RU173529U1 - Porthole of a vacuum chamber - Google Patents

Porthole of a vacuum chamber Download PDF

Info

Publication number
RU173529U1
RU173529U1 RU2016145294U RU2016145294U RU173529U1 RU 173529 U1 RU173529 U1 RU 173529U1 RU 2016145294 U RU2016145294 U RU 2016145294U RU 2016145294 U RU2016145294 U RU 2016145294U RU 173529 U1 RU173529 U1 RU 173529U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
screen
axis
rotation
vacuum chamber
glass
Prior art date
Application number
RU2016145294U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Иванович Бубликов
Анатолий Степанович Верещака
Екатерина Сергеевна Сотова
Алексей Анатольевич Верещака
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН")
Priority to RU2016145294U priority Critical patent/RU173529U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU173529U1 publication Critical patent/RU173529U1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60J—WINDOWS, WINDSCREENS, NON-FIXED ROOFS, DOORS, OR SIMILAR DEVICES FOR VEHICLES; REMOVABLE EXTERNAL PROTECTIVE COVERINGS SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLES
    • B60J10/00—Sealing arrangements
    • B60J10/70—Sealing arrangements specially adapted for windows or windscreens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B63—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; RELATED EQUIPMENT
    • B63B—SHIPS OR OTHER WATERBORNE VESSELS; EQUIPMENT FOR SHIPPING 
    • B63B19/00—Arrangements or adaptations of ports, doors, windows, port-holes, or other openings or covers
    • B63B19/02—Clear-view screens; Windshields
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
    • B64C—AEROPLANES; HELICOPTERS
    • B64C1/00—Fuselages; Constructional features common to fuselages, wings, stabilising surfaces or the like
    • B64C1/14—Windows; Doors; Hatch covers or access panels; Surrounding frame structures; Canopies; Windscreens accessories therefor, e.g. pressure sensors, water deflectors, hinges, seals, handles, latches, windscreen wipers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/52—Means for observation of the coating process

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к области машиностроения, в частности к оборудованию для нанесения покрытий, и может быть использована для защиты смотровых окон иллюминаторов вакуумных камер от запыления при визуальном контроле процессов нанесения покрытий. В иллюминаторе вакуумной камеры, выполненном в виде предназначенного для герметичного соединения с соответствующим отверстием вакуумной камеры стакана, внутренняя цилиндрическая полость которого образует смотровой канал с герметичным смотровым окном с наружной стороны, и теплозащитного поворотного плоского экрана с приводом его поворота со стороны вакуумной камеры, стакан снабжен герметично с ним сопряженным и размещенным перпендикулярно его оси патрубком с герметично установленным внутри последнего поворотным на 90° валом с приводом его поворота, а экран выполнен по форме внутреннего сечения стакана и установлен в нем на упомянутом валу с перекрытием смотрового канала и возможностью поворота совместно с валом на 90° вокруг оси, лежащей в плоскости экрана и перпендикулярной оси стакана, так, что L≥L+D/2, где L- длина смотрового канала; L- расстояние от смотрового окна до оси поворота экрана; D- габарит экрана в направлении, перпендикулярном оси его поворота. Технический результат предлагаемой полезной модели заключается в повышении надежности за счет упрощения конструкции и размещения экрана и привода его поворота внутри смотрового канала стакана. 1 ил.The utility model relates to the field of mechanical engineering, in particular to equipment for coating, and can be used to protect the viewing windows of the portholes of vacuum chambers from dust during visual monitoring of coating processes. In the porthole of the vacuum chamber made in the form of a cup designed for tight connection with the corresponding hole of the vacuum chamber, the inner cylindrical cavity of which forms an inspection channel with a sealed inspection window from the outside, and a heat-protective rotary flat screen with a drive for turning it from the side of the vacuum chamber, the cup is equipped with hermetically conjugated to it and placed by a pipe perpendicular to its axis with a shaft sealed inside the latter rotatable by 90 ° with a drive the house of its rotation, and the screen is made in the shape of the inner section of the glass and installed in it on the shaft with the overlapping of the inspection channel and the possibility of rotation together with the shaft 90 ° around an axis lying in the plane of the screen and perpendicular to the axis of the glass, so that L≥L + D / 2, where L is the length of the inspection channel; L is the distance from the viewing window to the axis of rotation of the screen; D - screen dimension in the direction perpendicular to the axis of its rotation. The technical result of the proposed utility model is to increase reliability by simplifying the design and placement of the screen and driving it to rotate inside the viewing channel of the glass. 1 ill.

Description

Полезная модель относится к области машиностроения, в частности к оборудованию для нанесения покрытий, и может быть использована для защиты смотровых окон иллюминаторов вакуумных камер от запыления при визуальном контроле процессов нанесения покрытий.The utility model relates to the field of mechanical engineering, in particular to equipment for coating, and can be used to protect the viewing windows of the portholes of vacuum chambers from dust during visual monitoring of coating processes.

Известно, что в некоторых вакуумных установках с интенсивным напылением для защиты стекол смотрового окна иллюминатора устанавливают внутренние защитные стекла, которые крепятся с помощью пружинных колец на фланце смотровых вакуумных окон и могут быть легко демонтированы за ненадобностью (http://tako-vakuum.ru/vakuumnoe-smotrovoe-okno/).It is known that in some vacuum installations with intensive spraying, internal protective glasses are installed to protect the glasses of the viewing window of the porthole, which are fastened with spring rings on the flange of the viewing vacuum windows and can be easily dismantled as unnecessary (http://tako-vakuum.ru/ vakuumnoe-smotrovoe-okno /).

Недостатком данного устройства является то, что защитное стекло также будет подвергаться загрязнению распыляемым металлом, что мешает визуальному контролю рабочих процессов нанесения покрытий в вакуумной камере и требует частой замены защитных стекол, которую можно произвести только по окончании рабочего процесса.The disadvantage of this device is that the protective glass will also be contaminated with sprayed metal, which interferes with the visual control of the coating processes in the vacuum chamber and requires frequent replacement of protective glasses, which can only be done at the end of the working process.

Наиболее близким по технической сущности и по достигаемому эффекту - прототипом - является иллюминатор вакуумной камеры, выполненный в виде предназначенного для герметичного соединения с соответствующим отверстием вакуумной камеры стакана, внутренняя цилиндрическая полость которого образует смотровой канал с герметичным смотровым окном с наружной стороны и теплозащитным поворотным плоским экраном с приводом его поворота со стороны вакуумной камеры (Пипко, А.И. Конструирование и расчет вакуумных систем / Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. - 3-е изд., перераб. и доп. - М.: Энергия, 1979. - с. 174-176). Для наблюдения за рабочими процессами в вакуумной камере путем прикладывания усилия на рукоятку защитный экран с помощью рычажной системы поворачивается на некоторый угол, открывая смотровое отверстие, и возвращается на место благодаря пружине после снятия усилия с рукоятки.The closest in technical essence and in the achieved effect - the prototype - is the porthole of the vacuum chamber, made in the form designed for tight connection with the corresponding hole of the vacuum chamber of the glass, the inner cylindrical cavity of which forms a viewing channel with a sealed viewing window on the outside and a heat-resistant rotatable flat screen with drive turning it from the side of the vacuum chamber (Pipko, A.I. Design and calculation of vacuum systems / Pipko A.I., Pliskovsky V.Ya., Pe FER EA - 3rd edition, revised and enlarged -... M .: Energia, 1979 - from 174-176).. To observe the working processes in the vacuum chamber by applying force to the handle, the protective screen is rotated by a lever system by a certain angle, opening the inspection hole, and returns to its place thanks to the spring after removing the force from the handle.

Недостатком прототипа является сложность конструкции.The disadvantage of the prototype is the complexity of the design.

Задача полезной модели - исключение из конструкции иллюминатора сложной системы тяг для поворота защитного экрана, размещенных в зоне напыления, что снижает надежность конструкции.The objective of the utility model is the exclusion from the design of the porthole of a complex system of rods for turning the protective screen located in the spraying zone, which reduces the reliability of the structure.

Технический результат предлагаемой полезной модели заключается в повышении надежности за счет упрощения конструкции и размещения экрана и привода его поворота внутри смотрового канала стакана.The technical result of the proposed utility model is to increase reliability by simplifying the design and placement of the screen and driving it to rotate inside the viewing channel of the glass.

Поставленная задача решается, а заявленный технический результат достигается тем, что в иллюминаторе вакуумной камеры, выполненном в виде предназначенного для герметичного соединения с соответствующим отверстием вакуумной камеры стакана, внутренняя цилиндрическая полость которого образует смотровой канал с герметичным смотровым окном с наружной стороны и теплозащитным поворотным плоским экраном с приводом его поворота со стороны вакуумной камеры, стакан снабжен герметично с ним сопряженным и размещенным перпендикулярно его оси патрубком с герметично установленным внутри последнего поворотным на 90° валом с приводом его поворота, а экран выполнен по форме внутреннего сечения стакана и установлен в нем на упомянутом валу с перекрытием смотрового канала и возможностью поворота совместно с валом на 90° вокруг оси, лежащей в плоскости экрана и перпендикулярной оси стакана, так, что Lc≥Lwa+Dmax/2, где Lc - длина смотрового канала; Lwa - расстояние от смотрового окна до оси поворота экрана; Dmax - габарит экрана в направлении, перпендикулярном оси его поворота.The problem is solved, and the claimed technical result is achieved by the fact that in the porthole of the vacuum chamber, made in the form intended for a tight connection with the corresponding hole of the vacuum chamber of the glass, the inner cylindrical cavity of which forms a viewing channel with a sealed viewing window on the outside and a heat-resistant rotatable flat screen with the drive turning it from the side of the vacuum chamber, the glass is equipped with a hermetically coupled to it and placed perpendicular to its axis pa a tube with a shaft tightly mounted inside the latter rotatable by 90 ° with a drive for turning it, and the screen is made in the form of an internal section of the glass and mounted on the said shaft with overlapping inspection channel and the possibility of rotation together with the shaft 90 ° around an axis lying in the plane screen and perpendicular to the axis of the glass, so that L c ≥L wa + D max / 2, where L c is the length of the viewing channel; L wa is the distance from the viewing window to the axis of rotation of the screen; D max - screen size in the direction perpendicular to the axis of its rotation.

Иллюминатор вакуумной камеры в составе установки нанесения покрытий поясняется изображением, где на Фиг. представлен общий вид иллюминатора вакуумной камеры.The porthole of a vacuum chamber as part of a coating plant is illustrated by the image where in FIG. presents a general view of the porthole of a vacuum chamber.

Позиции на Фиг. соответствуют следующим элементам иллюминатора:The positions in FIG. correspond to the following window elements:

1 - вакуумная камера;1 - a vacuum chamber;

2 - стакан смотрового канала;2 - a glass of the viewing channel;

3 - смотровое окно;3 - viewing window;

4 - экран;4 - screen;

5 - вал (привод поворота экрана);5 - shaft (screen rotation drive);

6 - патрубок;6 - pipe;

7 - стакан;7 - a glass;

8 - подшипник;8 - bearing;

9 - манжета;9 - cuff;

10 - подшипник;10 - bearing;

11 - винт;11 - screw;

12 - гайка.12 - nut.

Иллюминатор вакуумной камеры выполнен согласно следующему.The porthole of the vacuum chamber is made according to the following.

Иллюминатор вакуумной камеры (Фиг.) выполнен в виде предназначенного для герметичного соединения с соответствующим отверстием вакуумной камеры 1 стакана 2, внутренняя цилиндрическая полость которого образует смотровой канал с герметичным смотровым окном 3 с наружной стороны и теплозащитным поворотным плоским экраном 4 с приводом 5 его поворота со стороны вакуумной камеры. Стакан снабжен герметично с ним сопряженным и размещенным перпендикулярно его оси патрубком 6 с герметично установленной внутри последнего поворотным на 90° валом 5 с приводом поворота вала, а экран 4 выполнен по форме внутреннего сечения стакана 2 (на Фиг. - круг) и установлен в нем на упомянутом валу 5 с перекрытием смотрового канала и возможностью поворота совместно с валом 5 на 90° вокруг оси вала, лежащей в плоскости экрана и перпендикулярной оси стакана, так, что Lc≥Lwa+Dmax/2, где Lc - длина смотрового канала; Lwa - расстояние от смотрового окна до оси поворота экрана; Dmax - габарит экрана в направлении, перпендикулярном оси его поворота. Находясь перпендикулярно оси смотрового канала, экран 4 практически полностью перекрывает внутреннюю полость стакана 2, защищая смотровое окно 3 от распыляемого металла. Если же экран 4 располагается вдоль оси смотрового канала, то за счет незначительной его толщины возможно беспрепятственно контролировать процессы нанесения покрытий в вакуумной камере. Форма экрана 4 может быть произвольной, однако должна повторять форму сечения внутренней полости стакана 2, при этом толщина экрана 4 может быть любой и ограничивается лишь возможностью поворота совместно с валом 5 на 90° вокруг оси, лежащей в плоскости экрана 4 и перпендикулярной оси стакана 2, и необходимостью визуального контроля нанесения покрытий в вакуумной камере. Привод поворота вала 5 (являющегося приводом поворота экрана 4) может быть реализован различным образом, например, быть механическим в виде рукоятки, как это показано на Фиг., или может быть использован сервопривод, изолированный и герметично вмонтированный в патрубок 6 (не показано).The porthole of the vacuum chamber (Fig.) Is made in the form of a cup 2 designed for tight connection with the corresponding hole of the vacuum chamber 1, the inner cylindrical cavity of which forms an inspection channel with a sealed inspection window 3 from the outside and a heat-shielding rotatable flat screen 4 with a drive 5 of its rotation with side of the vacuum chamber. The glass is equipped with a nozzle 6 hermetically conjugated and placed perpendicular to its axis with a shaft 5 sealed inside the latter and rotatable by 90 ° shaft 5 with a shaft rotation drive, and the screen 4 is made in the shape of the inner section of the glass 2 (Fig. Is a circle) and installed in it on said shaft 5 with overlapping inspection channel and the possibility of rotation together with shaft 5 through 90 ° about the axis of the shaft lying in the plane of the screen and perpendicular to the axis of the glass, so that L c ≥L wa + D max / 2, where L c is the length viewing channel; L wa is the distance from the viewing window to the axis of rotation of the screen; D max - screen size in the direction perpendicular to the axis of its rotation. Being perpendicular to the axis of the viewing channel, the screen 4 almost completely overlaps the internal cavity of the glass 2, protecting the viewing window 3 from the sprayed metal. If the screen 4 is located along the axis of the viewing channel, then due to its insignificant thickness it is possible to freely control the coating processes in the vacuum chamber. The shape of the screen 4 can be arbitrary, but it must repeat the cross-sectional shape of the inner cavity of the glass 2, while the thickness of the screen 4 can be any and is limited only by the possibility of rotation together with the shaft 5 by 90 ° around an axis lying in the plane of the screen 4 and perpendicular to the axis of the glass 2 , and the need for visual inspection of coating in a vacuum chamber. The rotation drive of the shaft 5 (which is the rotation drive of the screen 4) can be implemented in various ways, for example, be mechanical in the form of a handle, as shown in Fig., Or a servo drive isolated and hermetically mounted in the pipe 6 (not shown) can be used.

Полезная модель может быть реализована следующим образом.A utility model can be implemented as follows.

В стакане 2, герметично присоединенном к вакуумной камере 1, просверлить отверстие, перпендикулярно его оси. Затем герметично (например, путем вакуумной сварки) соединить патрубок 6 со стаканом 2. Надеть на вал 5 привода поворота экрана 4 стакан 7, подшипник 8, манжету 9 и подшипник 10. Вставить экран 4 в стакан 2 через отверстие смотрового канала. Вставить собранный вал 5 привода поворота экрана 4 в патрубок 6, при этом необходимо придерживая экран 4, обеспечить его размещение в продольной прорези вала 5. Через отверстие смотрового канала стакана 2 закрепить экран 4 на валу 5 винтами 11. Затем закрепить гайку 12 на патрубке 6. Далее закрепить смотровое окно 3 на стакане 2, например, путем резьбового соединения. При этом экран 4 можно изготовить из листового проката подходящей толщины любой формы, повторяющей форму сечения внутренней полости смотрового канала стакана 2.In a glass 2, hermetically attached to the vacuum chamber 1, drill a hole perpendicular to its axis. Then hermetically (for example, by vacuum welding) connect the nozzle 6 to the nozzle 2. Place the nozzle 7, the bearing 8, the sleeve 9 and the bearing 10 on the shaft 5 of the screen rotation drive. Insert the shield 4 into the nozzle 2 through the opening of the inspection channel. Insert the assembled shaft 5 of the drive to rotate the screen 4 into the pipe 6, while holding the screen 4, ensure that it is placed in the longitudinal slot of the shaft 5. Through the hole in the viewing channel of the glass 2, fasten the screen 4 on the shaft 5 with screws 11. Then fix the nut 12 on the pipe 6 Next, fix the inspection window 3 on the cup 2, for example, by a threaded connection. Moreover, the screen 4 can be made of sheet metal of suitable thickness of any shape, repeating the shape of the cross section of the inner cavity of the viewing channel of the glass 2.

Изложенное позволяет сделать вывод о том, что поставленная задача полезной модели - исключение из конструкции иллюминатора сложной системы тяг для поворота защитного экрана, размещенных в зоне напыления, что снижает надежность конструкции - решена, а заявленный технический результат - повышение надежности за счет упрощения конструкции и размещения экрана и привода его поворота внутри смотрового канала стакана - достигнут.The foregoing allows us to conclude that the task of the utility model is to exclude from the design of the porthole a complex system of rods for turning the protective screen located in the spraying zone, which reduces the reliability of the structure, is solved, and the claimed technical result is to increase reliability by simplifying the design and placement screen and drive its rotation inside the viewing channel of the glass - is achieved.

Анализ заявленного технического решения на соответствие условиям патентоспособности показал, что указанные в независимом пункте формулы признаки являются существенными и взаимосвязаны между собой с образованием устойчивой и неизвестной на дату приоритета из уровня техники совокупности необходимых признаков, достаточной для получения заявленного технического результата.The analysis of the claimed technical solution for compliance with the conditions of patentability showed that the characteristics indicated in the independent claim are interrelated with each other with the formation of a stable and unknown on the priority date level of the prior art set of necessary features sufficient to obtain the claimed technical result.

Таким образом, вышеизложенные сведения свидетельствуют о выполнении при использовании заявленного технического решения следующей совокупности условий:Thus, the above information indicates the fulfillment of the following set of conditions when using the claimed technical solution:

- объект, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении относится к области машиностроения, в частности к оборудованию для нанесения покрытий, и может быть использован для защиты смотровых окон иллюминаторов вакуумных камер от запыления при визуальном контроле процессов нанесения покрытий;- the object embodying the claimed technical solution, when implemented, relates to the field of engineering, in particular to coating equipment, and can be used to protect the viewing windows of the windows of the vacuum chambers from dusting during visual monitoring of the coating process;

- для заявленного объекта в том виде, как он охарактеризован в формуле полезной модели, подтверждена возможность его осуществления с помощью вышеописанных в заявке и известных из уровня техники на дату приоритета средств и методов;- for the claimed object in the form described in the utility model, the possibility of its implementation using the methods and methods described above and known from the prior art on the priority date has been confirmed;

- объект, воплощающий заявленное техническое решение, при его осуществлении способен обеспечить достижение усматриваемого заявителем технического результата.- the object embodying the claimed technical solution, when implemented, is able to ensure the achievement of the technical result perceived by the applicant.

Следовательно, заявленный объект соответствует требованиям условий патентоспособности «новизна» и «промышленная применимость» по действующему законодательству.Therefore, the claimed object meets the requirements of the patentability conditions of “novelty” and “industrial applicability” under applicable law.

Claims (5)

Иллюминатор вакуумной камеры, состоящий из предназначенного для герметичного соединения с соответствующим отверстием вакуумной камеры стакана, внутренняя цилиндрическая полость которого образует смотровой канал с герметичным смотровым окном с наружной стороны, и теплозащитного поворотного плоского экрана с приводом его поворота, расположенного со стороны вакуумной камеры, отличающийся тем, что стакан снабжен герметично с ним сопряженным и размещенным перпендикулярно его оси патрубком, а привод поворота экрана содержит вал, герметично установленный внутри патрубка с возможностью поворота на 90°, при этом экран выполнен по форме внутреннего сечения стакана и установлен в нем на упомянутом валу с перекрытием смотрового канала и возможностью поворота совместно с валом на 90° вокруг оси, лежащей в плоскости экрана и перпендикулярной оси стакана, причем A porthole of a vacuum chamber, consisting of a cup designed for tight connection with the corresponding hole of the vacuum chamber, the inner cylindrical cavity of which forms an inspection channel with a sealed inspection window from the outside, and a heat-protective rotary flat screen with a drive for its rotation, located on the side of the vacuum chamber, characterized in that the glass is equipped with a pipe that is hermetically conjugated and placed perpendicular to its axis, and the screen rotation drive contains a shaft, seal it is installed inside the pipe with the possibility of rotation by 90 °, while the screen is made in the shape of the inner section of the glass and installed in it on the said shaft with the overlapping of the inspection channel and the possibility of rotation together with the shaft 90 ° around an axis lying in the plane of the screen and perpendicular to the axis glasses, and Lc≥Lwa+Dmax/2, гдеL c ≥L wa + D max / 2, where Lc - длина смотрового канала;L c is the length of the viewing channel; Lwa - расстояние от смотрового окна до оси поворота экрана;L wa is the distance from the viewing window to the axis of rotation of the screen; Dmax - диаметр экрана в направлении, перпендикулярном оси его поворота.D max - the diameter of the screen in the direction perpendicular to the axis of rotation.
RU2016145294U 2016-11-18 2016-11-18 Porthole of a vacuum chamber RU173529U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016145294U RU173529U1 (en) 2016-11-18 2016-11-18 Porthole of a vacuum chamber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016145294U RU173529U1 (en) 2016-11-18 2016-11-18 Porthole of a vacuum chamber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU173529U1 true RU173529U1 (en) 2017-08-30

Family

ID=59798139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016145294U RU173529U1 (en) 2016-11-18 2016-11-18 Porthole of a vacuum chamber

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU173529U1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2023050C1 (en) * 1991-09-17 1994-11-15 Валентин Михайлович Шитов Peephole for vacuum chamber
JPH09143718A (en) * 1995-11-17 1997-06-03 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Splash monitor device for continuous vacuum vapor deposition apparatus
RU2107644C1 (en) * 1996-02-14 1998-03-27 Игорь Никифорович Легомина Window protective device
RU2521174C1 (en) * 2013-02-13 2014-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Device for protecting inspection window of vacuum chamber

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2023050C1 (en) * 1991-09-17 1994-11-15 Валентин Михайлович Шитов Peephole for vacuum chamber
JPH09143718A (en) * 1995-11-17 1997-06-03 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Splash monitor device for continuous vacuum vapor deposition apparatus
RU2107644C1 (en) * 1996-02-14 1998-03-27 Игорь Никифорович Легомина Window protective device
RU2521174C1 (en) * 2013-02-13 2014-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Device for protecting inspection window of vacuum chamber

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ПИПКО А.И. "Конструирование и расчет вакуумных систем", 3 изд., М.,Энергия, 1979, с.174-176. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10914964B2 (en) Lens barrel
US20150321361A1 (en) Ceiling mounted robot
PT1769184E (en) Reusable fitting for tubing
RU173529U1 (en) Porthole of a vacuum chamber
JP5709288B1 (en) Lens barrel
RU176998U1 (en) COMPENSATOR BELLOW
GB2540222A (en) A swivel micropoint connection
DE102013210073B4 (en) Vacuum-tight rotary feedthrough for vacuum applications
US20170089445A1 (en) Differential housing
CN106764145A (en) Function nut and ferrule-type compression joint
CN205350400U (en) Feed valve prevented clamping stagnation structure
CN204119339U (en) A kind of radiation monitoring protective device
KR101881972B1 (en) Rotary valve apparatus and quenching apparatus having the same
JP7173675B2 (en) Inspection sight glass
EA201992563A1 (en) SEALING CONNECTION BETWEEN AT LEAST TWO INSTALLABLE FRIENDS WITH OTHER ELECTROLYSIS INSTALLATION PIPES
CN113305771B (en) Electrician's equipment with clean function
CN204005023U (en) A kind of pipeline leaks outside and repairs pipe
ES2821417T3 (en) A wind turbine with a rotation system comprising a magnetic component
CN105546139A (en) Stagnation prevention structure for feed valve
RU151352U1 (en) PIPELINE WELD PROTECTION DEVICE CONNECTED FROM PIPES OF DIFFERENT WALLS
EP3425252B1 (en) Gas intake connector of gas cooktop and gas cooktop
JP7302138B2 (en) A holding jig used in an investigation device for the inner surface of a steel pipe steel tower member
SU838266A1 (en) Apparatus for mounting intermediate element
RU156772U1 (en) DEVICE FOR CONTROL OF PIPELINE HOUSING
BRPI1101691A2 (en) ROULETTE SYSTEM