RU1798834C - Способ контрол чипов на пластине - Google Patents

Abstract

Использование: Изобретение относитс  к электронно-лучевому контролю изделий микроэлектроники, Целью изобретени   в-. 2 л етс  повышение производительности процесса контрол  чипов на пластине за счет исключени  операции кривизны координат растра к координатам топологии исследуемого чипа. Сущность изобретени : во врем  контрол  чипа пластину жестко фиксируют относительно электронно-оптцче- ской системы, а переход от одного участка поверхности чипа к следующему осуществ- л кэт путем перемещени  анализатора энергии электронов относительно неподвижной пластины в направлении движени  электронного пучка, перемещающегос  от узла к узлу. Искомые величины определ ютс  по спектральным характеристикам вторично-эмиссионного сигнала.

Description

Изобретение относитс  к области электронно-лучевого технологического контрол  изделий микроэлектроники.

Целью изобретени   вл етс  повышение производительности способа, ..... Примером конкретного выполнени  способа  вл етс  процедура контрол  распределений потенциалов в электрических цеп х, чипов дл  ИС К133.

Кремниевую пластину устанавливают в объёктодержатель и совмещают центр первого контролируемого участка первого чипа с центром приемного окна анализатора. Далее опускают на пластину зондовую головку до образовани  омических контактов между зондами головки и контактными площадками чипа. После этого, сканируют поверхность чипа электронным пучком; регистрируют видеосигнал топологии участка чипа и по видеосигналу определ ют координаты тестируемых узлой, лежащих в пределах первого участка. Подают через зондо- вую головку на чип питающие и рабочие напр жени  и начинают последовательное зондирование узлов, постепенно перемеща  пучок в сторону следующего контролируемого участка, Причем при облучении каждого узла измер ют величину сдвига спектра вторичных электронов и определ ют по этой величине потенциал узла. Одновременно с этим, по мере перемещени  пучка, осуществл ют перемещение анализатора энергий электронов. И так до тех пор, пока все участки поверхности чипа не будут просканированы и протестированы. Затем осуществл ют переход К следующему чипу и повтор ют всю последовательность операций/:

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ контрол ,чипов на пластине, включающий размещение пластины относительно анализатора энергий электронов,

   ел

   с

   41 о

   00

   00

   о

   4

   подачу на контактные площадки чипа питающих и рабочих напр жений, формирование с пбмощыд электронно-оптической системы электронным пучком растра на поверхности чипа, расположенной в пределах приемной апертуры анализатора энергии электронов, последовательное облучение электронным пучком контролируемых узлов электрической цепи чипа, лежащих в пределах участка поверхности, ограниченного приемнрй апертурой анализатора, регистт рацию спектральных характеристик вторич- нб-эмибсионнрго сйгн& а, определение rto зарегистрированным данным искомых ве

   личин и переход к следующему участку поверхности чипа путем относительного перемещени  пластины и анализатора энергий электронов, отличающийс  тем, что, с целью повышени  производительности способа, во врем  контрол  чипа пластину жестко фиксируют относительно электр6н но-рптической системы, а переход от одного участка поверхности чипа к следующему осуществл ют путем перемещени  анализатора энергии электронов относительно неподвижной пластины в направлении электронного пучка, перемещающегос , от узла к узлу.