PL85763B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL85763B1
PL85763B1 PL16426073A PL16426073A PL85763B1 PL 85763 B1 PL85763 B1 PL 85763B1 PL 16426073 A PL16426073 A PL 16426073A PL 16426073 A PL16426073 A PL 16426073A PL 85763 B1 PL85763 B1 PL 85763B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
glow
anode
head
head according
measuring
Prior art date
Application number
PL16426073A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PL16426073A priority Critical patent/PL85763B1/pl
Publication of PL85763B1 publication Critical patent/PL85763B1/pl

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jestglowi¬ ca jarzeniowa do pomiaru prózni poprzez pomiar pradu jarzenia.Stan techniki. Znane sa glowice jarzeniowe zbudowane z cylindrycznego metalowego niemagnetycznego korpusu, do którego konców sa przymocowane próznioszczelne dwa cylindryczne pierscienie wykonane z materialu ferroma¬ gnetycznego. Jeden z nich stanowi zewnetrzny kolnierz korpusu sluzacy do przylaczania glowicy jarzeniowej do badanej komory prózniowej. Drugi pierscien, usytuowany na przeciwleglym koncu korpusu, tworzy kolnierz wewne¬ trzny. W ten kolnierz wchodzi cylindryczny' nabiegunnik posiadajacy w swojej osi przelotowy otwór, przez który przechodzi pret stanowiacy anode glowicy. Jeden koniec anody od strony badanej komory prózniowej jest wolny, a drugi koniec tej anody jest zamocowany do izolacyjnego próznioszczelnego przepustu polaczonego próznioszczel- nie z pierscieniem wewnetrznym korpusu.W przestrzeni wewnetrznej korpusu od strony badanej komory prózniowej znajduje sie drugi nabiegunnik w ksztalcie cylindrycznej miseczki wykonanej z materialu ferromagnetycznego. W jego dnie sa wykonane otwory, które lacza badana komore prózniowa z przestrzenia we¬ wnetrzna korpusu, zwana komora wyladowcza. Do konca walcowej zewnetrznej powierzchni nabiegunnika jest przymocowana tulejka wspólosiowo do tego nabiegunnika oraz do korpusu. Tulejka tworzy katode glowicy i jest wykonana z metalu niemagnetycznego, z reguly ze stali nierdzewnej.W innych znanych glowicach korpus tej glowicy stanowi jednoczesnie katode. W tymprzypadku tuleja wewnetrzna nie wystepuje, a kolnierz wewnetrzny jest równoczesnie nabiegunnikiem.Na walcowa zewnetrzna powierzchnie korpusu jest na¬ sadzony cylindryczny magnes stalywytwarzajacywglowi¬ cy jarzeniowej pole magnetyczne, przy czym linie sil tego polamagnetycznego sa równolegledoosikorpusuglowicy.Magnes wraz zkorpusemznajdujesie w osloniewykona¬ nej w ksztalcie kubka, do którego dna zamocowane jest zlacze koncentryczne kontaktujace z przepustemizolacyj¬ nym za posrednictwem styku sprezynowego. Poprzez zla¬ czeiprzepust izolacyjnydoprowadza siedoanody napiecie rzedu 2-5 KV, co powoduje wytwarzanie pola elektryczne¬ go w przestrzeni miedzy anoda i katoda, czyli w komorze wyladowczej. Pod wplywem tego pola nastepuje jonizacja gazu i wyladowanie jarzeniowe, a prad plynacy w obwo¬ dzie anodowym jest proporcjonalny do cisnienia gazu wypelniajacego komore waladowcza. Prad tenjest mierzo¬ ny w ukladzie pomiarowym.W wyniku wyladowania jarzeniowego nastepuje rozpy¬ lanie i utlenianie sie elektrod, a osadzajace sie tlenki tworza nieprzewodzaca warstwe zmieniajaca charakte¬ rystyke glowicy. Zjawisko to zachodzi szczególnie w wy¬ zszych cisnieniach, co ogranicza zakres pomiarowy do. cisnien rzedu 10"3Tr. W zwiazku z powyzszym istnieje koniecznosc okresowego oczyszczania elektrod glowicy.Oczyszczenie jest szczególnie' utrudnione w glowicach, w których korpus jestjednoczesnie katoda.Najwieksza trwalosc glowicy jarzeniowej uzyskuje sie przy zastosowaniu katody aluminiowej, jednakze przyrost 8576385763 3 trwalosci glowicy przy zastosowaniu katody aluminiowej jest niewielki w porównaniu zezmniejszaniem sie czulosci glowicy. Ma to szczególne znaczenie przy pomiarzecisnien w szerokim zakresie obejmujacym cisnienia rzedu 10"7- -l Prad plynacy przez miernik w obwodzie pomiarowym wspólpracujacym z glowica jarzeniowa stanowi sume pra¬ dów: zaleznego od cisnienia gazu w komorze wyladowczej glowicy jarzeniowej oraz pradu zaklócajacego, którym glównie jest prad uplywnosci obwodu anodowego. Przy niskich cisnieniach rzedu lO^Trwartoscpraduzaklócaja¬ cego jest porównywalna z wartoscia pradu zaleznego od cisnienia. Topowoduje duzy blad pomiaru i w rezultacie ogranicza zakres pomiarowy niskich cisnien do rzedu "7Tr. - .Inna niedogodnoscia znanych glowic jarzeniowych jest brak mozliwosci regulacji natezenia pola magnetycznego wytwarzanego przezmagnes staly.Jest tobardzoklopotli¬ we przy produkcji seryjnej glowic jarzeniowych. Magnesy maja rózne natezeniepola magnetycznego; a zatemzacho¬ dzi koniecznosc selekcji magnesów oraz indywidualnej regulacji ukladu pomiarowego dla poszczególnych glowic jarzeniowych- Toz kolei uniemozliwia zamiennosc glowic w ukladach pomiarowych.Cel wynalazku: Celem wynalazku jest wyeliminowanie powyzszych wad i' niedogodnosci, a w szczególnosci osia¬ gniecieszerokiego zakresu pomiarowego rzedu 10" -10 przy duzej dokladnosci pomiaru i duzej trwalosci glowicy oraz wyeliminowaniewplywu rozrzutu wartoscinatezenia pola magnetycznego magnesu stalego na charakterystyke seryjnie produkowanych glowic jarzeniowych, a tym sa¬ mym umozliwienie swobodnej zamiennosci glowic jarze¬ niowych w ukladach pomiarowych.Opis wynalazku. Rozwiazanie wedlug wynalazku polega na tym, zewkomorzewyladowczej pomiedzykatoda,która stanowi jednolity cylindryczny korpus wykonany z mate¬ rialu ferromagnetycznego, aumieszczona wewnatrzwjego osi anoda wprowadza sie elektrode pomiarowa wlaczona w uklad pomiarowy.Elektrodepomiarowa stanowi najko¬ rzystniej spirala otaczajaca anode o jak najwiekszej sred¬ nicy wewnetrznej. Wszystkie elementy znajdujace sie w przestrzeni objetej wyladowaniem jarzeniowym wyko¬ nuje sie ze stopu aluminium lub w przypadku wykonywa¬ nia ich z innego metalu pokrywa sie je warstwa stopu aluminium. Zawartosc czystegoaluminiumwstopie wyno¬ si nie mniej niz 80%, najkorzystniejpowyzej 98%. Ponadto istotnym elementem wynalazku jest zastosowanie boczni¬ ka magnetycznego wlaczonego w obwód magnetyczny, którym jest cylindryczny pierscien o wewnetrznej powie¬ rzchni gwintowej wspólpracujacej z nabiegunnikiem osa¬ dzonym na korpusie.Zalety wynalazku. Zastosowanie elektrody pomiedzy katoda i anoda pozwala wyeliminowac wplyw pradu uplywnosci na wynik pomiaru, a to dlatego, ze prad elek¬ trody stanowi tylko prad jonowy, który jest zalezny od cisnienia gazu panujacego w komorze wyladowczej. To z kolei pozwala rozszerzyc zakres pomiarowy glowicy jarzeniowej w kierunku niskich cisnien.Oddzielenieukladu pomiarowego odobwodu wysokiego napiecia pozwala na bezpieczna wspólprace glowicy z ukladami pólprzewodnikowymi, na przyklad wzmacnia¬ czy operacyjnych. Istotny wplyw na trwalosc glowicy ja¬ rzeniowej ma zastosowanie stopów aluminiowych nie tyl¬ ko na katode, ale na wszystkie elementy znajdujace sie w obszarze wyladowaniajarzeniowego. Nalezypodkreslic, 4 ze wprowadzenie do obszaru wyladowania jarzeniowego chociazby jednego elementu z innego metalu niz alumi¬ nium lub stop aluminiowy albo nie pokrytego tym stopem powoduje znacznepogorszenietrwalosciglowicyjarzenio¬ wej, zwlaszcza przy pracy w cisnieniach powyzej lO^Tr.Dodatkowa zaleta glowicy wedlugwynalazku jest moz¬ liwosc regulacji natezenia pola magnetycznego wewnatrz komory wyladowczej za posrednictwem bocznika magne¬ tycznego i tym samym mozliwosc produkowania glowic *o jarzeniowych o malym rozrzucie parametrów i pelnej za¬ miennosci glowic bez regulacji ukladów pomiarowych.Przyklad wykonania. Wynalazek zostanie dokladniej wyjasniony w przykladzie wykonania na rysunku, na któ¬ rym fig. 1 przedstawiaprzekrój podluznyglowicy jarzenio- 19 wej, fig. 2-schematideowyzasilania i ukladupomiarowe¬ go, a fig. 3 - przekrój poprzeczny glowicy jarzeniowej.Glowica jarzeniowa jest zbudowana z korpusu 1 stano¬ wiacego katode, wykonanegoz materialuferromagnetycz¬ nego w ksztalcie cienkosciennego kubka o pogrubionym 2e dnie-tworzacymnabiegunnik 2. Powierzchniawewnetrz¬ na korpusu 1 pokryta jest warstwa aluminium. Obrzeze korpusu 1 jest rozszerzone i tworzy kolnierz zewnetrzny & sluzacy do przylaczania glowicy jarzeniowej do badanej komory prózniowej. W pogrubionym dnie 2 sa wykonane dwa przelotowe otwory, a w nich osadzone sa próznio- szczelne izolacyjne przepusty 4 i 5 polaczone z gniazdami zlacza 6. W przepuscie 4 usytuowanym wspólosiowo osa¬ dzony jest jeden koniec aluminiowego preta stanowiacego anode 7. Natomiast w przepuscie 5 jest osadzony koniec spiralnej aluminiowej elektrodypomiarowej 8 - usytuowa¬ nej wspólosiowo w korpusie 1, która polaczona jest w uklad pomiarowy. Powierzchnia wewnetrzna korpusu 1 • zamyka wykonany z materialu ferromagnetycznego nabie¬ gunnik 9, posiadajacy szereg przelotowych otworów 10 laczacych wnetrze korpusu stanowiacego komore wylado¬ wcza z badana komora prózniowa. W jednym z tychotwo¬ rów usytuowanym wspólosiowo znajdujesie wolny koniec anody 7. Powierzchnia czolowa tego nabiegunnika 9 od strony komory waladowczej jest pokryta warstwa alumi- 40 nium.Na walcowa zewnetrzna powierzchnie korpusu 1 jest nasadzony cylindryczny magnes staly 11 wytwarzajacy w komorze wyladowczej pole magnetyczne. Przylega on powierzchnia czolowa do kolnierza zewnetrznego 3, druga 49 natomiast do pierscienia 12 wykonanegoz materialuferro¬ magnetycznego. Srednica zewnetrzna pierscienia 12 jest wieksza niz srednica zewnetrzna magnesu stalego 11. Po¬ wierzchnia walcowa pierscienia 12 jest nagwintowana i wspólpracuje z gwintem wewnetrznym tulei 13 wykcna- 90 nej z materialu ferromagnetycznego, stanowiacej bocznik magnetyczny.Czesc strumienia magnetycznego jest zwierana przez bocznik magnetyczny 13. Wartosc tego strumienia zalezy od wielkosci szczeliny istniejacej pomiedzy tym boczni- 55 kiem a kolnierzem zewnetrznym 3 i jest regulowana przez poosiowe przesuwanie bocznika magnetycznego 13 na gwincie pierscienia 12. To z kolei pozwala regulowac natezenie pola magnetycznego w komorze wyladowczej.Wszystkie elementy glowicy jarzeniowej znajduja sie 60 w oslonie 14 wykonanej w ksztalcie kubka z materialu niemagnetycznego. PL

Claims (5)

  1. Zastrzezenia patentowe 1. Glowica jarzeniowa skladajaca sie z cylindrycznego 65 korpusu stanowiacego katode, pretowej anody osadzonej85763 jednym koncem w próznioszczelnym przepuscie magnesu stalego i nabiegunników tworzacych obwód magnetyczny, znamienna tym, ze w przestrzeni pomiedzy korpusem (1) a anoda (7) ma elektrode pomiarowa (8) wlaczonaw obwód pomiarowy oraz w obwodzie magnetycznym bocznik ma¬ gnetyczny (13).
  2. 2. Glowica wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze anoda (7) wraz z elektroda pomiarowa (8), powierzchnia wewne¬ trzna korpusu (1) oraz wszystkieinneelementyumieszczo¬ ne w obszarze wyladowania jarzeniowego sa wykonaneze stopu aluminium lub pokryte warstwa stopu aluminium o zawartosci czystego aluminium w stopie nie mniej niz 80%, najkorzystniej powyzej 98%. 10
  3. 3. Glowica wedlug zastrz. 2, znamienna tym, ze elektro¬ da pomiarowa (8) ma ksztaltnajkorzystniej spirali otacza¬ jacej anode o jak najwiekszej srednicy zewnetrznej.
  4. 4. Glowica wedlug zastrz. 2, znamienna tym, ze korpus (1) wraz z kolnierzem (3) inabiegunnikiem(2) sa wykonane z jednolitego materialu.
  5. 5. Glowica wedlug zastrz. 1, znamienna tym, zebocznik magnetyczny (13) ma postac cylindrycznej tuleiwewnatrz nagwintowanej, wspólpracujacej z gwintem zewnetrznym pierscienia (12), przy czym srednica wewnetrzna wspom¬ nianego bocznika magnetycznego (13) jest wieksza od srednicy zewnetrznej magnesu stalego (11).85763 ttg-2 Sklad wykonano w DSP, zam. 5132 Druk w UP PRL, naklad 125 + 20 egz Cena zl 10,- PL
PL16426073A 1973-07-23 1973-07-23 PL85763B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL16426073A PL85763B1 (pl) 1973-07-23 1973-07-23

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL16426073A PL85763B1 (pl) 1973-07-23 1973-07-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL85763B1 true PL85763B1 (pl) 1976-04-30

Family

ID=19963576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL16426073A PL85763B1 (pl) 1973-07-23 1973-07-23

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL85763B1 (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0184812A2 (en) High frequency plasma generation apparatus
JP6019121B2 (ja) イオン化真空測定セル
PL85763B1 (pl)
Middleton A versatile high intensity negative ion source
RU2389990C2 (ru) Комбинированный ионизационный вакуумметрический преобразователь
GB929883A (en) Improvements in or relating to the detection and/or analysis of low concentrations of gases and vapour
EP0431233B1 (de) Partialdruckmesszelle mit Kaltkathodenionenquelle für die Lecksuche in Vakuumsystemen
US3369067A (en) Nonconsumable annular fluid-cooled electrode for arc furnaces
RU2091989C1 (ru) Способ нанесения покрытий в вакууме и устройство для его осуществления
US3505554A (en) Ionization pressure gauge
JPS5719613A (en) Differential sensor
US4367427A (en) Glow discharge lamp for qualitative and quantitative spectrum analysis
JP2540073B2 (ja) 真空計
Jones et al. The Correlation of Local Voltage and Cross-sectional Areas for Very High Current Gas Blast Arcs in Air and SF6
US2725529A (en) Electrical instruments
Townsend Cathode spot initiation on a mercury pool by means of an external grid
JPS5924186B2 (ja) スパツタリング装置
RU2179987C2 (ru) Устройство для производства алмазов
SU1306983A1 (ru) Подвеска дл электрохимической обработки деталей
JPS5636056A (en) Measuring system for surface electric potential
GB217213A (en) Improvements in apparatus for medical treatment with high frequency electric currents
DE2841577C2 (de) Glimmentladungslampe zur qualitativen und quantitativen Spektralanalyse
GB233808A (en) Improvements in electric measuring instruments
Kaneda The influence of a transverse magnetic field on a glow discharge tube
PL136295B1 (en) Method of testing emission properties of thermocathodes in particular cup-shaped ones