Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania warstw zabezpieczajacych, izolacyjnych, dielektry¬ cznych-kondensatorowyeh i rezystywnych, zwlaszcza w zastosowaniu do techniki grubowarstwowej w mikro¬ elektronice. < Znany sposób wytwarzania tego typu warstw polega kolejno na sporzadzaniu, w zaleznosci od zadanej warstwy, odpowiedniej pasty, po uprzednim przygotowaniu wszystkich jej skladników, nastepnie nalozeniu odpowiedniej ilosci pasty zaleznie od wymaganej grubosci warstwy, na przeznaczone do pokrycia plaszczyzny podloza np. ceramicznego które z kolei poddaje sie obróbce termicznej, w temperaturze zaleznej od temperatury miekniecia zawartego w pascie szkla, w elektrycznym piecu tunelowym.Pasty stosowane do wytwarzania warstw zabezpieczajacych i izolacyjnych zawieraja szklo jako skladnik podstawowy, natomiast jako dodatek wystepuje ono w pastach przeznaczonych do wytwarzania warstw diele¬ ktrycznych — kondensatorowych i rezystywnych.Znany sposób przygotowania proszku polega na mechanicznym rozdrobnieniu szkla oraz rozfrakcjonowa- niu na sitach. Uzyskany w ten sposób proszek posiada ziarna o nieregularnych ksztaltach i róznych wielkosciach.Znane pasty zawieraja szklo w postaci takich wlasnie ziarn o nieregularnych ksztaltach i róznych wielkosciach.Powoduje to nierównomierny rozklad temperatur miekniecia, topnienia i plyniecia szkla. Konsekwencja tego jest praktyczny brak mozliwosci panowania nad przebiegiem zachodzacych reakcji podczas termicznej obróbki pasty jak równiez wlasciwym i równoczesnym jej przebiegiem w calej grubosci warstwy.Stosowanie bardzo drobnych frakcji o róznym i nieregularnym ksztalcie ziarn szkla np. platkowym powo¬ duje zatrzymywanie pecherzyków powietrza w wyniku czego powstaja zamkniete pory szczególnie niepozadane w tych warstwach.Ponadto zwlaszcza przy warstwach zabezpieczajacych lub izolacyjnych, kontakt drobnych frakcji proszku szklanego o róznych ksztaltach ziarn stwarza wieksze mozliwosci zajscia niepozadanych reakcji miedzy wspólpracujacymi ze soba warstwami, np. miedzy warstwa zabezpieczajaca a rezystywna, izolacyjna-przejsciowa, a przewodzaca i dielektryczna — kondensatora a przewodzaca.Mozliwym jest wprawdzie wprowadzenie do pasty proszku szklanego w postaci ziarn o okreslonej frakcji, jednakze ze wzgledu na nieregularnosc ksztaltu ziarn, w obrebie jednej frakcji znajduja sie ziarna o róznej masie.2 87 145 Celem wynalazku jest wyeliminowanie tych niedogodnosci i wad przy zachowaniu a nawet polepszeniu parametrów fizyko-chemicznych oraz elektrycznych wytwarzanych warstw. - Sposób wedlug wynalazku polega na wprowadzeniu do pasty proszku szklanego o ziarnach w ksztalcie kulek o okreslonej srednicy, wykonanych w znany sposób, przy czym wprowadzone do pasty kulki moga takze stanowic kombinacje kulek o co najmniej dwóch róznych okreslonych srednicach, wykonanych ze szkiel o róz¬ nych temperaturach miekniecia i róznych wlasnosciach fizyko-chemicznych, najkorzystniej szkiel bezpostacio¬ wych i szkiel krystalicznych, które miesza sie, w przypadku past zabezpieczajacych i izolacyjnych zaznanymi plastyfikatorami organicznymi, badz w przypadku past rezystywnych dodatkowo ze znanymi drobnodyspersyj- nymi proszkami metali i ich polaczeniami, natomiast w przypadku past dielektrycznych — kondensatorowych dodatkowo ze znanymi proszkami tlenków metali lub ich spieków.Tak otrzymana paste naklada* sie w odpowiedniej grubosci warstwie na przeznaczone podtoze i z kolei poddaje obróbce termicznej w odpowiedniej temperaturze w znany sposób i znanych urzadzeniach.Wprowadzenie proszku szklanego w postaci ziarn o ksztalcie kulek o scisle zawezonym zakresie srednic pozwala w warstwach zabezpieczajacych i izolacyjnych, w których szklo jest podstawowym a w zasadzie jedy¬ nym skladnikiem, na ograniczenie reakqi do kontaktów punktowych ze wspólpracujacymi warstwami, zarówno w momencie nalozenia jak i podczas pierwszej fazy obróbki termicznej.Napiecie powierzchniowe kulek gwarantuje zachowanie sie ich ksztaltu do okreslonej temperatury, po czym ich rozlewanie nastepuje w sposób gwaltowny i równoczesny, skrawajac tym samym do minimum czas na zajscie niepozadanych miedzywarstowych reakcji. < W przypadku warstw izolacyjnych — przejsciowych, odpowiednie dobranie srednicy kulek gwarantuje po ich rozplynieciu utrzymanie zadanego dystansu miedzy izolowanymi warstwami.Przy stosowaniu kombinacji kulek z róznych szkiel na przyklad bezpostaciowych i krystalicznych uzyskuje sie jakgdyby zawiesine kulek o wyzszej temperaturze miekniecia w rozplynietej masie szklanej i dzieki temu lepsze parametry elektryczne warstwy.W przypadku warstw rezystywnych i dielektrycznych — kondensatorowych, gdzie szklo wprowadzone jest jako dodatek, stosowanie kulek, które mieknac nie traca ksztaltu a nastepnie rozplywaja sie gwaltownie i w jednakim czasie — pozwala na zajscie reakcji takich jak utlenianie czastek metalicznych w calej grubosci warstwy i równoczesnie na zachowanie pierwotnego stanu rozmieszczenia czastek metalicznych w matrycy szkla- nej.¦ ' Dodatkowa korzyscia stosowania sposobu wedlug wynalazku jest male zuzycie siatek do sitodruku, ponie¬ waz kulki szklane przeciskaja sie przez oczka siatki nie uszkadzajac jej wlókien, nie naruszajac geometrii siatki i daja tym samym wlasciwe kontury i grubosc warstwy. * Jezeli ziarnom proszku szklanego o granulacji np. 50 /i nada sie ksztalt kulek uzyska sie granulacje kulek ponizej 30 /i, przy czym mozliwe jest teraz rozfrakcjonowanie na kulki o jednakowej masie. Daje to mozliwosc wprowadzenia do past proszków szkiel o zadanym zawezonym zakresie granulacji, której wybór zalezny jest od funkcji jaka spelnia szklo w danej pascie. < W przypadku past rezystywnych lub dielektrycznych — kondensatorowych drobnodyspersyjne proszki tlen¬ ków metali lub spieków metali powinny stanowic wstepnie wymieszana zhomogenizowana mieszanine.Wlasciwy proces mieszania past polega na recznym wymieszaniu skladników, co ze wzgledu na stosowanie proszku szklanego o ziarnach w ksztalcie kulek jest procesem krótkotrwalym.Wykonywanie past zabezpieczajacych polega na stopieniu szkla, sfrytowaniu, doprowadzeniu do postaci proszku a nastepnie przeprowadzeniu proszku o nieregularnym ksztalcie w postac miniaturowych kulek np. sposobem wedlug wynalazku PRL nr 46244. Proszek w postaci kulek rozdziela sie w celu uzyskania odpowie¬ dnich frakcji, a nastepnie miesza sie z nosnikiem organicznym celem uzyskania pasty o odpowiedniej konsy¬ stencji. Paste nanosi sie np. metoda sitodruku na poloze, np. ceramiczne i poddaje obróbce termicznej w piecach elektrycznych tunelowych w czasie i temperaturze zaleznych od rodzaju uzytego szkla. PL