RU1818531C - Оптико-электронное устройство - Google Patents
Оптико-электронное устройствоInfo
- Publication number
- RU1818531C RU1818531C SU4769005A RU1818531C RU 1818531 C RU1818531 C RU 1818531C SU 4769005 A SU4769005 A SU 4769005A RU 1818531 C RU1818531 C RU 1818531C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- photodetector
- amplifier
- input
- amplitude
- signal
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - расширение номенклатуры контролируемых параметров. Устройство содержит осветитель, пол ризатор, два конденсатора , Я/4 -пластину, модул тор, два объектива , анализирующий элемент в виде двух идентично выполненных анализаторов, ориентированных таким образом, мтр плоскости пол ризации их перпендикул рны, и приемный блок. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к устройствам, обеспечивающим индикацию углов контролируемого объекта.
Целью изобретени вл етс расшире- ние номенклатуры контролируемых параметров .
На чертеже представлена схема устройства .
Устройство содержит осветитель 1 и оптически св занные конденсатор 2, пол ризатор 3, А/4 -пластину 4, модул тор 5, второй конденсатор 6 и объектив 7, образующие коллимационный блок, предназначенный дл скреплени с объектом (не показан), марку 8, расположенную между вторым конденсатором 6 и объективом 7 коллимационного блока, приемный блок в виде последовательно расположенных объектива 9, анализирующего элемента 10 в виде двух идентично выполненных анализаторов , ориентированных друг относительно
друга таким образом, что плоскости пол ри зации их перпендикул рны, и установленного в фокальной плоскости объектива 9. Приемный блок выполнен в виде фотоприемника 11, усилител 12 переменного сигнала , вход которого св зан с выходом фотоприемника 11, амплитудно-фазового детектора 13, вход которого св зан с выходом усилител 12, и генератора 13, напр жени , св занного с модул тором 5 и входом усилител 12.
Устройство работает следующим образом .
Световой поток от излучател 1, пройд конденсатор 2, пол ризатор 3 и А/4 -пластину 4 преобразуетс из линейно-пол ризованного излучени в циркул р- но-пол ризованное. После прохождени через модул тор 5 излучение содержит две составл ющие с взаимно ортогональными направлени ми плоскостей пол ризации. Затем излучение, пройд конденсатор 6,.
fSteoa
марку 8. и объектив 7, попадает на объектив 9, который проектирует излучение в виде изображени марки на анализирующий элемент 10. После прохождени излучени через элемент 10 на фотоприемнике 11 будут попадать два сигнала, которые будут находитьс в противофазе. При развороте коллимационного блока относительно приемного блока изображение марки 8 сместитс относительно границы раздела анализирующего элемента 10.
Claims (1)
- Амплитуда выделенного фотоприемником 11 сигнала будет пропорциональна углу разворота коллимационного блока. Сигнал с фотоприемника 11 усиливаетс усилителем 12 и поступает на амплитудно-фазовый детектор 13. Пол рность сигнала с которого зависит от знака угла разворота. Формула изобретени Оптико-электронное устройство, содержащее осветитель и оптически св занные050конденсатор, пол ризатор, Д/4-пластину, модул тор, второй конденсатор, объектив и приемный блок, отличающеес тем, что, оно снабжено отражателем, предназначенным дл скреплени с объектом, и анализирующим блоком, выполненным в виде усеченной светоделительной призмы, ориентированной основанием перпендикул рно оптической оси, двух анализаторов, установленных соответственно в ходе лучей , отраженных от граней призмы и двух плоских отражателей, приемный блок выполнен в виде фотоприемника, усилител переменного сигнала, вход которого св зан с выходом фотоприемника, амплитудно- фазового детектора, вход которого св зан с выходом усилител , и генератора напр жени , св занного с модул тором и с входом усилител , а два отражател анализирующего блока оптически св заны с фотоприемником .
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4769005 RU1818530C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
SU4769005 RU1818531C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4769005 RU1818531C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1818531C true RU1818531C (ru) | 1993-05-30 |
Family
ID=21484586
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4769005 RU1818530C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
SU4769005 RU1818531C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4769005 RU1818530C (ru) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | Оптико-электронное устройство |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (2) | RU1818530C (ru) |
-
1989
- 1989-10-16 RU SU4769005 patent/RU1818530C/ru active
- 1989-10-16 RU SU4769005 patent/RU1818531C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US № 3560094, кл. 356-117, 1971. Авторское свидетельство СССР Nk 1013999, кл. G 01 В 11/26, 1983. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU1818530C (ru) | 1993-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2998746A (en) | Angular measurement system | |
KR880006659A (ko) | 광학픽업장치 | |
US4171910A (en) | Retroreflectance measurement system | |
RU1818531C (ru) | Оптико-электронное устройство | |
JP3131242B2 (ja) | 光ビーム入射角の測定方法、測定装置及び該装置を距離測定に使用する方法 | |
US3881105A (en) | Apparatus for determining the position of an object in an arbitrary cross-section of a beam of radiation | |
US3427108A (en) | Electro-optical apparatus for monitoring rotational movement of a body | |
US3773421A (en) | Monitoring relative displacement | |
SU371429A1 (ru) | Автоколлимационный фотоэлектрический датчик угла рассогласования | |
SU708281A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
US3471235A (en) | Automatic optical range finder | |
JP2592254B2 (ja) | 変位量及び変位速度の測定装置 | |
SU1290062A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл пространственного позиционировани объекта | |
SU823273A1 (ru) | Оптико-электронное измерительноеуСТРОйСТВО | |
RU1793205C (ru) | Устройство дл определени поперечных смещений объекта | |
JP3096795B2 (ja) | 追尾測距システム | |
SU1157416A1 (ru) | Многолучевой интерференционный эллипсометр | |
SU1633275A1 (ru) | Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал | |
SU1303818A1 (ru) | Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал | |
SU1721437A1 (ru) | Способ измерени угловых смещений объекта и устройство дл его осуществлени | |
SU491028A1 (ru) | Автоколлимационное устройство дл измерени углов | |
SU1631263A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
RU1809368C (ru) | Устройство дл стабилизации энергетической оси пучков излучени | |
SU1619031A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл формировани и пространственного отслеживани модулированного оптического пучка | |
SU591792A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор |