RO125793B1 - CELULA GALVANICA PENTRU MASURAREA AUTOMATA A LUCIULUI Șl A GROSIMII DE STRAT - Google Patents

Description

Invenția se referă la o celulă galvanică pentru măsurarea automată a luciului și a grosimii de strat galvanic pe tot parcursul procesului de electrodepunere.

în vederea măsurării concomitente a luciului și a grosimii depunerilor galvanice, este cunoscut un procedeu și un dispozitiv descris în propunerea de invenție intitulată Procedeu și dispozitiv pentru determinarea luciului și a grosimii depunerilor galvanice, dosar OSIM A00361/2008, care folosește o unitate electronică de achiziție și prelucrare a datelor, un sistem optoelectronic de măsurare a intensității radiației luminoase reflectate de pe depunerea galvanică, ca o măsură a luciului acesteia, și un senzor incremental de deplasare pentru măsurarea grosimii depunerii galvanice. Măsurarea luciului și a grosimii depunerii galvanice în timpul procesului de electrodepunere se realizează la acest procedeu regulat printr-o operație manuală de deplasare a sistemului optic, în scopul căutării punctului în care derivata a 2-a a intensității fotocurentului, dat de intensitatea radiației luminoase reflectate de pe probă, are valoarea egală cu zero, punct care dă valoarea cu cea mai mică eroare de măsurare pentru luciu, și care dă totodată poziția în care distanța între sistemul optic și suprafața depozitului galvanic este aceeași ca înainte de începerea depunerii galvanice. Această ultimă constatare a dus la folosirea valorii deplasării pentru atingerea punctului focal, și la calculul grosimii de strat, având în vedere și valoarea primei deplasări efectuată tot pentru determinarea punctului focal, atunci când încă nu există depunere galvanică pe catod. Dezavantajul acestui procedeu și aparat îl constituie operațiile manuale, care solicită prezența operatorului pe tot parcursul operației de electrodepunere; totodată, acționarea manuală nu permite folosirea valorii luciului și a grosimii de strat ca mărimi de comandă în circuite de reglare automată a parametrilor ce influențează calitativ și cantitativ depunerile galvanice.

Problema tehnică pe care o rezolvă invenția constă în realizarea unei celule galvanice speciale, cu ajutorul căreia se reglează automat plasarea depunerii galvanice în punctul focal al unei lentile de optice de focalizare, fiind astfel posibilă măsurarea automată online, in situ a luciului și a grosimii unei depuneri galvanice, precum și studierea influenței parametrilor precum: concentrația agenților de luciu, densitatea de curent, temperatura, distanța anod-catod, concentrația ionică a băii galvanice, pH-ul și conductivitatea electrolitului, intensitatea agitării băii etc., asupra acestor doi parametri. De asemenea, aplicarea invenției face posibilă folosirea valorii luciului și a grosimii de strat ca mărimi de intrare în circuite de reglare automată a parametrilor ce influențează calitativ și cantitativ depunerea. Valoarea grosimii de strat, măsurată continuu în timpul desfășurării procesului galvanic, permite elaborarea automată a bilanțului real de materiale și de energie în orice moment al procesului, în strânsă corelare cu evoluția unor parametri tehnologici, scopul final fiind cel de optimizare a procesului de depunere galvanică din punct de vedere calitativ și cantitativ.

Celula conform invenției este o unitate galvanică prevăzută cu anod și catod propriu, echipată cu un sistem de măsurare a luciului și cu un sistem pentru măsurarea grosimii de strat; de asemenea, aceasta mai dispune de o structură de reglare automată a distanței, care permite menținerea tot timpul a suprafeței superioare a depunerii galvanice în punctul focal al unei lentile optice de focalizare, precum și de o unitate electronică ce are sarcini de achiziție, prelucrare și afișare de date:

- sistemul de măsurare a luciului, materializat sub forma unei sonde optice compacte și mobile, conține două trasee independente de fibre optice: un traseu de iluminare și un traseu pe care se întoarce radiația reflectată de pe depunerea galvanică, și ajunge la sistemul fotometric de măsurare a intensității luminoase și, de aici, în electronica de amplificare și de procesare. Focalizarea fasciculului luminos pe depunerea galvanică se

RO 125793 Β1 realizează cu o lentilă optică de focalizare, cu distanță focală lungă situată la partea 1 inferioară a sondei optice. în partea superioară a sondei optice, o fotodiodă transformă intensitatea radiației monocromatice reflectate de pe suprafața depunerii galvanice într-un 3 fotocurent proporțional, care este convertit în unități procentuale de luciu în unitatea electronică, considerând convențional luciul oglinzii de argint ca având 100% luciu. în timpul 5 măsurătorilor curente, determinarea intensității luminoase corespunzătoare luciului de 100% are loc cu sonda optică scufundată în electrolitul galvanic, folosind ca etalon o oglindă de 7 argint miniaturală, care poate fi rabatată pe catod în dreptul canalului optic al sondei, înainte de începerea depunerii galvanice, și basculată din nou în poziția inițială, după efectuarea 9 măsurătorii, pentru a nu ecrana catodul în timpul procesului de electrodepunere;

- sistemul electronic de măsurare a grosimii de strat beneficiază de elementele siste- 11 mului de măsurare a luciului, și dispune, în plus, de un motor liniar de natură electromagnetică, electrodinamică sau bimetalică, și de un senzor de deplasare incremental sau inductiv 13 diferențial, al cărui element mobil este legat de tija de deplasare liniară a sondei optice, astfel încât se pot urmări și măsura exact deplasările acesteia în timpul căutării punctului focal; 15

- sistemul de reglare automată folosește la menținerea suprafeței depunerii galvanice tot timpul în punctul focal al lentilei optice, pe măsură ce depunerea se îngroașă în timp, 17 menținerea în punctul focal fiind o condiție obligatorie atât pentru măsurători precise pentru luciu, cât și pentru măsurători precise ale grosimii de strat. în acest scop, sistemul de reglare, 19 ce are ca mărime de comandă valoarea derivatei 1-a a intensității fotocurentului în funcție de distanță, iar ca element de execuție, unul dintre servomotoarele liniare enumerate mai 21 sus, provoacă mărirea, respectiv, micșorarea automată, la timpi mici și bine definiți, a distanței dintre depunerea galvanică și sonda optică, la fiecare traversare a punctului focal 23 fiind inițiată măsurarea și afișarea valorilor celor doi parametri, luciu și grosime de strat. La cererea operatorului, pe display-ul unității electronice poate fi afișată evoluția acestor doi 25 parametri în timp, sau, în funcție de alt parametru tehnologic (densitate de curent, concentrația și compoziția băii galvanice, temperatura băii galvanice, regimul de agitare al 27 băii galvanice, concentrația agenților de luciu folosiți etc.), în structura celulei galvanice speciale mai intră un sistem de fixare și rigidizare, și un batiu, precum și un șurub 29 micrometric, pentru deplasarea catodului în vederea aducerii lui cu precizie în punctul focal al lentilei optice. 31

Aplicarea invenției duce la următoarele avantaje:

- prin folosirea unui sistem automat de căutare a punctului optim pentru măsurarea, 33 precum și pentru menținerea sistemului optic în punctul focal al lentilei, se realizează măsurarea precisă și concomitentă atât a luciului, cât și a grosimii de strat la depuneri 35 galvanice pe tot parcursul procesului de electrodepunere;

- soluția folosirii diferitelor tipuri de motoare liniare, ca elemente de execuție în 37 circuitul de reglare automată a punctului focal, duce la avantaje specifice, astfel motorul liniar electromagnetic are o excursie mare, ceea ce permite retragerea lui completă din traseul 39 liniilor de câmp, după efectuarea unei măsurători, motorul electrodinamic are un răspuns rapid, permițând efectuarea unui număr extrem de mare de determinări, iar motorul bimetalic 41 este foarte simplu și ieftin;

- prin folosirea unui sistem complet automat de măsurare a luciului și a grosimii de 43 strat se poate realiza studiul in situ al influenței diferiților parametri de proces precum:

concentrație agenți de luciu, densitate de curent, temperatură, distanță anod-catod, 45 intensitate agitare baie galvanică, concentrație și compoziție ionică a băii galvanice, pH și conductivitate baie etc., asupra luciului depunerilor galvanice; 47

RO 125793 Β1

- evoluția în timp a grosimii stratului galvanic poate fi folosită pentru studiului influenței diferiților parametri de lucru asupra: productivității procesului galvanic, a randamentului de curent, a randamentului energetic, precum și pentru stabilirea bilanțurilor de materiale și energetice;

- evoluția grosimii stratului galvanic în timp poate fi folosită ca mărime de intrare în circuite de reglare automată care au ca scop optimizarea procesului de depunere galvanică.

Se dau în continuare trei exemple de realizare a invenției în legătură cu:

- fig. 1, ce reprezintă schema de principiu a aparatului cu motor liniar electromagnetic;

- fig. 2, ce reprezintă schema de principiu a aparatului cu motor liniar electrodinamic;

- fig. 3, ce reprezintă schema de principiu a aparatului cu motor liniar bimetalic.

Exemplul de realizare a invenției cu motor liniar electromagnetic, conform fig. 1, conține un catod 1 pe care se realizează depunerea 2 galvanică, un anod 3, o sursă laser 4 cu radiație monocromatică, o sondă 5 optică ce conține o fibră 6 optică de iluminare, care, în dreptul unei lentile 7 optice de focalizare cu distanță focală lungă, se scindează, în scopul unei iluminări mai bune, în douăsprezece fibre 8 optice dispuse radial în jurul unei alte fibre 9 optice, pentru preluarea și transmitere radiației monocromatice reflectate de pe probă, o oglindă 10 circulară de argint, o tijă 11 pentru rabatarea oglinzii, o unitate 12 electronică pentru achiziția și prelucrarea datelor, precum și pentru comanda menținerii catodului în punctul focal al lentilei.

Pentru deplasarea sondei optice în scopul căutării punctului focal, este folosită o tijă 13 de deplasare, ce constituie elementul mobil al unui sistem 14 electromecanic de deplasare, format, la rândul lui, dintr-un micromotor electric rotativ, cu sistem de transformare șurub piuliță. Pentru deplasarea sondei optice, în scopul căutării punctului focal, pe arborele sistemului electromecanic de deplasare este fixat un senzor 15 fotoelectric incremental rotativ, întreaga structură fiind montată pe un braț 16 transversal, pe care se mai găsește un șurub 17 micrometric, pentru reglarea distanței între electrozi, și trei șuruburi 18 și 19 și 20, de poziționare și strângere. întreaga structură este montată pe o coloană 21 de susținere, fixată, la rândul ei, pe un batiu 22 pe care se găsește montată o baie 23 galvanică.

Exemplul de realizare a invenției cu motor liniar electrodinamic, conform fig. 2, conține un catod 1 pe care se realizează depunerea 2 galvanică, un anod 3, o sursă laser 4 cu radiație monocromatică, o sondă 5 optică ce conține o fibră 6 optică de iluminare, care, în dreptul unei lentile 7 optice de focalizare cu distanță focală lungă, se scindează, în scopul unei iluminări mai bune, în douăsprezece fibre 8 optice, dispuse radial în jurul unei alte fibre 9 optice, pentru preluarea și transmitere radiației monocromatice reflectată de pe depunerea galvanică, o oglindă 10 circulară de argint, o tijă 11 pentru rabatarea oglinzii, o unitate 12 electronică pentru achiziția și prelucrarea datelor, precum și pentru comanda menținerii catodului în punctul focal al lentilei, și o tijă 13 de deplasare, reperele 18 și 19 și 20 reprezentând trei șuruburi de poziționare și strângere, reperul 21, o coloană de susținere fixată pe un batiu 22, pe care se găsește montată o baie 23 galvanică.

Pentru deplasarea sondei optice, în scopul căutării punctului focal, este folosit un motor electrodinamic liniar, format, la rândul lui, dintr-o bobină 24, un magnet 25 și o membrană 26 elastică, iar pentru măsurarea grosimii de strat este folosit un senzor de deplasare de tip inductiv diferențial, ce are în compunere un miez 27 mobil și două bobine 28 și 29 electrice, întreaga structură fiind montată pe un braț 30 transversal, prevăzut cu un șurub 31 micrometric, folosit, la rândul lui, pentru deplasarea fină a catodului, în scopul primei poziționări a acestuia în zona punctului focal al lentilei optice cu distanță focală lungă.

RO 125793 Β1

Exemplul de realizare a invenției cu motor liniar bimetalic, conform fig. 3, conține un 1 catod 1 pe care se realizează depunerea 2 galvanică, un anod 3, o sursă 4 laser cu radiație monocromatică, o sondă 5 optică ce conține o fibră 6 optică de iluminare care se scindează, 3 în scopul unei iluminări mai bune, în dreptul unei lentile 7 optice, de focalizare cu distanță focală lungă, în douăsprezece fibre 8 optice, dispuse radial după o fibră 9 optică, pentru 5 preluarea și transmitere radiației monocromatice reflectată de pe depunerea galvanică, o oglindă 10 circulară de argint, o tijă 11 pentru rabatarea oglinzii, o unitate 12 electronică, 7 pentru achiziția și prelucrarea datelor, precum și pentru comanda menținerii catodului în punctul focal al lentilei optice, reperul 21 reprezintă o coloană de susținere fixată pe un batiu 9 22, pe care se găsește montată o baie 23 galvanică.

Pentru deplasarea sondei optice, în scopul căutării punctului focal, aceasta este 11 articulată mobil cu o lamelă 32 bimetalică de încovoiere, pe care se găsește bobinat un rezistor 33 electric, sub formă de sârmă, pe un singur rând, iar pentru măsurarea grosimii 13 de strat este folosit un senzor 34 optoelectronic incremental de deplasare, ce are tija t de urmărire în contact cu lamela bimetalică. întreaga structură se găsește montată pe un braț 15 35 transversal, prevăzut cu un șurub 36 micrometric, folosit pentru deplasarea fină a catodului, în scopul aducerii acestuia în zona punctului focal al lentilei optice. Pentru fixarea 17 electrozilor și pentru asigurarea de distanțe diferite între aceștia, este folosit un braț 37 izolat electric, prevăzut cu niște canale c de montare, iar pentru poziționarea electrozilor în baia 19 galvanică, este folosit un alt braț 38, strâns cu un șurub 39.

Valoarea L a luciului depunerii 2 galvanice se determină concomitent cu grosimea 21 g_m a acesteia, modul de lucru fiind următorul:

După montarea catodului 1 se rabatează oglinda 10 circulară de argint pe acesta, și 23 se scufundă ansamblul în baia galvanică, după care se reglează din șurubul micrometric distanța dintre lentilă 7 de focalizare cu distanță focală lungă și oglinda 10 circulară de argint, 25 până când valoarea intensității U a fotocurentului, ce reprezintă o măsură a intensității radiației monocromatice reflectate de pe depunerea 2 galvanică, este maximă, în aceste condiții 27 se consideră valoarea luciului L ca fiind 100% luciu. După aceasta, oglinda 10 circulară de argint este rabatată și se reglează din nou distanța în așa fel, încât suprafața catodului 1 să 29 fie în punctul focal al lentilei 7 optice de focalizare (fotocurentul măsurat este maxim) și se măsoară valoarea intensității l₂ a fotocurentului dat de radiația monocromatică reflectată de 31 data aceasta de suprafața catodului 1 fără acoperire galvanică. Raportul l₂/l₀ · 100 dă valoarea luciului L₂ a catodului fără depunere 2 galvanică. în continuare se pun sub tensiune 33 cei doi electrozi ai celulei galvanice, și se începe electrodepunerea metalului sau aliajului pe catodul 1, luciul depunerii 2 galvanice și grosimea acesteia evoluând în timp, în funcție de 35 parametrii de proces. La timpi bine stabiliți și presetați, se realizează în mod automat măsurători ale intensității fotocurenților l₃...l_n care, prin rapoartele l₃/l₀· 100... I_n/I_o · 100, dau 37 valorile de luciu L₃... L_n în funcție de valorile diferiților parametri de proces în acel moment în baia galvanică. Prin efectuarea raportului fotocurenților, se elimină influența absorbției 39 radiației de către electrolitul galvanic, deoarece valoarea acestei absorbții se regăsește atât la numărătorul fracției, cât și la numitorul ei, iar prin simplificare, dă valoarea unu, care nu 41 afectează rezultatul măsurătorilor.

Dat fiind faptul că grosimea stratului galvanic crește în timp, suprafața depozitului 43 galvanic se apropie de lentila 7 optică de focalizare, ieșind din punctul focal al acesteia.

Corecția acestei abateri se realizează cu un element de execuție, de tip motor liniar, ce 45 deplasează sonda 5 optică până când se restabilește distanța optimă între lentila 7 optică de focalizare și depunerea 2 galvanică, distanță la care valoarea luciului este maximă. 47

RO 125793 Β1

Elementul de execuție de tip electromecanic, electrodinamic sau bimetalic face parte dintr-un lanț electronic de reglare, ce are ca scop menținerea automată a stratului superficial al depunerii 2 galvanice în punctul focal al lentilei 7 optice de focalizare, condiție necesară pentru realizarea unor determinări de precizie pentru luciul L. în acest scop, la intervale de timp presetate, elementul de execuție primește un semnal de eroare amplificat, care provoacă distanțarea progresivă a sondei 5 optice până când semnalul de eroare are valoare zero, situație ce corespunde restabilirii distanței care plasează stratul superficial al depunerii 2 galvanice exact în punctul focal al lentilei 7 optice de focalizare. Ca semnal de comandă a circuitului de reglare automat este folosită valoarea derivatei l-a a intensității β a fotocurentului care este proporțional cu intensitatea radiației monocromatice reflectate de pe depunerea 2 galvanică, în funcție de distanța x între lentila 7 optică de focalizare și depunerea 2 galvanică. Atunci când, în timpul desfășurării procesului de electrodepunere, valoarea derivatei 1-a este diferită de zero:

dl — ^0 (1) dx rezultă că suprafața depunerii 2 galvanice s-a deplasat din punctul focal, ca urmare a creșterii grosimii stratului, fapt sesizat de scăderea intensității fotocurentului de la valoarea maximă anterioară, lanțul de reglare automată comandă elementul de execuție (de tip servomotor liniar) care îndepărtează lent sonda 5 optică de depunerea 2 galvanică. La un moment dat această deplasare este egală cu noua grosimea g_m a depunerii 2 galvanice, și fotocurentul atinge din nou valoarea maximă, ceea ce înseamnă că suprafața depunerii 2 galvanice se găsește din nou în punctul focal, valoarea derivatei 1-a este egală cu zero:

dl '•dd Λ ίΓ\\ — = 0 (2) dx și este inițiată automat o nouă măsurare a luciului în condiții optime. Cursa sondei 5 optice este continuată până se atinge o valoare limită prestabilită, valoare la care sonda 5 optică se oprește și își schimbă sensul deplasării, apropiindu-se din nou de depunerea 2 galvanică până când cea din urmă se găsește din nou în punctul focal, ceea ce determină o nouă măsurare de L de luciu. Sistemul electronic efectuează automat media aritmetică între prima valoare citită a luciului și cea de-a doua valoare citită a luciului, media rezultată fiind memorată și afișată, și considerată reprezentativă pentru luciul L la acel moment. La execuția celulei galvanice cu motor liniar bimetalic, sonda se găsește totdeauna în așteptare poziționată la valoarea limită superioară. La timpi bine stabiliți și setați pe calculator, rezistorul ce încălzește bimetalul este pus sub tensiune, provocând, prin încălzirea lamelei bimetalice, încovoierea acesteia în jos și inclusiv deplasarea sondei optice în aceeași direcție. La un moment dat se atinge punctul focal, iar valoarea zero a derivatei 1-a inițiază automat citirea luciului și întreruperea tensiunii de alimentare a rezistorului. Din cauza inerției termice mari, bimetalul își continuă cursa în jos, depășind punctul focal. După întreruperea tensiunii de alimentare a rezistorului, lamela bimetalică se răcește și se retrage, provocând deplasarea în sus a sondei optice, ceea ce duce la a doua traversare a punctului focal. Valoarea memorată și afișată a luciului constituie, și în acest caz, valoarea medie a celor două citiri de luciu.

RO 125793 Β1

Valoarea deplasării sondei 5 optice, măsurată cu unul dintre senzorii incrementali 1 folosiți la cele trei exemple de realizare a invenției, în scopul căutării punctului focal deplasat ca urmare a creșterii grosimii depunerii 2 galvanice, reprezintă măsura creșterii grosimii de 3 strat de la ultima căutare automată a punctului focal, sau reprezintă măsura creșterii grosimii totale de strat în cazul în care raportarea se face la deplasarea sondei optice în vederea 5 găsirii punctului focal pe catod înainte de începerea depunerii galvanice.

Prin soft-ul specific, grosimea g_m a depunerii 2 galvanice poate fi redată automat în 7 timp, în funcție de diferiți parametrii de proces, sau poate fi folosită, după caz, pentru reglarea automată a parametrilor, în scopul optimizării procesului de depunere galvanică. 9 Astfel, poate fi calculat continuu și afișat grafic în funcție de timp randamentul de curent q_c ca fiind raportul între valoarea masei măsurate rn_m a depunerii și valoarea masei teoretice 11 m_t a acesteia, calculate din legea Faraday, cu luarea în considerare a intensității I a curentului, a timpului t de depunere, a masei atomice A a depozitului galvanic, a numărului 13 F (F= 96.500 Q) a lui Faraday și a valenței z a ionilor care se descarcă la electrozi. Dacă se are în vedere și faptul că masa m a unui metal depus la catod este dată de produsul dintre 15 grosimea g_m a depozitului 2 galvanic, suprafața pe care s-a realizat depunerea (a x b) și densitatea p, se obține expresia randamentului de curent ca fiind: 17 a-b- p g„pz-F

A-l-l în același mod poate fi calculat și afișat continuu randamentul energetic ηθ, ca fiind produsul dintre randamentul de curent q_c și randamentul de tensiune q_t, randament care exprimă folosirea în scop util a energiei electrice, ținând cont și de tensiunea aplicată între cei doi electrozi U_e, tensiune care este mai ridicată decât potențialul Nernst ε° necesar teoretic pentru descărcarea la catod a metalului corespunzătortipului de depunere galvanică:

n_e = Ic · 1t (4) ε°

Calcularea automată a randamentului de curent și a celui energetic permite mai 35 departe elaborarea, tot în mod automat, și a bilanțului de materiale și a celui energetic în orice moment al depunerii, cu evidențierea influenței diferiților parametri și asupra 37 productivității procesului galvanic, permițând totodată și conducerea automată a procesului cu ajutorul unui model matematic de optimizare. 39

Claims (4)

1. Celulă galvanică pentru măsurarea automată a luciului și a grosimii de strat, ce are în compunere un batiu (22), o coloană de susținere (21), un catod (1), un anod (3) prevăzut cu un orificiu, o oglindă (10) de argint, o sondă optică (5), o lentilă optică (7), o sursă de radiație monocromatică și o unitate optoelectronică, caracterizată prin aceea că, în vederea măsurării automate continue și in situ a luciului L și a grosimii g_m a unei depuneri (2) galvanice, este folosit un sistem de reglare și de măsurare automată, în compunerea căruia intră un senzor de deplasare și un element de execuție de tip motor liniar, sistemul de reglare folosind, la măsurarea luciului, ca mărime de reacție, valoarea fotocurentului corespunzător intensității radiației monocromatice reflectate de pe depunerea (2) galvanică situată în punctul focal al unei lentile (7) optice de focalizare cu distanță focală lungă, iar la măsurarea grosimii depunerii galvanice folosind, ca mărime de reacție, diferența dintre două valori ale deplasării unei sonde (5) optice spre catod (1), până când depunerea (2) galvanică de pe acesta ajunge în punctul focal al aceleiași lentile (7) optice.

2. Celulă galvanică, conform revendicării 1, caracterizată prin aceea că, pentru reglarea automată a distanței dintre suprafața unei depuneri (2) galvanice și lentila (7) optică de focalizare cu distanță focală lungă, aparținând sondei (5) optice, este folosit un circuit de reglare automată, ce are ca mărime de comandă valoarea derivatei 1-a a intensității fotocurentului în funcție de distanță, ca element de execuție, un sistem (14) electromecanic de deplasare, format dintr-un micromotor electric rotativ, cu sistem de transformare - șurub piuliță, și, ca element de măsurare a deplasării, un senzor (15) fotoelectric incremental.

3. Celulă galvanică, conform revendicării 1, caracterizată prin aceea că, în vederea reglării automate a distanței dintre suprafața unei depuneri (2) galvanice și lentila (7) optică de focalizare cu distanță focală lungă, aparținând sondei (5) optice, este folosit un circuit de reglare, ce are, ca mărime de comandă, valoarea derivatei 1-a a intensității fotocurentului, în funcție de distanță, și, ca element de execuție, un motor de deplasare liniar, de tip electrodinamic, format dintr-o bobină (14), un magnet (15) continuu și o membrană (16) elastică, iar pentru măsurarea grosimii de strat este folosit un senzor de deplasare inductiv diferențial, format dintr-un miez (16) mobil și două bobine (17 și 18).

4. Celulă galvanică, conform revendicării 1, caracterizată prin aceea că, în vederea reglării automate a distanței dintre suprafața unei depuneri (2) galvanice și lentila (7) optică de focalizare cu distanță focală lungă, aparținând sondei (5) optice, este folosit un circuit de reglare automată ce are, ca mărime de comandă, valoarea derivatei 1-a a intensității fotocurentului în funcție de distanță, și, ca element de execuție, un sistem de deplasare format dintr-o lamelă (13) de încovoiere bimetalică, pe care se găsește bobinat un rezistor (14), iar pentru măsurarea grosimii de strat este folosit un senzor (15) de deplasare fotoelectric incremental.