RO125799A2 - Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice - Google Patents
Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice Download PDFInfo
- Publication number
- RO125799A2 RO125799A2 ROA200800287A RO200800287A RO125799A2 RO 125799 A2 RO125799 A2 RO 125799A2 RO A200800287 A ROA200800287 A RO A200800287A RO 200800287 A RO200800287 A RO 200800287A RO 125799 A2 RO125799 A2 RO 125799A2
- Authority
- RO
- Romania
- Prior art keywords
- galvanic
- thickness
- galvanic deposit
- cathode
- value
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Invenţia se referă la o metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice, în timpul procesului de electrodepunere, fără a scoate catodul din electrolit. Metoda conform invenţiei constă din exprimarea valorii grosimii unui depozit galvanic (1) la un moment dat, ca fiind diferenţa dintre valoarea deplasării unei sonde optice (5), în prezenţa depozitului galvanic, şi valoarea deplasării sondei (5) în lipsa depozitului galvanic, măsurarea deplasărilor fiind realizată cu ajutorul unui şurub micrometric (10), în scopul menţinerii permanente a suprafeţei depozitului galvanic (1) în punctul focal al unei lentile optice (6). Toate citirile grosimii de strat sunt efectuate în poziţia în care intensitatea radiaţiei laser, emisă de o sursă şi reflectată de depozitul galvanic (1), este maximă.
Description
I j ;Î vJ 7 APR. 2008
METODĂ PENTRU DETERMINAREA GROSIMII DEPUNERILOR GALVANICE
Invenția se referă la o metodă pentru determinarea grosimii straturilor galvanice în timpul desfășurării procesului de electrodepunere fără a scoate catodul din electrolit.
în vederea determinării grosimii straturilor galvanice sînt cunoscute diferite metode precum: măsurarea grosimii catodului înainte și după depunere, măsurarea cu ultrasunete, măsurarea cu curenți turbionari, măsurarea cu permascoape magnetice. Toate aceste metode sînt performante și precise dar se efectuează după realizarea depunerii galvanice, scoaterea catodului din baie și uscarea acestuia.
Problema tehnică pe care o rezolvă invenția constă în realizarea unei metode care permite măsurarea grosimii depunerii galvanice în timpul procesului de electrodepunere folosind în acest scop un sistem optoelectronic de reflexie constituit din două canale cu fibră optică prevăzute cu o lentilă de focalizare și cu un sistem electronic de măsurare a intensității radiației reflectate de pe suprafața depozitului galvanic. Deplasarea manuală a celor două canale cu fibră optică prin intermediul unui șurub micrometric, la anumite intervale de timp, permite determinarea grosimii stratului depus ca fiind valoarea măsurată a deplasării catodului pentru poziția la care intensitatea radiației reflectate, redate printr-un fotocurent corespunzător, este maximă. Materializarea invenției se face printr-un dispozitiv ce conține cele două canale din fibră optică montate intr-o tijă cilindrică prevăzută la capăt cu o lentilă de focalizare, un sistem de deplasare cu șurub micrometric a tijei cilindrice, un anod prevăzut cu un orificiu circular prin care trece tija cilindrică de măsurare a reflexiei, un catod, o sursă de radiație monocromatică de tip laser, o unitate electronică pentru măsurarea fotometrică a radiației reflectate de pe probă precum și un sistem de fixare a structurii pe pereții unei celule galvanice industriale sau un sistem de fixare pe un batiu în cazul unor băi galvanice experimentale de laborator.
Modul de lucru la folosirea acestei metode și a sistemului optoelectronic corespunzător este foarte simplu: după montarea catodului pe suportul izolat electric se scufundă ansamblul în baia galvanică după care se reglează distanța lentilă - catod pînă cînd valoarea intensității fotocurentului, indicată de afișajul sistemului electronic, ca o măsură a intensității radiației reflectate din intensitatea radiației incidente, este maximă. Valoarea deplasării citită pe vernierul șurubului micrometric reprezintă indicația de referință pentru grosimea zero a depozitului galvanic. După aceasta, se pornește sursa de curent și are loc depunerea galvanică la parametrii fixați în prealabil. Grosimea stratului galvanic crește pe catod în direcția anodului. La intervale de timp stabilite se îndepărtează lent cu șurubul micrometric sonda cu cele două canale optice de catod și se urmărește continuu indicația valorii fotocurentului de către unitatea electronică. La valoarea maximă indicată a fotocurentului se citește indicația de pe șurubul micrometric și se calculează grosimea de strat prin scăderea valorii corespunzătoare lipsei depozitului galvanic, din valoarea citită pentru acea
v.
^-2008-00287-deplasare. Operația se repetă pe tot parcursul depunerii cu o frecvență stabilită de operator.
Prin aplicarea invenției se obțin următoarele avantaje:
se realizează măsurarea grosimii de strat în timpul procesului de depunere galvanică fără scoaterea catodului din electrolit.
- se poate realiza studiul in situ a influenței diferiților parametrii tehnologici asupra grosimii stratului urmărirea evoluției în timp a grosimii stratului galvanic permite determinarea productivității procesului galvanic, a randamentului de curent și a randamentului energetic. De asemenea, această evoluție permite stabilirea bilanțurilor de materiale și a bilanțurilor energetice în funcție de evoluția diferiților parametrii de proces
Se dă în continuare un exemplu de realizare a invenției în legătură cu :
Figura 1 care reprezintă o celulă galvanică specială prin care se materializează metoda pentru măsurarea grosimii de strat la depuneri galvanice
Celula galvanică specială conform figurii 1 este formată dintr-un catod 1 pe care se realizează depunerea galvanică 2, un anod 3 prevăzut cu un orificiu central o , o sursă cu radiație monocromatică 4 de tip laser, o sondă optică 5 ce conține în partea inferioară o lentilă 6, un pachet de fibre optice 7 compus la rîndul lui din douăsprezece fibre optice de iluminare 8, dispuse radial în jurul unei fibre optice centrale 9 pentru preluarea și transmiterea radiației reflectate de pe probă spre detectorul fotoelectric al unei unități electronice de măsurarea intensității luminoase reflectate de pe depozit, un șurub micrometric 10 pentru deplasarea tijei cilindrice cu fibrele optice în punctul focal al lentilei, o tijă mobilă 11 și un șurub micrometric 12 pentru realizarea de diferite distanțe anod catod, un braț transversal 13 prevăzut cu trei șuruburi speciale de fixare și centrare 14,15,16, o coloană 17 pentru susținerea întregii structuri, fixată la rîndul ei pe un batiu 18, pe care se mai găsește montată o baie galvanică 19 din care se realizează electrodepunerea.
Claims (1)
- - 0 0 2 8 7 -REVENDICAREInvenția Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice caracterizată prin aceea că în vederea măsurării grosimii straturilor depuse galvanic (1) în timpul procesului de electrodepunere, fără scoaterea catodului (2) din baia galvanică (19), se exprimă grosimea depozitului galvanic prin intermediul valorii deplasării unei sonde optice (5), deplasare efectuată în scopul menținerii tot timpul a suprafeței depozitului galvanic în punctul focal al unei lentile optice (6). Toate citirile de grosime de strat se efectuează în poziția în care intensitatea radiației laser reflectată de depozitul galvanic, indicată de unitatea electronică sub forma unui fotocurent, este maximă.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ROA200800287A RO125799A2 (ro) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ROA200800287A RO125799A2 (ro) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RO125799A2 true RO125799A2 (ro) | 2010-10-29 |
Family
ID=64362214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ROA200800287A RO125799A2 (ro) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RO (1) | RO125799A2 (ro) |
-
2008
- 2008-04-17 RO ROA200800287A patent/RO125799A2/ro unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9423416B2 (en) | Scanning probe microscope and measuring method using same | |
| CN105044584A (zh) | 一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统 | |
| US8377503B2 (en) | Method for real-time monitoring thickness chance of coating film | |
| RO125799A2 (ro) | Metodă pentru determinarea grosimii depunerilor galvanice | |
| CN110966931B (zh) | 一种飞秒激光加工形态参数时间分辨共焦测量方法及装置 | |
| CN202511762U (zh) | 一种半导体晶圆厚度检测系统 | |
| EP2425266B1 (en) | Electrical and opto-electrical characterisation of large-area semiconductor devices | |
| CN209148548U (zh) | 基于激光诱导击穿法的滑油原子发射光谱激发与采集装置 | |
| JP2008241642A (ja) | 表面電位計 | |
| CN104458872B (zh) | 一种测量水中重金属离子的装置 | |
| CN115855930A (zh) | 一种太阳能电池光电流成像的新方法 | |
| KR101379915B1 (ko) | 종말점 검출 장치 및 이를 구비한 식각 장치 그리고 종말점검출방법 | |
| US8598903B1 (en) | Testing method and testing device for photoelectric conversion die | |
| RO125047B1 (ro) | Sondă pentru determinarea luciului şi a grosimii de strat la depuneri galvanice | |
| RO125795A2 (ro) | Procedeu pentru determinarea luciului depunerilor galvanice | |
| RO125794A2 (ro) | Procedeu şi dispozitiv pentru determinarea luciului şi grosimii depunerilor galvanice | |
| CN220730130U (zh) | 一种具有高时空分辨率的弹性导波模式检测系统 | |
| RO125048B1 (ro) | Sondă pentru determinarea luciului depunerilor galvanice | |
| JP4823722B2 (ja) | 基材処理装置及び基材処理方法 | |
| CN118659740B (zh) | 光伏组件测试装置及测试方法 | |
| RU176395U1 (ru) | Устройство для измерения уровня фотолюминесценции | |
| KR20250061663A (ko) | 내부 결함 검사 시스템 및 방법 | |
| CN118243486A (zh) | 一种多功能力学实验测试方法 | |
| RO125793B1 (ro) | CELULA GALVANICA PENTRU MASURAREA AUTOMATA A LUCIULUI Șl A GROSIMII DE STRAT | |
| RU2484551C1 (ru) | Способ измерения времени жизни неосновных носителей заряда в кремнии |