RU181295U1 - Устройство для обнаружения водорода - Google Patents
Устройство для обнаружения водорода Download PDFInfo
- Publication number
- RU181295U1 RU181295U1 RU2018116457U RU2018116457U RU181295U1 RU 181295 U1 RU181295 U1 RU 181295U1 RU 2018116457 U RU2018116457 U RU 2018116457U RU 2018116457 U RU2018116457 U RU 2018116457U RU 181295 U1 RU181295 U1 RU 181295U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hydrogen
- input
- measuring device
- recorder
- processor
- Prior art date
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 39
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical class [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003869 coulometry Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001392 phosphorus oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- VSAISIQCTGDGPU-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus hexaoxide Chemical compound O1P(O2)OP3OP1OP2O3 VSAISIQCTGDGPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Использование: для обнаружения водорода. Сущность полезной модели заключается в том, что устройство для обнаружения водорода включает источник ближнего ИК-излучения, чувствительный элемент и измерительное устройство, чувствительный элемент выполнен в виде пластины из монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, по меньшей мере на центральную область первой поверхности которой последовательно нанесены слой анодного оксида индия и фосфора, слой палладия и первый омический электрод, на вторую поверхность пластины нанесен второй омический электрод, источник ближнего ИК-света оптически соединен с чувствительным элементом, а первый и второй омические электроды подключены к измерительному устройству, при этом измерительное устройство содержит последовательно соединенные усилитель, низкочастотный фильтр, аналого-цифровой преобразователь и процессор, блок памяти и регистратор, при этом вход/выход процессора соединен с входом/выходом блока памяти, а выход процессора подключен к входу регистратора. Технический результат - обеспечение возможности повышенной точности количественного измерения концентрации водорода. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Настоящая полезная модель относится к измерительной технике и может быть использована для количественного определения концентрации водорода в окружающей среде при различных температурах, включая комнатную.
В настоящее время водород широко применяют не только в химической промышленности, но и в качестве альтернативного углеводородам энергоносителя. Наряду с созданием водородных топливных элементов предпринимают многочисленные попытки по созданию приборов для регистрации утечек водорода из этих элементов, а также из контейнеров при транспортировке и хранении водорода. Особое внимание уделяют надежному определению взрывоопасной концентрации водорода в воздухе (~4,7%).
Известно устройство для обнаружения водорода (см. заявка JP 2012096965, МПК B01J 23/40, B01J 35/02, C01G 23/053, опубликована 24.05.2012), содержащее источник света, фотоприемник и чувствительный элемент в виде прозрачной проводящей подложки, на которую нанесен слой пористого оксида титана, содержащего в порах металлический катализатор, например, платину, или палладий, или золото, или серебро, или никель, или родий, или осмий, при этом источник света, фотоприемник и чувствительный элемент оптически соединены между собой. Известное устройство определяет содержание водорода в окружающей среде по поглощению или отражению света, проходящего через чувствительный элемент.
Недостатком известного устройства является сложность и длительность процесса дегазации чувствительного элемента после каждого его использования.
Известно устройство для определения кислорода и водорода (см. патент RU 2305278, МПК G01N 27/417, 27.08.2007), содержащее соединенные последовательно газовым трактом осушитель и первую кулонометрическую твердоэлектролитную ячейку (КТЭЯ-1) с источником постоянного напряжения, измерителем тока и двумя электрическими вентилями, а также Устройство содержит вторую кулонометрическую твердо-электролитную ячейку (КТЭЯ-2) с источником постоянного напряжения и измерителем тока, расположенную по газовому тракту после КТЭЯ-1, а напряжение, прикладываемое к электродам КТЭЯ-2, рассчитывают по определенной формуле.
Известное устройство не обеспечивает достаточную точность при определении кислорода и водорода при их совместном присутствии в анализируемом газе, требует нагрева реактора до высокой температуры; и имеет высокую постоянную времени (в зависимости от измеряемой концентрации, от 1 минут до 5 минут).
Известно устройство для обнаружения водорода (см. Г.Г. Ковалевская, Л. Кратена, М.М. Мередов, A.M. Маринова, С.В. Слободчиков. Письма в ЖТФ, т. 15, №12, с. 55-58, 1989), включающее источник ближнего инфракрасного излучения, измеритель электрического тока или напряжения и чувствительный элемент в виде пластины монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, на первую поверхность которой последовательно нанесены слой палладия (поверх собственного оксида индия и фосфора) и первый омический электрод, а на вторую поверхность пластины нанесен второй электрод, при этом источник видимого света оптически соединен со слоем палладия, а первый и второй электроды подключены к измерителю электрического тока.
Недостатком известного устройства для обнаружения водорода является достаточно большие токи утечки по поверхности чувствительного элемента, что приводит к снижению чувствительности устройства.
Известно устройство для обнаружения водорода (см. патент RU 166907, МПК G01N 27/407, опубликован 10.12.2016), совпадающее с настоящим техническим решением по наибольшему числу существенных признаков и принятый за прототип. Устройство-прототип включает чувствительный элемент, оптически соединенный с источником ближнего инфракрасного (ИК) излучения, и измерительное устройство в виде измерителя электрического тока или напряжения. Чувствительный элемент выполнен в виде пластины из монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, на центральную область первой поверхности которой последовательно нанесены слой анодного оксида индия и фосфора, слой палладия и первый омический электрод, на периферийную область первой поверхности нанесен диэлектрический слой из нитрида кремния Si3N4, на вторую поверхность пластины нанесен второй омический электрод. Первый и второй омические электроды подключены к измерительному устройству.
Преимуществами известного устройства для обнаружения водорода являются низкие токи утечки по поверхности чувствительного элемента и высокое быстродействие. Однако известное устройство не обеспечивает достаточную точность количественного измерения концентрации водорода в окружающей среде, так как на результаты измерений влияют такие неопределенные факторы, как эффективная площадь чувствительного элемента, величина сопротивления нагрузки, структура анодного оксида индия и фосфора, которые проблематично зафиксировать при изготовлении чувствительных элементов.
Задачей настоящего технического решения являлась разработка устройства для обнаружения водорода, которое бы обеспечивало повышенную точность количественного измерения концентрации водорода в окружающей среде.
Поставленная задача решается тем, что устройство для обнаружения водорода включает источник ближнего ИК-излучения, чувствительный элемент и измерительное устройство. Чувствительный элемент выполнен в виде пластины из монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, по меньшей мере на центральную область первой поверхности которой последовательно нанесены слой анодного оксида индия и фосфора, слой палладия и первый омический электрод, на вторую поверхность пластины нанесен второй омический электрод. Источник ближнего ИК-излучения оптически соединен с чувствительным элементом, а первый и второй омические электроды подключены к измерительному устройству. Новым в устройстве является то, что измерительное устройство содержит последовательно соединенные усилитель, низкочастотный фильтр, аналого-цифровой преобразователь и процессор, блок памяти и регистратор, при этом вход/выход процессора соединен с входом/выходом блока памяти, а выход процессора подключен к входу регистратора.
На периферийную область первой поверхности чувствительного элемента может быть нанесен диэлектрический слой из нитрида кремния Si3N4, что позволяет уменьшить токи утечки по поверхности чувствительного элемента.
Регистратор выполнен в виде дисплея или в виде цифрового индикатора.
Настоящая полезная модель поясняется чертежом,
где на фиг. 1 схематически представлено устройство-прототип для обнаружения водорода;
на фиг. 2 показана блок-схема настоящего устройства для обнаружения водорода
Настоящее устройство для обнаружения водорода (см. фиг. 1 - на фиг. 2) включает источник 1 ближнего ИК-излучения, измерительное устройство 2 и чувствительный элемент 3. Чувствительный элемент 3 выполнен в виде пластины 4 из монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, легированной, например, оловом до концентрации n основных носителей 1016-1017 см-3. На центральную область 5 первой поверхности 6 пластины 4 последовательно нанесены слой 7 анодного оксида индия и фосфора, слой 8 палладия и первый омический электрод 9, например, из золота. На периферийную область 10 первой поверхности 6 пластины 4 может быть нанесен диэлектрический слой 11 из нитрида кремния Si3N4. На вторую поверхность 12 пластины 4 нанесен второй омический электрод 13, например из последовательно нанесенных слоев Cr/AuGe/Au. Источник 1 ближнего ИК-излучения (например, светодиод) оптически соединен со слоем 8 палладия чувствительного элемента 3, а первый омический электрод 9 и второй омический электрод 13 подключены к измерительному устройству 2. Измерительное устройство 2 в настоящем техническом решении (см. фиг. 2) содержит последовательно соединенные усилитель (У) 14 (например, малошумящий операционный усилитель) низкочастотный фильтр (НФ) 15, аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 16 и процессор (П) 17 (например, прецизионный аналоговый микроконтроллер). В устройство для обнаружения водорода входит также блок памяти (БП) 18 и регистратор (Р) 19 (например, в виде дисплея или в виде цифрового индикатора). Вход/выход П 17 соединен с входом/выходом БП 18, а выход П 17 подключен к входу Р 19.
Первоначально изготовленное устройство градуируют, для чего помещают чувствительный элемент 3 в тестирующую камеру и подключают к измерительному устройству 2. Включают питание источника 1 ближнего ИК-излучения, излучение которого направляют на чувствительный элемент 3. Из тестирующей камеры откачивают воздух, заполняют ее последовательно смесью азота с водородом разных концентраций. При каждой величине установившейся в тестирующей камере концентрации водорода величину скорости спада фотоэдс чувствительного элемента 3, обработанную АЦП 16 и П17, записывают в БП 18 в виде параметра S, соответствующего данной величине концентрации водорода. После измерения, по меньшей мере, пяти значений концентраций водорода строят калибровочную зависимость величины параметра S от концентрации водорода в тестирующей камере, которую сохраняют в БП 18.
Настоящее устройство для обнаружения водорода работает следующим образом. Устройство устанавливают рядом с контролируемым объектом и включают питание источника 1 ближнего ИК-излучения (например, светодиода), излучение которого направляют на чувствительный элемент 3. В присутствии в окружающем пространстве водорода чувствительный элемент 3 вырабатывает электрический сигнал, который усиливается У 14. Далее усиленный сигнал поступает на НФ 15, который отсекает импульсные и высокочастотные помехи и наводки. С выхода НФ 15 низкочастотный сигнал поступает в АЦП 16, а затем оцифрованный сигнал S подают на вход П 17. В П 17 оцифрованный сигнал S сравнивается со значениями S калибровочной зависимости параметра S от концентрации водорода, записанной в БП 18. Полученное количественное значение концентрации водорода фиксируется Р 19.
Пример. Был изготовлен опытный образец устройства для обнаружения водорода. Устройство включало источник ближнего ИК-излучения в виде светодиода (длина А волны излучения 0,9 мкм, марка АЛ-107), малошумящий операционный усилитель ADA4841-1 (фирма Analog Device) и микроконтроллер ADuC7026BSTZ той же фирмы. В состав микроконтроллера входят многоканальный 12-ти разрядный АЦП и блок памяти.
Сравнительные испытания опытного образца устройства для обнаружения водорода и известного устройства-прототипа показали, что опытный образец устройства для обнаружения водорода имеет точность 0,1% в области порога опасной концентрации (~4,7%), что превышает на 3 порядка точность количественного измерения концентрации водорода в окружающей среде устройством-прототипом.
Claims (4)
1. Устройство для обнаружения водорода, включающее источник ближнего ИК-излучения, чувствительный элемент и измерительное устройство, чувствительный элемент выполнен в виде пластины из монокристаллического фосфида индия InP n-типа проводимости, по меньшей мере на центральную область первой поверхности которой последовательно нанесены слой анодного оксида индия и фосфора, слой палладия и первый омический электрод, на вторую поверхность пластины нанесен второй омический электрод, источник ближнего ИК-света оптически соединен с чувствительным элементом, а первый и второй омические электроды подключены к измерительному устройству, отличающееся тем, что измерительное устройство содержит последовательно соединенные усилитель, низкочастотный фильтр, аналого-цифровой преобразователь и процессор, блок памяти и регистратор, при этом вход/выход процессора соединен с входом/выходом блока памяти, а выход процессора подключен к входу регистратора.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что на периферийную область первой поверхности чувствительного элемента нанесен диэлектрический слой из нитрида кремния Si3N4.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что регистратор выполнен в виде дисплея.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что регистратор выполнен в виде цифрового индикатора.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018116457U RU181295U1 (ru) | 2018-05-03 | 2018-05-03 | Устройство для обнаружения водорода |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018116457U RU181295U1 (ru) | 2018-05-03 | 2018-05-03 | Устройство для обнаружения водорода |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU181295U1 true RU181295U1 (ru) | 2018-07-09 |
Family
ID=62813772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018116457U RU181295U1 (ru) | 2018-05-03 | 2018-05-03 | Устройство для обнаружения водорода |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU181295U1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2094795C1 (ru) * | 1996-08-02 | 1997-10-27 | Институт химии твердого тела и переработки минерального сырья СО РАН | Чувствительный элемент электрохимического датчика парциального давления водорода в газовых смесях |
| RU7507U1 (ru) * | 1997-10-06 | 1998-08-16 | Леонид Владимирович Илясов | Детектор водорода |
| RU2371713C2 (ru) * | 2007-11-07 | 2009-10-27 | Некоммерческая организация Институт проблем химической физики Российской академии наук (статус государственного учреждения) (ИПХФ РАН) | Сенсор для детектирования водорода и способ его изготовления |
| EP2362216A1 (en) * | 2010-02-27 | 2011-08-31 | Karlsruher Institut für Technologie | Carbon nanotube SB-FET hydrogen sensor and methods for its manufacture and operation |
| RU166907U1 (ru) * | 2016-06-21 | 2016-12-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Устройство для обнаружения водорода |
-
2018
- 2018-05-03 RU RU2018116457U patent/RU181295U1/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2094795C1 (ru) * | 1996-08-02 | 1997-10-27 | Институт химии твердого тела и переработки минерального сырья СО РАН | Чувствительный элемент электрохимического датчика парциального давления водорода в газовых смесях |
| RU7507U1 (ru) * | 1997-10-06 | 1998-08-16 | Леонид Владимирович Илясов | Детектор водорода |
| RU2371713C2 (ru) * | 2007-11-07 | 2009-10-27 | Некоммерческая организация Институт проблем химической физики Российской академии наук (статус государственного учреждения) (ИПХФ РАН) | Сенсор для детектирования водорода и способ его изготовления |
| EP2362216A1 (en) * | 2010-02-27 | 2011-08-31 | Karlsruher Institut für Technologie | Carbon nanotube SB-FET hydrogen sensor and methods for its manufacture and operation |
| RU166907U1 (ru) * | 2016-06-21 | 2016-12-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Устройство для обнаружения водорода |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Brilmyer et al. | Photothermal spectroscopy | |
| US20180164263A1 (en) | Optochemical sensor | |
| JP2011149954A (ja) | 入力ガス流中の不純物の濃度レベルを測定する装置およびその方法、入力ガス流中の酸素の濃度レベルを測定する装置およびその方法 | |
| CN101021503A (zh) | 丝网印刷电极及制备工艺和传感器及检测方法 | |
| KR101488438B1 (ko) | 전기화학식 가스 센서 | |
| CA2527498C (en) | Total organic carbon (toc) analyzer | |
| RU181295U1 (ru) | Устройство для обнаружения водорода | |
| JP2009507219A (ja) | 酸化ジルコニウム発光酸素センサー | |
| KR20110120035A (ko) | 휘발성 유기화합물 가스 감지장치 및 이를 이용한 휘발성 유기화합물 가스 감지방법 | |
| CN116893154A (zh) | 一种四通道红外气体传感器抗干扰检测方法 | |
| Kocache | Gas sensors | |
| CN116893153A (zh) | 一种红外气体传感器及红外气体传感器抗干扰检测方法 | |
| RU166907U1 (ru) | Устройство для обнаружения водорода | |
| JPH02195248A (ja) | ガス状又は液体内に溶解した物質を検出するドジメータ | |
| CN212111124U (zh) | Ndir检测水蒸气浓度传感器及绝对湿度检测器 | |
| CN102507452B (zh) | 光学晶体气体检测系统及多孔硅褶皱光学晶体的制备方法 | |
| Xie et al. | A Solid‐State Ozone Sensor Based on Solid Polymer Electrolyte | |
| CN211927764U (zh) | 一种适用于多种气体的快速气体定量检测装置 | |
| Chen et al. | Fabrication of an electrically heated indium-tin-oxide electrode for electrochemiluminescent detection system | |
| Cohn | Instrument for Continuous Measurement of Low Concentrations of Oxygen in Gases | |
| Chen et al. | Dissolved oxygen detection based on light-to-frequency conversion | |
| RU200760U1 (ru) | Датчик кислорода погружной | |
| JP3387611B2 (ja) | Ｃｏガスセンサーおよびｃｏガス検出方法 | |
| Lindqvist | A differential galvanic atmospheric ozone monitor | |
| Schambach et al. | Micromachined mercury sensor |