RU1824518C - Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectives - Google Patents
Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectivesInfo
- Publication number
- RU1824518C RU1824518C SU914947183A SU4947183A RU1824518C RU 1824518 C RU1824518 C RU 1824518C SU 914947183 A SU914947183 A SU 914947183A SU 4947183 A SU4947183 A SU 4947183A RU 1824518 C RU1824518 C RU 1824518C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- controlled object
- diffuser
- recording
- plane
- lenses
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, предназначено дл контрол волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, зан том их изготовлением. Сущность: освещают диффузный рассеива- тель когерентным излучением, формируют в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого обьекта с заданным значением f фокусного рассто ни изображение рассеивател , записывают на светочувствительной среде спеклограммы изображени рассеивател , осуществл ют повторную запись спеклограммы после смещени контролируемого обьекта в его главной плоскости, освещают двукратно экспонированную спеклограмму когерентной волной и регистрируют интерферограм- му контрол в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, причем диффузный рассеиватель освещают сход щейс сферической волной с радиусом кривизны в его плоскости R Ii2/(h+l2). где И, 12 - соответственно рассто ни OTL главной плоскости контролируемого объекта до рассеивател и светочувствительной среды, а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеиватель в направлении смещени контролируемого обьекта на величину, удовлетвор ющую соотношению b , где а - величина смещени контролируемого обьекта 1 ил. (Л СThe invention relates to measuring technique, is intended to control the wave aberrations of positive lenses and lenses, and may find application in the manufacture involved in their manufacture. SUBSTANCE: diffuse scatterer is illuminated with coherent radiation, a diffuser image is formed in the plane of the photosensitive medium with the help of a controlled object with a given focal length f, the speckograms of the diffuser image are recorded on the photosensitive medium, and the specklegram is re-recorded after the controlled object is displaced in its main plane , illuminate the twice-exposed specklegram with a coherent wave and register the interferogram of the control in the far diffraction during spatial filtering, moreover, the diffuse scatterer is illuminated by a convergent spherical wave with a radius of curvature in its plane R Ii2 / (h + l2). where I, 12 are, respectively, the OTL distance of the main plane of the controlled object to the diffuser and the photosensitive medium, and before re-recording the specklegrams, the diffuser is additionally shifted in the direction of displacement of the controlled object by an amount satisfying the ratio b, where a is the displacement of the controlled object of 1 il. (L C
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, предназначено дл контрол волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, зан том их изготовлением.The invention relates to measuring technique, is intended to control the wave aberrations of positive lenses and lenses, and may find application in the manufacture involved in their manufacture.
Цель изобретени - повышение чувствительности контрол The purpose of the invention is to increase the sensitivity of control
На чертеже изображена схема устройства , реализующего изобретение. Устройство содержит когерентный источник 1, линзы 2. 3, матовое стекло 4 с механизмом его перемещени 5, узел креплени контролируемого объекта 6 с его механизмом его перемещени , фотопластинку 8.The drawing shows a diagram of a device that implements the invention. The device comprises a coherent source 1, lenses 2. 3, frosted glass 4 with a mechanism for its movement 5, a mount for a monitored object 6 with its mechanism for its movement, a photographic plate 8.
Изобретение осуществл етс следующим образом. Когерентный пучок излучени от источника 1 с помощью линз 2, 3 трансформируетс в сход щуюс сферическую волну освещени матового стекла 4 с радиусом кривизны в его плоскости R - -Ii2/(h+l2), гдеИ, 12-соответственно рассто ни от главной плоскости контролируемой линзы в узле креплени 6 до матового стекла 4 и фотопластинки 8, в плоскости которой строитс изображе ние матового стекла 4The invention is carried out as follows. The coherent beam of radiation from source 1 with the help of lenses 2, 3 is transformed into a converging spherical wave of illumination of frosted glass 4 with a radius of curvature in its plane R - -Ii2 / (h + l2), where II, 12 are, respectively, the distance from the main plane of the controlled lenses in the mount 6 to the frosted glass 4 and the photographic plate 8, in the plane of which the image of the frosted glass 4 is built
0000
юYu
4 СП4 joint venture
соwith
На фотопластинке 8 проводитс запись спеклограммы за врем первой экспозиции. Перед второй экспозицией с помощью механизмов перемещени 5, 7 смещают в одном направлении перпендикул рно оптической оси матовое стекло 4 и узел креплени контролируемого объекта 6 согласно соотношению b ali/f, где а --величина смещени узла креплени контролируемого объекта б, с фокусным рассто нием f, b - величина смещени матового стекла 4. Причем a(f+ 1 ) в/2, где D - диаметрA speckle record is recorded on photographic plate 8 during the first exposure. Before the second exposure, using movement mechanisms 5, 7, frosted glass 4 and the fastener of the controlled object 6 are displaced in one direction perpendicular to the optical axis according to the ratio b ali / f, where a is the displacement of the fastened node of the controlled object b, with a focal length f, b is the displacement of the frosted glass 4. Moreover, a (f + 1) in / 2, where D is the diameter
зрачка контролируемого объекта. Записанную таким образом двухэкспозиционную спеклограмму освещают плоской когерентной волной и регистрируют интерферограм- му контрол волновых аберраций в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, например, в фокальной плоскости объектива с малой апертурной диафрагмой. Если центр апертурной диафрагмы совпадает с оптической осью, то отфильтровываетс интерферограмма бокового сдвига в полосах бесконечной ширины, характеризующа основные волновые аберрации контролируемой линзы. Смещение центра апертурной диафрагмы по направлению оси перемещени матового стекла 4 и узла креплени контролируемого объекта 6 позвол ет отфильтровывать интерференционную картину, характеризующую сочета0pupil of a controlled object. The two-exposure speckleogram recorded in this way is illuminated by a plane coherent wave and the interferogram of controlling the wave aberrations in the far diffraction zone is recorded during spatial filtering, for example, in the focal plane of a lens with a small aperture diaphragm. If the center of the aperture diaphragm coincides with the optical axis, then the lateral shift interferogram is filtered out in bands of infinite width, which characterizes the main wave aberrations of the controlled lens. The displacement of the center of the aperture diaphragm in the direction of the axis of movement of the frosted glass 4 and the attachment site of the controlled object 6 allows you to filter the interference pattern characterizing the combination of
55
00
55
00
ние осевых и внеосевых волновых, аберраций .axial and off-axis wave aberrations.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914947183A RU1824518C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectives |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914947183A RU1824518C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectives |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1824518C true RU1824518C (en) | 1993-06-30 |
Family
ID=21580180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914947183A RU1824518C (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectives |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1824518C (en) |
-
1991
- 1991-06-19 RU SU914947183A patent/RU1824518C/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Гусев В.Г. Оптика атмосферы, 1990, т. 3, N 10. с. 1034-1044. Гусев В.Г., Баландин С.Ф. Оптико-механическа промышленность 1985, № 6, с. 40-43. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4165930A (en) | Camera having a holographic indicator | |
US4309093A (en) | Camera having a diffusing plate with rotationally asymmetric light diffusion property | |
US4247176A (en) | Optical system for eye fundus inspection apparatus | |
US3486817A (en) | Overhead projector | |
SU1431692A3 (en) | Optical projection system for device recording information by dots and lines on recording medium | |
RU1824518C (en) | Method of recording interferograms of objects, made in form of lenses and objectives | |
JP3067491B2 (en) | Projection exposure equipment | |
EP0341705B1 (en) | Synthetic imaging technique | |
RU98110055A (en) | OPTICALLY CONTROLLED DEVICE (OVD), AND ALSO METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING, BY RECORDING, OPTICALLY CONTROLLED DEVICE (OVD) | |
SU1645809A1 (en) | Method of inspecting quality of lenses and objectives | |
SU1760425A1 (en) | Method for interference control of telescope optical systems | |
JP2914035B2 (en) | Ring light flux forming method and illumination optical device | |
JPS6332508A (en) | Projecting system for automatic focus detection | |
SU1670378A1 (en) | Wave-front control method | |
RU2025691C1 (en) | Method of holographic check of wave aberrations of lenses and objectives | |
SU1420428A1 (en) | Apparatus for checking image quality in optical systems | |
RU2020446C1 (en) | Method for interference quality control of telescopic optical systems | |
SU1696931A1 (en) | Method of interference testing of quality of telescopic optical systems | |
SU871015A1 (en) | Device for checking optical system alignment | |
JP3316694B2 (en) | Projection exposure apparatus and transfer method | |
SU1551989A1 (en) | Method of checking the shape of reflecting surface of mirror reflectors | |
SU529362A1 (en) | Interferometer for studying the quality of surfaces and aberrations of large-sized optical elements and transparent inhomogeneities | |
SU1566201A1 (en) | Method of determining displacements | |
SU1617399A1 (en) | Method of recording two fields of movement on one spectrophotograph | |
SU1506317A1 (en) | Method of inspecting objective lens quality |