RU2023050C1 - Peephole for vacuum chamber - Google Patents

Peephole for vacuum chamber Download PDF

Info

Publication number
RU2023050C1
RU2023050C1 SU5002904A RU2023050C1 RU 2023050 C1 RU2023050 C1 RU 2023050C1 SU 5002904 A SU5002904 A SU 5002904A RU 2023050 C1 RU2023050 C1 RU 2023050C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum
peephole
viewing
sight glass
housing
Prior art date
Application number
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Валентин Михайлович Шитов
Геннадий Михайлович Горохов
Владимир Борисович Нойсс
Николай Парфентьевич Решетняк
Original Assignee
Валентин Михайлович Шитов
Геннадий Михайлович Горохов
Владимир Борисович Нойсс
Николай Парфентьевич Решетняк
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Валентин Михайлович Шитов, Геннадий Михайлович Горохов, Владимир Борисович Нойсс, Николай Парфентьевич Решетняк filed Critical Валентин Михайлович Шитов
Priority to SU5002904 priority Critical patent/RU2023050C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2023050C1 publication Critical patent/RU2023050C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

FIELD: mechanical engineering. SUBSTANCE: device has vacuum chamber, which has pumping-out aids and vacuum pipe-line, case provided with peephole, protective gadget which is cooled and disposed inside the case. The gadget is made in form of truncated cone directed with its wider side to peephole. Device also has rotatable disk with removable sight glass. Channels are made onto case and rotatable disk. Channels are connected when working sight glass and peephole are brought into coincidence and vacuum line of pumping-out system. Continuous pumping-out is provided when residual gases are pumped out of vacuum space of peephole. Working gas is supplied through the pipe introduced into cavity of protective gadget. The gadget provides also protection of sight glass against splashes due to small size of inlet hole at vertex of the cone. EFFECT: replacement of sight glass without depressurization of main technological chamber. 2 cl, 4 dwg

Description

Изобретение относится к машиностроению и может найти применение в вакуумных камерах для дегазации и покрытия изделий, а также для сварки изделий. The invention relates to mechanical engineering and may find application in vacuum chambers for degassing and coating products, as well as for welding products.

Известно устройство, содержащее наружный тубус смотрового окна, прифланцованного к стенке вакуумной камеры и выступающего за ее внутреннюю стенку, обеспечивая обзор рабочей зоны. Для защиты крайней линзы от запыления предусмотрен вращающийся экран с концентрическим выступом, огибающим выступ тубуса, на выступе которого выполнен вертикальный вырез, равный диаметру линзы. Экран вращается с частотой, обеспечивающей отсутствие мигания. A device is known that contains the outer tube of the viewing window, flanged to the wall of the vacuum chamber and protruding beyond its inner wall, providing an overview of the working area. To protect the extreme lens from dusting, a rotating screen with a concentric protrusion enveloping the protrusion of the tube is provided, on the protrusion of which there is a vertical cut equal to the diameter of the lens. The screen rotates at a frequency that ensures no blinking.

Недостатком данного изобретения является то, что линза частично открыта для паров среды, а также то, что при загрязнении стекол устройства требуется разборка соединения, то есть развакуумирование камеры. The disadvantage of this invention is that the lens is partially open to the vapors of the medium, as well as the fact that when the glasses of the device are dirty, disassembly of the connection is required, that is, the chamber is evacuated.

Известно также смотровое окно, состоящее из корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой и смотровым окном, расположенным против смотрового отверстия вакуумного отверстия, перекрывающего смотровое отверстие и расположенного между смотровым окном и смотровым отверстием; привода перемещения и закрытия затвора с уплотнением. Наличие затвора дает возможность заменять стекло без разгерметизации рабочей камеры. Also known is a viewing window consisting of a housing with a viewing hole communicating with a vacuum chamber and a viewing window located opposite a viewing hole of a vacuum opening overlapping the viewing hole and located between the viewing window and the viewing hole; drive moving and closing the shutter with a seal. The presence of a shutter makes it possible to replace glass without depressurization of the working chamber.

Недостатком данного устройства является то, что данная конструкция не обеспечивает защиты стекла от брызг и копоти при рабочем процессе, кроме того низка производительность при манипуляциях с затвором для его открытия и закрытия. The disadvantage of this device is that this design does not protect the glass from splashes and soot during the working process, in addition, the performance is low when handling the shutter to open and close it.

Известно также смотровое окно, содержащее герметичную камеру со смотровым стеклом, штуцером для подачи защитного газа и диафрагмой, обращенной к смотровому стеклу, а также оптическую систему, расположенную за смотровым стеклом. Смотровое окно снабжено также дополнительной диафрагмой, установленной за основной диафрагмой вне герметичной камеры, причем диафрагмы выполнены в виде коаксиально вложенных с зазором один в другой конусов с отверстиями при вершинах, обращенных к смотровому стеклу, а поверхности конусов, обращенных к зазору, образуют замкнутую кольцевую полость, соединенную автономным вакуум-проводом с системой откачки. Also known is a viewing window containing a sealed chamber with a sight glass, a nozzle for supplying a protective gas and a diaphragm facing the sight glass, as well as an optical system located behind the sight glass. The inspection window is also equipped with an additional diaphragm mounted behind the main diaphragm outside the sealed chamber, and the diaphragms are made in the form of cones coaxially inserted with a gap into each other with holes at the vertices facing the sight glass, and the surfaces of the cones facing the gap form a closed annular cavity connected by an autonomous vacuum wire to a pumping system.

Недостатком данного устройства является то, что конус, расширяющийся в сторону вакуумной камеры недостаточно эффективно защищает стекло от попадания брызг процесса, а также то, что в данной конструкции исключена замена стекла без разгерметизации камеры. The disadvantage of this device is that the cone, expanding towards the vacuum chamber, does not protect the glass sufficiently from splashes of the process, as well as the fact that glass replacement without depressurization of the chamber is excluded in this design.

Наиболее близким по технической сущности и по достигаемому эффекту является смотровое окно, состоящее из корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой, неподвижного смотрового окна с уплотнением, установленного внутри корпуса и уплотненного по оси вращения, на котором расположены защитные стекла, одно из которых расположено между смотровым отверстием и смотровым окном. The closest in technical essence and in the achieved effect is a viewing window, consisting of a housing with a viewing hole in communication with the vacuum chamber, a stationary viewing window with a seal installed inside the housing and sealed along the axis of rotation, on which protective glasses are located, one of which is located between the inspection hole and the inspection window.

Недостатком данного устройства является то, что при загрязнении всех стекол, их замену можно произвести только разобрав устройство, то есть развакуумировав камеру, а это нежелательно при серийном производстве изделий в вакуумной камере. The disadvantage of this device is that if all the glasses are contaminated, they can be replaced only by disassembling the device, that is, by evacuating the chamber, and this is undesirable in the serial production of products in a vacuum chamber.

Целью изобретения является снижение трудоемкости при замене стекол, защита стекол от загрязнений, а также обеспечение замены стекол без разгерметизации камеры. The aim of the invention is to reduce the complexity when replacing glasses, protecting the glass from contamination, as well as providing glass replacement without depressurization of the camera.

Указанная цель достигается тем, что в смотровом окне для вакуумной камеры, состоящем из неподвижного корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой, прижаты к нему поворотным диском с равнорасположенными относительно оси его вращения смотровыми стеклами, одно из которых расположено против смотрового отверстия, согласно предлагаемому изобретению, в смотровом отверстии между вакуумной камерой и неподвижным корпусом установлен охлаждаемый защитный конус с малым отверстием, с подводом в его внутреннюю полость газа, а на неподвижном корпусе и поворотном диске выполнены канавки охранного вакуума, направленные навстречу друг другу, причем канавка на неподвижном корпусе выполнена соосно оси смотрового отверстия, а канавка на поворотном диске - соосно оси его вращения, при этом в зоне смотрового отверстия часть окружности канавки на неподвижном корпусе пересечена в месте контакта окружностью канавки поворотного диска, установленного так, что нерабочая его часть расположена вне зоны вакуума, а в неподвижном корпусе, вне зоны вакуума, напротив канавки в поворотном диске, выполнено отверстие, соединенное с вакуум-проводом. This goal is achieved by the fact that in the viewing window for the vacuum chamber, consisting of a fixed housing with a viewing hole in communication with the vacuum chamber, are pressed against it by a rotary disk with viewing glasses equally spaced relative to the axis of rotation, one of which is located opposite the viewing hole, according to the proposed According to the invention, in the inspection hole between the vacuum chamber and the fixed housing there is a cooled protective cone with a small hole, with a gas supply to its internal cavity, and and in the fixed housing and the rotary disk grooves of a security vacuum are made directed towards each other, moreover, the groove on the stationary body is made aligned with the axis of the inspection hole, and the groove on the rotary disk is aligned with the axis of its rotation, while in the area of the inspection hole part of the circumference of the groove on the stationary housing crossed at the point of contact by the circumference of the groove of the rotary disk, installed so that its non-working part is located outside the vacuum zone, and in a stationary case, outside the vacuum zone, opposite the groove in rotary disk, made a hole connected to a vacuum wire.

Кроме того, охлаждаемый защитный конус установлен своей расширяющейся частью в сторону смотрового стекла. In addition, the cooled protective cone is mounted with its expanding part towards the sight glass.

Новым в предлагаемом техническом решении является установка защитного конуса, расширяющегося в сторону смотрового отверстия, что улучшает защиту стекла от загрязнений, а также выполнение канавок охранного вакуума на неподвижном корпуса и поворотном диске пересекающимися в месте зоны смотрового окна, а также то, что нерабочая часть поворотного диска находится вне зоны вакуума, что позволяет менять смотровые стекла не останавливая технологического процесса. Указанные признаки отличают предложенное устройство от прототипа и соответствуют критерию "новизна". New in the proposed technical solution is the installation of a protective cone, expanding towards the inspection hole, which improves the protection of the glass from pollution, as well as the implementation of the protective vacuum grooves on the fixed housing and the rotary disk intersecting in the area of the viewing window, as well as the non-working part of the rotary the disk is located outside the vacuum zone, which allows you to change the sight glasses without stopping the process. These features distinguish the proposed device from the prototype and meet the criterion of "novelty."

Известно техническое решение, в котором диафрагмы выполнены в виде коаксиально вложенных с зазором один в другой конусов с отверстиями при вершинах, обращенных к смотровому стеклу, а поверхности конусов, обращенных к зазору, образуют замкнутую кольцевую полость, соединенную автономным вакуум-проводом с системой откачки. A technical solution is known in which the diaphragms are made in the form of cones coaxially inserted with a gap into one another with holes at the vertices facing the sight glass, and the surfaces of the cones facing the gap form a closed annular cavity connected by an autonomous vacuum wire to the pumping system.

В предлагаемом устройстве защитный конус установлен наоборот, то есть расширяющаяся часть обращена в сторону смотрового отверстия, что улучшает защиту смотрового окна. In the proposed device, the protective cone is installed on the contrary, that is, the expanding part is turned towards the viewing hole, which improves the protection of the viewing window.

Авторам из патентной и технической литературы не известно техническое решение, выраженное в установке защитного конуса, расширяющегося в сторону смотрового отверстия, и выполнении канавок охранного вакуума на неподвижном корпусе и поворотном диске пересекающимися между собой, а также в возможности замены стекол без остановки технологического процесса. The authors of the patent and technical literature do not know the technical solution, expressed in the installation of a protective cone, expanding towards the inspection hole, and the grooves of the security vacuum on a fixed housing and a rotary disk intersecting each other, as well as the possibility of replacing glasses without stopping the process.

На основании изложенного можно сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия". Based on the foregoing, we can conclude that the criterion of "significant differences".

Данное устройство повышает производительность труда при замене стекол смотрового окна за счет того, что канавки охранного вакуума в неподвижном корпусе и поворотном диске выполнены пересекающимися в зоне смотрового отверстия, что позволяет нерабочей части поворотного диска располагаться вне зоны вакуума, что позволяет производить замену стекол технологического окна, не разгерметизируя вакуумную камеру. Установка охлаждаемого защитного конуса расширяющейся частью в сторону смотрового отверстия улучшает защиту стекла от загрязнений. This device improves labor productivity when replacing the windows of the inspection window due to the fact that the grooves of the safety vacuum in the fixed housing and the rotary disk are made intersecting in the area of the inspection hole, which allows the non-working part of the rotary disk to be located outside the vacuum zone, which allows replacement of the glass of the technological window, without depressurizing the vacuum chamber. Installing the cooled protective cone with the expanding part towards the inspection hole improves the glass's protection from dirt.

На основании вышеизложенного можно сделать вывод о соответствии критерию "положительный эффект". Based on the foregoing, we can conclude that the criterion of "positive effect".

На фиг. 1 показано смотровое окно, вертикальный разрез по оптической оси (разрез А-А на фиг. 2); на фиг. 2 - вид по стрелке В на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение В-В на фиг. 1 (по канавкам охранного вакуума); на фиг. 4 - сечение Г-Г на фиг. 1 (по трубопроводам охлаждения и натекателя). In FIG. 1 shows a viewing window, a vertical section along the optical axis (section AA in FIG. 2); in FIG. 2 is a view along arrow B in FIG. 1; in FIG. 3 is a section BB in FIG. 1 (along the grooves of the protective vacuum); in FIG. 4 is a section GG in FIG. 1 (through cooling and leakage pipelines).

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, на верхней части которой установлена охлаждаемая подшипниковая опора 2, к которой на время процесса, например, сварки, прижимается обрабатываемое изделие 3 (например, колба термоса) сбоку камеры. Напротив места процесса установлен защитный конус 4, к которому подведены через уплотнения 5 и 6, трубки охлаждения 7 и 8, а в перегородку полости охлаждения вставлена трубка 9, для подвода защитного газа через уплотнения 10. К камере 1 прикреплен корпус 11, который также прижимает защитный конус 4. К вертикальной плоскости корпуса 11 прижат винтом 12 и пружинными шайбами 13 поворотный диск 14 с зубчатой нарезкой, на котором равномерно по окружности установлены технологические стекла 15, прижатые с помощью прижимных гаек 16. Одно из стекол расположено против смотрового отверстия. На корпусе 11 выполнена соосно оси смотрового отверстия кольцевая канавка 17 охранного вакуума, а на поворотном диске 14 соосно оси его поворота выполнена кольцевая канавка 18 охранного вакуума. Диаметры канавок подобраны таким образом, что в одной из точек в зоне смотрового отверстия наружный диаметр канавки 18 описывает наружный диаметр канавки 17, т.е. в одном месте полости канавок сообщаются при любом положении поворотного диска 14. На корпусе 11 выполнена кольцевая канавка 19 соосно оси смотрового отверстия и сообщающаяся с канавкой 17 с помощью отверстий. Вне вакуумной камеры, перед стеклами 15 установлен источник энергии 20, например, лазер, дающий энергию для рабочего процесса в вакуумной камере 1. На корпусе 11 установлен штуцер 21, сообщающийся с канавкой 18 и подсоединенный к вакуум-проводу. На корпусе 11 установлен фиксатор 22, фиксирующий одно из рабочих положений поворота диска 14, поворот которого осуществляется от шестерни 23 ключом за торец вала 24. Неподвижный корпус 11 охлаждается через стенку вакуумной камеры полостью 25 через штуцера 26 и 27. The device consists of a vacuum chamber 1, on the upper part of which a cooled bearing support 2 is installed, to which the workpiece 3 (for example, a thermos flask) is pressed against the side of the chamber during the process of welding, for example. Opposite the process site, a protective cone 4 is installed, to which the cooling tubes 7 and 8 are connected through seals 5 and 6, and a tube 9 is inserted into the partition of the cooling cavity to supply protective gas through the seals 10. A housing 11 is attached to the chamber 1, which also presses protective cone 4. A rotary disk 14 with gear cutting is pressed against the vertical plane of the housing 11 by a screw 12 and spring washers 13, on which technological glasses 15 are mounted uniformly along the circumference, pressed with clamping nuts 16. One of the glasses is located viewport hole. An annular groove 17 of the protective vacuum is made coaxially with the axis of the inspection hole on the housing 11, and an annular groove 18 of the protective vacuum is made coaxially with the axis of its rotation. The diameters of the grooves are selected so that at one of the points in the area of the inspection hole, the outer diameter of the groove 18 describes the outer diameter of the groove 17, i.e. in one place, the groove cavities are communicated at any position of the rotary disk 14. On the housing 11, an annular groove 19 is made coaxially with the axis of the inspection hole and communicates with the groove 17 through the holes. Outside the vacuum chamber, an energy source 20 is installed in front of the glasses 15, for example, a laser that provides energy for the working process in the vacuum chamber 1. A fitting 21 is installed on the housing 11, which communicates with the groove 18 and is connected to the vacuum wire. A lock 22 is mounted on the housing 11, fixing one of the operating positions of rotation of the disk 14, the rotation of which is carried out from the gear 23 by the key for the end of the shaft 24. The stationary housing 11 is cooled through the wall of the vacuum chamber by the cavity 25 through the nozzle 26 and 27.

Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.

После прижатия изделия 3, например, колбы термоса, к опоре 2, включается привод вращения изделия (не показан). По трубопроводу 9 подается защитный газ в полость защитного конуса 4 (откачка охранного вакуума от штуцера 21 и подача-отвод охлаждения по трубкам 7 и 8 осуществляются непрерывно во все время работы вакуумной камеры). Включается источник энергии 20, например, луч лазера, на время, необходимое для процесса. Образующийся в рабочем процессе дым задерживается перед отверстием конуса 4 из-за зоны повышенного давления газа внутри конуса, а образующиеся брызги от процесса, задерживаются наружной поверхностью конуса 4. Возможно только случайное попадание брызг через отверстие в конусе 4 для источника энергии. В случае необходимости замены стекла 15, выключают источник энергии 20, прекращают подачу инертного газа по трубке 9, разблокируют фиксатор 22, и ключом за торец 24 поворачивают шестерню 23, а с ней поворотный диск 14 до совмещения следующего стекла 15 с зоной смотрового отверстия. Затем положение диска 14 блокируют фиксатором 22, и после включения натекания инертного газа по трубке 9, устройство готово к дальнейшей работе. Дефектное стекло, находящееся в верхней позиции поворотного диска, можно заменить не останавливая технологического процесса в вакуумной камере. Для этого достаточно отвернуть прижимную гайку 16, убрать прокладку, вынуть стекло 15, заменить его новым, наложить прокладку, завернуть прижимную гайку 16. After pressing the product 3, for example, a thermos flask, to the support 2, the product rotation drive (not shown) is turned on. The protective gas is supplied through the pipeline 9 to the cavity of the protective cone 4 (pumping out the protective vacuum from the nozzle 21 and the supply-discharge cooling through tubes 7 and 8 are carried out continuously during the entire operation of the vacuum chamber). An energy source 20, for example, a laser beam, is turned on for the time required for the process. The smoke generated in the working process is delayed in front of the cone 4 opening due to the zone of increased gas pressure inside the cone, and the generated spray from the process is delayed by the outer surface of the cone 4. It is only possible to accidentally get the spray through the hole in the cone 4 for the energy source. If it is necessary to replace the glass 15, turn off the energy source 20, stop the supply of inert gas through the tube 9, release the lock 22, and turn the gear 23 with the key 24 for the end face, and with it the rotary disk 14 until the next glass 15 is combined with the area of the inspection hole. Then, the position of the disk 14 is locked by the latch 22, and after turning on the inert gas leakage through the tube 9, the device is ready for further work. Defective glass located in the upper position of the rotary disk can be replaced without stopping the process in a vacuum chamber. To do this, it is enough to unscrew the clamping nut 16, remove the gasket, remove the glass 15, replace it with a new one, put the gasket on, tighten the clamping nut 16.

Преимущества предлагаемого устройства по сравнению с прототипом в том, что снижается трудоемкость при замене технологических стекол. Замену можно осуществить без разгерметизации вакуумной камеры, то есть не прекращая технологического процесса. Кроме того, улучшена за счет ввода конуса защита стекол от загрязнений. The advantages of the proposed device compared to the prototype in that it reduces the complexity when replacing technological glasses. Replacement can be carried out without depressurization of the vacuum chamber, that is, without stopping the process. In addition, the protection of the glass from pollution is improved by introducing a cone.

Claims (2)

1. СМОТРОВОЕ ОКНО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ, содержащее неподвижно закрепленный на вакуумной камере корпус со смотровым отверстием и поворотный диск со смотровыми стеклами, выполняющий последовательное совмещение каждого стекла и смотрового отверстия при обеспечении их осесимметричности, отличающееся тем, что оно снабжено охлаждаемым полым защитным приспособлением, изменяющим входное отверстие корпуса, и самостоятельной вакуумной системой, включающей откачные средства с вакуумным трубопроводом, трубку подачи рабочего газа в полость защитного приспособления и систему каналов, выполненных на корпусе и поворотном диске и сопрягаемых между собой и с вакуумным трубопроводом при совмещении каждого стекла и смотрового отверстия. 1. A viewing window for a vacuum chamber, comprising a housing fixed to a vacuum chamber with a viewing hole and a rotary disk with viewing glasses, sequentially combining each glass and a viewing hole while ensuring their axisymmetry, characterized in that it is equipped with a cooled hollow protective device that changes the inlet of the housing, and an independent vacuum system, including pumping means with a vacuum pipe, a tube for supplying working gas to the cavity deleterious device and a system of channels formed on the housing and the turntable and conjugated with vacuum conduit during alignment of each glass and a viewing aperture. 2. Окно по п.1 отличающееся тем, что защитное приспособление выполнено в виде усеченного конуса, размещенного в смотровом отверстии корпуса соосно с ним и направленного расширяющейся частью в сторону смотрового стекла. 2. The window according to claim 1, characterized in that the protective device is made in the form of a truncated cone placed in the inspection hole of the housing coaxially with it and directed by the expanding part towards the sight glass.
SU5002904 1991-09-17 1991-09-17 Peephole for vacuum chamber RU2023050C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5002904 RU2023050C1 (en) 1991-09-17 1991-09-17 Peephole for vacuum chamber

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5002904 RU2023050C1 (en) 1991-09-17 1991-09-17 Peephole for vacuum chamber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2023050C1 true RU2023050C1 (en) 1994-11-15

Family

ID=21585547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5002904 RU2023050C1 (en) 1991-09-17 1991-09-17 Peephole for vacuum chamber

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2023050C1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2499081C2 (en) * 2008-03-26 2013-11-20 ДжиТиЭйТи Корпорейшн Systems and methods to distribute gas in reactor for chemical deposition from steam phase
RU2521174C1 (en) * 2013-02-13 2014-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Device for protecting inspection window of vacuum chamber
RU173529U1 (en) * 2016-11-18 2017-08-30 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") Porthole of a vacuum chamber
US10450649B2 (en) 2014-01-29 2019-10-22 Gtat Corporation Reactor filament assembly with enhanced misalignment tolerance
US11015244B2 (en) 2013-12-30 2021-05-25 Advanced Material Solutions, Llc Radiation shielding for a CVD reactor
RU218223U1 (en) * 2022-04-27 2023-05-16 Валерий Павлович Пастухов Window to control the technological process of obtaining metal powders

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Заявка Японии 62-86729, 85г., МКИ H 01L 21/302. *
Фролов Е.С. и др. Вакуумная техника с.142. рис.8.14. *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2499081C2 (en) * 2008-03-26 2013-11-20 ДжиТиЭйТи Корпорейшн Systems and methods to distribute gas in reactor for chemical deposition from steam phase
US8961689B2 (en) 2008-03-26 2015-02-24 Gtat Corporation Systems and methods for distributing gas in a chemical vapor deposition reactor
RU2521174C1 (en) * 2013-02-13 2014-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") Device for protecting inspection window of vacuum chamber
US11015244B2 (en) 2013-12-30 2021-05-25 Advanced Material Solutions, Llc Radiation shielding for a CVD reactor
US10450649B2 (en) 2014-01-29 2019-10-22 Gtat Corporation Reactor filament assembly with enhanced misalignment tolerance
RU173529U1 (en) * 2016-11-18 2017-08-30 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") Porthole of a vacuum chamber
RU218223U1 (en) * 2022-04-27 2023-05-16 Валерий Павлович Пастухов Window to control the technological process of obtaining metal powders

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5445721A (en) Rotatable magnetron including a replacement target structure
JP4155983B2 (en) Cathode apparatus for sputtering a rotatable target tube
JP5420240B2 (en) Adaptive fixation of cylindrical magnetrons.
RU2023050C1 (en) Peephole for vacuum chamber
US4314427A (en) Internal pipe cleaning apparatus utilizing fluent abrasive
JPH05107437A (en) Laminar flow dustproof device for wide angle lens
RU2170411C2 (en) Hermetic visual monitoring unit for sulfur regeneration plant
US20050053481A1 (en) Method for differentially pumping endblock seal cavity
RU2595187C1 (en) Apparatus for applying coatings on surfaces of parts
TWI509098B (en) Vacuum processing device
US6069909A (en) Excimer laser with improved window mount
CN102244339B (en) Installation device for a plurality of laser windows distributed on periphery
RU2008116731A (en) SEALING PRODUCT, TRANSMISSION DEVICE CONTAINING SUCH SEALING MEANS, STRUCTURE CONTAINING SUCH TRANSMISSION DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEALING MEANS
US3493711A (en) Split welding chamber
CN108933074B (en) Air inlet device and chamber comprising same
US6217028B1 (en) Sealing apparatus for use with a rotatable shaft extending through a vessel
KR102612086B1 (en) Particle free remote plasma source isolation valve
US11648570B2 (en) Self-cleaning rotary viewing hole and centrifugal machine provided with said rotary viewing hole
JP4119687B2 (en) Vacuum furnace for heat treatment of metal workpieces
KR200225586Y1 (en) Apparatus of a boiler combustion chamber checkup
CN215050653U (en) PVD (physical vapor deposition) cluster rotating target holder and coating device
JPS63142634A (en) Manufacture of semiconductor
RU2049301C1 (en) Peephole for apparatus
JPS61244463A (en) Shot blast device
SU712121A1 (en) Device for sealing the gap between the end face of a rotary drum and a stationary pipe