RU1818531C - Оптико-электронное устройство - Google Patents

Оптико-электронное устройство

Info

Publication number
RU1818531C
RU1818531C SU4769005A RU1818531C RU 1818531 C RU1818531 C RU 1818531C SU 4769005 A SU4769005 A SU 4769005A RU 1818531 C RU1818531 C RU 1818531C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
photodetector
amplifier
input
amplitude
signal
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Евгеньевич Гринюк
Игорь Матвеевич Пасько
Виктор Маркович Хмара
Original Assignee
Производственное Объединение "Завод Арсенал"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Производственное Объединение "Завод Арсенал" filed Critical Производственное Объединение "Завод Арсенал"
Priority to SU4769005 priority Critical patent/RU1818530C/ru
Priority to SU4769005 priority patent/RU1818531C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1818531C publication Critical patent/RU1818531C/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель изобретени  - расширение номенклатуры контролируемых параметров. Устройство содержит осветитель, пол ризатор, два конденсатора , Я/4 -пластину, модул тор, два объектива , анализирующий элемент в виде двух идентично выполненных анализаторов, ориентированных таким образом, мтр плоскости пол ризации их перпендикул рны, и приемный блок. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к устройствам, обеспечивающим индикацию углов контролируемого объекта.
Целью изобретени   вл етс  расшире- ние номенклатуры контролируемых параметров .
На чертеже представлена схема устройства .
Устройство содержит осветитель 1 и оптически св занные конденсатор 2, пол ризатор 3, А/4 -пластину 4, модул тор 5, второй конденсатор 6 и объектив 7, образующие коллимационный блок, предназначенный дл  скреплени  с объектом (не показан), марку 8, расположенную между вторым конденсатором 6 и объективом 7 коллимационного блока, приемный блок в виде последовательно расположенных объектива 9, анализирующего элемента 10 в виде двух идентично выполненных анализаторов , ориентированных друг относительно
друга таким образом, что плоскости пол ри зации их перпендикул рны, и установленного в фокальной плоскости объектива 9. Приемный блок выполнен в виде фотоприемника 11, усилител  12 переменного сигнала , вход которого св зан с выходом фотоприемника 11, амплитудно-фазового детектора 13, вход которого св зан с выходом усилител  12, и генератора 13, напр жени , св занного с модул тором 5 и входом усилител  12.
Устройство работает следующим образом .
Световой поток от излучател  1, пройд  конденсатор 2, пол ризатор 3 и А/4 -пластину 4 преобразуетс  из линейно-пол ризованного излучени  в циркул р- но-пол ризованное. После прохождени  через модул тор 5 излучение содержит две составл ющие с взаимно ортогональными направлени ми плоскостей пол ризации. Затем излучение, пройд  конденсатор 6,.
fSteoa
марку 8. и объектив 7, попадает на объектив 9, который проектирует излучение в виде изображени  марки на анализирующий элемент 10. После прохождени  излучени  через элемент 10 на фотоприемнике 11 будут попадать два сигнала, которые будут находитьс  в противофазе. При развороте коллимационного блока относительно приемного блока изображение марки 8 сместитс  относительно границы раздела анализирующего элемента 10.

Claims (1)

  1. Амплитуда выделенного фотоприемником 11 сигнала будет пропорциональна углу разворота коллимационного блока. Сигнал с фотоприемника 11 усиливаетс  усилителем 12 и поступает на амплитудно-фазовый детектор 13. Пол рность сигнала с которого зависит от знака угла разворота. Формула изобретени  Оптико-электронное устройство, содержащее осветитель и оптически св занные
    0
    5
    0
    конденсатор, пол ризатор, Д/4-пластину, модул тор, второй конденсатор, объектив и приемный блок, отличающеес  тем, что, оно снабжено отражателем, предназначенным дл  скреплени  с объектом, и анализирующим блоком, выполненным в виде усеченной светоделительной призмы, ориентированной основанием перпендикул рно оптической оси, двух анализаторов, установленных соответственно в ходе лучей , отраженных от граней призмы и двух плоских отражателей, приемный блок выполнен в виде фотоприемника, усилител  переменного сигнала, вход которого св зан с выходом фотоприемника, амплитудно- фазового детектора, вход которого св зан с выходом усилител , и генератора напр жени , св занного с модул тором и с входом усилител , а два отражател  анализирующего блока оптически св заны с фотоприемником .
SU4769005 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство RU1818531C (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4769005 RU1818530C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство
SU4769005 RU1818531C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4769005 RU1818531C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1818531C true RU1818531C (ru) 1993-05-30

Family

ID=21484586

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4769005 RU1818530C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство
SU4769005 RU1818531C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4769005 RU1818530C (ru) 1989-10-16 1989-10-16 Оптико-электронное устройство

Country Status (1)

Country Link
RU (2) RU1818530C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 3560094, кл. 356-117, 1971. Авторское свидетельство СССР Nk 1013999, кл. G 01 В 11/26, 1983. *

Also Published As

Publication number Publication date
RU1818530C (ru) 1993-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2998746A (en) Angular measurement system
KR880006659A (ko) 광학픽업장치
US4171910A (en) Retroreflectance measurement system
RU1818531C (ru) Оптико-электронное устройство
JP3131242B2 (ja) 光ビーム入射角の測定方法、測定装置及び該装置を距離測定に使用する方法
US3881105A (en) Apparatus for determining the position of an object in an arbitrary cross-section of a beam of radiation
US3427108A (en) Electro-optical apparatus for monitoring rotational movement of a body
US3773421A (en) Monitoring relative displacement
SU371429A1 (ru) Автоколлимационный фотоэлектрический датчик угла рассогласования
SU708281A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
US3471235A (en) Automatic optical range finder
JP2592254B2 (ja) 変位量及び変位速度の測定装置
SU1290062A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл пространственного позиционировани объекта
SU823273A1 (ru) Оптико-электронное измерительноеуСТРОйСТВО
RU1793205C (ru) Устройство дл определени поперечных смещений объекта
JP3096795B2 (ja) 追尾測距システム
SU1157416A1 (ru) Многолучевой интерференционный эллипсометр
SU1633275A1 (ru) Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал
SU1303818A1 (ru) Оптико-электронный преобразователь угла поворота в электрический сигнал
SU1721437A1 (ru) Способ измерени угловых смещений объекта и устройство дл его осуществлени
SU491028A1 (ru) Автоколлимационное устройство дл измерени углов
SU1631263A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
RU1809368C (ru) Устройство дл стабилизации энергетической оси пучков излучени
SU1619031A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл формировани и пространственного отслеживани модулированного оптического пучка
SU591792A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор