стороне с двумя контактными площадками.
RU2019134232U 2019-11-20 2019-11-20 Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора RU195681U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019134232U RU195681U1 (ru) 2019-11-20 2019-11-20 Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019134232U RU195681U1 (ru) 2019-11-20 2019-11-20 Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU195681U1 true RU195681U1 (ru) 2020-02-04

Family

ID=69416336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019134232U RU195681U1 (ru) 2019-11-20 2019-11-20 Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU195681U1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010130455A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器
RU166742U1 (ru) * 2016-07-29 2016-12-10 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Конструкция термокомпенсированного кварцевого генератора
RU175586U1 (ru) * 2017-07-06 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлемент
RU175578U1 (ru) * 2017-08-03 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлектрический фильтр

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010130455A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Kyocera Kinseki Corp 圧電発振器
RU166742U1 (ru) * 2016-07-29 2016-12-10 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Конструкция термокомпенсированного кварцевого генератора
RU175586U1 (ru) * 2017-07-06 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлемент
RU175578U1 (ru) * 2017-08-03 2017-12-11 Общество с ограниченной ответственностью НПП "МЕТЕОР-КУРС" Пьезоэлектрический фильтр

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6587008B2 (en) Piezoelectric oscillator and a method for manufacturing the same
US7098580B2 (en) Piezoelectric oscillator
JP3406845B2 (ja) 表面実装型水晶発振器
US8884712B2 (en) Oscillator
JP3451018B2 (ja) 水晶発振器
US20050225406A1 (en) Temperature-compensated quartz-crystal oscillator
CN111641389A (zh) 一种表贴温补晶振设计方法
JP4433687B2 (ja) 圧電発振器とその製造方法
RU195681U1 (ru) Конструкция тактового пьезоэлектрического генератора
JP2004214799A (ja) 圧電発振器および圧電発振器の測定方法
RU222294U1 (ru) Конструкция микроминиатюрного тактового генератора с дифференциальными выходами
JP3437827B2 (ja) 圧電発振器
JP2005117188A (ja) 表面実装型圧電発振器及びその製造方法
RU166742U1 (ru) Конструкция термокомпенсированного кварцевого генератора
JP5237426B2 (ja) 超小型サイズ対応のレイアウト構造を有する水晶発振器
JP5942312B2 (ja) 水晶発振器の組立方法
JP4454145B2 (ja) 電子部品収納用セラミックパッケージ及び電子部品装置
JP2015195593A (ja) 水晶発振器
JP2002198453A (ja) 電子部品収納用パッケージ及び電子部品装置
JP3403159B2 (ja) 圧電発振器
JP2012049874A (ja) 表面実装型圧電発振器の搭載構造
JP2002100931A (ja) 圧電発振器及びその製造方法
JP2001284373A (ja) 電子部品
JP3429264B2 (ja) 圧電発振器及びその製造方法
JP4678426B2 (ja) 圧電発振器とその製造方法