PL88179B1 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL88179B1 PL88179B1 PL17683974A PL17683974A PL88179B1 PL 88179 B1 PL88179 B1 PL 88179B1 PL 17683974 A PL17683974 A PL 17683974A PL 17683974 A PL17683974 A PL 17683974A PL 88179 B1 PL88179 B1 PL 88179B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- rods
- furnace
- wall
- chamber
- production
- Prior art date
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Description
Przedmiotem wynalazku jest piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, z zew¬ netrznym plaszczem chlodzacym oraz osadzonymi w dnie pieca elektrodami dla pretów osadczych, stosowany zwlaszcza do wytwarzania pretów o srednicy 100 mm i wiekszej.Dotychczas znane sa piece redukcyjne do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu przeznaczone specjalnie do wytwarzania pretów o duzych srednicach. Piece te sa reaktorami stalowymi, chlodzonymi plaszczowo woda lub tez wykonanymi z kwarcu. W dnie komory pieca osadzone sa izolowane elektrycznie dwie lub cztery elektrody z krzemowymi pretami osadczymi, majacymi srednice okolo 5 mm. Odpowiednie polacze¬ nie pretów i elektrod daje szeregowy uklad elektryczny, umozliwiajacy oporowe ogrzewanie pradem elektrycz¬ nym pretów do temperatury okolo 1100°C. Przez komory pieca przeplywa mieszanina wodoru z trójchlorosila¬ nem, przy czym krzem zawarty w trójchlorosilanie redukuje sie i odklada na pretach osadczych. Proces prowadzi sie do uzyskania odpowiedniej grubosci pretów. Na wydajnosc procesu ma wplyw temperatura pretów, ilosc podawanej mieszaniny surowców, ich stosunek molowy, oraz szybkosc przeplywu mieszaniny. Gaz doprowadza¬ ny jest do komory przez otwór doplywowy usytowany w srodku dolnej plyty pieca i plynie pomiedzy pretami do góry, a stad wzdluz chlodzonych scian komory w dól do otworów odplywowych polozonych wspólsrodko- wo w stosunku do otworu doplywowego w dolnej plycie pieca.Ze wzgledu na duza srednice komory pieca, liniowa szybkosc przeplywu mieszaniny gazowej jest niewielka. Nad powierzchnia pretów tworza sie dosc stabilne filmy gazowe, utrudniajace wymiane substratów i produktów reakcji zachodzacej na powierzchni pretów. Proces charakterzuje sie niska wydajnoscia krzemowa, wynoszaca okolo 18% i trwa, np. dla uzyskania preta o srednicy 100 mm okolo 17 dni.Celem wynalazku jest zwiekszenie wydajnosci krzemowej procesu przy jednoczesnym skróceniu czasu trwania jednej szarzy.Rozwiazano to poprzez opracowanie konstrukcji pieca, w którym czesci wewnetrznej sciany komory pieca, polozone najdalej od poszczególnych pretów, posiadaja wykladzine w postaci pionowych elementów kwarco¬ wych tak, ze pionowe powierzchnie wewnetrznej sciany pieca, polozone najblizej pretów, pozostaja nieoslonie¬ te. Korzystne wyniki uzyskuje sie przy ekranowaniu kwarcem 20—80% powierzchni metalowej pieca.2 88179 Zaleta pieca wedlug wynalazku Jeit budowa komory sprzyjajaca szybszemu przeplywowi gazowej mieszanki reakcyjnej wzdluz pretów, co pociaga za soba bardziej intensywne osadzanie, sie krzemu na ' powierzchni pretów.Przedmiot wynalazku pokazany jest w przykladzie wykonania z powolaniem sie na rysunek, na którym fig 1 przedstawia przekrój pionowy komory pieca, fig. 2 przekrój poprzeczny tej komory. 1 oznacza komore pieca 2 wykladzine kwarcowa, 3 elektrody z pretami, 4 doprowadzenie mieszanki gazowej trójchlorosilanu z wodorem 5 odprowadzenie mieszanki. Mieszanka ta doplywa przez otwór 4 i plynie do góry, omywajac wewnetrzne powierzchnie pretów, nastepnie kieruje sie ku dolowi wzdluz nieoslonietych czesci sciany komory miedzy blokami wykladziny kwarcowej a wiec w bezposrednim sasiedztwie pretów, omywajac ich zewnetrzne powierzchnie. Takiemu przeplywowi gazów sprzyja róznica temperatur, wywolana goracymi pretami z jednej strony a z drugiej chlodnymi powierzchniami nieoslonietej sciany komory. PL
Claims (2)
- Zastrzezenia patentowe 1. Piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, z zewnetrznym plaszczem chlodza¬ cym oraz osadzonymi w dnie pieca elektrodami dla pretów osadczych, stosowany zwlaszcza dó wytwarzania pretów o srednicy 100 mm i wiekszej, znamienny tym, ze czesci wewnetrznej sciany komory pieca, polozone najdalej od poszczególnych pretów, posiadaja wykladzine w postaci pionowych elementów kwarco¬ wych tak, ze pionowe powierzchnie wewnetrznej sciany pieca, polozone najblizej pretów, pozostaja nieoslonie-
- 2. Piec redukcyjny wedlug zastrz, 1, z n a m i e n n y t y m, ze wykladzina kwarcowa zajmuje 20 do 80% powierzchni sciany komory pieca. FigJ Ftgz Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 45 zl PL
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL17683974A PL88179B1 (pl) | 1974-12-24 | 1974-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL17683974A PL88179B1 (pl) | 1974-12-24 | 1974-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL88179B1 true PL88179B1 (pl) | 1976-08-31 |
Family
ID=19970305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL17683974A PL88179B1 (pl) | 1974-12-24 | 1974-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL88179B1 (pl) |
-
1974
- 1974-12-24 PL PL17683974A patent/PL88179B1/pl unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100590694B1 (ko) | 무기화합물, 특히 유리 및 유리 세라믹의 연속 용융 및 정련을 위한 장치 및 그 조작방법 | |
| EP0180397B1 (en) | Method and apparatus for the production of polycrystalline silicon | |
| PL88179B1 (pl) | ||
| CN113429115A (zh) | 坩埚及用于其腔体的感应线圈、物料处理设备 | |
| JP2016138021A (ja) | 多結晶シリコンロッドの製造方法と製造装置 | |
| Machulec et al. | Comparison the physico-chemical model of ferrosilicon smelting process with results observations of the process under the industrial conditions | |
| US3723603A (en) | Preparation of fluorophosphates | |
| CA1142985A (en) | Melting and casting apparatus | |
| US1905432A (en) | Manufacture of hydrogen chloride or hydrogen bromide or their corresponding acid solutions | |
| Soubeih et al. | Improving residence time distribution in glass melting tanks using additionally generated Lorentz forces | |
| US1675366A (en) | Manufacture of hydrocyanic acid from formamide | |
| DK155955B (da) | Fremgangsmaade og apparat til aflejring af halvledermateriale af hoej renhed | |
| JPS60122714A (ja) | 四塩化珪素の製造方法及びその製造装置 | |
| RU2157795C1 (ru) | Способ получения силикатного расплава и устройство для его осуществления | |
| CN1006299B (zh) | 一种反射炉结构的锑白炉 | |
| CN213778644U (zh) | 一种腊石碳化硅砖 | |
| RU205723U1 (ru) | Устройство для остекловывания радиоактивных отходов | |
| US3420937A (en) | Apparatus and process for the manufacture of chemical reaction products | |
| US3363977A (en) | Method of preparing sodium sulfate and hydrogen chloride | |
| KR960014593B1 (ko) | 초단파에 의한 유동층 가열 방법에 의한 고순도 입상 다결정 실리콘의 제조 방법 | |
| AU722012B2 (en) | Calcination using liquid metal heat exchange fluid | |
| RU1788027C (ru) | Конвертер | |
| AU2024247604A1 (en) | Apparatus for the production of nitriles and use thereof | |
| SU1323583A1 (ru) | Нагревательное устройство дл сол ной печи-ванны | |
| PL94502B1 (pl) | Piec redukcyjny do wytwarzania pretow polikrystalicznego krzemu |