RU130139U1 - Влагозащищенная упаковка для полупроводниковых пластин - Google Patents

Влагозащищенная упаковка для полупроводниковых пластин Download PDF

Info

Publication number
RU130139U1
RU130139U1 RU2012113283/28U RU2012113283U RU130139U1 RU 130139 U1 RU130139 U1 RU 130139U1 RU 2012113283/28 U RU2012113283/28 U RU 2012113283/28U RU 2012113283 U RU2012113283 U RU 2012113283U RU 130139 U1 RU130139 U1 RU 130139U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
bag
packaging system
moisture
bags
space
Prior art date
Application number
RU2012113283/28U
Other languages
English (en)
Inventor
БОДЕ Иан ДЕ
Кристоф ДЕССЕН
ТЬЕЛЕН Пауль ВАН
Original Assignee
Юмикор
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юмикор filed Critical Юмикор
Application granted granted Critical
Publication of RU130139U1 publication Critical patent/RU130139U1/ru

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D77/00—Packages formed by enclosing articles or materials in preformed containers, e.g. boxes, cartons, sacks or bags
    • B65D77/04—Articles or materials enclosed in two or more containers disposed one within another
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/18—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient
    • B65D81/20—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient under vacuum or superatmospheric pressure, or in a special atmosphere, e.g. of inert gas
    • B65D81/2069—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient under vacuum or superatmospheric pressure, or in a special atmosphere, e.g. of inert gas in a special atmosphere
    • B65D81/2084—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient under vacuum or superatmospheric pressure, or in a special atmosphere, e.g. of inert gas in a special atmosphere in a flexible container
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/24—Adaptations for preventing deterioration or decay of contents; Applications to the container or packaging material of food preservatives, fungicides, pesticides or animal repellants
    • B65D81/26—Adaptations for preventing deterioration or decay of contents; Applications to the container or packaging material of food preservatives, fungicides, pesticides or animal repellants with provision for draining away, or absorbing, or removing by ventilation, fluids, e.g. exuded by contents; Applications of corrosion inhibitors or desiccators
    • B65D81/266—Adaptations for preventing deterioration or decay of contents; Applications to the container or packaging material of food preservatives, fungicides, pesticides or animal repellants with provision for draining away, or absorbing, or removing by ventilation, fluids, e.g. exuded by contents; Applications of corrosion inhibitors or desiccators for absorbing gases, e.g. oxygen absorbers or desiccants
    • B65D81/268—Adaptations for preventing deterioration or decay of contents; Applications to the container or packaging material of food preservatives, fungicides, pesticides or animal repellants with provision for draining away, or absorbing, or removing by ventilation, fluids, e.g. exuded by contents; Applications of corrosion inhibitors or desiccators for absorbing gases, e.g. oxygen absorbers or desiccants the absorber being enclosed in a small pack, e.g. bag, included in the package
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

1. Упаковочная система для полупроводниковых пластин, содержащая по меньшей мере одну коробку для хранения пластин, последовательно заключенную в по меньшей мере два газонепроницаемых пакета, отличающаяся тем, что в пространстве между любыми двумя пакетами размещается влагопоглощающее вещество.2. Упаковочная система по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере одна коробка для хранения пластин последовательно заключена в три пакета: внутренний пакет, средний пакет и внешний пакет, при этом влагопоглощающее вещество помещено между средним и внешним пакетами.3. Упаковочная система по п.2, отличающаяся тем, что листовой материал внутреннего пакета состоит из металлизированного полимера, листовой материал среднего пакета состоит из полимера, и листовой материал внешнего пакета состоит из металлизированного полимера.4. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что полупроводниковые пластины являются германиевыми пластинами.5. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что влагопоглощающее вещество является силикагелем.6. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что влагопоглощающее вещество содержится в контейнере.7. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что по меньшей мере один пакет является влагонепроницаемым пакетом.8. Упаковочная система по п.2 или 3, отличающаяся тем, что внутренний пакет формирует замкнутое пространство, при этом в указанном пространстве находится либо вакуум, созданный вакуумной откачкой, либо сухой инертный газ.9. Упаковочная система по любому из пп.1-3, в которой любые два соседних пакета формируют внутреннее пространство,

Description

Настоящая полезная модель относится к упаковочным системам для полупроводниковых пластин.
Поверхность полупроводниковых пластин, и, в частности, пластин, предназначенных для использования в эпитаксиальных процессах, подвержена деградации при воздействии на нее влажной атмосферы. Это особенно верно для тех случаев, когда температура внутри упаковки пластины ниже точки росы заключенного внутри упаковки влажного воздуха или газа.
Для грузоперевозки пластины обычно помещаются в индивидуальные коробки, которые называются "шайбы". Затем несколько шайб, которые образуют штабель, собирают и упаковывают как одно целое. Пластины также могут поставляться в коробках для нескольких пластин, которые называются "лодки". Обычно, пластины, упакованные в коробки, помещаются в первый газонепроницаемый пакет. Затем в данном пакете создают вакуум, после чего он заполняется сухим азотом и запечатывается. Наконец, в качестве заключительной меры предосторожности, внутренний пакет заворачивают во второй пакет, который затем запечатывается.
Такая упаковочная система для полупроводниковых пластин, содержащая по меньшей мере одну коробку для хранения пластин, последовательно заключенную в по меньшей мере два газонепроницаемых пакета, описана в опубликованной патентной заявке US 2002/0023413 А1 (28.02.2002, В65В 11/58). Согласно одному раскрытому в этом документе решению коробка для хранения пластин заключена в пакет из полипропилена, который, в свою очередь, заключен во внешний алюминиевый пакет, защищающий полупроводниковые пластины от воздействия внешней окружающей среды. Однако в данном документе не рассматривается проблема, связанная с особенной чувствительностью германиевых пластин к конденсации на них влаги, и, соответственно, не раскрываются средства, позволяющие с большей надежностью исключить попадание влаги на пластины при их хранении.
Подробный анализ показал, что влага по-прежнему может проникать в подобные плотно запечатанные упаковки и попадать на пластины. Действительно, несмотря на применение специально разработанных полимерных пакетов, водяной пар из внешней атмосферы постепенно проникает сквозь пакеты. Это происходит даже при использовании так называемых влагонепроницаемых пакетов, которые обычно содержат алюминиевую фольгу, заламинированную на полимерном листе.
Хотя первоначальное количество влаги в упаковках может быть минимальным, влага будет продолжать накапливаться внутри упаковки при транспортировке и хранении, особенно в жарком и влажном климате. Последующее охлаждение упаковки может привести к конденсации микроскопических водяных капель на поверхности пластины. Это может происходить при хранении в прохладных местах, таких как помещения с кондиционированием воздуха.
Известно, что германиевые пластины особенно чувствительны к конденсации. Причина заключается в том, что исходный оксид германия способен растворяться в воде. Таким образом, при конденсации капель на пластине, они воздействуют на определенную часть поверхности, в результате чего пластина становится непригодной для последующей эпитаксии. Это является довольно неожиданным, так как здравый смысл изначально исключает возможность проникновения влаги в плотно запечатанные упаковки.
Особенностью данного феномена является то, что он не встречается в аналогичной и хорошо изученной области кремниевых пластин. Конденсация микроскопических водяных капель на поверхности кремниевых пластин непременно происходит при упаковке пластин обычным способом. Тем не менее, взаимодействие кремниевой поверхности с каплями, а также продукты реакции, которые остаются на поверхности пластины после испарения капель, кардинально отличаются и являются относительно безвредными, так как исходный оксид кремния не способен растворяться в воде.
Во избежание данных проблем была разработана упаковочная система для полупроводниковых пластин, содержащая по меньшей мере одну коробку для хранения пластин, последовательно заключенную в по меньшей мере два газонепроницаемых пакета, при этом в пространстве между любыми двумя пакетами размещается влагопоглощающее вещество.
В предпочтительном варианте осуществления, указанная по меньшей мере одна коробка для хранения пластин последовательно заключена в три пакета: внутренний пакет, средний пакет и внешний пакет, при этом влагопоглощающее вещество помещено между средним и внешним пакетами.
Упаковочная система особенно подходит для германиевых пластин. Указанная по меньшей мере одна коробка для хранения пластин может содержать одну или несколько "шайб" с отдельными пластинами или одну или несколько "лодок" с несколькими пластинами.
Влагопоглощающее вещество может быть силикагелем, который преимущественно содержится во влагопроницаемом контейнере, таком как бумажный пакет, для предотвращения рассеивания продукта по внутреннему пространству между двумя пакетами.
Упаковочная система может содержать по меньшей мере один влагонепроницаемый пакет. В варианте осуществления, содержащем три пакета, листовой материал внутреннего пакета может состоять из металлизированного полимера, листовой материал среднего пакета может состоять из полимера, и листовой материал внешнего пакета может состоять из металлизированного полимера.
Во внутреннем пакете, который содержит указанную по меньшей мере одну коробку для хранения пластин, и который образует замкнутое пространство, может находиться либо вакуум, созданный вакуумной откачкой, либо сухой инертный газ. Подобным образом, внутреннее пространство между соседними пакетами также может содержать либо вакуум, созданный вакуумной откачкой, либо сухой инертный газ.
Под влагонепроницаемым пакетом подразумевается пакет, изготовленный из материала с максимальной скоростью передачи водяных паров (WVTR), 0.02 грамма за 24 часа на 100 дюймов2, как указано и измерено согласно стандарту ASTM F-1249. Подобный материал обычно содержит один или несколько полимерных листов, ламинированных друг с другом (например, полиэтилен, полиэстер, нейлон, полиэтилентерефталат), и, необязательно, металлизирован (например, алюминием).
Под сухим инертным газом подразумевается любой газ, не содержащий в воду и не вступающий в реакции, такой как сухой воздух, N2, Не или Ar.
Функция внутреннего пакета заключается в защите пластин от влаги после удаления внешних слоев упаковки. Данное действие обычно выполняется непосредственно перед помещением данного внутреннего пакета с находящейся в нем пластиной в чистое помещение.
Функция необязательного среднего пакета заключается в защите внутреннего пакета от какого-либо загрязнения влагопоглощающим материалом. Предпочтительно избегать прилипания порошкообразного осадка влагопоглощающего материала к внешней поверхности внутреннего пакета, так как данный пакет предназначен для чистого помещения.
Внешний пакет защищает влагопоглощающий материал от воздействия внешней среды. Предполагается, что влага, проникшая в упаковку через внешний пакет, будет удерживаться влагопоглощающим материалом, благодаря чему предотвращается ее дальнейшее распространение через другой пакет (другие пакеты) по направлению к пластине.
В предпочтительном варианте осуществления, внутренний пакет заполнен N2, средний пакет заполнен сухим воздухом, и внешний пакет содержит вакуум, созданный вакуумной откачкой. Вакуумное уплотнение внешнего пакета позволяет осуществить заключительную проверку целостности упаковки, так как любое нарушение целостности немедленно проявится в виде исчезновения вакуума.
Фигура 1 является схематическим изображением типичной упаковки пластины согласно полезной модели. Изображен вариант осуществления, содержащий три пакета. На фигуре изображены: сборка шайб (1), содержащих полупроводниковые пластины (2), расположенные во внутреннем пакете, (4) и формирующих замкнутое пространство (3); средний пакет, (6) окружающий внутренний пакет и формирующий внутреннее пространство (5) между внутренним и средним пакетами; внешний пакет (8), окружающий средний пакет и формирующий внутреннее пространство (7) между средним и внешним пакетами; контейнер (9) с влагопоглощающим материалом, расположенный в пространстве между средним и внешним пакетами.
Следующий пример изображает подготовку упаковки пластины согласно варианту осуществления полезной модели, который содержит три пакета.
Германиевые пластины, предназначенные для использования в эпитаксиальных процессах, помещаются в полиэтиленовые дисковидные транспортные контейнеры для пластин (шайбы), предоставленные компанией еРАК®. Шайбы собираются в штабель из 12 штук.
Внутренний пакет состоит из полиэтилена, ламинированного с алюминиевой фольгой, при этом общая толщина пакета равна 90 мкм. Штабель пластин помещается в пакет, после чего из него откачивается воздух для создания вакуума, который заполняется сухим N2 и запечатывается.
Средний пакет является прозрачным полиэтиленовым пакетом толщиной 90 мкм. Внутренний пакет помещается в средний пакет, после чего из него откачивается воздух для создания вакуума, который заполняется сухим N2 и запечатывается.
Внешний пакет также состоит из полиэтилена, ламинированного с алюминиевой фольгой, при этом общая толщина пакета равна 100 мкм. Средний пакет помещается во внешний пакет, вместе с капсулой, содержащей силикагель, после чего из него откачивается воздух для создания вакуума, который заполняется сухим N2 и запечатывается.
Все пакеты предоставляются такими компаниями, как, например, Texas Technologies, Inc.
Контейнер с силикагелем содержит 5 грамм активированного 98%-ного силикагеля, заключенного в бумажный пакет Tyvek™, который предоставляется компанией еРАК®.
Для испытания упаковки в типичных условиях, окончательная упаковка хранилась в течение 24 часов на воздухе с относительной влажностью 60% при температуре 25°С. Измеренная относительная влажность во внутреннем пакете составила лишь 5%. Это соответствует точке росы, равной -20°С, что гарантирует отсутствие конденсации на пластинах.
В качестве сравнительного примера была подготовлена такая же упаковка, как описывалось выше, но без влагопоглощающего материала. Упаковка подвергалась воздействию таких же условий окружающей среды. Измеренная относительная влажность внутри упаковки пластины составила 50%. Это соответствует точке росы, равной 14°С, что подразумевает высокий риск конденсации на поверхности пластины.

Claims (9)

1. Упаковочная система для полупроводниковых пластин, содержащая по меньшей мере одну коробку для хранения пластин, последовательно заключенную в по меньшей мере два газонепроницаемых пакета, отличающаяся тем, что в пространстве между любыми двумя пакетами размещается влагопоглощающее вещество.
2. Упаковочная система по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере одна коробка для хранения пластин последовательно заключена в три пакета: внутренний пакет, средний пакет и внешний пакет, при этом влагопоглощающее вещество помещено между средним и внешним пакетами.
3. Упаковочная система по п.2, отличающаяся тем, что листовой материал внутреннего пакета состоит из металлизированного полимера, листовой материал среднего пакета состоит из полимера, и листовой материал внешнего пакета состоит из металлизированного полимера.
4. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что полупроводниковые пластины являются германиевыми пластинами.
5. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что влагопоглощающее вещество является силикагелем.
6. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что влагопоглощающее вещество содержится в контейнере.
7. Упаковочная система по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что по меньшей мере один пакет является влагонепроницаемым пакетом.
8. Упаковочная система по п.2 или 3, отличающаяся тем, что внутренний пакет формирует замкнутое пространство, при этом в указанном пространстве находится либо вакуум, созданный вакуумной откачкой, либо сухой инертный газ.
9. Упаковочная система по любому из пп.1-3, в которой любые два соседних пакета формируют внутреннее пространство, при этом в указанном пространстве находится либо вакуум, созданный вакуумной откачкой, либо сухой инертный газ.
Figure 00000001
RU2012113283/28U 2012-03-23 2012-03-30 Влагозащищенная упаковка для полупроводниковых пластин RU130139U1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12160926.7 2012-03-23
EP12160926 2012-03-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU130139U1 true RU130139U1 (ru) 2013-07-10

Family

ID=46547377

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012113283/28U RU130139U1 (ru) 2012-03-23 2012-03-30 Влагозащищенная упаковка для полупроводниковых пластин

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN202897176U (ru)
DE (1) DE202012004998U1 (ru)
RU (1) RU130139U1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3157840B1 (en) 2014-06-20 2019-11-20 Innovative Water Care, LLC Package system for packaging and administering controlled dosages of chemical agents
JP7114533B1 (ja) 2019-08-30 2022-08-08 大日本印刷株式会社 シリコン材料の輸送用袋及びシリコン材料の梱包体

Also Published As

Publication number Publication date
DE202012004998U1 (de) 2012-06-15
CN202897176U (zh) 2013-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7763213B2 (en) Volatile corrosion inhibitor packages
JP2009533182A5 (ru)
JP5640565B2 (ja) 防湿容器
US20230356906A1 (en) One or more blister packages containing active material and methods of making and using same
JP6255712B2 (ja) 吸湿性フィルムおよび包装体
TW201934945A (zh) 方法
CA2574102A1 (en) Pharmaceutical package for simultaneously maintaining low moisture and low oxygen levels
US20060269708A1 (en) Films having a desiccant material incorporated therein and methods of use and manufacture
RU130139U1 (ru) Влагозащищенная упаковка для полупроводниковых пластин
US5709065A (en) Desiccant substrate package
JP2007269391A (ja) 導電部が形成されているガラス基板の梱包ユニットおよび梱包方法
TW201623116A (zh) 玻璃板捆包體
US11337890B2 (en) Packaging assembly and container for same, method of making a packaging assembly, and associated method of activating an active agent
JP2010195425A (ja) シリコン用梱包体及び梱包方法
JP2006290411A (ja) 半導体装置収納体、アルミ箔製包装袋およびこれを用いた半導体装置収納構造
JP5412963B2 (ja) 積層包装袋
EP3543009B1 (en) Multilayer protective film for water absorption
TWI481535B (zh) 防潮紙箱
US12035478B2 (en) Apparatus and methods for packaging electronic components using a tape having desiccant entrained polymer on a reel
JP2010201630A (ja) 乾燥剤含有多層フィルム及び該フィルムを備えた電子デバイス
EP3882177B1 (en) Package accommodating heat-dissipating substrates, and packaging box
JP4617850B2 (ja) 真空パックを用いたガラス基板の梱包方法及びその包装体
US20020185409A1 (en) Desiccant containing product carrier
WO2015060377A1 (ja) 点眼容器包装体
JP7178855B2 (ja) 包装体用フィルム及び包装体