RU2023050C1 - Peephole for vacuum chamber - Google Patents
Peephole for vacuum chamber Download PDFInfo
- Publication number
- RU2023050C1 RU2023050C1 SU5002904A RU2023050C1 RU 2023050 C1 RU2023050 C1 RU 2023050C1 SU 5002904 A SU5002904 A SU 5002904A RU 2023050 C1 RU2023050 C1 RU 2023050C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum
- peephole
- viewing
- sight glass
- housing
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к машиностроению и может найти применение в вакуумных камерах для дегазации и покрытия изделий, а также для сварки изделий. The invention relates to mechanical engineering and may find application in vacuum chambers for degassing and coating products, as well as for welding products.
Известно устройство, содержащее наружный тубус смотрового окна, прифланцованного к стенке вакуумной камеры и выступающего за ее внутреннюю стенку, обеспечивая обзор рабочей зоны. Для защиты крайней линзы от запыления предусмотрен вращающийся экран с концентрическим выступом, огибающим выступ тубуса, на выступе которого выполнен вертикальный вырез, равный диаметру линзы. Экран вращается с частотой, обеспечивающей отсутствие мигания. A device is known that contains the outer tube of the viewing window, flanged to the wall of the vacuum chamber and protruding beyond its inner wall, providing an overview of the working area. To protect the extreme lens from dusting, a rotating screen with a concentric protrusion enveloping the protrusion of the tube is provided, on the protrusion of which there is a vertical cut equal to the diameter of the lens. The screen rotates at a frequency that ensures no blinking.
Недостатком данного изобретения является то, что линза частично открыта для паров среды, а также то, что при загрязнении стекол устройства требуется разборка соединения, то есть развакуумирование камеры. The disadvantage of this invention is that the lens is partially open to the vapors of the medium, as well as the fact that when the glasses of the device are dirty, disassembly of the connection is required, that is, the chamber is evacuated.
Известно также смотровое окно, состоящее из корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой и смотровым окном, расположенным против смотрового отверстия вакуумного отверстия, перекрывающего смотровое отверстие и расположенного между смотровым окном и смотровым отверстием; привода перемещения и закрытия затвора с уплотнением. Наличие затвора дает возможность заменять стекло без разгерметизации рабочей камеры. Also known is a viewing window consisting of a housing with a viewing hole communicating with a vacuum chamber and a viewing window located opposite a viewing hole of a vacuum opening overlapping the viewing hole and located between the viewing window and the viewing hole; drive moving and closing the shutter with a seal. The presence of a shutter makes it possible to replace glass without depressurization of the working chamber.
Недостатком данного устройства является то, что данная конструкция не обеспечивает защиты стекла от брызг и копоти при рабочем процессе, кроме того низка производительность при манипуляциях с затвором для его открытия и закрытия. The disadvantage of this device is that this design does not protect the glass from splashes and soot during the working process, in addition, the performance is low when handling the shutter to open and close it.
Известно также смотровое окно, содержащее герметичную камеру со смотровым стеклом, штуцером для подачи защитного газа и диафрагмой, обращенной к смотровому стеклу, а также оптическую систему, расположенную за смотровым стеклом. Смотровое окно снабжено также дополнительной диафрагмой, установленной за основной диафрагмой вне герметичной камеры, причем диафрагмы выполнены в виде коаксиально вложенных с зазором один в другой конусов с отверстиями при вершинах, обращенных к смотровому стеклу, а поверхности конусов, обращенных к зазору, образуют замкнутую кольцевую полость, соединенную автономным вакуум-проводом с системой откачки. Also known is a viewing window containing a sealed chamber with a sight glass, a nozzle for supplying a protective gas and a diaphragm facing the sight glass, as well as an optical system located behind the sight glass. The inspection window is also equipped with an additional diaphragm mounted behind the main diaphragm outside the sealed chamber, and the diaphragms are made in the form of cones coaxially inserted with a gap into each other with holes at the vertices facing the sight glass, and the surfaces of the cones facing the gap form a closed annular cavity connected by an autonomous vacuum wire to a pumping system.
Недостатком данного устройства является то, что конус, расширяющийся в сторону вакуумной камеры недостаточно эффективно защищает стекло от попадания брызг процесса, а также то, что в данной конструкции исключена замена стекла без разгерметизации камеры. The disadvantage of this device is that the cone, expanding towards the vacuum chamber, does not protect the glass sufficiently from splashes of the process, as well as the fact that glass replacement without depressurization of the chamber is excluded in this design.
Наиболее близким по технической сущности и по достигаемому эффекту является смотровое окно, состоящее из корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой, неподвижного смотрового окна с уплотнением, установленного внутри корпуса и уплотненного по оси вращения, на котором расположены защитные стекла, одно из которых расположено между смотровым отверстием и смотровым окном. The closest in technical essence and in the achieved effect is a viewing window, consisting of a housing with a viewing hole in communication with the vacuum chamber, a stationary viewing window with a seal installed inside the housing and sealed along the axis of rotation, on which protective glasses are located, one of which is located between the inspection hole and the inspection window.
Недостатком данного устройства является то, что при загрязнении всех стекол, их замену можно произвести только разобрав устройство, то есть развакуумировав камеру, а это нежелательно при серийном производстве изделий в вакуумной камере. The disadvantage of this device is that if all the glasses are contaminated, they can be replaced only by disassembling the device, that is, by evacuating the chamber, and this is undesirable in the serial production of products in a vacuum chamber.
Целью изобретения является снижение трудоемкости при замене стекол, защита стекол от загрязнений, а также обеспечение замены стекол без разгерметизации камеры. The aim of the invention is to reduce the complexity when replacing glasses, protecting the glass from contamination, as well as providing glass replacement without depressurization of the camera.
Указанная цель достигается тем, что в смотровом окне для вакуумной камеры, состоящем из неподвижного корпуса со смотровым отверстием, сообщающимся с вакуумной камерой, прижаты к нему поворотным диском с равнорасположенными относительно оси его вращения смотровыми стеклами, одно из которых расположено против смотрового отверстия, согласно предлагаемому изобретению, в смотровом отверстии между вакуумной камерой и неподвижным корпусом установлен охлаждаемый защитный конус с малым отверстием, с подводом в его внутреннюю полость газа, а на неподвижном корпусе и поворотном диске выполнены канавки охранного вакуума, направленные навстречу друг другу, причем канавка на неподвижном корпусе выполнена соосно оси смотрового отверстия, а канавка на поворотном диске - соосно оси его вращения, при этом в зоне смотрового отверстия часть окружности канавки на неподвижном корпусе пересечена в месте контакта окружностью канавки поворотного диска, установленного так, что нерабочая его часть расположена вне зоны вакуума, а в неподвижном корпусе, вне зоны вакуума, напротив канавки в поворотном диске, выполнено отверстие, соединенное с вакуум-проводом. This goal is achieved by the fact that in the viewing window for the vacuum chamber, consisting of a fixed housing with a viewing hole in communication with the vacuum chamber, are pressed against it by a rotary disk with viewing glasses equally spaced relative to the axis of rotation, one of which is located opposite the viewing hole, according to the proposed According to the invention, in the inspection hole between the vacuum chamber and the fixed housing there is a cooled protective cone with a small hole, with a gas supply to its internal cavity, and and in the fixed housing and the rotary disk grooves of a security vacuum are made directed towards each other, moreover, the groove on the stationary body is made aligned with the axis of the inspection hole, and the groove on the rotary disk is aligned with the axis of its rotation, while in the area of the inspection hole part of the circumference of the groove on the stationary housing crossed at the point of contact by the circumference of the groove of the rotary disk, installed so that its non-working part is located outside the vacuum zone, and in a stationary case, outside the vacuum zone, opposite the groove in rotary disk, made a hole connected to a vacuum wire.
Кроме того, охлаждаемый защитный конус установлен своей расширяющейся частью в сторону смотрового стекла. In addition, the cooled protective cone is mounted with its expanding part towards the sight glass.
Новым в предлагаемом техническом решении является установка защитного конуса, расширяющегося в сторону смотрового отверстия, что улучшает защиту стекла от загрязнений, а также выполнение канавок охранного вакуума на неподвижном корпуса и поворотном диске пересекающимися в месте зоны смотрового окна, а также то, что нерабочая часть поворотного диска находится вне зоны вакуума, что позволяет менять смотровые стекла не останавливая технологического процесса. Указанные признаки отличают предложенное устройство от прототипа и соответствуют критерию "новизна". New in the proposed technical solution is the installation of a protective cone, expanding towards the inspection hole, which improves the protection of the glass from pollution, as well as the implementation of the protective vacuum grooves on the fixed housing and the rotary disk intersecting in the area of the viewing window, as well as the non-working part of the rotary the disk is located outside the vacuum zone, which allows you to change the sight glasses without stopping the process. These features distinguish the proposed device from the prototype and meet the criterion of "novelty."
Известно техническое решение, в котором диафрагмы выполнены в виде коаксиально вложенных с зазором один в другой конусов с отверстиями при вершинах, обращенных к смотровому стеклу, а поверхности конусов, обращенных к зазору, образуют замкнутую кольцевую полость, соединенную автономным вакуум-проводом с системой откачки. A technical solution is known in which the diaphragms are made in the form of cones coaxially inserted with a gap into one another with holes at the vertices facing the sight glass, and the surfaces of the cones facing the gap form a closed annular cavity connected by an autonomous vacuum wire to the pumping system.
В предлагаемом устройстве защитный конус установлен наоборот, то есть расширяющаяся часть обращена в сторону смотрового отверстия, что улучшает защиту смотрового окна. In the proposed device, the protective cone is installed on the contrary, that is, the expanding part is turned towards the viewing hole, which improves the protection of the viewing window.
Авторам из патентной и технической литературы не известно техническое решение, выраженное в установке защитного конуса, расширяющегося в сторону смотрового отверстия, и выполнении канавок охранного вакуума на неподвижном корпусе и поворотном диске пересекающимися между собой, а также в возможности замены стекол без остановки технологического процесса. The authors of the patent and technical literature do not know the technical solution, expressed in the installation of a protective cone, expanding towards the inspection hole, and the grooves of the security vacuum on a fixed housing and a rotary disk intersecting each other, as well as the possibility of replacing glasses without stopping the process.
На основании изложенного можно сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия". Based on the foregoing, we can conclude that the criterion of "significant differences".
Данное устройство повышает производительность труда при замене стекол смотрового окна за счет того, что канавки охранного вакуума в неподвижном корпусе и поворотном диске выполнены пересекающимися в зоне смотрового отверстия, что позволяет нерабочей части поворотного диска располагаться вне зоны вакуума, что позволяет производить замену стекол технологического окна, не разгерметизируя вакуумную камеру. Установка охлаждаемого защитного конуса расширяющейся частью в сторону смотрового отверстия улучшает защиту стекла от загрязнений. This device improves labor productivity when replacing the windows of the inspection window due to the fact that the grooves of the safety vacuum in the fixed housing and the rotary disk are made intersecting in the area of the inspection hole, which allows the non-working part of the rotary disk to be located outside the vacuum zone, which allows replacement of the glass of the technological window, without depressurizing the vacuum chamber. Installing the cooled protective cone with the expanding part towards the inspection hole improves the glass's protection from dirt.
На основании вышеизложенного можно сделать вывод о соответствии критерию "положительный эффект". Based on the foregoing, we can conclude that the criterion of "positive effect".
На фиг. 1 показано смотровое окно, вертикальный разрез по оптической оси (разрез А-А на фиг. 2); на фиг. 2 - вид по стрелке В на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение В-В на фиг. 1 (по канавкам охранного вакуума); на фиг. 4 - сечение Г-Г на фиг. 1 (по трубопроводам охлаждения и натекателя). In FIG. 1 shows a viewing window, a vertical section along the optical axis (section AA in FIG. 2); in FIG. 2 is a view along arrow B in FIG. 1; in FIG. 3 is a section BB in FIG. 1 (along the grooves of the protective vacuum); in FIG. 4 is a section GG in FIG. 1 (through cooling and leakage pipelines).
Устройство состоит из вакуумной камеры 1, на верхней части которой установлена охлаждаемая подшипниковая опора 2, к которой на время процесса, например, сварки, прижимается обрабатываемое изделие 3 (например, колба термоса) сбоку камеры. Напротив места процесса установлен защитный конус 4, к которому подведены через уплотнения 5 и 6, трубки охлаждения 7 и 8, а в перегородку полости охлаждения вставлена трубка 9, для подвода защитного газа через уплотнения 10. К камере 1 прикреплен корпус 11, который также прижимает защитный конус 4. К вертикальной плоскости корпуса 11 прижат винтом 12 и пружинными шайбами 13 поворотный диск 14 с зубчатой нарезкой, на котором равномерно по окружности установлены технологические стекла 15, прижатые с помощью прижимных гаек 16. Одно из стекол расположено против смотрового отверстия. На корпусе 11 выполнена соосно оси смотрового отверстия кольцевая канавка 17 охранного вакуума, а на поворотном диске 14 соосно оси его поворота выполнена кольцевая канавка 18 охранного вакуума. Диаметры канавок подобраны таким образом, что в одной из точек в зоне смотрового отверстия наружный диаметр канавки 18 описывает наружный диаметр канавки 17, т.е. в одном месте полости канавок сообщаются при любом положении поворотного диска 14. На корпусе 11 выполнена кольцевая канавка 19 соосно оси смотрового отверстия и сообщающаяся с канавкой 17 с помощью отверстий. Вне вакуумной камеры, перед стеклами 15 установлен источник энергии 20, например, лазер, дающий энергию для рабочего процесса в вакуумной камере 1. На корпусе 11 установлен штуцер 21, сообщающийся с канавкой 18 и подсоединенный к вакуум-проводу. На корпусе 11 установлен фиксатор 22, фиксирующий одно из рабочих положений поворота диска 14, поворот которого осуществляется от шестерни 23 ключом за торец вала 24. Неподвижный корпус 11 охлаждается через стенку вакуумной камеры полостью 25 через штуцера 26 и 27. The device consists of a vacuum chamber 1, on the upper part of which a cooled
Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.
После прижатия изделия 3, например, колбы термоса, к опоре 2, включается привод вращения изделия (не показан). По трубопроводу 9 подается защитный газ в полость защитного конуса 4 (откачка охранного вакуума от штуцера 21 и подача-отвод охлаждения по трубкам 7 и 8 осуществляются непрерывно во все время работы вакуумной камеры). Включается источник энергии 20, например, луч лазера, на время, необходимое для процесса. Образующийся в рабочем процессе дым задерживается перед отверстием конуса 4 из-за зоны повышенного давления газа внутри конуса, а образующиеся брызги от процесса, задерживаются наружной поверхностью конуса 4. Возможно только случайное попадание брызг через отверстие в конусе 4 для источника энергии. В случае необходимости замены стекла 15, выключают источник энергии 20, прекращают подачу инертного газа по трубке 9, разблокируют фиксатор 22, и ключом за торец 24 поворачивают шестерню 23, а с ней поворотный диск 14 до совмещения следующего стекла 15 с зоной смотрового отверстия. Затем положение диска 14 блокируют фиксатором 22, и после включения натекания инертного газа по трубке 9, устройство готово к дальнейшей работе. Дефектное стекло, находящееся в верхней позиции поворотного диска, можно заменить не останавливая технологического процесса в вакуумной камере. Для этого достаточно отвернуть прижимную гайку 16, убрать прокладку, вынуть стекло 15, заменить его новым, наложить прокладку, завернуть прижимную гайку 16. After pressing the
Преимущества предлагаемого устройства по сравнению с прототипом в том, что снижается трудоемкость при замене технологических стекол. Замену можно осуществить без разгерметизации вакуумной камеры, то есть не прекращая технологического процесса. Кроме того, улучшена за счет ввода конуса защита стекол от загрязнений. The advantages of the proposed device compared to the prototype in that it reduces the complexity when replacing technological glasses. Replacement can be carried out without depressurization of the vacuum chamber, that is, without stopping the process. In addition, the protection of the glass from pollution is improved by introducing a cone.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5002904 RU2023050C1 (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Peephole for vacuum chamber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5002904 RU2023050C1 (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Peephole for vacuum chamber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2023050C1 true RU2023050C1 (en) | 1994-11-15 |
Family
ID=21585547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5002904 RU2023050C1 (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Peephole for vacuum chamber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2023050C1 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2499081C2 (en) * | 2008-03-26 | 2013-11-20 | ДжиТиЭйТи Корпорейшн | Systems and methods to distribute gas in reactor for chemical deposition from steam phase |
RU2521174C1 (en) * | 2013-02-13 | 2014-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Device for protecting inspection window of vacuum chamber |
RU173529U1 (en) * | 2016-11-18 | 2017-08-30 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Porthole of a vacuum chamber |
US10450649B2 (en) | 2014-01-29 | 2019-10-22 | Gtat Corporation | Reactor filament assembly with enhanced misalignment tolerance |
US11015244B2 (en) | 2013-12-30 | 2021-05-25 | Advanced Material Solutions, Llc | Radiation shielding for a CVD reactor |
RU218223U1 (en) * | 2022-04-27 | 2023-05-16 | Валерий Павлович Пастухов | Window to control the technological process of obtaining metal powders |
-
1991
- 1991-09-17 RU SU5002904 patent/RU2023050C1/en active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Заявка Японии 62-86729, 85г., МКИ H 01L 21/302. * |
Фролов Е.С. и др. Вакуумная техника с.142. рис.8.14. * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2499081C2 (en) * | 2008-03-26 | 2013-11-20 | ДжиТиЭйТи Корпорейшн | Systems and methods to distribute gas in reactor for chemical deposition from steam phase |
US8961689B2 (en) | 2008-03-26 | 2015-02-24 | Gtat Corporation | Systems and methods for distributing gas in a chemical vapor deposition reactor |
RU2521174C1 (en) * | 2013-02-13 | 2014-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП "НПП "Исток") | Device for protecting inspection window of vacuum chamber |
US11015244B2 (en) | 2013-12-30 | 2021-05-25 | Advanced Material Solutions, Llc | Radiation shielding for a CVD reactor |
US10450649B2 (en) | 2014-01-29 | 2019-10-22 | Gtat Corporation | Reactor filament assembly with enhanced misalignment tolerance |
RU173529U1 (en) * | 2016-11-18 | 2017-08-30 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Porthole of a vacuum chamber |
RU218223U1 (en) * | 2022-04-27 | 2023-05-16 | Валерий Павлович Пастухов | Window to control the technological process of obtaining metal powders |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5445721A (en) | Rotatable magnetron including a replacement target structure | |
JP4155983B2 (en) | Cathode apparatus for sputtering a rotatable target tube | |
JP5420240B2 (en) | Adaptive fixation of cylindrical magnetrons. | |
RU2023050C1 (en) | Peephole for vacuum chamber | |
US4314427A (en) | Internal pipe cleaning apparatus utilizing fluent abrasive | |
JPH05107437A (en) | Laminar flow dustproof device for wide angle lens | |
RU2170411C2 (en) | Hermetic visual monitoring unit for sulfur regeneration plant | |
US20050053481A1 (en) | Method for differentially pumping endblock seal cavity | |
RU2595187C1 (en) | Apparatus for applying coatings on surfaces of parts | |
TWI509098B (en) | Vacuum processing device | |
US6069909A (en) | Excimer laser with improved window mount | |
CN102244339B (en) | Installation device for a plurality of laser windows distributed on periphery | |
RU2008116731A (en) | SEALING PRODUCT, TRANSMISSION DEVICE CONTAINING SUCH SEALING MEANS, STRUCTURE CONTAINING SUCH TRANSMISSION DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEALING MEANS | |
US3493711A (en) | Split welding chamber | |
CN108933074B (en) | Air inlet device and chamber comprising same | |
US6217028B1 (en) | Sealing apparatus for use with a rotatable shaft extending through a vessel | |
KR102612086B1 (en) | Particle free remote plasma source isolation valve | |
US11648570B2 (en) | Self-cleaning rotary viewing hole and centrifugal machine provided with said rotary viewing hole | |
JP4119687B2 (en) | Vacuum furnace for heat treatment of metal workpieces | |
KR200225586Y1 (en) | Apparatus of a boiler combustion chamber checkup | |
CN215050653U (en) | PVD (physical vapor deposition) cluster rotating target holder and coating device | |
JPS63142634A (en) | Manufacture of semiconductor | |
RU2049301C1 (en) | Peephole for apparatus | |
JPS61244463A (en) | Shot blast device | |
SU712121A1 (en) | Device for sealing the gap between the end face of a rotary drum and a stationary pipe |