RU186688U1 - Hybrid Electronic Nose Module - Google Patents
Hybrid Electronic Nose Module Download PDFInfo
- Publication number
- RU186688U1 RU186688U1 RU2018119404U RU2018119404U RU186688U1 RU 186688 U1 RU186688 U1 RU 186688U1 RU 2018119404 U RU2018119404 U RU 2018119404U RU 2018119404 U RU2018119404 U RU 2018119404U RU 186688 U1 RU186688 U1 RU 186688U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- electronic nose
- ceramic
- sensors
- microheaters
- Prior art date
Links
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 claims description 10
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 claims description 6
- 238000004094 preconcentration Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 5
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 abstract description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 44
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000002470 solid-phase micro-extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/127—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising nanoparticles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к аналитическому приборостроению, а именно к средствам селективного обнаружения и распознавания многокомпонентных газовых сред, а именно к газоанализаторам на основе твердотельных газочувствительных матриц, и может быть использована для мониторинга окружающей среды, обеспечения безопасности, в технологических устройствах контроля качества исходного сырья, технологических устройствах контроля запахов, возникающих при технологических процессах.В гибридном модуле электронного носа, включающем блок предварительной концентрации газа-аналита, выполненный по технологии печати, и матрицу газовых сенсоров, расположенную в едином корпусе с блоком предварительной концентрации, матрица газовых сенсоров представляет собой группу из не менее чем двух микронагревателей, выполненных в виде тонких керамических пленок толщиной 5-30 мкм, закрепленных на жесткой рамке из того же керамического материала, с нанесенными на них резисторами и газочувствительными слоями. Технический результат - обеспечение минимизации паразитного объема устройства и повышение за счет этого величины отклика сенсоров, входящих в состав электронного носа при существенном упрощении его изготовления за счет использования одной и той же печатной технологии и керамической МЭМС как для изготовления микронагревателей сенсоров и предварительного концентратора, так и для нанесения адсорбционных и газочувствительных слоев. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.The utility model relates to analytical instrumentation, namely to means for the selective detection and recognition of multicomponent gas media, namely to gas analyzers based on solid-state gas-sensitive matrices, and can be used to monitor the environment, ensure safety, in technological devices for controlling the quality of raw materials, technological devices for controlling odors arising from technological processes. In a hybrid module of the electronic nose, including the pre-block the total concentration of analyte gas, made by printing technology, and a matrix of gas sensors located in a single housing with a preliminary concentration unit, the matrix of gas sensors is a group of at least two microheaters made in the form of thin ceramic films with a thickness of 5-30 μm, fixed on a rigid frame of the same ceramic material, with resistors and gas-sensitive layers deposited on them. The technical result is to minimize the parasitic volume of the device and increase due to this the response of the sensors included in the electronic nose with a significant simplification of its manufacture through the use of the same printing technology and ceramic MEMS for the manufacture of microheaters of sensors and a pre-concentrator, and for applying adsorption and gas sensitive layers. 2 s.p. f-ly, 1 ill.
Description
Полезная модель относится к аналитическому приборостроению, а именно к средствам селективного обнаружения и распознавания многокомпонентных газовых сред, а именно к газоанализаторам на основе твердотельных газочувствительных матриц, и может быть использована для мониторинга окружающей среды, обеспечения безопасности, в технологических устройствах контроля качества исходного сырья, технологических устройствах контроля запахов, возникающих при технологических процессах.The utility model relates to analytical instrumentation, namely to means for the selective detection and recognition of multicomponent gas media, namely to gas analyzers based on solid-state gas-sensitive matrices, and can be used to monitor the environment, ensure safety, in technological devices for controlling the quality of raw materials, technological devices for controlling odors arising from technological processes.
Известно устройство [Seong М. Cho, Young Jun Kim, Gwi Suk Heo, Sang-Man Shin. Two-step preconcentration for analysis of exhaled gas of human breath with electronic nose. Sensors and Actuators В 117 (2006) 50-57], включающий блок предварительной концентрации газа-аналита и электронный нос, в котором блок предварительной концентрации используется для увеличения концентрации целевых газов-аналитов, входящих в состав выдыхаемого человеком воздуха. Блок предварительной концентрации содержит два адсорбера, причем каждый из них заполнен сорбентом, адсорбирующим газ-аналит и в слабой степени адсорбирующим пары воды. Процесс проводится следующим образом. Сначала воздух, содержащий газ-аналит и высокую концентрацию паров воды, пропускают через первый адсорбер, в котором поглощается газ-аналит и, в меньшей степени, пары воды. На втором этапе проводят десорбцию газа с первого адсорбера и адсорбцию газа на втором адсорбере. При этом на втором адсорбере сорбируется газ-аналит и, меньшей степени, пары воды. Таким образом, применение такой двухстадийной схемы позволяет очень значительно снизить концентрацию паров воды в газе, попадающем в электронный нос, и увеличить таким образом полезный сигнал электронного носа. Недостатком этого устройства являются его большие размеры, не позволяющие быстро нагревать его с помощью внешнего нагревателя, а также большой паразитный объем устройства. Оба эти фактора приводят к уменьшению концентрации газа-аналита в электронном носе, соединенном с предварительным концентратором.A device is known [Seong M. Cho, Young Jun Kim, Gwi Suk Heo, Sang-Man Shin. Two-step preconcentration for analysis of exhaled gas of human breath with electronic nose. Sensors and Actuators B 117 (2006) 50-57], including a pre-concentration block of analyte gas and an electronic nose, in which a pre-concentration block is used to increase the concentration of target analyte gases that are part of the air exhaled by a person. The preliminary concentration block contains two adsorbers, each of which is filled with a sorbent adsorbing analyte gas and slightly adsorbing water vapor. The process is as follows. First, air containing analyte gas and a high concentration of water vapor is passed through a first adsorber in which analyte gas and, to a lesser extent, water vapor are absorbed. At the second stage, gas is desorbed from the first adsorber and gas is adsorbed on the second adsorber. In this case, analyte gas and, to a lesser extent, water vapor are adsorbed on the second adsorber. Thus, the use of such a two-stage scheme can very significantly reduce the concentration of water vapor in the gas entering the electronic nose, and thus increase the useful signal of the electronic nose. The disadvantage of this device is its large size, not allowing you to quickly heat it with an external heater, as well as the large parasitic volume of the device. Both of these factors lead to a decrease in the concentration of analyte gas in the electron nose connected to the pre-concentrator.
Известно также устройство, предложенное в работе [F. Jamesa, P. Breuil, С. Pijolat, М. Camara, D. Briand, A. Bart, R. Cozic. Development of a MEMS preconcentrator for Micro-Gas Chromatography Analyses. Procedia Engineering 87 (2014) 500-503]. Это устройство состоит из предварительного концентратора и миниатюрного газового хроматографа, используемого в качестве электронного носа. Предварительный концентратор изготовлен по кремниевой МЭМС технологии, его размер равен 20×85 мм2. Недостатком конструкции является то, что предварительный концентратор и миниатюрный газовый хроматограф выполнены с использованием различных технологических подходов, с применением кремниевой МЭМС технологии для изготовления микронагревателя и хроматографической колонки и с использованием их ручного заполнения сорбентом. Кроме того, эти два компонента устройства являются полностью самостоятельными устройствами, что также увеличивает паразитный объем устройства и уменьшает его чувствительность и увеличивает порог обнаружения целевого газа.Also known device proposed in [F. Jamesa, P. Breuil, C. Pijolat, M. Camara, D. Briand, A. Bart, R. Cozic. Development of a MEMS preconcentrator for Micro-Gas Chromatography Analyzes. Procedia Engineering 87 (2014) 500-503]. This device consists of a pre-concentrator and a miniature gas chromatograph used as an electronic nose. The preliminary concentrator is manufactured using silicon MEMS technology, its size is 20 × 85 mm 2 . The design drawback is that the preliminary concentrator and miniature gas chromatograph are made using various technological approaches, using silicon MEMS technology for the manufacture of a microheater and a chromatographic column and using their manual filling with a sorbent. In addition, these two components of the device are completely independent devices, which also increases the parasitic volume of the device and reduces its sensitivity and increases the detection threshold of the target gas.
Известно техническое решение, опубликованное в работе [Ming-Yee Wong, Wei-Rui Cheng, Мао-Huang Liu, Wei-Cheng Tian, Chia-Jung Lu. A preconcentrator chip employing m-SPME array coated with in-situ-synthesized carbon adsorbent film for VOCs analysis. Talanta 101 (2012), pp. 307-313]. Это устройство состоит из микрокамеры размером 14×4 мм2. Внутри этой камеры сформированы микроиглы, которые в процессе изготовления покрывают слоем целлюлозы. Сорбент формируется из этой целлюлозы при ее пиролизе в чистом азоте. При этом образуется слой активированного угля с удельной поверхностью около 300 м2/г. Эту камеру изготавливают по кремниевой МФМС технологии с использованием глубокого анизотропного травления кремния (DRIE). После изготовления камеры ее помещают на нагреватель, выполненный с использованием вакуумного напыления, фотолитографии и других технологических приемов, характерных для микроэлектроники. Недостатком этой конструкции является высокая сложность ее изготовления. В процессе изготовления используются дорогостоящие операции: фотолитография, глубокое анизотропное травление кремния, и т.д., в использовании которых, на самом деле, нет необходимости. Так как размеры полученного устройства (14×4 мм2) велики и нехарактерны для современной микроэлектроники.A technical solution is known, published in [Ming-Yee Wong, Wei-Rui Cheng, Mao-Huang Liu, Wei-Cheng Tian, Chia-Jung Lu. A preconcentrator chip employing m-SPME array coated with in-situ-synthesized carbon adsorbent film for VOCs analysis. Talanta 101 (2012), pp. 307-313]. This device consists of a 14 × 4 mm 2 micro camera. Microneedles are formed inside this chamber, which are covered with a layer of cellulose during the manufacturing process. Sorbent is formed from this cellulose during its pyrolysis in pure nitrogen. This forms a layer of activated carbon with a specific surface area of about 300 m 2 / g. This chamber is manufactured using silicon MFMS technology using deep anisotropic etching of silicon (DRIE). After the manufacture of the chamber, it is placed on a heater made using vacuum deposition, photolithography, and other technological methods characteristic of microelectronics. The disadvantage of this design is the high complexity of its manufacture. In the manufacturing process, expensive operations are used: photolithography, deep anisotropic etching of silicon, etc., the use of which, in fact, is not necessary. Since the dimensions of the resulting device (14 × 4 mm 2 ) are large and uncharacteristic for modern microelectronics.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является решение, предложенное в работе [М. Leidingera, Т. Sauerwald, 
Задачей полезной модели является создание устройства, обеспечивающего устранение недостатков прототипа.The objective of the utility model is to create a device that eliminates the disadvantages of the prototype.
Технический результат, получаемый с использованием настоящего устройства, состоит в минимизации паразитного объема устройства и в повышении за счет этого величины отклика сенсоров, входящих в состав электронного носа при существенном упрощении его изготовления за счет использования одной и той же печатной технологии и керамической МЭМС как для изготовления микронагревателей сенсоров и предварительного концентратора, так и для нанесения адсорбционных и газочувствительных слоев.The technical result obtained using this device is to minimize the parasitic volume of the device and to increase due to this the response value of the sensors included in the electronic nose with a significant simplification of its manufacture by using the same printing technology and ceramic MEMS as for manufacturing microheaters of sensors and a pre-concentrator, and for applying adsorption and gas-sensitive layers.
Технический результат достигается тем, что в гибридном модуле электронного носа, включающем блок предварительной концентрации газа-аналита, выполненный по технологии печати, и матрицу газовых сенсоров, расположенную в едином корпусе с блоком предварительной концентрации газа-аналита, матрица газовых сенсоров представляет собой группу из не менее чем двух микронагревателей, выполненных в виде тонких керамических пленок толщиной 5-30 мкм, закрепленных на жесткой рамке из того же керамического материала, с нанесенными на них микронагревателями и газочувствительными слоями. При этом блок предварительной концентрации газа-аналита представляет собой пластину из керамического материала, на одной стороне которой выполнен нагреватель, изготовленный методом струйной или аэрозольной печати вязкой жидкостью, являющейся взвесью частиц с металлической проводимостью размером 2-30 нм в растворителе с вязкостью 1-1000 мПа⋅с, и слой полимерного сорбента, имеющего сродство к газу-аналиту. При этом микронагреватели газовых сенсоров сформированы на тонкой керамической пленке толщиной 5-30 мкм, натянутой на рамку из керамики большей толщины, выполненной из того же материала, что и мембрана, при этом микронагреватели, имеющие форму меандра, и контакты к газочувствительному слою нанесены на поверхность керамической пленки методом струйной или аэрозольной печати вязкой жидкостью, являющейся взвесью частиц с металлической проводимостью размером 2-30 нм в растворителе с вязкостью 1-1000 мПа⋅с, а газочувствительный слой нанесен на керамическую пленку поверх микронагревателя и контактов.The technical result is achieved by the fact that in the hybrid module of the electronic nose, which includes a block of preliminary concentration of gas analyte, made by printing technology, and a matrix of gas sensors located in a single housing with a block of preliminary concentration of gas analyte, the matrix of gas sensors is a group of non less than two microheaters made in the form of thin ceramic films with a thickness of 5-30 μm, mounted on a rigid frame of the same ceramic material, with microheating applied to them firs and gas-sensitive layers. The preliminary analyte gas concentration block is a plate made of ceramic material, on one side of which a heater is made, made by inkjet or aerosol printing using a viscous liquid, which is a suspension of particles with metallic conductivity of 2-30 nm in a solvent with a viscosity of 1-1000 MPa ⋅c, and a layer of polymer sorbent having an affinity for analyte gas. In this case, gas sensor microheaters are formed on a thin ceramic film with a thickness of 5-30 μm, stretched on a frame made of a ceramic of greater thickness, made of the same material as the membrane, while the square-shaped microheaters and the contacts to the gas sensitive layer are applied to the surface ceramic film by inkjet or aerosol printing with a viscous liquid, which is a suspension of particles with a metallic conductivity of 2-30 nm in a solvent with a viscosity of 1-1000 mPa⋅s, and a gas-sensitive layer is deposited on ke thermal film on top of the micro heater and contacts.
Полезная модель поясняется схемой гибридного модуля электронного носа, представленной на фиг. 1.The utility model is illustrated by the hybrid nose module circuit shown in FIG. one.
Гибридный модуль электронного носа включает матрицу 1 газовых сенсоров, представляющую собой группу из не менее чем двух микронагревателей 2, выполненных в виде тонких керамических пленок толщиной 5-30 мкм, закрепленных на жесткой рамке из того же керамического материала, с нанесенными на них резисторами 3 и газочувствительными слоями.The hybrid module of the electronic nose includes a
Микронагреватели 2 изготавливаются следующим образом. В качестве основы микронагревателей 2 используется прямоугольная пластина из керамики с предварительно изготовленными отверстиями. В случае, представленном на фиг. 1, диаметр отверстий составляет 3 мм, а толщина керамической пластины равна 0,5 мм. На поверхность пластины с отверстиями с помощью стекла приклеивают тонкую керамическую пленку толщиной 5-30 мкм, выполненную из того же керамического материала, что и материал пластины. В качестве материала пленки и пластины может использоваться алюмооксидная керамика, стеклокерамика (LTCC) или другой керамический материал. При этом температурные коэффициенты линейного расширения керамики и стекла, используемого для приклейки, не должны отличаться более чем не 10%. Микронагреватели 2 наносят на поверхность тонкой керамической пленки методом струйной или аэрозольной печати чернилами, содержащими наночастицы платины.
Устройство включат в себя также блок 4 предварительной концентрации газа-аналита. При этом блок 2 предварительной концентрации газа-аналита представляет собой пластину из керамического материала, на одной стороне которой выполнен нагреватель, изготовленный методом струйной или аэрозольной печати вязкой жидкостью, являющейся взвесью частиц с металлической проводимостью размером 2-30 нм в растворителе с вязкостью 1-1000 мПа⋅с, и слой полимерного сорбента, имеющего сродство к газу-аналиту.The device will also include
С целью минимизации паразитного объема группа микронагревателей 2 и блок 4 предварительной концентрации газа-аналита выполняются планарными с тем, чтобы минимизировать объем газа, находящегося в контакте с ними. Кроме того, с той же целью размер блока 4 предварительной концентрации и размер группы микронагревателей 2 выбирают в интервале от 5 до 20 мм по каждой из сторон устройств прямоугольной формы.In order to minimize the parasitic volume, the group of
Матрицу 1 газовых сенсоров и блок 4 предварительной концентрации газа-аналита помещают в общий корпус, обеспечивающий герметизацию устройства и выполненный таким образом, чтобы минимизировать свободный объем газа, не занятый матрицей 1 газовых сенсоров и блоком 4 предварительной концентрации.The
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018119404U RU186688U1 (en) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | Hybrid Electronic Nose Module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018119404U RU186688U1 (en) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | Hybrid Electronic Nose Module |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU186688U1 true RU186688U1 (en) | 2019-01-29 |
Family
ID=65270106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018119404U RU186688U1 (en) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | Hybrid Electronic Nose Module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU186688U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2770861C1 (en) * | 2021-07-22 | 2022-04-22 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)» | Thermocatalytic sensor based on ceramic mems platform and method for its manufacture |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6902701B1 (en) * | 2001-10-09 | 2005-06-07 | Sandia Corporation | Apparatus for sensing volatile organic chemicals in fluids |
| RU117007U1 (en) * | 2011-12-29 | 2012-06-10 | Михаил Юрьевич Яблоков | MULTISENSOR DEVICE FOR RECOGNITION AND / OR DETECTION OF ODOR TYPE "ELECTRONIC NOSE" |
| WO2013175503A2 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | Nanosniff Technologies Pvt. Ltd. | Nanostructure based mems preconcentrator |
| RU171691U1 (en) * | 2016-12-28 | 2017-06-09 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" | Small-sized electronic nose device for recognizing the smell of a wide class of chemicals |
| US9823211B1 (en) * | 2014-09-09 | 2017-11-21 | Maxim Integrated Products, Inc. | Gas characterization system having a preconcentrator |
-
2018
- 2018-05-28 RU RU2018119404U patent/RU186688U1/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6902701B1 (en) * | 2001-10-09 | 2005-06-07 | Sandia Corporation | Apparatus for sensing volatile organic chemicals in fluids |
| RU117007U1 (en) * | 2011-12-29 | 2012-06-10 | Михаил Юрьевич Яблоков | MULTISENSOR DEVICE FOR RECOGNITION AND / OR DETECTION OF ODOR TYPE "ELECTRONIC NOSE" |
| WO2013175503A2 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | Nanosniff Technologies Pvt. Ltd. | Nanostructure based mems preconcentrator |
| US9823211B1 (en) * | 2014-09-09 | 2017-11-21 | Maxim Integrated Products, Inc. | Gas characterization system having a preconcentrator |
| RU171691U1 (en) * | 2016-12-28 | 2017-06-09 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики" | Small-sized electronic nose device for recognizing the smell of a wide class of chemicals |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ХАТЬКО В.В. "ПРЕКОНЦЕНТРАТОР ГАЗОВОЙ СИСТЕМЫ "ЭЛЕКТРОННЫЙ НОС", Приборы и методы измерений, номер 2(5), 2012, с.47-50. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2770861C1 (en) * | 2021-07-22 | 2022-04-22 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)» | Thermocatalytic sensor based on ceramic mems platform and method for its manufacture |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7306649B2 (en) | 3D miniature preconcentrator and inlet sample heater | |
| JP4903056B2 (en) | Gas chromatograph | |
| US8268630B2 (en) | Differential preconcentrator-based chemical sensor stabilization | |
| US20040194628A1 (en) | Microfabricated microconcentrator for sensors and gas chromatography | |
| US10852278B2 (en) | Functionalized metal oxides as a stationary phase and a surface template for micro gas chromatography separation columns | |
| Wong et al. | A preconcentrator chip employing μ-SPME array coated with in-situ-synthesized carbon adsorbent film for VOCs analysis | |
| RU186688U1 (en) | Hybrid Electronic Nose Module | |
| GB2434643A (en) | Planar micromachined valve and thermal desorber | |
| CN113574369A (en) | Gas detector | |
| Lara-Ibeas et al. | Recent developments and trends in miniaturized gas preconcentrators for portable gas chromatography systems: A review | |
| CN102087254A (en) | Gas chromatograph column and fabricating method thereof | |
| Akbar et al. | A purge and trap integrated microGC platform for chemical identification in aqueous samples | |
| Halder et al. | Integration of a micropreconcentrator with solid-phase microextraction for analysis of trace volatile organic compounds by gas chromatography-mass spectrometry | |
| Azzouz et al. | MEMS devices for miniaturized gas chromatography | |
| CN107727774B (en) | Multi-sensor chromatographic detector and detection method | |
| US20170189882A1 (en) | Preconcentrator for absorbing/desorbing at least one component of gas | |
| Ivanov et al. | Improvement of the gas sensor response via silicon μ-preconcentrator | |
| US3174325A (en) | Porous adsorber bodies for use in desorption spectrography | |
| WO2013175503A2 (en) | Nanostructure based mems preconcentrator | |
| KR101539560B1 (en) | Carbon nanotube foam, preparing method thereof and the micro preconcentrator module using the same | |
| Wang et al. | Preconcentrating sensor systems toward indoor low-concentration VOC detection by goal-oriented, sequential, inverse design strategy | |
| KR20150005361A (en) | Apparatus and method for analyzing breath gas | |
| JP6225369B2 (en) | Gas detection unit | |
| Korotcenkov et al. | PSi-Based Preconcentrators, Filters, and Gas Sources | |
| Han et al. | Micro-fabricated packed metal gas preconcentrator for low detection limit exhaled VOC gas measurements |