RU174676U1 - Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники - Google Patents
Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники Download PDFInfo
- Publication number
- RU174676U1 RU174676U1 RU2017105690U RU2017105690U RU174676U1 RU 174676 U1 RU174676 U1 RU 174676U1 RU 2017105690 U RU2017105690 U RU 2017105690U RU 2017105690 U RU2017105690 U RU 2017105690U RU 174676 U1 RU174676 U1 RU 174676U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- heat
- electronics
- polyvinyl acetate
- thermally conductive
- cooling
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/52—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
- C04B35/521—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite obtained by impregnation of carbon products with a carbonisable material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3732—Diamonds
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области технологии микроэлектроники и может быть использована для изготовления теплопроводящих прокладок, соединяющих активные элементы изделий электроники с радиаторами их охлаждения. Предложено использовать предварительное соединение в друзы в матрице из слоя карбонизованного поливинилацетата исходных дисперсных алмазов. Технический результат - теплопроводность исходного слоя поливинилацетата, содержащего дисперсные алмазы, увеличивается в 6,7 раза при сохранении пластичности, что при дальнейшем использовании увеличивает площадь поверхности теплового контакта изделий электроники с радиаторами. 2 ил.
Description
Полезная модель относится к области технологии микроэлектроники, а более конкретно, к получению теплопроводящих материалов, сочетающих высокую теплопроводность с низкой электропроводностью и способных использоваться в качестве прокладок между выделяющим тепло активным изделием электроники (ИЭ) и радиатором его охлаждения. Классические металлы непригодны для выполнения поставленной задачи, поскольку перенос тепла и электрического тока осуществляется транспортом электронов. Это означает, что при повышении теплопроводности в той же степени будет увеличена электропроводность, что для многих ИЭ является неприемлемым.
Известен способ получения теплопроводящих прокладок, материал которых содержит алмазный композит (по патенту US 3348918, 1967) [1], включающий нагрев смеси алмазов с порошком графита в окислительной среде с присутствием катализатора. При использовании температуры 250°С в течение 100 ч никаких существенных изменений в свойствах исходного алмаза не было обнаружено.
Известен способ получения теплопроводящей прокладки (по патенту US 4104344, 1987) [2], включающий прессование порошка алмазов в смеси с порошками меди или окиси бериллия с последующей термообработкой. В первом случае электропроводность композита была недопустимо высокой. При использовании второго варианта необходимо учитывать, что все без исключения соединения бериллия признаются токсичными и не допускаются к использованию в продукции гражданского назначения.
Известна теплопроводящая прокладка на основе керамики AIN (по патенту US 4659611, 1987) [3]. Недостатком этого материала является низкая теплопроводность: 40 W/(m×K), что сопоставимо с теплопроводностью искусственного сапфира, который по этой причине не рассматривается в качестве материала для прокладок охлаждения ИЭ.
Известна многослойная алмазная прокладка для охлаждения ИЭ (по патенту US 5391914, 1995) [4]. Она наиболее эффективна по сравнению с перечисленными выше вариантами, но ее изготовление сопряжено со значительными техническими трудностями, в связи с чем ее себестоимость может быть неприемлемо высокой.
Наиболее близким к заявляемому и принятым за прототип является теплопроводящая прокладка, содержащая алмазный композит, цементированный кремнием и карбидом кремния (по патенту US 2010149756 А1, 2010) [5]. Композит содержит 3 фазы: алмаз в форме порошка, частицы карбида кремния и непрореагировавший кремний. Недостатками решения [5] являются высокие твердость и хрупкость получаемого материала, а также использование электропроводящего внешнего корпуса из графита (металла), что может приводить к утечкам тока от ИЭ к охлаждающему радиатору и нарушениям работы ИЭ.
Главными отличительными признаками заявляемой полезной модели являются создание теплопроводящей прокладки без внешнего корпуса, использование недорогого порошка технических алмазов и поливинилацетата в качестве консолидирующего компонента.
Технический результат, на достижение которого направлено заявляемая полезная модель, состоит в создании теплопроводящей прокладки из композиционного материала, сочетающего относительно высокую теплопроводность с низкой электропроводностью, а также доступного в компактной форме и способному к дальнейшей механической обработке. Важной характеристикой заявляемого материала является его пластичность после удаления подложки кремния.
Радиаторы внешнего охлаждения контактируют с ИЭ по поверхности, образованной ребрами или иглами, поэтому использование твердых и хрупких прокладок затруднено. Теплопроводящие пасты способны увеличить площадь поверхности контакта ИЭ с радиатором, но их теплопроводность невелика (от 1 до 2,5 W/(m×K)), кроме того она резко снижается после высыхания пасты.
Для достижения названного технического результата теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники включает композиционный материал на основе дисперсных алмазов, предварительно соединенных в друзы путем термической обработки в среде углеводородов в присутствии электрического поля. Матрицей композита является слой карбонизованного поливинилацетата, придающего материалу пластичность.
При этом исходные кристаллы алмаза увеличиваются и сращиваются в кристаллические друзы, что приводит к увеличению теплопроводности в 6,7 раз до значения 92,8 W/(mK). Удельное электрическое сопротивление получаемого материала составляет 0,4 Ом×см, что приемлемо для теплопроводящих прокладок указанного назначения.
Результаты дифракции рентгеновских лучей на полученном композиционном материале, подтверждающие наличие алмазов, приведены на Фиг. 1.
На Фиг. 2 приведены результаты измерения теплопроводности полученного материала: 1 - исходные алмазы в слое поливинилацетата; 2 - тот же слой после проведения рекристаллизации алмазов в среде углеводородов при наличии внешнего электрического поля. Теплопроводность увеличилась в 6,7 раза.
Claims (1)
- Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники, включающая композиционный материал на основе дисперсных алмазов, отличающаяся тем, что исходные дисперсные алмазы предварительно соединены в друзы в матрице из слоя карбонизованного поливинилацетата.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017105690U RU174676U1 (ru) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017105690U RU174676U1 (ru) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU174676U1 true RU174676U1 (ru) | 2017-10-25 |
Family
ID=60154158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017105690U RU174676U1 (ru) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU174676U1 (ru) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5391914A (en) * | 1994-03-16 | 1995-02-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Diamond multilayer multichip module substrate |
US6337513B1 (en) * | 1999-11-30 | 2002-01-08 | International Business Machines Corporation | Chip packaging system and method using deposited diamond film |
US20020023733A1 (en) * | 1999-12-13 | 2002-02-28 | Hall David R. | High-pressure high-temperature polycrystalline diamond heat spreader |
WO2004034466A2 (en) * | 2002-10-08 | 2004-04-22 | Element Six Limited | Heat spreader |
US20080029883A1 (en) * | 2002-10-11 | 2008-02-07 | Chien-Min Sung | Diamond composite heat spreaders having low thermal mismatch stress and associated methods |
US20080148570A1 (en) * | 2005-11-07 | 2008-06-26 | 3M Innovative Properties Company | Structured thermal transfer article |
US20100149756A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-17 | David Rowcliffe | Heat spreader |
-
2017
- 2017-02-20 RU RU2017105690U patent/RU174676U1/ru active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5391914A (en) * | 1994-03-16 | 1995-02-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Diamond multilayer multichip module substrate |
US6337513B1 (en) * | 1999-11-30 | 2002-01-08 | International Business Machines Corporation | Chip packaging system and method using deposited diamond film |
US20020023733A1 (en) * | 1999-12-13 | 2002-02-28 | Hall David R. | High-pressure high-temperature polycrystalline diamond heat spreader |
WO2004034466A2 (en) * | 2002-10-08 | 2004-04-22 | Element Six Limited | Heat spreader |
US20080029883A1 (en) * | 2002-10-11 | 2008-02-07 | Chien-Min Sung | Diamond composite heat spreaders having low thermal mismatch stress and associated methods |
US20080148570A1 (en) * | 2005-11-07 | 2008-06-26 | 3M Innovative Properties Company | Structured thermal transfer article |
US20100149756A1 (en) * | 2008-12-16 | 2010-06-17 | David Rowcliffe | Heat spreader |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106629675A (zh) | 一种高导热柔性石墨烯薄膜的制备方法 | |
TW201043593A (en) | Alumina sintered body, method for manufacturing the same, and semiconductor manufacturing apparatus member | |
TW200836596A (en) | Methods and devices for cooling printed circuit boards | |
JP2019064899A5 (ru) | ||
JP2019068037A5 (ru) | ||
RU174676U1 (ru) | Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники | |
JP2010208871A (ja) | 酸化アルミニウム焼結体、その製法及び半導体製造装置部材 | |
CN110352182B (zh) | 半导体制造装置用加热器 | |
JPS60112671A (ja) | 反応性環境に直接さらされるに適した安定な導電性要素 | |
CN103222046B (zh) | 电子电路以及散热部 | |
TW201910266A (zh) | 鎂系熱電變換材料、鎂系熱電變換元件、及鎂系熱電變換材料之製造方法 | |
CN106455442B (zh) | 一种超薄石墨烯高导复合材料 | |
JP6155060B2 (ja) | 放熱基板の製造方法 | |
JP2010118502A (ja) | 放熱構造 | |
JPH0313190B2 (ru) | ||
JP2014179415A5 (ja) | 放熱基板の製造方法 | |
TW200423209A (en) | Wafer holder for semiconductor manufacturing device and semiconductor manufacturing device in which it is installed | |
JP2549307B2 (ja) | 熱電材料 | |
JP4386799B2 (ja) | ヒートシンク | |
Kim et al. | Fabrication and Characterization of Thermoelectric Thick Film Prepared from p-Type Bismuth Telluride Nanopowders | |
JP2009295894A (ja) | 放熱構造の製造方法及び放熱構造 | |
JP3486745B2 (ja) | プレートヒーターとその製造方法 | |
Madre et al. | High mechanical and thermoelectric performances in hot-pressed CdO | |
JP2007051345A (ja) | クラスレート化合物及びそれを用いた熱電変換素子 | |
JPS60155572A (ja) | 熱伝導性の優れた炭化けい素焼結体の製造法 |