RU174676U1 - Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники - Google Patents

Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники Download PDF

Info

Publication number
RU174676U1
RU174676U1 RU2017105690U RU2017105690U RU174676U1 RU 174676 U1 RU174676 U1 RU 174676U1 RU 2017105690 U RU2017105690 U RU 2017105690U RU 2017105690 U RU2017105690 U RU 2017105690U RU 174676 U1 RU174676 U1 RU 174676U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
heat
electronics
polyvinyl acetate
thermally conductive
cooling
Prior art date
Application number
RU2017105690U
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Константинович Брантов
Виктор Борисович Ефимов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН)
Priority to RU2017105690U priority Critical patent/RU174676U1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU174676U1 publication Critical patent/RU174676U1/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/52Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite
    • C04B35/521Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbon, e.g. graphite obtained by impregnation of carbon products with a carbonisable material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3732Diamonds
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области технологии микроэлектроники и может быть использована для изготовления теплопроводящих прокладок, соединяющих активные элементы изделий электроники с радиаторами их охлаждения. Предложено использовать предварительное соединение в друзы в матрице из слоя карбонизованного поливинилацетата исходных дисперсных алмазов. Технический результат - теплопроводность исходного слоя поливинилацетата, содержащего дисперсные алмазы, увеличивается в 6,7 раза при сохранении пластичности, что при дальнейшем использовании увеличивает площадь поверхности теплового контакта изделий электроники с радиаторами. 2 ил.

Description

Полезная модель относится к области технологии микроэлектроники, а более конкретно, к получению теплопроводящих материалов, сочетающих высокую теплопроводность с низкой электропроводностью и способных использоваться в качестве прокладок между выделяющим тепло активным изделием электроники (ИЭ) и радиатором его охлаждения. Классические металлы непригодны для выполнения поставленной задачи, поскольку перенос тепла и электрического тока осуществляется транспортом электронов. Это означает, что при повышении теплопроводности в той же степени будет увеличена электропроводность, что для многих ИЭ является неприемлемым.
Известен способ получения теплопроводящих прокладок, материал которых содержит алмазный композит (по патенту US 3348918, 1967) [1], включающий нагрев смеси алмазов с порошком графита в окислительной среде с присутствием катализатора. При использовании температуры 250°С в течение 100 ч никаких существенных изменений в свойствах исходного алмаза не было обнаружено.
Известен способ получения теплопроводящей прокладки (по патенту US 4104344, 1987) [2], включающий прессование порошка алмазов в смеси с порошками меди или окиси бериллия с последующей термообработкой. В первом случае электропроводность композита была недопустимо высокой. При использовании второго варианта необходимо учитывать, что все без исключения соединения бериллия признаются токсичными и не допускаются к использованию в продукции гражданского назначения.
Известна теплопроводящая прокладка на основе керамики AIN (по патенту US 4659611, 1987) [3]. Недостатком этого материала является низкая теплопроводность: 40 W/(m×K), что сопоставимо с теплопроводностью искусственного сапфира, который по этой причине не рассматривается в качестве материала для прокладок охлаждения ИЭ.
Известна многослойная алмазная прокладка для охлаждения ИЭ (по патенту US 5391914, 1995) [4]. Она наиболее эффективна по сравнению с перечисленными выше вариантами, но ее изготовление сопряжено со значительными техническими трудностями, в связи с чем ее себестоимость может быть неприемлемо высокой.
Наиболее близким к заявляемому и принятым за прототип является теплопроводящая прокладка, содержащая алмазный композит, цементированный кремнием и карбидом кремния (по патенту US 2010149756 А1, 2010) [5]. Композит содержит 3 фазы: алмаз в форме порошка, частицы карбида кремния и непрореагировавший кремний. Недостатками решения [5] являются высокие твердость и хрупкость получаемого материала, а также использование электропроводящего внешнего корпуса из графита (металла), что может приводить к утечкам тока от ИЭ к охлаждающему радиатору и нарушениям работы ИЭ.
Главными отличительными признаками заявляемой полезной модели являются создание теплопроводящей прокладки без внешнего корпуса, использование недорогого порошка технических алмазов и поливинилацетата в качестве консолидирующего компонента.
Технический результат, на достижение которого направлено заявляемая полезная модель, состоит в создании теплопроводящей прокладки из композиционного материала, сочетающего относительно высокую теплопроводность с низкой электропроводностью, а также доступного в компактной форме и способному к дальнейшей механической обработке. Важной характеристикой заявляемого материала является его пластичность после удаления подложки кремния.
Радиаторы внешнего охлаждения контактируют с ИЭ по поверхности, образованной ребрами или иглами, поэтому использование твердых и хрупких прокладок затруднено. Теплопроводящие пасты способны увеличить площадь поверхности контакта ИЭ с радиатором, но их теплопроводность невелика (от 1 до 2,5 W/(m×K)), кроме того она резко снижается после высыхания пасты.
Для достижения названного технического результата теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники включает композиционный материал на основе дисперсных алмазов, предварительно соединенных в друзы путем термической обработки в среде углеводородов в присутствии электрического поля. Матрицей композита является слой карбонизованного поливинилацетата, придающего материалу пластичность.
При этом исходные кристаллы алмаза увеличиваются и сращиваются в кристаллические друзы, что приводит к увеличению теплопроводности в 6,7 раз до значения 92,8 W/(mK). Удельное электрическое сопротивление получаемого материала составляет 0,4 Ом×см, что приемлемо для теплопроводящих прокладок указанного назначения.
Результаты дифракции рентгеновских лучей на полученном композиционном материале, подтверждающие наличие алмазов, приведены на Фиг. 1.
На Фиг. 2 приведены результаты измерения теплопроводности полученного материала: 1 - исходные алмазы в слое поливинилацетата; 2 - тот же слой после проведения рекристаллизации алмазов в среде углеводородов при наличии внешнего электрического поля. Теплопроводность увеличилась в 6,7 раза.

Claims (1)

  1. Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники, включающая композиционный материал на основе дисперсных алмазов, отличающаяся тем, что исходные дисперсные алмазы предварительно соединены в друзы в матрице из слоя карбонизованного поливинилацетата.
RU2017105690U 2017-02-20 2017-02-20 Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники RU174676U1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017105690U RU174676U1 (ru) 2017-02-20 2017-02-20 Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017105690U RU174676U1 (ru) 2017-02-20 2017-02-20 Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU174676U1 true RU174676U1 (ru) 2017-10-25

Family

ID=60154158

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017105690U RU174676U1 (ru) 2017-02-20 2017-02-20 Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU174676U1 (ru)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5391914A (en) * 1994-03-16 1995-02-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Diamond multilayer multichip module substrate
US6337513B1 (en) * 1999-11-30 2002-01-08 International Business Machines Corporation Chip packaging system and method using deposited diamond film
US20020023733A1 (en) * 1999-12-13 2002-02-28 Hall David R. High-pressure high-temperature polycrystalline diamond heat spreader
WO2004034466A2 (en) * 2002-10-08 2004-04-22 Element Six Limited Heat spreader
US20080029883A1 (en) * 2002-10-11 2008-02-07 Chien-Min Sung Diamond composite heat spreaders having low thermal mismatch stress and associated methods
US20080148570A1 (en) * 2005-11-07 2008-06-26 3M Innovative Properties Company Structured thermal transfer article
US20100149756A1 (en) * 2008-12-16 2010-06-17 David Rowcliffe Heat spreader

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5391914A (en) * 1994-03-16 1995-02-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Diamond multilayer multichip module substrate
US6337513B1 (en) * 1999-11-30 2002-01-08 International Business Machines Corporation Chip packaging system and method using deposited diamond film
US20020023733A1 (en) * 1999-12-13 2002-02-28 Hall David R. High-pressure high-temperature polycrystalline diamond heat spreader
WO2004034466A2 (en) * 2002-10-08 2004-04-22 Element Six Limited Heat spreader
US20080029883A1 (en) * 2002-10-11 2008-02-07 Chien-Min Sung Diamond composite heat spreaders having low thermal mismatch stress and associated methods
US20080148570A1 (en) * 2005-11-07 2008-06-26 3M Innovative Properties Company Structured thermal transfer article
US20100149756A1 (en) * 2008-12-16 2010-06-17 David Rowcliffe Heat spreader

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106629675A (zh) 一种高导热柔性石墨烯薄膜的制备方法
TW201043593A (en) Alumina sintered body, method for manufacturing the same, and semiconductor manufacturing apparatus member
TW200836596A (en) Methods and devices for cooling printed circuit boards
JP2019064899A5 (ru)
JP2019068037A5 (ru)
RU174676U1 (ru) Теплопроводящая прокладка для охлаждения изделий электроники
JP2010208871A (ja) 酸化アルミニウム焼結体、その製法及び半導体製造装置部材
CN110352182B (zh) 半导体制造装置用加热器
JPS60112671A (ja) 反応性環境に直接さらされるに適した安定な導電性要素
CN103222046B (zh) 电子电路以及散热部
TW201910266A (zh) 鎂系熱電變換材料、鎂系熱電變換元件、及鎂系熱電變換材料之製造方法
CN106455442B (zh) 一种超薄石墨烯高导复合材料
JP6155060B2 (ja) 放熱基板の製造方法
JP2010118502A (ja) 放熱構造
JPH0313190B2 (ru)
JP2014179415A5 (ja) 放熱基板の製造方法
TW200423209A (en) Wafer holder for semiconductor manufacturing device and semiconductor manufacturing device in which it is installed
JP2549307B2 (ja) 熱電材料
JP4386799B2 (ja) ヒートシンク
Kim et al. Fabrication and Characterization of Thermoelectric Thick Film Prepared from p-Type Bismuth Telluride Nanopowders
JP2009295894A (ja) 放熱構造の製造方法及び放熱構造
JP3486745B2 (ja) プレートヒーターとその製造方法
Madre et al. High mechanical and thermoelectric performances in hot-pressed CdO
JP2007051345A (ja) クラスレート化合物及びそれを用いた熱電変換素子
JPS60155572A (ja) 熱伝導性の優れた炭化けい素焼結体の製造法