RU187926U1 - Выводная рамка полупроводникового прибора - Google Patents

Выводная рамка полупроводникового прибора Download PDF

Info

Publication number
RU187926U1
RU187926U1 RU2019100737U RU2019100737U RU187926U1 RU 187926 U1 RU187926 U1 RU 187926U1 RU 2019100737 U RU2019100737 U RU 2019100737U RU 2019100737 U RU2019100737 U RU 2019100737U RU 187926 U1 RU187926 U1 RU 187926U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tightness
semiconductor device
locks
output frame
crystal
Prior art date
Application number
RU2019100737U
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Александрович Брюхно
Иван Владимирович Куфтов
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" filed Critical Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
Priority to RU2019100737U priority Critical patent/RU187926U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU187926U1 publication Critical patent/RU187926U1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05553Shape in top view being rectangular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/0601Structure
    • H01L2224/0603Bonding areas having different sizes, e.g. different heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области электронной техники. Выводная рамка полупроводникового прибора содержит теплорастекатель, кристаллодержатель с замками герметичности по периметру и внешние выводы с траверсами для разварки внутренних гибких выводов при этом замки герметичности выполнены в виде канавки со сформированными в ней пирамидоидальными ямками, расположенными в шахматном порядке в 2-3 ряда. Технический результат заключается в повышении влагоустойчивости и расширении границ стойкости полупроводникового прибора к внешним воздействиям. 2 ил.

Description

Предлагаемая полезная модель относится к области электронной техники, а именно - к конструкции выводных рамок полупроводниковых приборов, герметизируемых пластмассой.
Известна выводная рамка полупроводникового прибора, содержащая теплорастекатель, кристаллодержатель и внешние выводы с траверсами для разварки внутренних гибких выводов, (см. патент США №7,834,433 В2 класс.H01L 23/34, H01L 21/00). Теплорастекатель предназначен для отвода тепла от полупроводникового кристалла к радиатору, на котором закреплен теплорастекатель. Для монтажа кристаллов на кристаллодержатель обычно используется эвтектический и свинцово-оловянный припой.
Частой причиной отказов полупроводниковых приборов является коррозия алюминиевых проводников и контактных площадок на поверхности кристалла из-за негерметичности корпуса. Негерметичный пластмассовый корпус - серьезная проблема защиты сложных электронных компонентов.
Пути проникновения влаги одинаковы для корпусов, изготовленных с использованием различных пресс-материалов материалов. Проникновение влаги происходит по границе теплорастекатель-пластмасса и во многом определяется адгезионной составляющей, обусловленной наличием адгезионных связей пластмассы с поверхностью выводной рамки, а также ее конструкцией. Недостатком данной выводной рамки является слабая адгезионная прочность сцепления пластмассы с выводной рамкой и, вследствие чего, попадание влаги в корпус и растрескивание корпусов в процессе пайки при испарении влаги.
Указанный недостаток устранен в выводной рамке полупроводникового прибора, содержащей теплорастекатель, кристаллодержатель с замками герметичности по периметру и внешние выводы с траверсами для разварки внутренних гибких выводов, (см. статью Анатолий Керенцев, Владимир Ланин «Влагоустойчивость интегральных микросхем в пластмассовых корпусах»., Технологии в электронной промышленности №4'2008).
Кристаллодержатель с замками герметичности по периметру позволяет улучшить влагоустойчивость путем повышения адгезионной прочности сцепления пластмассы с выводной рамкой.
Замки, выполненные по периметру теплорастекателя в виде канавки, окружающей кристаллодержатель, улучшают адгезию по сравнению с конструкцией без замков герметичности и снижают возможность растрескивания.
Недостатком данной выводной рамки является по-прежнему недостаточная адгезия при использовании пресс-материалов на основе реактопластов и герметизации методом впрыскивания. Также возможно расслоение и растрескивание герметизирующего материала. Эффект расслоения возникает при резком нагреве полупроводникового прибора, в котором содержится некоторое количество влаги. При увеличении температуры эта влага испаряется, а образовавшийся пар быстро расширяется, что приводит к возникновению механических напряжений и образованию дефекта внутреннего расслоения компонента. Чаще всего расслоение пластмассы корпуса происходит на границе кристаллодержатель - пластмасса и кристалл - пластмасса.
Техническим результатом данной полезной модели является повышение влагоустойчивости и расширение границ стойкости полупроводникового прибора к внешним воздействиям.
Указанный технический результат достигается тем, что выводная рамка полупроводникового прибора, содержащая теплорастекатель,
кристаллодержатель с замками герметичности по периметру и внешние выводы с траверсами для разварки внутренних гибких выводов, причем замки герметичности выполнены в виде канавки со сформированными в ней пирамидоидальными ямками, расположенными в шахматном порядке в 2-3 ряда.
После герметизации пластмасса запрессовывается в замок герметичности, улучшая адгезию, как вдоль канавки, так и поперек за счет дополнительного рельефа в виде пирамидоидальных ямок. Улучшенная адгезия устраняет возможность затекания влаги в корпус.
Сформированные пирамидоидальные ямки устраняют эффект расслоения. При герметизации пресс-материал заполняет ямки в замке герметичности, минимизируя возникающие термальные напряжения. Также при возможном образовании трещин, их распространение будет останавливаться в области ямки, сохраняя герметичность прибора.
Шахматный порядок ямок в 2-3 ряда является оптимальным рельефом для снижения термального напряжения. Увеличение количества рядов не целесообразно, так как это приводит к уменьшению рабочей площади кристаллодержателя.
На фиг.1 изображена выводная рамка с кристаллом полупроводникового прибора.
На фиг.2 изображено сечение выводной рамки с кристаллом полупроводникового прибора.
Позициями на фиг. 1 и фиг. 2 обозначены:
1 - теплорастекатель;
2 - кристаллодержатель;
3 - замок герметичности;
4 - пирамидоидальные ямки;
5 - кристалл полупроводникового прибора;
6 - внешние выводы с траверсами;
7 - внутренние гибкие вывода.
На фигуре 1 приведена конструкция медной выводной рамки полупроводникового прибора, содержащая теплорастекатель 1 с кристалл од ержателем 2, который окружен замком герметичности 3 в виде канавки, в котором сформированы два ряда пирамидоидальных ямок 4, расположенных в шахматном порядке. Пирамидоидальные ямки сформированы методом штамповки. На кристалодержатель напаивается кристалл полупроводникового прибора 5. Электрическое соединение кристалла с траверсами внешних выводов 6 осуществляется посредством внутренних гибких выводов 7.
В таблице 1 приведены результаты оценки состояния влагоустойчивости корпуса КТ-28-2. Выдержка приборов проводилась при избыточном давлении 0,5 МПа в аминоксантеновом красителе (родамине). Также, в таблице 1 приведены результаты испытаний на влагоустойчивость транзистора Дарлингтона в корпусе КТ-28-2. Испытания проводились в автоклаве в режиме хранения в перегретом паре при температуре +121°С, давлении 0,2 МПа и относительной влажности 100% в течение 240 часов, с последующим контролем параметров транзистора через 24 часа.
Образцы №1 - рамка выполнена без замка герметичности (аналог). Образцы группы №2 - рамка выполнена с замком герметичности (прототип). Образцы группы №3 - рамка выполнена с замком герметичности и пирамидоидальными ямками в 2 ряда, расположенными в шахматном порядке.
Figure 00000001
В образцах №1 затекание родамина происходило по границе кристаллодержатель-пластмасса. В образцах №2 выявлено 2 отказа из-за коррозии металлизации кристалла транзистора, так-так проникновение влаги происходило сквозь расслоившиеся слой пластмассы. Расслоение произошло из-за термальных напряжений вследствие температурного воздействия.
Экспериментально доказано, что в образцах №3 в рамке с замком герметичности и пирамидоидальными ямками в нем, влагоустойчивость и границы стойкости к внешним воздействиям выше по сравнению с прототипом и аналогом.

Claims (1)

  1. Выводная рамка полупроводникового прибора, содержащая теплорастекатель, кристаллодержатель с замками герметичности по периметру и внешние выводы с траверсами для разварки внутренних гибких выводов, отличающаяся тем, что замки герметичности выполнены в виде канавки со сформированными в ней пирамидоидальными ямками, расположенными в шахматном порядке в 2-3 ряда.
RU2019100737U 2019-01-10 2019-01-10 Выводная рамка полупроводникового прибора RU187926U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019100737U RU187926U1 (ru) 2019-01-10 2019-01-10 Выводная рамка полупроводникового прибора

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019100737U RU187926U1 (ru) 2019-01-10 2019-01-10 Выводная рамка полупроводникового прибора

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU187926U1 true RU187926U1 (ru) 2019-03-25

Family

ID=65858983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019100737U RU187926U1 (ru) 2019-01-10 2019-01-10 Выводная рамка полупроводникового прибора

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU187926U1 (ru)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1681694A1 (ru) * 1989-04-25 1994-05-15 А.А. Стадник Корпус для микросхемы
US5633528A (en) * 1994-05-25 1997-05-27 Texas Instruments Incorporated Lead frame structure for IC devices with strengthened encapsulation adhesion
US7834433B2 (en) * 2007-01-10 2010-11-16 Shanghai Kaihong Technology Co., Ltd. Semiconductor power device
US20110079893A1 (en) * 2003-09-15 2011-04-07 Sherrer David W Device package and methods for the fabrication and testing thereof
RU2488913C1 (ru) * 2011-12-14 2013-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Трехмерное электронное устройство
RU172495U1 (ru) * 2017-03-17 2017-07-11 Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" Выводная рамка мощной интегральной микросхемы
RU180407U1 (ru) * 2018-02-06 2018-06-13 Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" Выводная рамка корпуса интегральной микросхемы

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1681694A1 (ru) * 1989-04-25 1994-05-15 А.А. Стадник Корпус для микросхемы
US5633528A (en) * 1994-05-25 1997-05-27 Texas Instruments Incorporated Lead frame structure for IC devices with strengthened encapsulation adhesion
US20110079893A1 (en) * 2003-09-15 2011-04-07 Sherrer David W Device package and methods for the fabrication and testing thereof
US7834433B2 (en) * 2007-01-10 2010-11-16 Shanghai Kaihong Technology Co., Ltd. Semiconductor power device
RU2488913C1 (ru) * 2011-12-14 2013-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (МГТУ им. Н.Э. Баумана) Трехмерное электронное устройство
RU172495U1 (ru) * 2017-03-17 2017-07-11 Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" Выводная рамка мощной интегральной микросхемы
RU180407U1 (ru) * 2018-02-06 2018-06-13 Закрытое акционерное общество "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ" Выводная рамка корпуса интегральной микросхемы

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103035601A (zh) 在烧结银层上包括扩散焊接层的半导体器件
JP2006202885A (ja) 半導体装置
KR950007621A (ko) 칩 캐리어
KR20150095586A (ko) 반도체 장치 및 그 제조 방법
JP2013115083A5 (ru)
RU187926U1 (ru) Выводная рамка полупроводникового прибора
Tatsumi et al. Development of packaging technology for high temperature resistant SiC module of automobile application
CN110648987B (zh) 一种界面导热材料层及其用途
Sokolov et al. Reliability assessment of SiC power module stack based on thermo-structural analysis
US20230395464A1 (en) Power semiconductor module and manufacturing method thereof
Schreier-Alt et al. Stress analysis during assembly and packaging
RU185748U1 (ru) Многовыводная рамка интегральной микросхемы
CN103579278B (zh) 基于玻璃基板的图像传感器封装结构及封装方法
Beyer et al. Power Cycling Reliability and Failure Modes in Power Modules with Novel Emitter Contact and Sintering Technologies
CN109427760A (zh) 半导体装置
JPWO2004030075A1 (ja) 半導体装置の製造方法
Manier et al. Packaging and characterization of silicon and SiC-based power inverter module with double sided cooling
Paquet et al. Effect of underfill formulation on large-die, flip-chip organic package reliability: A systematic study on compositional and assembly process variations
CN204834605U (zh) 带有热管系统的功率模块
CN101211867A (zh) 近基板尺寸黏晶的集成电路晶片封装构造
CN100466209C (zh) 半导体器件及其加工和封装方法
Sun et al. FEA-Dominant Reliability and Lifetime Model of Double-Sided Cooling SiC Power Module
CN204632803U (zh) 一种csp led及基板
Moideen et al. Solder joint reliability enhancement through surface mounting solder joint reflow optimization in enterprise grade solid state drives (SSDs)
JPS6159660B2 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20210111