RU1789894C - Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени - Google Patents

Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени

Info

Publication number
RU1789894C
RU1789894C SU914912139A SU4912139A RU1789894C RU 1789894 C RU1789894 C RU 1789894C SU 914912139 A SU914912139 A SU 914912139A SU 4912139 A SU4912139 A SU 4912139A RU 1789894 C RU1789894 C RU 1789894C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
piezoelectric
disks
bag
metal
Prior art date
Application number
SU914912139A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Николаевич Марин
Николай Николаевич Мордовин
Валентин Николаевич Кузин
Наталья Николаевна Катана
Original Assignee
Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт физических измерений filed Critical Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority to SU914912139A priority Critical patent/RU1789894C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1789894C publication Critical patent/RU1789894C/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в производстве пьезоэлектрических датчиков, предназначенных дл  измерени  быстропеременных давлений. Цель изобретени  - повышение технологичности . Сущность изобретени : способ осуще- ствл етс  следующим образом. На основание 1 устанавливаетс  прокладка 2, на которую затем поочередно устанавливаютс  металлические диски 3 и пьезоэлектрические диски 4. На собранный пакет уста- навливаетс  виброгруз, к которому прикладываетс  усилие, равное по величине усилию защемлени  пакета в собранном изделии . При действии указанного усили  металлические диски 3 и токосъемники 5 в местах креплени  (в местах контактировани ) сваривают друг с другом. Далее внутреннюю высоту корпуса подгон ют к высоте набранного пакета с учетом величины нат га мембраны, затем корпус поджимают к основанию 1 за счет специального приспособлени  и выполн ют сварочный шов. Способ изготовлени  гарантирует надежный электрический контакт в местах креплени  металлических электродов 3 с токосъемниками 5, за счет чего существенно повышаетс  надежность в работе пьезоэлектрических датчиков быстропеременного давлени , особенно в услови х воздействи  различного рода механических факторов, 1 с.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано при производстве пьезоэлектрических датчиков, предназначенных дл  измерени  быстропеременных, ударных и акустических давлений, а также дл  измерени  параметров вибраций.
Известен способ изготовлени  пьезоэлектрического датчика давлени , заключающийс  в сборке пакета из чередующегос  набора пьезоэлектрических и металлических пластин. Металлические пластины - электроды в набранном пакете поворачива- юттаким образом, чтобы выступы с пластин, имеющих одинаковую пол рность, были повернуты в одну сторону, а выступы с пластин другой пол рности были повернуты в противоположную сторону. Далее к торцам одно- именных выступов креп т по одному проводнику боковому и на этом процесс сборки заканчиваетс .
Недостатком данного способа  вл етс  смещение при сборке пьезоэлектрических и металлических пластин относительно центральной оси датчика, что отражаетс  как на чувствительности измерени , так и на надежности работы изготавливаемых приборов .
Известен способ изготовлени  пьезоэлектрического элемента, заключающийс  в
VJ 00 Ю 00 Ю N
том, что собирают пакет из чередующихс  пьез одйскови металлических дисков. Пред- варительно-на обе стороны каждого пьезо- диска нанос т электроды, а при укладке в пакет металлические диски поджимают к данным электродам. Учитыва  то, что каждый из металлических дисков имеет по два выступа, при укладке в пакет смежные ме- таллическйедиски располагают таким образом , чтобы .выступы каждого следующего диска были подвернуты по отношению к выступам предыдущего на 90°. Далее выступающие участки изгибают под пр мым углом так, чтобы выступы одного р да соприкасались друг с другом и в местах соприкосновени  выступы сваривают и соедин ют за счет дополнительных проводников (токосъемников ) с измерительной схемой. Данный способ исключает случайные радиальные смещени  пьезодисков, в результате которых могли бы происходить короткие замыкани  между смежными металлическими дисками.
Недостатком способа  вл етс  то, что он не обеспечивает высокой надежности работы изготавливаемых приборов. Это обусловлено тем, что по данному способу после сварки токосъемников с выступами метал- личёе ких дисков и последующем закреплений пьезоэлектрического элемента в корпусе, в местах сварки могут возникать значительные механические напр жени , вызванные поджимом чувствительного элемента при сборке. Усилие при ст гивании корпуса с основанием; при котором осуществл етс  поджим чувствительного элемента , будет одновременно передаватьс  как на пакет из пьезоэлектрических и металлических дисков, Так и на сварные соединени  токосъемников с выступами металлических дисков, что приведет к их деформации, нарушению механического контакта и последующему обрыву схемы, особенно при воздействии значительных механических воздействий (вибрации, ударов и т.д.). ,
Изобретение направлено на повышение технологичности за счет увеличени  надежности изготавливаемых приборов.
Согласно изобретению в способе изготовлени  пьезоэлектрического датчика давлени , заключающемс  в сборке чувствительного элемента путем поочередной укладки пьезоэлектрических и металлических дисков в пакет, ориентировании металлических диско в в пакете, сварке металлических дисков с жестко закрепленными в основании Токосъемниками, защемлении чувствительного элемента между мембраной и основанием и последующем закреплении корпуса датчика с основанием , перед сваркой металлических дисков с токосъемниками, производ т поджа- тие чувствительного элемента к основанию с усилием, равным усилию защемлени  чувствительного элемента между мембраной и основанием, а после окончани  сварки нагрузку с чувствительного элемента снимают .
Поджатие пьезоэлектрического элемента позвол ет исключить механические напр жени  в местах сварки и тем самым предотвратить про вление возможных при эксплуатации датчика дефектов.
Усилие поджати  при сварке не должно
5 быть меньше усили  защемлени  чувствительного элемента между мембраной и основанием датчика при сборке, иначе напр женное состо ние в местах сварки при сборке до конца не исключаетс , а зна0 чит,остаетс  возможность про влени  рассматриваемых дефектов, хот  и в значительно меньшей мере, чем в прототипе . Если же усилие поджати  пьезопакета при сварке будет наоборот больше усили 
5 защемлени  чувствительного элемента при сборке, то может произойти нарушение целостности пьезочувствительного элемента (в виде разрушени  отдельных пьезопла- стин) непосредственно на данной техноло0 гической операции. Следовательно, оптимальной нагрузкой будет  вл тьс  нагрузка , равна  усилию защемлени  чувствительного элемента при сборке.
На фиг.1-3 изображены основание 1,
5 прокладки 2, металлические диски 3, пьезоэлектрические диски 4, жесткие токосъемники 5, виброгруз 6, места 7 креплени  металлических дисков Зс токосъемниками 5, корпус 8, мембрана 9, сварной шов 10
0 корпуса 8 с основанием 1.
Сборка чувствительного элемента приведена на фиг.1 и осуществл етс  следующим образом. На основание 1 устанавливаетс  прокладка 2, на которую
5 поочередно устанавливаютс  металлические диски 3 и пьезоэлектрические диски 4, Указанные диски собираютс  в пакет и ориентируютс  в нем с помощью специальных направл ющих, которыми  вл ютс  жест0 кие токосьемники 5, герметично закрепленные в основании 1. Далее на собранный пакет дисков устанавливаетс  виброгруз 6 (см. фиг.2), к которому прикладываетс  усилие Рнагр., равное по величине усилию за5 щемлени  чувствительного элемента в собранном изделии. Данным усилием набранный пакет поджимаетс  к основанию 1 и в поджатом состо нии пакета металлические диски 3 с токосъемниками 5 в местах креплени  7 сваривают друге другом. Оконнательна  сборка готового издели  представлена на фиг.З. Перед установкой корпуса 8 на основание 1, внутреннюю высоту корпуса 8 подгон ют под размер высоты набранного пакета с виброгрузом 6, с учетом величины нат га мембраны 9 (т.е. высота пакета должна быть больше внутренней высоты корпуса 8 на величину необходимого нат га мембраны 9). Последней сборочной операцией  вл етс  выполнение заключительного сварного шва 10, обеспечивающего герметичное соединение корпуса 8 с основанием 1. Данна  операци  обеспечиваетс  поджимом корпуса 8 к основанию 1 за счет специального приспособ0
лени . После окончани  сварки шва 10 и сн ти  усили  с корпуса 8, металлические диски 3 и пьезоэлектрические диски 4 оказываютс  плотно поджатыми друг к другу и к основанию 1, однако в местах сварки токосъемников 5 с металлическими дисками 3 деформационные напр жени  в этом случае будут отсутствовать, что в свою очередь будет гарантировать надежный электрический контакт в местах креплени  7.
. Изобретение позвол ет повысить механическую надежность, увеличить ресурс работы , расширить эксплуатационные возможности за счет использовани  прибора в услови х механических воздействий.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ изготовлени  пьезоэлектрического датчика давлени , заключающийс  в сборке чувствительного элемента путем поочередной укладки пьезоэлектрических и металлических дисков в пакет, ориентировании металлических дисков в пакете, сварке металлических дисков с жестко закрепленными в основании токосъемниками , защемлении чувствительного элемента между мембраной и основанием и последующем закреплении корпуса датчика с основанием , отличающийс  тем, что, с цёль ю повышени  технологичности за счет увеличени  надежности изготавливаемых Приборов, перед сваркой металлических дисков с токосъемниками, производ т поджа- тие чувствительного элемента к основанию с усилием, равным усилию защемлени  чувствительного элемента между мембраной и основанием, а после окончани  сварки нагрузку с чувствительного элемента снимают .
    фиг.)
    Редактор Т.Иванова
    Составитель А.Кулакова Техред М.Моргентал
    ва
    iilHKiii s
    . 3
    /0
    Корректор И.Шмакова
SU914912139A 1991-02-19 1991-02-19 Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени RU1789894C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914912139A RU1789894C (ru) 1991-02-19 1991-02-19 Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914912139A RU1789894C (ru) 1991-02-19 1991-02-19 Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1789894C true RU1789894C (ru) 1993-01-23

Family

ID=21560998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU914912139A RU1789894C (ru) 1991-02-19 1991-02-19 Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1789894C (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103353364A (zh) * 2013-06-20 2013-10-16 西安交通大学 一种具有形变补偿功能的载荷传感器
CN105491967A (zh) * 2013-11-14 2016-04-13 美国奥林匹斯外科技术吉鲁斯阿克米公司 反馈依赖的碎石能量传递

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
За вка JP № 62-200778, кл. Н 01 L 41/08, 1987. Патент US № 4752712, кл. Н 01 L 41/08, 1988. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103353364A (zh) * 2013-06-20 2013-10-16 西安交通大学 一种具有形变补偿功能的载荷传感器
CN105491967A (zh) * 2013-11-14 2016-04-13 美国奥林匹斯外科技术吉鲁斯阿克米公司 反馈依赖的碎石能量传递

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5031460A (en) Transducer for detecting pressure changes in pipes
US4620446A (en) Acceleration responsive transducers
US3899766A (en) Pressure transducer
JPH0765919B2 (ja) 容器の所定充填レベルを確認/監視する装置
EP0546480A1 (en) Accelerometer
RU1789894C (ru) Способ изготовлени пьезоэлектрического датчика давлени
US3429031A (en) Method of assembling a force transducer
EP0179873B1 (en) Method for producing a controlled preload on a transducer assembly
KR20010013584A (ko) 압력 케이스를 구비한 진동 검출기
US20200309811A1 (en) Charge output device, assembly method thereof and piezoelectric acceleration sensor
JPH0623780B2 (ja) 半導体加速度センサの製造方法
WO2013074331A1 (en) Improved piezo sensor
EP0485553A1 (en) Preload system for accelerometer
JP3141745B2 (ja) 加速度センサ
JP3584790B2 (ja) ロードセルの製造方法
JP3614043B2 (ja) ロードセル
JP3153360B2 (ja) 衝撃検知センサ
US6247364B1 (en) Acceleration transducer and method
SU1760413A1 (ru) Датчик давлени
RU2029416C1 (ru) Многослойный пьезоэлектрический элемент
JP3059040B2 (ja) 超音波振動子、超音波モータ及び超音波モータを備えた装置
US3418854A (en) Diaphragm type instrument
JPH05133828A (ja) 圧力変換装置とその製造方法
KR20020065561A (ko) 압력 하우징을 갖는 진동 센서
JP2000214041A (ja) 圧力センサ