Изобретение относится к области производства изделий электронной техники и может быть использовано для климатических испытаний полупроводниковых приборов. The invention relates to the field of manufacture of electronic products and can be used for climatic testing of semiconductor devices.
Цель изобретения улучшение эксплуатационных возможностей, повышение эффективности теплообмена. The purpose of the invention is the improvement of operational capabilities, increasing the efficiency of heat transfer.
На фиг. 1 изображено устройство в разрезе; на фиг.2 поперечный разрез устройства. In FIG. 1 shows a device in section; figure 2 is a cross section of the device.
Устройство содержит проходную теплоизолированную камеру 1, в которой размещен накопитель, содержащий транспортирующий ротор 2 с продольными пазами 3 для размещения полупроводниковых приборов 4, размещенный на ступицах 5, установленных на осях 6 неподвижной винтовой направляющей 7, размещенной внутри ротора 2. Узел загрузки 8 содержит механизм 9 поштучной подачи приборов 4 и лоток 10 для подачи приборов 4 в приемное окно 11 ротора 2. На выходе винтовой направляющей 7 ротор 2 имеет выходное окно 12 для подачи приборов 4 к узлу контактирования 13, в котором установлена каретка 14 с приводом 15 и неподвижный отсекатель 16. Узлом контактирования 13 является механизм сортировки, содержащий канал 17 и отсекатели 18 для подачи испытанных приборов в кассеты 19. В камере 1 установлены также нагреватель 20 в виде керамической трубки со спиралью, диаметральный вентилятор 21 с рабочим колесом 22 и отражатель 23, причем длина нагревателя 20, длина рабочего колеса 22 и длина отражателя 23 равны длине транспортирующего ротора 2. The device comprises a heat-insulated passage chamber 1, in which a drive is placed, containing a transporting rotor 2 with longitudinal grooves 3 for accommodating semiconductor devices 4, located on the hubs 5, mounted on the axes 6 of a fixed screw guide 7, located inside the rotor 2. The loading unit 8 contains a mechanism 9 piece-by-piece supply of devices 4 and a tray 10 for supplying devices 4 to the receiving window 11 of the rotor 2. At the exit of the screw guide 7, the rotor 2 has an output window 12 for supplying the devices 4 to the contacting unit 13, in which A carriage 14 with a drive 15 and a fixed shutter 16 are installed in the rum. The contacting unit 13 is a sorting mechanism containing a channel 17 and cutoffs 18 for supplying the tested devices to the cartridges 19. A heater 20 is also installed in the chamber 1 in the form of a ceramic tube with a spiral, a diameter fan 21 with the impeller 22 and the reflector 23, and the length of the heater 20, the length of the impeller 22 and the length of the reflector 23 are equal to the length of the conveying rotor 2.
Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.
В узел загрузки 8 устанавливается пенал с приборами 4 в спутниках, которые механизмом поштучной выдачи 9 подаются в лоток 10, откуда они поступают в приемное окно 11 ротора 2, где нижняя часть спутника прибора 4 фиксируется между двумя соседними витками неподвижной винтовой направляющей 7, а верхняя часть стенками продольных пазов 3 ротора 2. После загрузки очередного прибора 4 ротор 2 накопителя поворачивается на шаг и стенки пазов 3 ротора 2 перемещают прибор 4 по неподвижной винтовой направляющей 7 с позиции загрузки, освобождая ее под следующий прибор. Пройдя всю винтовую направляющую 7, прибор выходит на позицию выгрузки. На всем своем пути в накопителе прибор 4 равномерно обдувается потоком воздуха заданной температуры. Вращение ротора 2 накопителя позволяет менять положение прибора 4 относительно направления потока теплоносителя, что значительно улучшает равномерность нагрева и увеличивает скорость достижения прибором заданной температуры. Равномерность давления и температуры всего потока получается за счет конструкции нагревателя 20 и вентилятора 21, установленных по всей длине камеры 1. A loading case is installed in the loading unit 8 with instruments 4 in the satellites, which are supplied by a piece-by-piece delivery mechanism 9 to the tray 10, from where they enter the receiving window 11 of the rotor 2, where the lower part of the satellite of the device 4 is fixed between two adjacent turns of the fixed screw guide 7, and the upper part of the walls of the longitudinal grooves 3 of the rotor 2. After loading another device 4, the rotor 2 of the drive rotates a step and the walls of the grooves 3 of the rotor 2 move the device 4 along a fixed screw guide 7 from the loading position, freeing it under the next device. Having passed the entire screw guide 7, the device enters the discharge position. Throughout its path in the drive, the device 4 is uniformly blown by a stream of air of a given temperature. The rotation of the rotor 2 of the drive allows you to change the position of the device 4 relative to the direction of flow of the coolant, which significantly improves the uniformity of heating and increases the speed at which the device reaches the set temperature. The uniformity of pressure and temperature of the entire stream is obtained due to the design of the heater 20 and the fan 21 installed along the entire length of the chamber 1.
Отсутствие застойных зон объясняется малым объемом камеры 1 и замкнутостью траектории движения теплового потока. Эти особенности позволяют устройству быстро выходить на рабочий режим, расходуя минимальное количество энергии. На позиции выгрузки прибор 4 попадает в выходное окно 12, откуда поступает в подвижную каретку 14 узла контактирования 13. Неподвижный отсекатель 16 препятствует сквозному прохождению прибора 4 в канал 17 механизма сортировки. При движении каретки 14 к контактному устройству 13 прибор 4 в спутнике соскальзывает с неподвижного отсекателя 16 и попадает в нижнюю часть каретки 14, которая непосредственно подводит спутник с прибором 4 к контактам узла 13. После контактирования каретка 14 возвращается в исходное положение, выгружая спутник с прибором 4 в канал 17 механизма сортировки, где по команде от измерительного устройства срабатывает, перекрывая канал, отсекатель 18 той группы сортировки, к которой относится прибор. Поймав прибор 4, отсекатель 18 загружает его в кассету 19, освобождая канал 17 для следующих приборов. The absence of stagnant zones is explained by the small volume of chamber 1 and the closed path of the heat flux. These features allow the device to quickly enter the operating mode, spending a minimum amount of energy. At the unloading position, the device 4 enters the exit window 12, from where it enters the movable carriage 14 of the contacting unit 13. The stationary cut-off 16 prevents the through passage of the device 4 into the channel 17 of the sorting mechanism. When the carriage 14 moves to the contact device 13, the device 4 in the satellite slides from the fixed cutter 16 and enters the lower part of the carriage 14, which directly leads the satellite with the device 4 to the contacts of the node 13. After contacting, the carriage 14 returns to its original position, unloading the satellite with the device 4 into the channel 17 of the sorting mechanism, where, upon a command from the measuring device, the cutoff 18 of the sorting group to which the device belongs is triggered, blocking the channel. Having caught the device 4, the cutter 18 loads it into the cassette 19, freeing the channel 17 for the following devices.
