PL94503B1 - Piec redukcyjny do wytwarzania pretow polikrystalicznego krzemu - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, z zewnetrznym plaszczem chlodzacym oraz osadzonymi w dnie pieca elektrodami dla pretów osadczych.Znane sa piece redukcyjne do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu majace postac gazoszczelnej komory wykonanej z metalu lub kwarcu. Piec metalowy otoczony jest plaszczem chlodzacym. W dnie komory pieca umieszczone sa elektrody, w koncówkach których zamocowane sa krzemowe prety osadcze. Prety te grzane oporowo osiagaja temperatury powyzej 1000°C. Przez komore plynie mieszanina wodoru ze zwiazkiem zawierajacym krzem, np. trójchlorosilanem. Na powierzchni pretów osadczych wydziela sie zredukowany krzem.Wedlug opisu patentowego RFN nr 1206261 odleglosc miedzy sasiednimi pretami jest co najmniej dwukrotnie mniejsza od odleglosci miedzy pretami a sciana komory. Rozwiazanie to nie zabezpiecza bardzo istotnej cechy pretów krzemu polikrystalicznego przeznaczonych do beztyglowej metody przetopu, a mianowicie, zachowania dostatecznie malej tolerancji srednicy preta na calej jego dlugosci.Celem wynalazku jest opracowanie budowy pieca redukcyjnego, który zapewnialby dostatecznie równomierny przyrost masy preta, tak aby zachowana byla pozadana tolerancja grubosci preta na calej jego dlugosci. Stwierdzono, ze osiaga sie to, gdy stosunek odleglosci miedzy osiami sasiednich elektrod oraz osiami sasiednich pretów do odleglosci miedzy osiami pretów a sciana reaktora wynosi 2-2,5:1,5. Przy zastosowaniu tej reguly, w piecu czteropretowym uzyskuje sie np. prety polikrystalicznego krzemu o srednicy 60 mm z tolerancja ±1,5 mm.Przedmiot wynalazku pokazany jest na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia pionowy przekrój komory pieca, fig. 2 — poprzeczny przekrój tej komory. Komora 1 pieca otoczona jest plaszczem chlodzacym 2. W dnie komory znajduja sie cztery elektrody 3 z zamocowanymi w nich pretami osadczymi 4.Odstep a miedzy osiami sasiednich elektrod jak równiez miedzy osiami sasiednich pretów osadczych, ma sie do odstepu b osi elektrod oraz pretów od scianki komory, jak 2:1,5. Przez otwór 5 doplywa do komory2 94 503 gazowa mieszanka reakcyjna, z której wydziela sie krzem krystaliczny na powierzchni nagrzanych do temperatury okolo 1100°C pretów. Pozostalosc poreakcyjna mieszanki odplywa przez otwór 6.¦-! —HP— I Fig / _L $ 2 Fig i Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 10 zl PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, z zewnetrznym plaszczem chlodzacym oraz osadzonymi w dnie pieca elektrodami dla zamocowania pretów osadczych, znamienny tym, ze stosunek odleglosci miedzy osiami sasiednich elektrod oraz osiami sasiednich pretów do odleglosci miedzy osiami pretów a sciana reaktora wynosi 2—2,5:1,5. I a ..__ i""" i -* PL