PL94502B1 - Piec redukcyjny do wytwarzania pretow polikrystalicznego krzemu - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, z koliscie rozmieszczonymi w dnie pieca elektrodami do mocowania pretów, oraz z zewnetrznym plaszczem chlodzacym.Znane sa piece redukcyjne do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, w których okreslona ilosc pretów zamocowana jest na elektrodach rozmieszczonych w dnie pieca na kolistym obwodzie. Sa to piece z komorami walczakowymi, chlodzonymi z zewnatrz woda. Prety ogrzewane sa oporowo do temperatury powyzej 1000°C pradem doprowadzonym do elektrod. Przez centralnie umieszczone w dnie pieca doprowadzenie wplywa gazowa mieszanka reakcyjna, skladajaca sie z wodoru i zwiazku zawierajacego krzem, np. trójchlorosilanu. Mieszanka ta omywa, plynac do góry, powierzchnie pretów zwrócone ku srodkowi pieca, po czym kierujac sie ku dolowi, do odplywów umieszczonych na obrzezu pieca, omywa zewnetrzne powierzchnie pretów. Pod wplywem wysokiej temperatury zachodzi reakcja redukcji wodorem zwiazku zawierajacego krzem i wydzielenie krzemu na sciankach pretów osadczych.Znany jest takze z opisu patentowego RFN nr 1065826 typ pieca, w którym wokól centralnego punktu z lukiem elektrycznym, palacym sie miedzy dwiema elektrodami krzemowymi, rozmieszczone sa symetrycznie na dwu wspólsrodkowych obwodach kolistych prety osadcze, ogrzewane pradem elektrycznym. Pojedyncze prety jak tez caly ich zespól wykonuja ruch obrotowy wokól wlasnej osi oraz punktu centralnego ukladu, co zapewnia równomierne osadzanie na powierzchniach pretów krzemu pochodzacego z odparowania elektrod krzemowych w luku elektrycznym.Celem wynalazku jest opracowanie konstrukcji pieca redukcyjnego do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu, która zapewnialaby jego wieksza wydajnosc oraz bardziej równomierne stezenie reagentów w przestrzeni otaczajacej prety osadcze a tym samym bardziej równomierne osadzanie sie krzemu na sciankach pretów.2 91502 Piec redukcyjny wedlug wynalazku ma komore otoczona plaszczem chlodzacym, który tworzy od góry do wnetrza pieca centrycznie umieszczone zaglebienie, nadajace komorze ksztalt wydrazonego walca. Miedzy zewnetrzna i wewnetrzna scianka tego walca znajduja sie osadzone w plycie dolnej pieca, rozmieszczone na obwodach wspólsrodkowych kól, elektrody sluzace do zamocowania w nich pretów osadczych polikrystalicznego krzemu. W plycie dolnej pieca, miedzy pierscieniami elektrod znajduja sie doplywy mieszaniny zwiazku zawierajacego krzem oraz wodoru, natomiast otwór odplywowy mieszanki polozony jest w centralnym punkcie dna pieca.Zaleta pieca redukcyjnego wedlug niniejszego wynalazku jest, obok jego wysokiej wydajnosci, korzystna geometria pretów, bedaca nastepstwem zwiazanej z konstrukcja pieca korzystnej cyrkulacji mieszaniny gazowej wokól pretów osadczych. Mieszanina doprowadzana z zewnatrz pomiedzy pierscienie elektrod plynie do góry miedzy pretami a potem splywa w dól po chlodzonych plaszczowo woda obu (zewnetrznej i wewnetrznej) scianach komory. Dzieki temu omywane sa równomiernie cale powierzchnie pretów. Chlodzenie komory zarówno od strony zewnetrznej, jak i wewnetrznej sciany wydrazonego walca zapewnia przy tym jednakowa temperature wszytkich pretów.Przedmiot wynalazku przedstawiony jest w przykladzie wykonania na rysunku, na którym 1 oznacza komore pieca, 2 — plaszcz chlodzacy, 3 — elektrody tworzace pierscien zewnetrzny, 4—elektrody tworzace pierscien wewnetrzny, 5 — prety osadcze, 6 —doplywy gazowej mieszanki reakcyjnej, 7 —odplyw mieszanki.Doprowadzona mieszanka unosi sie pomiedzy dwoma pierscieniami pretów do góry a nastepnie splywa od szczytu komory w dól, po obu stronach wzdluz scian komory, kierujac sie do odplywu i omywa w ten sposób cala powierzchnie pretów osadczych umieszczonych na elektrodach. PL

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Piec redukcyjny do wytwarzania pretów polikrystalicznego krzemu z ko Iiscie rozmieszczonymi w dnie pieca elektrodami, przeznaczonymi do mocowania pretów, oraz z zewnetrznym plaszczem chlodzacym, znamienny tym, ze ma plaszcz chlodzacy, który tworzy od góry do wnetrza pieca centrycznie umieszczone zaglebienie, nadajace piecowi ksztalt wydrazonego walca, przy czym doplywy gazowej mieszaniny reakcyjnej znajduja sie w dnie pieca pomiedzy pierscieniami elektrod a odplyw tej mieszaniny polozony jest w centralnym punkcie dna pieca. Prac. Poligraf. UP PRL naklad 120+18 Cena 10 zl PL