RO102437B1 - Magnetic device for controlling electrons - Google Patents

Magnetic device for controlling electrons Download PDF

Info

Publication number
RO102437B1
RO102437B1 RO13639488A RO13639488A RO102437B1 RO 102437 B1 RO102437 B1 RO 102437B1 RO 13639488 A RO13639488 A RO 13639488A RO 13639488 A RO13639488 A RO 13639488A RO 102437 B1 RO102437 B1 RO 102437B1
Authority
RO
Romania
Prior art keywords
magnetic
ring
ferromagnetic
electrons
area
Prior art date
Application number
RO13639488A
Other languages
Romanian (ro)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to RO13639488A priority Critical patent/RO102437B1/en
Publication of RO102437B1 publication Critical patent/RO102437B1/en

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Invenția se referă Ia un dispozitiv de dirijare a electronilor din sursele de electroni cu plasmă. Dispozitivul magnetic este alcătuit dintr-un capac superior, un capac inferior, o piesă de dirijare, compusă dintr-un inel superior, un inel inferior, toate feromagneticc, și un inel intermediar, neferomagnetic, piese magnetice, iar în scopul magnetizării pieselor magnetice, au fost prevăzute niște bobine, magnetizarea cl'ectuîndu-se printr-o succesiune de impulsuri de durată mică și de intensitate a curentului mare.The invention relates to a steering device a of electrons from plasma electron sources. The magnetic device consists of one upper lid, lower lid, steering piece, composed of an upper ring, a lower ring, all ferromagnetic, and an intermediate ring, non-magnetic, magnetic parts, and for the purpose magnetization of magnetic parts, have been provided some coils, the magnetization fluttering through it short and short pulse duration high current intensity.

Description

Invenția se referă la un dispozitiv magnetic de dirijare a electronilor din sursele de electroni cu plasmă.The invention relates to a magnetic device for directing electrons from plasma electron sources.

In scopul dirijării electronilor în sursele de electroni cu plasmă, se cunosc dispozitive de dirijare mecanică, dar care prezintă dezavantaje întrucît consuma din energia de descărcare și se încălzesc și necesită circuit de răcire forțată introdus în zonă vidată.For the purpose of directing electrons into plasma electron sources, mechanical steering devices are known, but they have disadvantages as they consume the discharge energy and they are heated and require forced cooling circuit introduced into the vacuum zone.

Scopul invenției este acela de a se dirija electronii din sursa de electroni cu plasmă cu un consum mai mic de energie.The object of the invention is to direct electrons from the source of plasma electrons with lower energy consumption.

Problema pe care o rezolvă invenția de față este de a realiza un dispozitiv magnetic de dirijare a electronilor din sursele de electroni cu plasma.The problem solved by the present invention is to make a magnetic device for directing electrons from plasma electron sources.

Invenția înlătură dezavantajele de mai sus prin aceea că este alcătuită dintr-un capac superior, un capac inferior, o piesă de dirijare compusă dintr-un inel superior, un inel inferior, toate feromagnetice și un inel intermediar, neferomagnetic, piese magnetice, iar în scopul magnetizării pieselor magnetice, au fost prevăzute niște bobine, magnetizarea efectuîndu-se printr-o succesiune de impulsuri de durată mică și de intensitate a curentului mare.The invention removes the above disadvantages in that it is composed of an upper lid, a lower lid, a steering piece composed of an upper ring, a lower ring, all ferromagnetics and an intermediate ring, non-magnetic, magnetic parts, and in for the purpose of magnetizing the magnetic parts, some coils were provided, the magnetization being carried out by a succession of pulses of short duration and of high current intensity.

Se dă, in continuare, un exemplu de realizare a invenției, în legătură și cu fig. 1 și 2, care reprezintă:An example of embodiment of the invention is given below, in connection with FIG. 1 and 2, representing:

- fig. 1, schema dispozitivului;FIG. 1, device diagram;

- fig. 2, secțiune prin dispozitiv.FIG. 2, section by device.

Dispozitivul conform invenției este alcătuit dintr-un capac superior 1, un capac inferior 2, prevăzute cu degajările a pentru a se fixa pe niște umeri b practicați pe piesa de dirijare A a liniilor de eîmp magnetic, figurate punctat în desene și cu niște locașe c pentru un contact cît mai bun între piesele magnetice 4 confecționate din materiale magnetice dure, cu valoare mare a inducției remanente și cu energie specifică mare și capacele 1, 2 pentru a reduce la minim căderile de tensiune magnetică din interstiții.The device according to the invention is composed of an upper cover 1, a lower cover 2, provided with the openings a to be fixed on some shoulders b practiced on the guide piece A of the magnetic field lines, shown dotted in the drawings and with recesses c. for the best contact between the magnetic parts 4 made of hard magnetic materials, with high value of the remaining induction and with high specific energy and the lids 1, 2 to minimize the drops of magnetic tension in the intersections.

Piesele magnetice 4 sînt dispuse circular și au polii de același tip în contact cu același capac 1 sau 2. Liniile de eîmp magnetic se închid prin capacele 1, 2 și prin piese de dirijare A, singura în contact cu incinta vidată 5, și care pentru etanșare este prevăzută cu două canale pentru garnituri nefigurate în desene.The magnetic pieces 4 are arranged circularly and have the poles of the same type in contact with the same cover 1 or 2. The magnetic field lines are closed by the covers 1, 2 and through the guide pieces A, the only one in contact with the vacuum chamber 5, and which for Sealing is provided with two channels for gaskets not shown in the drawings.

Piesa de dirijare este alcătuită dintr-un inel superior 6 un inel inferior 7 și un inel intermediar 8. Capacele 1 și 2, inelul superior 6 și inelul inferior 7 sînt confecționate din oțeluri feromagnetice, astfel că pe inelul intermediar 8 nemagnetic, căderea de tensiune magnetică să fie maximă. In zona inelului intermediar 8, distribuția liniilor de eîmp în incinta vidată 5 este determinată de configurația suprafețelor de contact d.The steering piece consists of an upper ring 6 a lower ring 7 and an intermediate ring 8. The covers 1 and 2, the upper ring 6 and the lower ring 7 are made of ferromagnetic steel, so that on the intermediate ring 8 non-magnetic, the voltage drop magnetic to be maximum. In the area of the intermediate ring 8, the distribution of the spline lines in the vacuum chamber 5 is determined by the configuration of the contact surfaces d.

Electronii emiși de catodul 9, accelerați de tensiunea de descărcare aplicată între acesta și camera de lucru 10 pătrund în zona piesei de dirijare A, cîmpul magnetic din această zonă interacționează cu electronii și le imprimă acestora o direcție de deplasare spre camera de lucru 10,The electrons emitted by the cathode 9, accelerated by the discharge voltage applied between it and the working chamber 10 enter the area of the conducting part A, the magnetic field in this area interacts with the electrons and prints them a direction of movement towards the working room 10,

Pentru fiecare configurație a zonei pe care o bombardează electronii, este necesară o piesă de dirijare A.For each configuration of the area that the electrons bombard, a conducting part A. is required.

Menținerea intensității necesare a cîmpului magnetic în incinta vidată 5 se face prin magnetizarea pieselor magnetice 4 după asamblarea dispozitivului cu ajutorul bobinelor 11 pentru asigurarea punctului de funcționare a circuitului magnetic aflat pe curba de demagnetizam a materialului magnetic. Sensul de înfășurare a bobinelor 11 este același, iar megnetizarea se poate realiza printr-o succesiune de impulsuri scurte cu valoarea mare a intensității curentului, numărul impulsurilor fiind funcție de punctul de funcționare dorit.Maintaining the required intensity of the magnetic field in the vacuum chamber 5 is done by magnetizing the magnetic parts 4 after assembling the device with the coils 11 to ensure the operating point of the magnetic circuit on the demagnetization curve of the magnetic material. The winding direction of the coils 11 is the same, and the megnetization can be achieved by a succession of short pulses with a high value of current intensity, the number of impulses depending on the desired operating point.

Pentm a se putea asambla dispozitivul sînt prevăzute mai multe prezoane 12, nemagnetice fixate pe capacul inferior 2. Capacul superior 1 este prevăzut cu lamelele 13 în care intră piulițele 14, astfel că prezoanele 12 sînt utilizate la fixarea dispozitivului de camera de descărcare 15.In order to be able to assemble the device, there are several non-magnetic screws 12 fixed on the lower cover 2. The upper cover 1 is provided with the blades 13 in which the nuts 14 enter, so that the pins 12 are used when fixing the device of the unloading chamber 15.

Amplasarea ansamblului rezultat pe camera de lucru 10 se face prin niște organe de asamblare 16. Vidul se realizează printr-un tub 17 de către un grup de pompare nefigurat în desene.The assembly of the resulting assembly on the working room 10 is made by means of assembly elements 16. The vacuum is made through a tube 17 by a pumping group not shown in the drawings.

Prin aplicarea invenției se obțin următoarele avantaje:By applying the invention, the following advantages are obtained:

- nu necesită introducerea unui circuit de răcire forțată în zona vidată:- does not require the introduction of a forced cooling circuit in the vacuum area:

elimină elementele suplimentare necesare pentru alimentarea cu apă și supravegherea acesteia.eliminates the additional elements necessary for water supply and its monitoring.

Claims (3)

Revendicăriclaims 1. Dispozitiv magnetic de dirijare a electronilor, caracterizat prin aceea că este alcătuit dintr-un capac superior (1), un capac inferior (2), o piesă de dirijare (A) compusă dintr-un inel superior (6) și un inel inferior (7), toate feromagnetic e și un inel intermediar (8) neferomagnetic.1. Magnetic electron steering device, characterized in that it consists of an upper cover (1), a lower cover (2), a steering piece (A) composed of an upper ring (6) and a ring bottom (7), all ferromagnetic and an intermediate ring (8) non-ferromagnetic. 2. Dispozitiv conform revendicării 1, caracterizat prin aceea că, pentru obți4 nerea unei căderi de tensiune magnetică maximă pe întrefierul din zona inelului intermediar (8), în capacul superior (1) și în capacul inferior (2), feromagnetice sîntDevice according to claim 1, characterized in that, for obtaining4 a maximum magnetic voltage drop on the air gap in the intermediate ring area (8), in the upper cap (1) and in the lower cap (2), ferromagnetics are 5 practicate niște locașe (c) care asigură un contact bun cu piesele magnetice (4) precum și distribuția uniformă a cîmpului în întrefier.5 holes (c) that provide good contact with the magnetic parts (4) as well as the uniform distribution of the field in the air gap. 3. Dispozitiv conform revendicărilor 1 șiDevice according to claims 1 and 10 2, caracterizat prin aceea că în scopul magnetizării pieselor magnetice (4), au fost prevăzute niște bobine (11), magnetizarea efectuîndu-se printr-o succesiune de impulsuri de durată mică și de intensitate a10 2, characterized in that for the purpose of magnetizing the magnetic parts (4), coils (11) were provided, the magnetization being carried out by a succession of pulses of short duration and intensity of 15 curentului mare, iar pentru împiedicarea închiderii cîmpului în afara zonei incintei vidate (5), prezoanele (12) sînt confecționate din materiale nemagnetice.15 of the high current, and in order to prevent the closing of the field outside the area of the emptied enclosure (5), the posts (12) are made of non-magnetic materials. (56)Referințe bibliografice(56) Bibliographic references
RO13639488A 1988-12-12 1988-12-12 Magnetic device for controlling electrons RO102437B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RO13639488A RO102437B1 (en) 1988-12-12 1988-12-12 Magnetic device for controlling electrons

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RO13639488A RO102437B1 (en) 1988-12-12 1988-12-12 Magnetic device for controlling electrons

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RO102437B1 true RO102437B1 (en) 1993-02-15

Family

ID=20123063

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RO13639488A RO102437B1 (en) 1988-12-12 1988-12-12 Magnetic device for controlling electrons

Country Status (1)

Country Link
RO (1) RO102437B1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4810346A (en) Magnetron type sputtering cathode
WO2001097250A3 (en) Magnetrons and methods of making them
KR950016458A (en) High frequency magnetron plasma device
GB1514095A (en) Electron beam apparatus
ES2068890T3 (en) RESONANCE ION GENERATOR IN AN ELECTRONIC CYCLOTRON.
GB1250435A (en)
GB520820A (en) Improvements in or relating to electric discharge tubes
GB810697A (en) Improvements in or relating to actuating devices operated by electromagnetic pumps
RO102437B1 (en) Magnetic device for controlling electrons
JPH0689446B2 (en) Thin film forming equipment
DE60237912D1 (en) PHASE-CONTROLLED SOURCE ELECTROMAGNETIC RADIATION
GB722694A (en) Improvements in or relating to circuit arrangements, each comprising a magnetron to be excited by pulses
JP2860073B2 (en) Negative ion source device
US2922061A (en) Particle accelerator
GB1424986A (en) Electromagnetic device
JPS5531142A (en) Pressed magnetic field type magnetron sputter by focusing magnetic field
KR100465020B1 (en) Transverse flux monopole magnetizer and the magnetizing method
US1975714A (en) Arrangement for controlling the gas discharge in electric discharge vessels
KR100587312B1 (en) magnetron
KR0155245B1 (en) Ion Beam Deflection Scanning Device Using Magnetic Dipole and Its Power Source
RO102464B1 (en) Electromagnetic device for controlling electrons flows
SU1176764A1 (en) M-type instrument with periodic field
US4501990A (en) Electron tube, especially transmitting tube, with a device for eliminating interfering retarding-field effects
KR0183885B1 (en) Plasma generator
SU900342A1 (en) System of magnetic lenses