RU1812079C - Вибрационный доводочный станок - Google Patents

Abstract

Использование: дл  притирки тонких и хрупких деталей, например полупроводни .-. 2 ... . : - .. крвых пластин. Сущность изобретени : электромагнитные вибровозбудители сообщают соосным доводочным дискам, установленным на упругих стержн х, антифазные круговые колебани . На обоих антифазно колеблющихс  дисках собсно закреплены два кольца, а на водиле установлен жесткий обод с возможностью одновременных контактов с обоими приводными кольцами через фрикционные упругие элементы. 4 ил.

Description

; Изобретение относитс  к станкостроению и может быть использовано в электронном машиностроении дл  2-сторонней обработки полупроводниковых пластин- подложек.:

Цель изобретени  - повышение качества обработки,

На фиг,1 изображен вибрационный доводочный станок, общий вид. на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; фиг.З и фиг. 4 - схема усилий, действующих в точках контакта колец с кожухом.

Вибрационный доводочный станок содержит соосно расположенные верхний 1 нижний 2 доводочные диски, установленные на соответствующих упругих системах из вертикальных цилиндрических стержней 3 и 4, верхние концы которых жестко св заны с фланцами 5 и 6, а нижние закреплены в общем основании 7.

В нижней части упругих систем, граничной с основанием, на цилиндрических стержн х 3 и 4 жестко закреплены фланцы 8 и 9 с установленными на них элементами виб- ровозбудителей круговых колебаний .-  кор ми и электромагнитами, выполненными из одинаковых магнитоироводов 10 и катушек с обмотками 11. Нижний доводочный - диск крепитс  непосредственно к фланцу 6, а верхний соединен с фланцем 5 посредст-. вом труб 12 и плоской фасонной пружины 13. Периферийна  часть пружины 13 жестко прикреплена к диску, а центральна  - к конической втулке 14. присоединенной к трубе 12 посредством цанги 15 с зажимной гайкой 16.. - . .На обеих антифазно колеблющихс  массахсоосно закреплены два кольца; кольцо 18, закрепленное на доводочном диске 2, и кольцо 19, прикрепленное к фланцу 5 посредством кронштейнов 20. Кольца 18 и 19, снабженные ободами из фрикционного упругого материала охватывает кольцевой кожух 21, к которому прикреплено водило 22 с отверсти ми дл  обрабатываемых деталей. Кожух 21 размещен с возможностью взаимодействи  с каждым из колец 18 и 19 в диаметрально расположенных точках через фрикционные упругие ободы 23.

Вибрационный доводочный станок работает следующим образом. На нижний доводочный диск 2 при сн том верхнем диске 1 устанавливаетс  водило 22 с жестким кольцевым кожухом 21. В водиле размещэСО

С

00

N2

о

Ч|

ч

ют подлежащие обработке детали - пластины . На центральную трубу 12 надевают верхний доводочный диск 1 и закрепл ют на трубе посредством цангового зажима 16. Обработка ведетс  алзмано-абразивной пастой , наносимой на рабочие поверхности доводочных дисков.

При включении электромагнитных вибровозбудителей 10 на фланцы 8 и 9 воздействуют силы, возбуждающие круговые антифазные колебани  доводочных дисков, прус которых кольца 18 и 19 контактируют через фрикционный упругий обод 23 с рабочей поверхностью жёсткого кольцевого кожуха 21 в диаметрально противоположных точках (фиг.З).

Внутренний диаметр кожуха 21 ограничивает возможность радиальных перемещений колец 18 и 19 б противоположные стороны, а следовательно, возможность возрастани  св занных с ними амплитуд колебаний дисков. Величина амплитуды возбуждающей силы вибровозбудител :

М - А -да2

ц-г

а величина амплитуды колебаний доводочных диско в

M-F d-N fd,

где F - сша трени ; d - диаметр жесткого кожуха; М- сила нормального давлени ; f - коэффициент трени .

8 следующую четверть периода силы нормального давлени , как и силы трени , будут приложены к точкам жесткого кожуха,

13 ч 5. Я б $

смещенным на 90°, как показано на фиг.4, и образуют крут щий момент такой же величины и направлени , как и в предыдущем случае.

Жесткий кольцевой кожух 21, ограничива  возможность возрастани  амплитуд, стабилизирует колебани  доводочных дисков , что обеспечивает повышение качества обработки на 10-15%, а также, позвол  

настраивать систему ближе к резонансу, снижает потребл емую мощность и повышает КПД станка. Одновременно стабилизируетс  вращение водила и повышаетс  в 2 раза крут щий момент по сравнению с

величиной крут щего момента, имеющемс  в конструкции по основному изобретению.

0

В

0

Формула, изобретен и   Вибрационный доводочный станок, содержащий закрепленные на упругих стержн х , два соосных доводочных диска, расположенные на стержн х вибровозбудители круговых колебаний и водило дл  обрабатываемой детали, отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества обработки , станок снабжен двум  кольцами с внешними ободами из фрикционного упругого материала, установленными на соответствующих дисках, и охватывающим кольца и размещенным с возможностью взаимодействи  с каждым из них в диаметрально расположенных точках кожухом, предназначенным дл  закреплени  на водило дл  обрабатываемой детали.

фиг. ч.

Редактор

Составитель В. Повидайло

Техред М.МоргенталКорректор С. Лисина