RU192971U1 - Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин - Google Patents
Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин Download PDFInfo
- Publication number
- RU192971U1 RU192971U1 RU2019116541U RU2019116541U RU192971U1 RU 192971 U1 RU192971 U1 RU 192971U1 RU 2019116541 U RU2019116541 U RU 2019116541U RU 2019116541 U RU2019116541 U RU 2019116541U RU 192971 U1 RU192971 U1 RU 192971U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- frame
- holder
- semiconductor wafer
- sliders
- bed
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B1/00—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen
- B30B1/32—Presses, using a press ram, characterised by the features of the drive therefor, pressure being transmitted directly, or through simple thrust or tension members only, to the press ram or platen by plungers under fluid pressure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J5/00—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
- C09J5/06—Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers involving heating of the applied adhesive
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к микроэлектронике и может быть использована при получении монокристаллического карбида кремния SiC, используемого для изготовления интегральных микросхем. Прижимное устройство для крепления полупроводниковых пластин (ППП) включает станину рамного типа, гидроцилиндр, смонтированный на верхней поперечине станины. Дополнительно введены два ползуна, установленные в нижней части станины с возможностью перемещения. На ползунах расположена траверса, на которой находится нагревательная плита и система равномерного прижима ППП. Полезная модель позволяет повысить эксплуатационные свойства устройства за счет применения прижимного механизма и равномерно распределенной нагрузки на приклеиваемую во время нагрева ППП. 3 ил.
Description
Полезная модель относится к микроэлектронике и может быть использована при получении монокристаллического карбида кремния SiC, используемого для изготовления интегральных микросхем.
Известны различные модификации настольных прессов (Режим доступа: https://www.kuvalda.ru/catalog/6553/ Дата обращения 08.05.2019).
Среди недостатков данных конструкций следует отметить то, что они не оснащены нагревательной плитой и прижимным механизмом.
Известен пресс гидравлический, содержащий станину рамного типа, смонтированный на станине гидроцилиндр, создающий осевое усилие, ползун, взаимосвязанный с винтом для перемещения ползуна, верхнюю и нижнюю штамповые плиты. Гидроцилиндр установлен в верхней поперечине станины, шток гидроцилиндра выполнен за одно целое с винтом, на котором смонтирован ползун с возможностью вращения и возвратно-поступательного перемещения вдоль оси винта (RU 93332, МПК B30B 3/00, опубл. 27.04.2010).
Недостатком известной конструкции является то, что устройство имеет большой вес и габариты, также на нижней станине отсутствует нагревательная плита.
Технический результат заключается в повышении эксплуатационных свойств устройства за счет применения каркаса и равномерно распределенной нагрузки на приклеиваемую во время нагрева полупроводниковую пластину (ППП).
Технический результат достигается тем, что устройство для крепления ППП на держателе ППП включает станину рамного типа, на верхней поперечине которой смонтирован гидроцилиндр. Устройство снабжено двумя ползунами, установленными с возможностью перемещения в нижней части станины, и расположенной на ползунах траверсой, на которой размещена нагревательная плита и установлен с возможностью перемещения по направляющим каркас с пружинами и кварцевыми стержнями, расположенными в каркасе с возможностью прижатия полупроводниковой пластины к держателю.
На фиг. 1 представлен общий вид устройства для крепления ППП на держателе ППП, на фиг. 2 - каркас, на фиг. 3 - нагревательная плита.
Устройство для крепления ППП на держателе ППП (фиг. 1) включает станину рамного типа 1. На верхней поперечине станины 1 смонтирован гидроцилиндр 2, создающий осевое усилие. Два ползуна 3 установлены в нижней части станины 1 с возможностью перемещения. На ползунах 3 расположена траверса 4. На траверсе 4 находится нагревательная плита 5 и каркас 6.
Каркас 6 (фиг. 2) представляет собой механизм, включающий в себя металлический каркас 7, пружины 8 и кварцевые стержни 9. Пружины 8 и стержни 9 располагаются специальным образом для плоскопараллельного прижатия образца и исключения возможных изгибов и деформаций ППП во время прижатия. Каркас 6 может свободно перемещаться по трем направляющим. Направляющие установлены на стальную плиту для исключения возможных вибраций при работе.
Нагревательная плита (фиг. 3) представляет собой керамический держатель 10 с пазом для укладывания спирали 11, который устанавливают на теплоизоляционный материал 12 (например, графитовый войлок и т.п.). Изоляцию располагают на нижней металлической пластине 13 толщиной 2-5 мм и диаметром 190-240 мм. Сверху керамический держатель 10 накрывают теплоизоляционным материалом 14 (например, асбестовая ткань и т.п.) для исключения возможности замыкания витков и равномерного радиального нагрева верхней пластины 15, которая контактирует с графитовыми компонентами для приклейки. С торцов керамический держатель 10 закрывают теплоизоляционным материалом 16. Верхняя 15 и нижняя 13 пластины стягивают в четырех точках по краю на равных радиусах металлическими шпильками 17, которые устанавливают в ножки 18. В нижней пластине 13 располагают отверстие под термопару 19, имеющую тепловой контакт с верхней пластиной 15. Нагревательную плиту монтируют на нижнюю платформу каркаса 6 и закрепляют для исключения перемещения и вибраций при работе на заявленном устройстве.
Выводы нихромовой спирали через керамическую колодку (ток до 25 А) подключаются к пропорционально-интегрально-дифференцирующему регулятору и реле. Регулятор управляет реле, которое подает напряжение на нагревательную спираль. Соединение реле и регулятора выполнено из термостойкого провода, с максимальной рабочей температурой 450 °С.
Пример 1. Вариант реализации заявленного решения
Длина пружин 8 без нагрузки - 30 мм. Рабочий ход прижимного механизма 6-15 мм. Суммарная максимальная нагрузка до соприкосновения витков ~ 60 кг. Для позиционирования и сжатия опорных пружин (на фиг. позицией не обозначены) используют возвратный гидроцилиндр 2. Отсчет нагрузки осуществляют по специальной шкале, расположенной на вертикальной оси движения механизма. Используют опорные пружины с внутренним диаметром на 1 мм больше диаметра направляющей и максимальной нагрузкой до соприкосновения витков более 100 кг.
Заявленная полезная модель может быть использована в способе выращивания слитков монокристаллического карбида кремния, при котором на стороне пластины затравочного монокристалла, не предназначенной для выращивания слитка монокристаллического карбида кремния, формируют защитный слой, после чего наносят адгезивный слой, склеивают поверхности держателя и пластины затравочного монокристалла и выращивают слиток монокристаллического карбида кремния на свободной поверхности пластины затравочного монокристалла, а также в способе выращивания слитков монокристаллического карбида кремния, при котором закрепление пластины затравочного монокристалла проводят с помощью клея-адгезива на основе бакелитового лака на графитовом держателе с промежуточной прокладкой из терморасширенного графита.
Устройство для крепления ППП на держателе ППП работает следующим образом. На нижнюю нагревательную плиту 5 помещают держатель ППП (затравки, используемой в процессе роста объемного кристалла) и наносят слой специального сыпучего клеящего состава на основе органических соединений (сахар, обезвоженная глюкоза и т.д.). На клеевую основу помещают ППП, и система нагревается до температуры расплавления клеящего вещества (~110-180 °С). После того, как клеящий состав переходит в жидкое состояние без включения воздушных пузырей, производят прижим ППП к держателю ППП с помощью каркаса 6.
После прикладывания усилия и выхода части клеящего состава из зазора ППП-держатель увеличивается температура нижней нагревательной плиты для проведения процесса искусственной карбонизации. При этой температуре органические соединения карбонизируется в течение 15-30 мин и в итоге между ППП и ППП - держателем образуется равномерный графитовый слой. После окончания процесса отключают нагрев нижней плиты и снимают нагрузку.
По сравнению с известным решением предлагаемое позволяет повысить эксплуатационные свойства устройства за счет применения каркаса и равномерно распределенной нагрузки на приклеиваемую во время нагрева ППП.
Claims (1)
- Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин, содержащее станину рамного типа, на верхней поперечине которой смонтирован гидроцилиндр, отличающееся тем, что оно снабжено двумя ползунами, установленными с возможностью перемещения в нижней части станины, и расположенной на ползунах траверсой, на которой размещена нагревательная плита и установлен с возможностью перемещения по направляющим каркас с пружинами и кварцевыми стержнями, расположенными в каркасе с возможностью прижатия полупроводниковой пластины к держателю.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019116541U RU192971U1 (ru) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2019116541U RU192971U1 (ru) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU192971U1 true RU192971U1 (ru) | 2019-10-08 |
Family
ID=68162453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2019116541U RU192971U1 (ru) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU192971U1 (ru) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU606722A1 (ru) * | 1976-09-13 | 1978-05-15 | Северо-Осетинское Производственное Мебельное Объединение "Казбек" | Устройство дл склеивани шитов |
SU852561A1 (ru) * | 1979-12-07 | 1981-08-07 | Производственное Объединение "Гомельдрев"Им. 60-Летия Великого Октября | Устройство дл склеивани щитов |
US5182121A (en) * | 1989-10-11 | 1993-01-26 | Hitachi, Ltd. | Hot press |
RU20057U1 (ru) * | 2001-03-06 | 2001-10-20 | Акционерное общество открытого типа "Научно-исследовательский технологический институт" (АООТ "НИТИ-ТЕСАР") | Пресс для термоформования изделий |
RU2294838C2 (ru) * | 2005-05-14 | 2007-03-10 | Закрытое акционерное общество "Прочность"(ЗАО"Прочность") | Гидравлический этажный пресс |
RU93332U1 (ru) * | 2009-12-23 | 2010-04-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" (ГОУ ВПО "ЮУрГУ") | Пресс гидравлический |
-
2019
- 2019-05-29 RU RU2019116541U patent/RU192971U1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU606722A1 (ru) * | 1976-09-13 | 1978-05-15 | Северо-Осетинское Производственное Мебельное Объединение "Казбек" | Устройство дл склеивани шитов |
SU852561A1 (ru) * | 1979-12-07 | 1981-08-07 | Производственное Объединение "Гомельдрев"Им. 60-Летия Великого Октября | Устройство дл склеивани щитов |
US5182121A (en) * | 1989-10-11 | 1993-01-26 | Hitachi, Ltd. | Hot press |
RU20057U1 (ru) * | 2001-03-06 | 2001-10-20 | Акционерное общество открытого типа "Научно-исследовательский технологический институт" (АООТ "НИТИ-ТЕСАР") | Пресс для термоформования изделий |
RU2294838C2 (ru) * | 2005-05-14 | 2007-03-10 | Закрытое акционерное общество "Прочность"(ЗАО"Прочность") | Гидравлический этажный пресс |
RU93332U1 (ru) * | 2009-12-23 | 2010-04-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Уральский государственный университет" (ГОУ ВПО "ЮУрГУ") | Пресс гидравлический |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU192971U1 (ru) | Устройство для крепления полупроводниковой пластины на держателе полупроводниковых пластин | |
CN103572365B (zh) | 一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺 | |
CN103849929B (zh) | 一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架 | |
CN111519182A (zh) | 交直流复合磁场辅助激光熔覆高熵合金涂层的方法与装置 | |
CN106884155B (zh) | 热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备 | |
CN102107237A (zh) | 一种钛合金棒材矫直方法 | |
KR100675912B1 (ko) | 종자정 부착 장치 및 종자정 부착 방법 | |
Pascoe et al. | Instrumental modifications for compressive testing at temperatures up to 1800° C | |
CN210193679U (zh) | 一种石英管照明配件深加工用定位装置 | |
CN101539505B (zh) | 在低温下为半导体样品施加连续可调单轴应力的方法 | |
CN206940955U (zh) | 一种新型铝合金铸件热处理装置 | |
CN211451845U (zh) | 一种用于高温合金等温热压缩装置 | |
CN209745755U (zh) | 一种温度压力可控的扩散实验装置 | |
JPH06170475A (ja) | 線材の曲がり矯正方法および装置 | |
JP2009190001A (ja) | 多結晶シリコンロッドの破砕装置及び破砕方法 | |
RU123523U1 (ru) | Устройство для испытания сопротивления материалов термической усталости | |
CN212794688U (zh) | 一种抗震支吊架生产用装夹装置 | |
CN111101713B (zh) | 一种混凝土构件预应力的施加装置及其施加方法 | |
CN111501002A (zh) | 一种便携式变温样品台装置 | |
CN218422647U (zh) | 一种培育钻石用高温高压合成装置 | |
RU2789656C1 (ru) | Способ определения предела прочности при сжатии керамических и композиционных материалов при индукционном нагреве | |
CN108130596A (zh) | 一种双晶制备热压炉及其控制方法 | |
CN220335367U (zh) | 一种卧式方形碳化硅晶体生长装置 | |
CN203768483U (zh) | 用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架 | |
RU2770838C1 (ru) | СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ С ПРОВОДИМОСТЬЮ n-ТИПА |