RU1835043C - Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric base - Google Patents
Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric baseInfo
- Publication number
- RU1835043C RU1835043C SU914934119A SU4934119A RU1835043C RU 1835043 C RU1835043 C RU 1835043C SU 914934119 A SU914934119 A SU 914934119A SU 4934119 A SU4934119 A SU 4934119A RU 1835043 C RU1835043 C RU 1835043C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rings
- thickness
- measuring
- dielectric base
- ferrite
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
Использование: в производстве микроэлектронных и электровакуумных приборов, а также в машиностроении и металлообработке дл измерени толщин токопровод щихпокрытий на крупногабаритных издели х . Цель изобретени - расширение области использовани . В устройство, содержащее два ферритовых кольца, соприкасающихс па образующей, со щелевыми прорез ми, входную и выходные обмотки, введены две одинаковые, магнитные электропровод щие пластины и диэлектрическое основание . Провод щие пластины размещаютс в щелевых прорез х, а диэлектрическое основание установлено со стороны одной из щелевых прорезей своей поверхностью параллельно плоскости раздела ферритовых колец. Измерительный образец располагаетс между диэлектрическим основание и провод щими пластинами. 1 ил,Usage: in the production of microelectronic and electrovacuum devices, as well as in mechanical engineering and metal processing for measuring the thickness of conductive coatings on large-sized products. The purpose of the invention is to expand the scope of use. Two identical magnetic conductive plates and a dielectric base are introduced into a device containing two ferrite rings in contact with the generator, with slotted slots, input and output windings. The conductive plates are located in the slotted slots, and the dielectric base is mounted on the side of one of the slotted slots with its surface parallel to the interface of the ferrite rings. A measurement sample is located between the dielectric base and the conductive plates. 1 silt
Description
ЁYo
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к средствам неразру- шающего контрол и может быть использовано в производстве микроэлектронных и электровакуумных приборов, а также в машиностроении и металлообработке .The invention relates to measuring equipment, namely to non-destructive testing means, and can be used in the manufacture of microelectronic and electrovacuum devices, as well as in mechanical engineering and metal processing.
Цель изобретени - расширение области использовани за счет измерени толщины покрыти на издели х, форма и размеры которых не позвол ют разместить их в радиальной прорези.The purpose of the invention is to expand the field of use by measuring the thickness of the coating on products whose shape and dimensions do not allow them to be placed in a radial slot.
На чертеже изображено предлагаемое устройство.The drawing shows the proposed device.
Устройство содержит два ферритовых кольца 1, соприкасающиес друг с другом по образующей со щелевыми прорез ми 2 и 3. возбуждающую обмотку 4. расположенную в месте соприкосновени колец, измерительные обмотки 5 и 6, встречно включенные , немагнитные электропровод щие пластины 7, расположенные в щелевых прорез х, и диэлектрическое основание 8, установленное со стороны одной из щелевых прорезей своей поверхностью параллельно плоскости раздела ферритовых колец.The device contains two ferrite rings 1 that are in contact with each other along a generatrix with slotted slots 2 and 3. an exciting coil 4. located in the place of contact of the rings, measuring windings 5 and 6, counterclosed, non-magnetic electrically conductive plates 7 located in the slotted slots x, and a dielectric base 8 mounted on the side of one of the slotted slots with its surface parallel to the interface of the ferrite rings.
Устройство работает следующим образом .The device operates as follows.
К возбуждающей обмотке 4 подводитс питающее напр жение (1-10) В с частотой 1-15 МГц. В измерительных обмотках 5 и 6 наводитс ЭДС. При отсутствии измер емого образца выходное напр жение равно нулю , так как измерительные обмотки 5 и 6 включены встречно, и при этом происходит выпучивание электромагнитного пол одинаков из обоих щелевых прорезей с элект00A supply voltage (1-10) V with a frequency of 1-15 MHz is supplied to the exciting winding 4. EMF is induced in the measurement windings 5 and 6. In the absence of the sample to be measured, the output voltage is zero, since the measuring windings 5 and 6 are turned on in the opposite direction, and in this case the electromagnetic field is buckled the same of both slotted slots with electric
соwith
СП ОSP O
со with
СОWith
ропровод щими пластинами ввиду одинаковости щелей и пластин,и следовательно, одинаковых магнитных сопротивлений. При наличии измер емого образца с провод щим покрытием между диэлектрическим основанием 8 и торцом провод щей пластины 7 измен етс магнитное сопротивление системы , и выпучивание электромагнитного пол из щелевых прорезей 2 и 3 становитс несимметричным, ввиду чего в измерительных катушках 5 и 6 наводитс ЭДС различной величины .и по вл етс выходной сигнал.conductive plates due to the same cracks and plates, and therefore the same magnetic resistances. In the presence of a measured sample with a conductive coating between the dielectric base 8 and the end face of the conductive plate 7, the magnetic resistance of the system changes and the electromagnetic field buckling from the slotted slots 2 and 3 becomes asymmetric, which is why EMFs of different sizes are induced in the measuring coils 5 and 6 .and the output signal appears.
Толщина провод щих пластин h должна превышать величину глубины проникновени д электромагнитных колебаний используемой частоты в материал пластин, котора рассчитываетс по известной формулеThe thickness of the conductive plates h must exceed the value of the penetration depth d of electromagnetic oscillations of the frequency used in the material of the plates, which is calculated by the known formula
6 6
ш/иа оw / o
где о)- кругова частота тока возбуждени ; fia - абсолютна магнитна проницаемость материала пластин; о- его удельна электропроводность , с целью достижени наибольшей концентрации (наибольшего выпучивани ) электромагнитного пол за пределами щелевых прорезей 2 и 3, а следовательно - дл обеспечени наибольшей чувствительности прибора. Электромагнитное поле в толще провод щего материала затухает по экспоненте. Расчеты показывают , что, например, при частоте тока возбуждени 10 М.Гц-на глубине материала h 1б электромагнитное поле затухает до 37%, при h 2 д до 13,7%, а при h - 3 д до 5%. Это значит, что при толщине пластин h д более 37% линий магнитной напр женности будет проникать через провод щую пластину, напр женность пол за пределами щелевых прорезей будет резко уменьшена, снижа чувствительность прибора, что приведет к невозможности замера покрытий в дес тые доли мкм. Дл повышени чувствительности имеет смысл увеличивать толщину пластин. Так, например, при h 5 д только 0,7% силовых линий проникает через пластину, а 99,3% силовых линий выпучиваетс из щелевой прорези, повыша чувствительность устройства. В этом случае по вл етс возможность измерени покрытий в сотые доли мкм (как показал эксперимент).where o) is the circular frequency of the excitation current; fia — absolute magnetic permeability of the plate material; its electrical conductivity, in order to achieve the highest concentration (greatest buckling) of the electromagnetic field outside the slots 2 and 3, and therefore to provide the highest sensitivity of the device. The electromagnetic field in the bulk of the conductive material decays exponentially. Calculations show that, for example, at an excitation current frequency of 10 MHz-at a material depth h 1b, the electromagnetic field decays to 37%, at h 2 d to 13.7%, and at h - 3 d to 5%. This means that when the plate thickness h d is more than 37% of the lines of magnetic tension will penetrate through the conductive plate, the field strength outside the slotted slots will be sharply reduced, reducing the sensitivity of the device, which will lead to the impossibility of measuring coatings in tenths of microns. To increase sensitivity, it makes sense to increase the thickness of the plates. Thus, for example, at h 5 d, only 0.7% of the lines of force penetrate the plate, and 99.3% of the lines of force protrude from the slot, increasing the sensitivity of the device. In this case, it becomes possible to measure coatings in hundredths of a micron (as experiment has shown).
Необходимость применени выступающих пластин из щелевых прорезей по бокам и с внутренней стороны ферритовых колец также диктуетс необходимостью концентрации пол со стороны диэлектрического основани .The need to use protruding plates of slotted slots on the sides and on the inside of the ferrite rings is also dictated by the need to concentrate the floor on the side of the dielectric base.
Использование изобретени позволитUsing the invention will allow
производить измерение толщин токопровод щих покрытий на образцах, размеры и форма, которых не позволила бы разместить их в щелевой прорези при использовании известного устройства.to measure the thickness of the conductive coatings on the samples, sizes and shape that would not allow them to be placed in the slotted slot when using the known device.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914934119A RU1835043C (en) | 1991-05-05 | 1991-05-05 | Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric base |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914934119A RU1835043C (en) | 1991-05-05 | 1991-05-05 | Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric base |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1835043C true RU1835043C (en) | 1993-08-15 |
Family
ID=21573371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914934119A RU1835043C (en) | 1991-05-05 | 1991-05-05 | Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric base |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1835043C (en) |
-
1991
- 1991-05-05 RU SU914934119A patent/RU1835043C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1672200. кл. G 01 В 7/10, 1989. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO1993003332A2 (en) | Magnetic flowmeter with improved accuracy | |
JP5156432B2 (en) | Eddy current sample measurement method and eddy current sensor | |
US4709210A (en) | Magnetoacoustic proximity sensor | |
JP4003975B2 (en) | Metal inspection method and metal inspection apparatus | |
Abdallh et al. | A Rogowski–Chattock coil for local magnetic field measurements: sources of error | |
JPS6352345B2 (en) | ||
RU1835043C (en) | Arrangement for measuring of thickness of conducting coatings on dielectric base | |
JP2003066009A (en) | Eddy current flaw detector | |
JPS6166104A (en) | Method for measuring thickness of thin metal film | |
EP0381406A2 (en) | Apparatus for and method of measuring magnetic flux density | |
RU2063025C1 (en) | Electromagnetic converter for flaw detection | |
JPH10311804A (en) | Method and device for measuring defect of material | |
SU1310619A1 (en) | Method of measuring thickness of surface of processed layers of ferromagnetic electroconductive articles | |
RU2012009C1 (en) | Method of measuring parameters of continuous cylindrical electroconducting objects | |
JP2003139745A (en) | Instrument for measuring quenching hardness, and designing method therefor | |
JPS62229038A (en) | Stress measuring apparatus | |
RU2658595C1 (en) | Device for non-destructive testing of compressive mechanical stresses in low-carbon steels | |
SU1293624A1 (en) | Method of non-destructive testing of cylindrical articles | |
SU1097890A1 (en) | Strap-on electromagnetic converter for measuring thickness of non-electroconductive coatings | |
RU2110784C1 (en) | Method of checking of metal object corrosion rate | |
JP6695551B2 (en) | Object component amount measuring device | |
US3430132A (en) | Magnetic thickness measuring apparatus utilizing one fixed and one movable measuring coil | |
JP2538596B2 (en) | Electromagnetic ultrasonic transducer | |
SU1760442A1 (en) | Electromagnetic-acoustic converter for current conducting materials | |
SU1427284A1 (en) | Transfer variable-induction pickup for non-destructive check |