JP2860073B2 - Negative ion source device - Google Patents
Negative ion source deviceInfo
- Publication number
- JP2860073B2 JP2860073B2 JP7287078A JP28707895A JP2860073B2 JP 2860073 B2 JP2860073 B2 JP 2860073B2 JP 7287078 A JP7287078 A JP 7287078A JP 28707895 A JP28707895 A JP 28707895A JP 2860073 B2 JP2860073 B2 JP 2860073B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge vessel
- ion
- discharge
- port
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は負イオン源装置に係
り、特にイオン注入装置等に用いられるものに好適な負
イオン源装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a negative ion source device, and more particularly to a negative ion source device suitable for use in an ion implanter or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種イオン源を使用したイオン注入時
における試料の帯電緩和に有効な方策として、たとえば
「第４回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウ
ム」(１９９３年、東京)の論文集"Proceedings of the
Fourth Symposium on Beam Engineering of Advanced M
aterial Syntheses"（１９９３年１１月２４日発行）の
７５から７８頁に記載されているように、正イオンのか
わりに負イオンを注入するという技術がある。この技術
に使用される負イオン源装置の構成は一般に次のように
形成されている。2. Description of the Related Art As an effective measure for reducing charge of a sample at the time of ion implantation using this kind of ion source, for example, a collection of papers in "4th Symposium on Advanced Application Technology of Particle Beam" (1993, Tokyo). "Proceedings of the
Fourth Symposium on Beam Engineering of Advanced M
As described on pages 75 to 78 of "Syntheses", published on November 24, 1993, there is a technique in which negative ions are implanted instead of positive ions. Is generally formed as follows.
【０００３】すなわち、ガス導入口とイオン放出口とを
有する放電容器と、前記イオン放出口に隣接して配置さ
れたイオン引出電極と、該イオン引出電極と前記放電容
器とをそれぞれ所定の電位に設定する電圧印加手段と、
前記放電容器の壁面に近接して配置されプラズマ閉じ込
め磁場を形成する永久磁石と、前記放電容器内に配置さ
れたフィラメントと、該フィラメントと前記放電容器と
の間にアーク放電を発生させるアーク放電発生手段と、
前記イオン引出電極によってイオンが引き出される方向
に対して略垂直方向の磁場を前記放電容器内に発生させ
る磁極対とを具備するように形成されている。[0003] That is, a discharge vessel having a gas inlet and an ion discharge port, an ion extraction electrode arranged adjacent to the ion discharge port, and the ion extraction electrode and the discharge vessel are each set to a predetermined potential. Voltage applying means to be set;
A permanent magnet arranged in proximity to a wall surface of the discharge vessel to form a plasma confinement magnetic field; a filament arranged in the discharge vessel; and an arc discharge generating an arc discharge between the filament and the discharge vessel. Means,
A magnetic pole pair for generating a magnetic field in the discharge vessel in a direction substantially perpendicular to the direction in which ions are extracted by the ion extraction electrode.
【０００４】このような構成において、アーク放電によ
りプラズマが生成し、前記磁極対の磁場とイオン放出口
とで囲まれる領域に形成される低電子温度領域で負イオ
ンの生成が行なわれ、前記イオン引出電極を通して負イ
オンが引き出される。なお、上記磁極対により形成され
るイオン引出方向に略垂直な磁場は、一般には磁気フィ
ルターと呼ばれている。In such a configuration, plasma is generated by arc discharge, and negative ions are generated in a low electron temperature region formed in a region surrounded by the magnetic field of the magnetic pole pair and the ion emission port. Negative ions are extracted through the extraction electrode. The magnetic field formed by the magnetic pole pair and substantially perpendicular to the ion extraction direction is generally called a magnetic filter.
【０００５】また、上記負イオン生成の機構について
は、たとえば「第１１回イオン工学シンポジウム『イオ
ン源とイオンを基礎とした応用技術』」（１９８７年、
東京）の論文集“Proceedings of the Eleventh Sympos
ium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology”の
２６７から２７６頁にも記載されている。Regarding the mechanism of negative ion generation, see, for example, “Eleventh Ion Engineering Symposium“ Applied Technology Based on Ion Source and Ions ”” (1987,
Tokyo) “Proceedings of the Eleventh Sympos
ium on Ion Sources and Ion-Assisted Technology ", pages 267 to 276.
【０００６】さらに上記構成以外にも、たとえば特開昭
６３−２４８０３７号公報に記載されているように、上
記構成の放電容器のかわりに、ガス導入口とマイクロ波
導入口とイオン放出口とを有する放電容器を具備すると
ともに、上記従来の負イオン源装置の構成に加えて、前
記放電容器内にマイクロ波を導入するマイクロ波導入手
段と、前記放電容器の周囲に配置されたソレノイドコイ
ルと、前記マイクロ波導入口と磁極対とで囲まれる前記
放電容器内の領域に配置された網状部材とを具備する構
成が提案されている。Further, in addition to the above structure, for example, as described in JP-A-63-248037, a gas inlet, a microwave inlet and an ion outlet are provided in place of the discharge vessel having the above structure. With a discharge vessel, in addition to the configuration of the above-described conventional negative ion source device, a microwave introducing means for introducing a microwave into the discharge vessel, a solenoid coil disposed around the discharge vessel, There has been proposed a configuration including a mesh member disposed in a region inside the discharge vessel surrounded by a microwave introduction port and a magnetic pole pair.
【０００７】この構成の負イオン源装置は、フィラメン
トと放電容器との間の上記アーク放電のかわりに、前記
ソレノイドコイルにより発生する磁場中でマイクロ波放
電を生じさせることによってプラズマを生成させるもの
であり、また本構成の負イオン源装置の前記網状部材
は、磁気フィルターとイオン放出口とによって囲まれる
領域を、前記マイクロ波導入口より入射したマイクロ波
から遮蔽し、マイクロ波による同領域の電子の加熱によ
って生ずる負イオンの解離を防止するようにしている。The negative ion source device of this configuration generates plasma by generating a microwave discharge in a magnetic field generated by the solenoid coil, instead of the arc discharge between the filament and the discharge vessel. The net-like member of the negative ion source device of the present configuration shields an area surrounded by a magnetic filter and an ion emission port from microwaves incident from the microwave introduction port, and generates electrons in the same area by the microwave. Dissociation of negative ions caused by heating is prevented.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】フィラメントと放電容
器との間のアーク放電によりプラズマを生成する上記従
来の負イオン源装置では、同フィラメントが損耗しやす
く、特に、化学的に活性な元素の負イオンを得る際には
同フィラメントが数時間程度で断線するため、イオン注
入装置等に用いる負イオン源装置として実用上必要な寿
命が得られないという問題点があった。In the above-mentioned conventional negative ion source apparatus in which plasma is generated by arc discharge between the filament and the discharge vessel, the filament is liable to be worn, and in particular, the negative electrode of a chemically active element. When the ions are obtained, the filament breaks in about several hours, so that there is a problem that the life necessary for practical use as a negative ion source device used for an ion implantation device or the like cannot be obtained.
【０００９】また、磁場中のマイクロ波放電によりプラ
ズマを生成する上記従来の負イオン源装置では、ソレノ
イドコイルによる磁場が磁気フィルターの領域に漏洩し
て同領域の磁場を乱すため、低電子温度領域を形成する
という磁気フィルターの機能が低下し、負イオンの生成
量が少なくなるという問題点があった。In the above-described conventional negative ion source device which generates plasma by microwave discharge in a magnetic field, the magnetic field generated by the solenoid coil leaks into the magnetic filter region and disturbs the magnetic field in the magnetic filter region. However, there is a problem in that the function of the magnetic filter for forming the chromium is reduced, and the amount of generated negative ions is reduced.
【００１０】本発明はこれに鑑みなされたもので、その
目的とするところは、磁気フィルターの機能が低下する
ことなく多量の負イオンを長時間安定して得ることので
きる負イオン源装置を提供するにある。The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a negative ion source device capable of stably obtaining a large amount of negative ions for a long time without deteriorating the function of a magnetic filter. To be.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、ガス
導入口とマイクロ波導入口とイオン放出口とを有する筒
状の放電容器と、この放電容器のイオン放出口に隣接し
て配置されたイオン引出電極と、このイオン引出電極お
よび前記放電容器とをそれぞれ所定の電位に設定する電
圧印加手段と、前記放電容器内にマイクロ波を導入する
マイクロ波導入手段と、前記放電容器の外周側に放電容
器と同心円状に配置されるとともに、内周側が開口した
ヨークを備えているソレノイドコイルと、前記放電容器
のイオン放出口側に設けられ、イオンが引き出される方
向に対して略垂直方向の磁場を発生する磁極対とを備え
た負イオン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ
波導入口側で、かつ、前記イオン放出口側近傍の放電容
器内に、この放電容器と同心円状に形成された環状の磁
性部材を配置するとともに、この環状の磁性部材を、そ
の配置位置が調整できるように移動可能に形成し所期の
目的を達成するようにしたものである。That is, the present invention provides a cylindrical discharge vessel having a gas inlet, a microwave inlet, and an ion discharge port, and an ion discharge port disposed adjacent to the ion discharge port of the discharge vessel. An extraction electrode, voltage application means for setting each of the ion extraction electrode and the discharge vessel to a predetermined potential, microwave introduction means for introducing a microwave into the discharge vessel, and discharge to the outer peripheral side of the discharge vessel. A solenoid coil having a yoke that is arranged concentrically with the container and has an inner peripheral side open, and a magnetic field that is provided on the ion emission port side of the discharge container and that is substantially perpendicular to the direction in which ions are drawn out. A negative pole ion source device having a pair of magnetic poles to be generated. An annular magnetic member formed concentrically with the container is arranged, and the annular magnetic member is formed so as to be movable so that the arrangement position thereof can be adjusted, thereby achieving an intended purpose. .
【００１２】また本発明は、ガス導入口とマイクロ波導
入口とイオン放出口とを有する筒状の放電容器と、この
放電容器のイオン放出口に隣接して配置されたイオン引
出電極と、このイオン引出電極および前記放電容器とを
それぞれ所定の電位に設定する電圧印加手段と、前記放
電容器内にマイクロ波を導入するマイクロ波導入手段
と、前記放電容器の外周側に放電容器と同心円状に配置
されるとともに、内周側が開口したヨークを備えている
ソレノイドコイルと、前記放電容器のイオン放出口側に
設けられ、イオンが引き出される方向に対して略垂直方
向の磁場を発生する磁極対とを備えた負イオン源装置に
おいて、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、か
つ、前記イオン放出口側近傍の放電容器内に、この放電
容器と同心円状に形成された環状の磁性部材を配置する
とともに、この環状の磁性部材にその環状中空部を覆う
ように導電性の網状部材を設け、この網状部材を備えた
前記環状の磁性部材を、その配置位置が調整できるよう
に移動可能に形成したものである。Further, the present invention provides a cylindrical discharge vessel having a gas inlet, a microwave inlet, and an ion discharge port, an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion discharge port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode. Voltage applying means for setting the extraction electrode and the discharge vessel to a predetermined potential, microwave introducing means for introducing microwaves into the discharge vessel, and concentrically arranged on the outer peripheral side of the discharge vessel with the discharge vessel. And a solenoid coil having a yoke with an open inner periphery, and a magnetic pole pair provided on the ion emission port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to the direction in which ions are extracted. In the negative ion source device provided, the discharge vessel is formed concentrically with the discharge vessel in the discharge vessel near the microwave introduction port side and the ion emission port side with respect to the magnetic pole pair. In addition to disposing the annular magnetic member, a conductive mesh member is provided on the annular magnetic member so as to cover the annular hollow portion, and the annular magnetic member provided with the mesh member is disposed at the position where the annular magnetic member is arranged. It is formed so as to be movable so that it can be adjusted.
【００１３】また、ガス導入口とマイクロ波導入口とイ
オン放出口とを有する筒状の放電容器と、この放電容器
のイオン放出口に隣接して配置されたイオン引出電極
と、このイオン引出電極および前記放電容器とをそれぞ
れ所定の電位に設定する電圧印加手段と、前記放電容器
内にマイクロ波を導入するマイクロ波導入手段と、前記
放電容器の外周側に放電容器と同心円状に配置されると
ともに、内周側が開口したヨークを備えているソレノイ
ドコイルと、前記放電容器のイオン放出口側に設けら
れ、イオンが引き出される方向に対して略垂直方向の磁
場を発生する磁極対とを備えた負イオン源装置におい
て、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、かつ、前
記イオン放出口側近傍の放電容器内に、この放電容器と
同心円状に形成された環状の磁性部材を配置するととも
に、この環状の磁性部材と前記ヨークとを備えたソレノ
イドコイルを、それぞれその配置位置が調整できるよう
に移動可能に形成したものである。また、ガス導入口と
マイクロ波導入口とイオン放出口とを有する筒状の放電
容器と、この放電容器のイオン放出口に隣接して配置さ
れたイオン引出電極と、このイオン引出電極および前記
放電容器とをそれぞれ所定の電位に設定する電圧印加手
段と、前記放電容器内にマイクロ波を導入するマイクロ
波導入手段と、前記放電容器の外周側に放電容器と同心
円状に配置されるとともに、内周側が開口したヨークを
備えているソレノイドコイルと、前記放電容器のイオン
放出口側に設けられ、イオンが引き出される方向に対し
て略垂直方向の磁場を発生する磁極対とを備えた負イオ
ン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ波導入口
側で、かつ、前記イオン放出口側近傍の放電容器内に、
この放電容器と同心円状に形成された環状の磁性部材を
配置するとともに、この環状の磁性部材にその環状中空
部を覆うように導電性の網状部材を設け、この網状部材
を備えた前記環状の磁性部材と前記ヨークとを備えたソ
レノイドコイルを、それぞれその配置位置が調整できる
ように移動可能に形成したものである。Also, a cylindrical discharge vessel having a gas inlet, a microwave inlet, and an ion discharge port, an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion discharge port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode, Voltage applying means for setting each of the discharge vessels to a predetermined potential; microwave introduction means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a discharge vessel arranged concentrically with the discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel. A negative electrode comprising: a solenoid coil having a yoke with an open inner peripheral side; and a magnetic pole pair provided on the ion discharge port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the ion source device, a ring formed concentrically with the discharge vessel in a discharge vessel closer to the microwave introduction port than the magnetic pole pair and near the ion emission port side. With arranging the magnetic member, a solenoid coil with said yoke and the annular magnetic member, in which its position is movably formed so as to be adjusted respectively. Further, a cylindrical discharge vessel having a gas inlet, a microwave inlet, and an ion discharge port, an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion discharge port of the discharge vessel, the ion extraction electrode and the discharge vessel A voltage applying means for setting each to a predetermined potential; a microwave introducing means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a concentrically arranged discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel, A negative ion source device comprising: a solenoid coil having a yoke having an open side; and a magnetic pole pair provided on an ion emission port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the microwave introduction port side of the magnetic pole pair, and in the discharge vessel near the ion emission port side,
An annular magnetic member formed concentrically with the discharge vessel is arranged, and a conductive mesh member is provided on the annular magnetic member so as to cover the annular hollow portion, and the annular member having the mesh member is provided. A solenoid coil including a magnetic member and the yoke is formed so as to be movable so that its arrangement position can be adjusted.
【００１４】すなわちこのように形成された負イオン源
装置であると、マイクロ波導入口と磁極対とで囲まれる
放電容器内の領域に磁性体が配置されることにより、ヨ
ークと磁性部材とによって磁気回路が形成されるので、
ソレノイドコイルにより発生する磁場は、ヨーク内部と
磁性部材の内部とに集中分布することになり、このた
め、ソレノイドコイルにより発生する磁場のうち放電容
器の内側の磁場は、磁性部材を経由してヨークに集束
し、磁気フィルターの領域に漏洩することはなくなり、
磁極対により発生する同領域の磁場は乱れず、したがっ
て低電子温度領域を形成するという磁気フィルターの機
能は低下せず、それゆえ多量の負イオンを得ることがで
きるのである。また、安定した磁場中でマイクロ波放電
を生じさせることができプラズマを長時間安定に生成で
きるのである。That is, in the negative ion source device formed as described above, the magnetic material is disposed in the region inside the discharge vessel surrounded by the microwave introduction port and the magnetic pole pair, so that the yoke and the magnetic member cause the magnetic material to be disposed. Because a circuit is formed,
The magnetic field generated by the solenoid coil is concentrated and distributed inside the yoke and the inside of the magnetic member. Therefore, of the magnetic field generated by the solenoid coil, the magnetic field inside the discharge vessel passes through the magnetic member through the yoke. And no longer leaks into the area of the magnetic filter,
The magnetic field generated by the magnetic pole pair in the same region is not disturbed, so that the function of the magnetic filter to form a low electron temperature region is not deteriorated, and therefore, a large amount of negative ions can be obtained. In addition, microwave discharge can be generated in a stable magnetic field, and plasma can be generated stably for a long time.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図示した実施例に基づいて
本発明を詳細に説明する。図１にはその負イオン源装置
が断面して示されている。負イオン源装置は、主とし
て、放電容器１、イオン引出電極２、電圧印加手段であ
る直流定電圧電源３、マイクロ波導入手段４、ソレノイ
ドコイル５、このソレノイドコイルの周囲に配置された
ヨーク６、環状の磁性部材７、導電性の網状部材８、磁
極対である１対の永久磁石９から構成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on illustrated embodiments. FIG. 1 is a cross-sectional view of the negative ion source device. The negative ion source device mainly includes a discharge vessel 1, an ion extraction electrode 2, a DC constant voltage power supply 3, which is a voltage applying means, a microwave introducing means 4, a solenoid coil 5, a yoke 6 arranged around the solenoid coil, It is composed of an annular magnetic member 7, a conductive mesh member 8, and a pair of permanent magnets 9, which are magnetic pole pairs.
【００１６】放電容器１は内側が円筒形状に形成され、
その一端にマイクロ波導入口１Ａ、他端にイオン放出口
１Ｂ、側面にガス導入口１Ｃを有している。また放電容
器の側面部には図２に示されているように冷却水路１２
が設けられている。磁極対である１対の永久磁石９は、
放電容器１のイオン放出口１Ｂ近傍の側面部外壁にＮ極
とＳ極とが対向させられて取り付けられており（図２参
照）、磁気フィルターを形成している。The inside of the discharge vessel 1 is formed in a cylindrical shape.
It has a microwave inlet 1A at one end, an ion outlet 1B at the other end, and a gas inlet 1C on the side. Further, as shown in FIG.
Is provided. A pair of permanent magnets 9 as a magnetic pole pair
The N pole and the S pole are attached to the outer wall of the side wall near the ion discharge port 1B of the discharge vessel 1 so as to face each other (see FIG. 2), and form a magnetic filter.
【００１７】放電容器１のイオン引出側に設けられてい
るイオン引出電極２は、中心に円孔を有する３枚の電極
２Ａ、２Ｂ、２Ｃより構成され、それぞれ放電容器１に
結合されたフランジ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃに固定保持
されている。このフランジ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃは、
他のフランジ１０Ｄおよび碍子１１を介して放電容器１
に接続されている。The ion extraction electrode 2 provided on the ion extraction side of the discharge vessel 1 is composed of three electrodes 2A, 2B and 2C each having a circular hole at the center, and a flange 10A connected to the discharge vessel 1 respectively. , 10B, and 10C. These flanges 10A, 10B, 10C
Discharge vessel 1 via another flange 10D and insulator 11
It is connected to the.
【００１８】また電極２Ｂには、電子が負イオンととも
に引き出されるのを抑制するため、中心の円孔をはさん
でＮ極とＳ極とを対向させた１対の永久磁石１３が埋設
されている。フランジ１０Ｂには、永久磁石１３の熱消
磁防止のため、冷却水路１４が設けられている。A pair of permanent magnets 13 having an N-pole and an S-pole opposed to each other with a central hole interposed therebetween are embedded in the electrode 2B to suppress extraction of electrons together with negative ions. I have. A cooling water passage 14 is provided in the flange 10B to prevent the permanent magnet 13 from being thermally demagnetized.
【００１９】マイクロ波導入手段４は、マイクロ波発振
器４Ａ・アイソレータ４Ｂ・方向性結合器４Ｃ・チョー
クフランジ４Ｄ・矩形導波管４Ｅ・ステップ変換器４Ｆ
・マイクロ波導入窓４Ｇより構成されている。マイクロ
波発振器４Ａの発振周波数は２．４５ＧＨｚである。マ
イクロ波導入窓４Ｇには、真空封止用に１枚と熱遮蔽用
に１枚の計２枚の石英板が使用されている。ソレノイド
コイル５とその周囲に配置されたヨーク６との間隙には
樹脂が挿入され、一体型のモールド構造に形成されてい
る。The microwave introducing means 4 includes a microwave oscillator 4A, an isolator 4B, a directional coupler 4C, a choke flange 4D, a rectangular waveguide 4E, and a step converter 4F.
-It is composed of the microwave introduction window 4G. The oscillation frequency of the microwave oscillator 4A is 2.45 GHz. For the microwave introduction window 4G, two quartz plates, one for vacuum sealing and one for heat shielding, are used. Resin is inserted into a gap between the solenoid coil 5 and a yoke 6 disposed around the solenoid coil 5 to form an integrated mold structure.
【００２０】このソレノイドコイル５とヨーク６とは、
レール１５上に走行可能に配置された台車１６に支持さ
れ、放電容器１と同軸に２組並置されている。環状の磁
性部材７は、磁極対である１対の永久磁石９とマイクロ
波導入口１Ａとの間の領域に設置されている。環状の磁
性部材７の材質はクロムめっきした電磁軟鉄である。The solenoid coil 5 and the yoke 6
It is supported by a cart 16 movably arranged on a rail 15, and two sets are juxtaposed coaxially with the discharge vessel 1. The annular magnetic member 7 is provided in a region between a pair of permanent magnets 9 as a magnetic pole pair and the microwave inlet 1A. The material of the annular magnetic member 7 is chromium-plated electromagnetic soft iron.
【００２１】導電性の網状部材８は、図３および図４に
示されているようにＳＵＳ３０４の環状板８ＡにＳＵＳ
３０４のワイヤー８Ｂを張ったものであり、環状の磁性
部材７にネジ８Ｃで着脱自在に固定されている。また、
環状の磁性部材７は、側面部の無頭ボルト７Ａを放電容
器１の内壁面に押しつけることによって設置位置調整可
能に固定されている。As shown in FIGS. 3 and 4, the conductive mesh member 8 is provided on the annular plate 8A of SUS304.
A wire 8B 304 is stretched, and is detachably fixed to the annular magnetic member 7 with a screw 8C. Also,
The annular magnetic member 7 is fixed so that the installation position can be adjusted by pressing a headless bolt 7A on the side surface against the inner wall surface of the discharge vessel 1.
【００２２】直流定電圧電源３は、放電容器１とイオン
引出電極２とをそれぞれ所定の電位に設定するものであ
り、具体的には図１に示されているように、第一から第
三の直流定電圧電源３Ａ、３Ｂおよび３Ｃによって、そ
れぞれ放電容器１と電極２Ａの間、電極２Ａと電極２Ｂ
の間、また電極２Ｂと電極２Ｃの間に所定の電圧を印加
する。The DC constant-voltage power supply 3 sets the discharge vessel 1 and the ion extraction electrode 2 at a predetermined potential, respectively. Specifically, as shown in FIG. Of the discharge vessel 1 and the electrode 2A, the electrode 2A and the electrode 2B by the DC constant voltage power supplies 3A, 3B and 3C, respectively.
And a predetermined voltage is applied between the electrodes 2B and 2C.
【００２３】このように形成された負イオン源装置は、
次のように作用して負イオンを生成する。すなわち、真
空排気手段（図示せず）により真空排気された放電容器
１内にガス導入口１Ｃを通して放電ガスを導入する。マ
イクロ波発振器４Ａからのマイクロ波電力を、アイソレ
ータ４Ｂ・方向性結合器４Ｃ・チョークフランジ４Ｄ・
矩形導波管４Ｅを経由して伝送し、ステップ変換器４Ｆ
で円形モードに変換した後、ソレノイドコイル５により
発生する磁場と略平行に、マイクロ波導入窓４Ｇを介し
て放電容器１内に導入する。The negative ion source device thus formed is
It acts as follows to generate negative ions. That is, the discharge gas is introduced into the discharge vessel 1 evacuated by the vacuum exhaust means (not shown) through the gas inlet 1C. The microwave power from the microwave oscillator 4A is supplied to the isolator 4B, the directional coupler 4C, the choke flange 4D,
Transmitted via the rectangular waveguide 4E, the step converter 4F
After the conversion into the circular mode, the light is introduced into the discharge vessel 1 through the microwave introduction window 4G substantially in parallel with the magnetic field generated by the solenoid coil 5.
【００２４】放電容器１内では、ソレノイドコイル５に
より発生する磁場中でマイクロ波放電が生じ、プラズマ
が生成する。放電容器１の側面部外壁にＮ極とＳ極とを
対向させて取り付けた１対の永久磁石９により、図１お
よび図２に示すＸ方向（イオン引出方向に略垂直な方
向）の磁場が発生して磁気フィルターが形成され、この
磁気フィルターとイオン放出口１Ｂとの間の空間に低電
子温度プラズマの領域が生じ、同領域で負イオンが生成
される。生成した負イオンはイオン引出電極２の形成す
る電場により図１に示すＺ方向に放射される。In the discharge vessel 1, a microwave discharge is generated in a magnetic field generated by the solenoid coil 5, and a plasma is generated. The magnetic field in the X direction (direction substantially perpendicular to the ion extraction direction) shown in FIGS. 1 and 2 is generated by a pair of permanent magnets 9 attached to the outer side wall of the discharge vessel 1 with the N pole and the S pole facing each other. Then, a magnetic filter is formed, and a region of the low electron temperature plasma is generated in a space between the magnetic filter and the ion emission port 1B, and negative ions are generated in the region. The generated negative ions are radiated in the Z direction shown in FIG. 1 by the electric field formed by the ion extraction electrode 2.
【００２５】上記のように、フィラメントを使用せず磁
場中のマイクロ波放電によってプラズマを生成している
ため、長時間安定に負イオンを得ることができる。ま
た、ソレノイドコイル５の周囲にヨーク６を配置すると
ともに、磁極対であるところの１対の永久磁石９とマイ
クロ波導入口１Ａとの間の領域に環状の磁性部材７を配
置することにより、ヨーク６と環状の磁性部材７とによ
って磁気回路が形成されるので、ソレノイドコイル５に
より発生する磁場は、ヨーク６内部と環状の磁性部材７
内部とに集中分布する。As described above, since plasma is generated by microwave discharge in a magnetic field without using a filament, negative ions can be obtained stably for a long time. In addition, the yoke 6 is arranged around the solenoid coil 5 and the annular magnetic member 7 is arranged in a region between the pair of permanent magnets 9, which are magnetic pole pairs, and the microwave introduction port 1 </ b> A. Since the magnetic circuit is formed by the annular magnetic member 7 and the annular magnetic member 7, the magnetic field generated by the solenoid coil 5
Concentrated distribution inside and inside.
【００２６】そのため、図５の磁力線で示すように、ソ
レノイドコイル５により発生する磁場のうち放電容器１
の内側の磁場は、環状の磁性部材７を経由してヨーク６
に集束し、磁気フィルターの領域に漏洩しないので、同
領域の磁場は乱れず、したがって低電子温度領域を形成
するという磁気フィルターの機能は低下しない。それゆ
え多量の負イオンが得られる。Therefore, as shown by magnetic lines of force in FIG.
Of the yoke 6 through the annular magnetic member 7
And does not leak into the region of the magnetic filter, so that the magnetic field in the region is not disturbed, so that the function of the magnetic filter to form a low electron temperature region does not deteriorate. Therefore, a large amount of negative ions are obtained.
【００２７】以上説明してきたように、この負イオン源
装置であると、磁極対である１対の永久磁石９とマイク
ロ波導入口１Ａとの間の領域に導電性の網状部材８が配
置されているので、マイクロ波導入口１Ａから入射した
マイクロ波は導電性の網状部材８で遮蔽されて導電性の
網状部材８より奥へは伝播されないため、磁気フィルタ
ーとイオン放出口１Ｂとによって囲まれる領域の電子が
マイクロ波により加熱されて負イオンが解離するという
ことはない。それゆえ多量の負イオンが得られる。As described above, in this negative ion source device, the conductive net-like member 8 is disposed in the region between the pair of permanent magnets 9 as the magnetic pole pairs and the microwave inlet 1A. Therefore, since the microwave incident from the microwave inlet 1A is shielded by the conductive mesh member 8 and does not propagate to the back of the conductive mesh member 8, the region surrounded by the magnetic filter and the ion emission port 1B The electrons are not heated by the microwaves to dissociate the negative ions. Therefore, a large amount of negative ions are obtained.
【００２８】また、放電容器１の側面部に冷却水路１２
が設けられているので、放電容器１のイオン放出口１Ｂ
近傍側面部外壁に取り付けてある永久磁石９は、冷却水
路を流れる冷却水によって冷却され、放電容器１の過熱
に伴う永久磁石９の熱消磁が防止される。A cooling water passage 12 is provided on the side of the discharge vessel 1.
Is provided, the ion discharge port 1B of the discharge vessel 1 is provided.
The permanent magnets 9 attached to the outer peripheral wall of the nearby side surface are cooled by the cooling water flowing through the cooling water passage, so that thermal demagnetization of the permanent magnets 9 due to overheating of the discharge vessel 1 is prevented.
【００２９】さらに、レール１５上に走行可能に配置さ
れた台車１６でソレノイドコイル５とヨーク６とを支持
するとともに、無頭ボルト７Ａを放電容器１の内壁面に
押しつけることによって環状の磁性部材７の位置を固定
しているため、磁気フィルター領域へのソレノイドコイ
ル５の磁場の漏洩のない最適な磁気回路が形成されるよ
うソレノイドコイル５とヨーク６ならびに環状の磁性部
材７の設置位置を調整できるので、磁気フィルターの機
能は低下せず、したがって多量の負イオンが得られる。Further, while the solenoid coil 5 and the yoke 6 are supported by a carriage 16 movably disposed on the rail 15, the annular magnetic member 7 is pressed by pressing a headless bolt 7A against the inner wall surface of the discharge vessel 1. Is fixed, the installation positions of the solenoid coil 5, the yoke 6, and the annular magnetic member 7 can be adjusted so that an optimal magnetic circuit without leakage of the magnetic field of the solenoid coil 5 to the magnetic filter region is formed. Therefore, the function of the magnetic filter does not decrease, and thus a large amount of negative ions are obtained.
【００３０】また、環状の磁性部材７の位置を固定する
無頭ボルト７Ａの材質をセラミックス等の絶縁物に変更
すると、環状の磁性部材７と放電容器１とは電気的に絶
縁され、ゆえに網状部材８と放電容器１とが電気的に絶
縁される。そのため、たとえばApplied Physics Letter
s ６５巻７号の８１６ページから８１８ページに記載さ
れているように、放電容器１に対する網状部材８の電位
を電圧印加手段を使用して所定の値に設定することによ
り、磁気フィルターとイオン放出口１Ｂとの間に生ずる
低電子温度領域の電子温度を低下させ、かつ同領域の電
子密度を増大させ、したがって負イオンの生成量を増加
させることができる。When the material of the headless bolt 7A for fixing the position of the annular magnetic member 7 is changed to an insulating material such as ceramics, the annular magnetic member 7 and the discharge vessel 1 are electrically insulated, and hence the net-like shape. The member 8 and the discharge vessel 1 are electrically insulated. So, for example, Applied Physics Letter
s As described on pages 816 to 818 of Vol. 65, No. 7, by setting the potential of the mesh member 8 with respect to the discharge vessel 1 to a predetermined value using a voltage applying means, the magnetic filter and the ion discharge It is possible to lower the electron temperature in the low electron temperature region generated between the outlet 1B and increase the electron density in the same region, and thus increase the amount of negative ions generated.
【００３１】なお、以上の説明では環状に形成した磁性
部材を放電容器の内部に配置する場合について説明して
きたが、磁性部材を常に環状に形成しなければならない
わけではなく、例えば磁性片を並設するようにしてもよ
いであろう。また、放電容器の内部に配置するのではな
く放電容器の一部を磁性部材で形成するようにしてもよ
いことは勿論である。In the above description, the case where the annularly formed magnetic member is disposed inside the discharge vessel has been described. However, the magnetic member does not have to be always formed in an annular shape. It may be set up. Also, it goes without saying that a part of the discharge vessel may be formed of a magnetic member instead of being disposed inside the discharge vessel.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、放電容器
の内壁面で、かつイオン引出電極側のヨーク端に対向し
ている部分に、磁性部材が配置されていることから、ソ
レノイドコイルにより発生する磁場は、ヨーク内部と磁
性部材の内部とに集中分布することになり、このため、
ソレノイドコイルにより発生する磁場のうち放電容器の
内側の磁場は、磁性部材を経由してヨークに集束し、磁
気フィルターの領域に漏洩することはなくなり、磁極対
により発生する同領域の磁場は乱れず、したがって磁気
フィルターの機能が低下することなく多量の負イオンを
長時間安定して得ることのできる負イオン源装置を得る
ことができる。According to the present invention described above, since the magnetic member is disposed on the inner wall surface of the discharge vessel and on the portion facing the yoke end on the side of the ion extraction electrode, the solenoid coil is used. The generated magnetic field is concentrated and distributed inside the yoke and the inside of the magnetic member.
Of the magnetic field generated by the solenoid coil, the magnetic field inside the discharge vessel is focused on the yoke via the magnetic member, does not leak to the magnetic filter area, and the magnetic field generated by the magnetic pole pair in the same area is not disturbed. Therefore, it is possible to obtain a negative ion source device capable of stably obtaining a large amount of negative ions for a long time without deteriorating the function of the magnetic filter.
【図１】本発明の一実施例を示す負イオン源装置の側断
面図である。FIG. 1 is a side sectional view of a negative ion source device showing one embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図３】本発明の負イオン源装置に採用される環状の磁
性部材および導電性の網状部材を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing an annular magnetic member and a conductive mesh member employed in the negative ion source device of the present invention.
【図４】図３のＢ−Ｂ矢視断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 3;
【図５】本発明の負イオン源装置の放電容器の内側およ
びその近傍における磁場を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a magnetic field inside and near a discharge vessel of the negative ion source device of the present invention.
１…放電容器、１Ａ…マイクロ波導入口、１Ｂ…イオン
放出口、１Ｃ…ガス導入口、２…イオン引出電極、３…
直流定電圧電源、４…マイクロ波導入手段、４Ａ…マイ
クロ波発振器、５…ソレノイドコイル、６…ヨーク、７
…環状の磁性部材、８…導電性の網状部材、９…永久磁
石、１０…フランジ、１１…碍子。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Discharge container, 1A ... Microwave introduction port, 1B ... Ion emission port, 1C ... Gas introduction port, 2 ... Ion extraction electrode, 3 ...
DC constant voltage power supply, 4 ... microwave introduction means, 4A ... microwave oscillator, 5 ... solenoid coil, 6 ... yoke, 7
... annular magnetic member, 8 ... conductive mesh member, 9 ... permanent magnet, 10 ... flange, 11 ... insulator.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 雨宮 健介 茨城県日立市大みか町七丁目２番１号 株式会社日立製作所 電力・電機開発本 部内 (72)発明者 田中 政信 茨城県日立市大みか町七丁目２番１号 株式会社日立製作所 電力・電機開発本 部内 (56)参考文献 特開 平７−262945（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−170832（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−262948（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 27/00 - 27/26 H01J 37/08──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kensuke Amamiya 7-2-1, Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Pref. Hitachi, Ltd. Power and Electricity Development Division (72) Inventor Masanobu Tanaka Omikamachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Chome 2-1 Hitachi, Ltd. Electric Power & Electric Equipment Development Division (56) References JP-A-7-262945 (JP, A) JP-A-63-170832 (JP, A) JP-A-7-262948 (JP) , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H01J 27/00-27/26 H01J 37/08
Claims (4)
放出口とを有する筒状の放電容器と、この放電容器のイ
オン放出口に隣接して配置されたイオン引出電極と、こ
のイオン引出電極および前記放電容器とをそれぞれ所定
の電位に設定する電圧印加手段と、前記放電容器内にマ
イクロ波を導入するマイクロ波導入手段と、前記放電容
器の外周側に放電容器と同心円状に配置されるととも
に、内周側が開口したヨークを備えているソレノイドコ
イルと、前記放電容器のイオン放出口側に設けられ、イ
オンが引き出される方向に対して略垂直方向の磁場を発
生する磁極対とを備えた負イオン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、かつ、前記イ
オン放出口側近傍の放電容器内に、この放電容器と同心
円状に形成された環状の磁性部材を配置するとともに、
この環状の磁性部材は、その配置位置が調整できるよう
に移動可能に形成されているこ とを特徴とする負イオン
源装置。A cylindrical discharge vessel having a gas introduction port, a microwave introduction port, and an ion emission port, an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion emission port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode; Voltage applying means for setting each of the discharge vessels to a predetermined potential; microwave introduction means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a discharge vessel arranged concentrically with the discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel. A negative electrode comprising: a solenoid coil having a yoke with an open inner peripheral side; and a magnetic pole pair provided on the ion discharge port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the ion source device, on the side closer to the microwave introduction port than the magnetic pole pair, and
Concentric with this discharge vessel in the discharge vessel near the ON discharge port side
While disposing a circular magnetic member formed in a circular shape,
This annular magnetic member is arranged so that its arrangement position can be adjusted.
Negative ion source device comprising that you are movably formed.
放出口とを有する筒状の放電容器と、この放電容器のイ
オン放出口に隣接して配置されたイオン引出電極と、こ
のイオン引出電極および前記放電容器とをそれぞれ所定
の電位に設定する電圧印加手段と、前記放電容器内にマ
イクロ波を導入するマイクロ波導入手段と、前記放電容
器の外周側に放電容器と同心円状に配置されるととも
に、内周側が開口したヨークを備えているソレノイドコ
イルと、前記放電容器のイオン放出口側に設けられ、イ
オンが引き出される方向に対して略垂直方向の磁場を発
生する磁極対とを備えた負イオン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、かつ、前記イ
オン放出口側近傍の放電容器内に、この放電容器と同心
円状に形成された環状の磁性部材を配置するとともに、
この環状の磁性部材にその環状中空部を覆うように導電
性の網状部材を設け、この網状部材を備えた前記環状の
磁性部材は、その配置位置が調整できるように移動可能
に形成されているこ とを特徴とする負イオン源装置。2. A cylindrical discharge vessel having a gas introduction port, a microwave introduction port, and an ion emission port, an ion extraction electrode arranged adjacent to the ion emission port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode. Voltage applying means for setting each of the discharge vessels to a predetermined potential; microwave introduction means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a discharge vessel arranged concentrically with the discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel. A negative electrode comprising: a solenoid coil having a yoke with an open inner peripheral side; and a magnetic pole pair provided on the ion discharge port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the ion source device, on the side closer to the microwave introduction port than the magnetic pole pair, and
Concentric with this discharge vessel in the discharge vessel near the ON discharge port side
While disposing a circular magnetic member formed in a circular shape,
Conduction is applied to this annular magnetic member so as to cover the annular hollow portion.
Is provided, and the annular member having the mesh member is provided.
The magnetic member can be moved so that its position can be adjusted
Negative ion source device comprising that you are formed.
放出口とを有する筒状の放電容器と、この放電容器のイ
オン放出口に隣接して配置されたイオン引出電極と、こ
のイオン引出電極および前記放電容器とをそれぞれ所定
の電位に設定する電圧印加手段と、前記放電容器内にマ
イクロ波を導入するマイクロ波導入手段と、前記放電容
器の外周側に放電容器と同心円状に配置されるととも
に、内周側が開口したヨークを備えているソレノイドコ
イルと、前記放電容器のイオン放出口側に設けられ、イ
オンが引き出される方向に対して略垂直方向の磁場を発
生する磁極対とを備えた負イオン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、かつ、前記イ
オン放出口側近傍の放電容器内に、この放電容器と同心
円状に形成された環状の磁性部材を配置するとともに、
この環状の磁性部材と前記ヨークを備えたソレノイドコ
イルは、それぞれその配置位置が調整できるように移動
可能に形成されているこ とを特徴とする負イオン源装
置。3. A discharge vessel having a gas inlet, a microwave inlet, and an ion outlet, a cylindrical discharge vessel , an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion discharge port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode; Voltage applying means for setting each of the discharge vessels to a predetermined potential; microwave introduction means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a discharge vessel arranged concentrically with the discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel. A negative electrode comprising: a solenoid coil having a yoke with an open inner peripheral side; and a magnetic pole pair provided on the ion discharge port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the ion source device, on the side closer to the microwave introduction port than the magnetic pole pair, and
Concentric with this discharge vessel in the discharge vessel near the ON discharge port side
While disposing a circular magnetic member formed in a circular shape,
Solenoid core having the annular magnetic member and the yoke
Move so that their placement can be adjusted
Negative ion source device comprising that you are able to form.
放出口とを有する筒状の放電容器と、この放電容器のイ
オン放出口に隣接して配置されたイオン引出電極と、こ
のイオン引出電極および前記放電容器とをそれぞれ所定
の電位に設定する電圧印加手段と、前記放電容器内にマ
イクロ波を導入するマイクロ波導入手段と、前記放電容
器の外周側に放電容器と同心円状に配置されるととも
に、内周側が開口したヨークを備えているソレノイドコ
イルと、前記放電容器のイオン放出口側に設けられ、イ
オンが引き出される方向に対して略垂直方向の磁場を発
生する磁極対とを備えた負イオン源装置において、前記磁極対よりはマイクロ波導入口側で、かつ、前記イ
オン放出口側近傍の放電容器内に、この放電容器と同心
円状に形成された環状の磁性部材を配置するとともに、
この環状の磁性部材にその環状中空部を覆うように導電
性の網状部材を設け、この網状部材を備えた前記環状の
磁性部材と前記ヨークを備えたソレノイドコイルは、そ
れぞれその配置位置が調整できるように移動可能に形成
されているこ とを特徴とする負イオン源装置。4. A cylindrical discharge vessel having a gas introduction port, a microwave introduction port, and an ion emission port, an ion extraction electrode disposed adjacent to the ion emission port of the discharge vessel, and an ion extraction electrode; Voltage applying means for setting each of the discharge vessels to a predetermined potential; microwave introduction means for introducing microwaves into the discharge vessel; and a discharge vessel arranged concentrically with the discharge vessel on the outer peripheral side of the discharge vessel. A negative electrode comprising: a solenoid coil having a yoke with an open inner peripheral side; and a magnetic pole pair provided on the ion discharge port side of the discharge vessel and generating a magnetic field in a direction substantially perpendicular to a direction in which ions are extracted. In the ion source device, on the side closer to the microwave introduction port than the magnetic pole pair, and
Concentric with this discharge vessel in the discharge vessel near the ON discharge port side
While disposing a circular magnetic member formed in a circular shape,
Conduction is applied to this annular magnetic member so as to cover the annular hollow portion.
Is provided, and the annular member having the mesh member is provided.
The solenoid coil having the magnetic member and the yoke is
Movably formed so that their placement can be adjusted
Negative ion source device comprising that you are.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7287078A JP2860073B2 (en) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | Negative ion source device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7287078A JP2860073B2 (en) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | Negative ion source device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129151A JPH09129151A (en) | 1997-05-16 |
| JP2860073B2 true JP2860073B2 (en) | 1999-02-24 |
Family
ID=17712778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7287078A Expired - Fee Related JP2860073B2 (en) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | Negative ion source device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2860073B2 (en) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG108825A1 (en) * | 2000-08-07 | 2005-02-28 | Axcelis Tech Inc | Ion source having replaceable and sputterable solid source material |
| AU2013206506B2 (en) * | 2009-03-04 | 2015-04-30 | Zakrytoe Aktsionernoe Obshchestvo Protom | Multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus |
| KR101316438B1 (en) * | 2009-03-04 | 2013-10-08 | 자크리토에 악치오네르노에 오브쉐스트보 프로톰 | Multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus |
| US20120187843A1 (en) * | 2009-08-03 | 2012-07-26 | Madocks John E | Closed drift ion source with symmetric magnetic field |
| JP6143544B2 (en) * | 2013-05-13 | 2017-06-07 | 住友重機械工業株式会社 | Microwave ion source |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170832A (en) * | 1987-01-09 | 1988-07-14 | Fuji Electric Co Ltd | Ion beam device |
| JP3314514B2 (en) * | 1994-03-18 | 2002-08-12 | 株式会社日立製作所 | Negative ion generator |
| JPH07262948A (en) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Nissin Electric Co Ltd | Bucket type ion source apparatus |
-
1995
- 1995-11-06 JP JP7287078A patent/JP2860073B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09129151A (en) | 1997-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0184812B1 (en) | High frequency plasma generation apparatus | |
| US4778561A (en) | Electron cyclotron resonance plasma source | |
| US4745337A (en) | Method and device for exciting a plasma using microwaves at the electronic cyclotronic resonance | |
| TW367556B (en) | Plasma processing device ad plasma processing method | |
| Dimov et al. | A 100 mA negative hydrogen-ion source for accelerators | |
| JP2860073B2 (en) | Negative ion source device | |
| US5818170A (en) | Gyrotron system having adjustable flux density | |
| JPS5813626B2 (en) | ion shower device | |
| Clegg et al. | ECR and cesium ionizer systems for the Triangle Universities Nuclear Laboratory atomic beam polarized ion source | |
| JP3314514B2 (en) | Negative ion generator | |
| JPH0336268B2 (en) | ||
| JP2009272127A (en) | Plasma generating device, and plasma treatment device | |
| JPH07296988A (en) | Sheet plasma device | |
| JP3368790B2 (en) | Ion source device | |
| Hashimoto et al. | Extraction of a negative hydrogen ion beam from a microwave ion source | |
| JPH09259781A (en) | Ion source device | |
| JP3010059B2 (en) | Ion source | |
| JP3086690B2 (en) | Ion source | |
| JP2909992B2 (en) | Microwave discharge reactor | |
| JPH0578849A (en) | High magnetic field microwave plasma treating device | |
| JP3081679B2 (en) | Electron cyclotron resonance plasma generator | |
| JPS6389663A (en) | Sputtering device | |
| JPH08213195A (en) | Sheet plasma generator | |
| JPH0882689A (en) | Ion source | |
| JPS63170832A (en) | Ion beam device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |