PL83992B1 - - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest uchwyt ustalajacy, zwlaszcza do ustalania prostokatnych podlozy u- kladów hybrydowych wzgledem masek mechani¬ cznych w procesie naparowywania prózniowego.W produkcji ukladów scalonych prowadzone sa 5 procesy selektywnego naparowywania w prózni z zastosowaniem maskowania mechanicznego. Pro¬ ces ten wymaga ustawienia naparowywanego pod¬ loza wzgledem maski z zadana dokladnoscia i jego zamocowania w ten sposób, by maska na calej 10 powierzchni przylegala do podloza. O wydajnosci i ekonomicznosci procesu decyduje miedzy innymi ilosc podlozy naparowywanych w jednym cyklu technologicznym Znane sa dotychczas uchwyty do prowadzenia 15 tego procesu, w których centrowanie podloza wzgledem maski odbywa sie za pomoca baz me- mechanicznych przez ustawienie reczne i docisnie¬ cie do baz róznymi ukladami dzwigowo-sprezy- nowymi lub sila odsrodkowa, a mocowanie podloza 20 za pomoca docisku, prostopadle do powierzchni maski. Niedogodnoscia znanych rozwiazan jest to, ze mocowanie przez docisk podloza do maski po¬ woduje odksztalcenie sie maski, szczególnie w pod¬ wyzszonych temperaturach i odstawanie jej od pod- 25 loza, co powoduje powstawanie cieni. Stosowane dociski boczne dosuwajace do baz zwiekszaja wy¬ miary poprzeczne uchwytu ograniczajac ilosc jed¬ noczesnie naparowywanych podlozy.Podobna niedogodnosc maja uklady z wykorzy- 30 staniem sily odsrodkowej, pozwalajace na moco¬ wanie podlozy tylko na obwodzie urzadzenia.Celem wynalazku jest uchwyt ustalajacy, pozwa¬ lajacy na zwiekszenie sily mocowania podlozy bez obawy odksztalcenia maski i posiadajacy niewiel¬ kie wymiary w plaszczyznie naparowania.Uchwyt wedlug wynalazku sklada sie z podsta¬ wy z otworem, przez który nastepuje naparowy¬ wanie oraz ramki uchwytu z elementami do usta¬ lania i mocowania podloza. Oba te zespoly, wraz z wlozona pomiedzy nie maska sa ustalane wzgle¬ dem siebie za pomoca znanych sposobów, np. kol¬ ków ustalajacych. Podloze zakladane jest w ramke uchwytu i dosuwane do baz za pomoca osadzonej wahliwie i przesuwnie plytki dociskowej, której jeden z boków jest uksztaltowany jako krzywka plaska, wspólpracujaca z nieruchomym sworzniem, wymuszajac ruch plytki w ten sposób, ze podloze jest zawsze najpierw do powierzchni bazujacej dluzszej reprezentujacej dwa punkty podparcia, a nastepnie do krótszej reprezentujacej trzeci punkt, co zapewnia prawidlowe zabazowanie. Uruchomie¬ nie plytki dociskowej odbywa sie przy pomocy sprezyny umieszczonej ponad plytka dociskowa.Sila mocujaca podloze jest przenoszona poprzez maske na odpowiednie wystepy w otworze pod¬ stawy uchwytu.Uchwyt wedlug wynalazku dzieki zwartej budo¬ wie pozwala na uzyskanie duzego upakowania w urzadzeniu do naparowywania co zwieksza wydaj- 83 99283 992 nosc urzadzenia na jednen cykl technologiczny zmniejszajac jednoczesnie odwazke materialu pa¬ rowanego na jedno podloze. Umieszczenie sprezy¬ ny dociskowej ponad uchwytem nie zwieksza wy¬ miarów uchwytu i umozliwia zastosowanie spre¬ zyny stosunkowo duzej, pracujacej z imalymi na¬ prezeniami. Zwieksza sie w ten sposób jej trwa¬ losc w podwyzszonych temperaturach. Zastosowa¬ nie wystepów w otworze podstawy uchwytu za¬ bezpiecza maske przed odksztalceniami pod wply¬ wem sily mocujacej i pozwala na jej zwiekszenie, dajac pewniejsze mocowanie. Rozwiazanie, to zmniejsza liczbe nieprawidlowo naparowywanych podlozy z powodu cieni i nieprawidlowego usta¬ wienia podloza wzgledem maski.Przedmiotem wynalazku przedstawiony jest w przykladowym rozwiazaniu konstrukcyjnym na ry¬ sunku, który pokazuje widok uchwytu w rozstrze¬ leniu.Podstawa uchwytu 1 posiada otwór 2 przez któ¬ ry nastepuje naparowywanie. W narozach otwo¬ ru wykonane sa wystepy 3 przenoszace sile mo¬ cujaca podloze 4. Podloze umieszcza sie w wycie¬ ciu ramki uchwytu 5 posiadajacej dwie powierz¬ chnie bazujace 6. Ramka 5 wraz z maska 7 usta¬ lona jest na podstawie uchwytu 1 za pomoca dwóch fcolków 8.Na ramce 5 umieszczona jest plytka dociskowa 9 dosuwajaca podloze do baz 6 za pomoca wyste¬ pów 10. Dosaiwanie plytki 9 odbywa sie pod dzia¬ laniem sprezyny agrafkowej 11 w ten sposób, ze krawedz plytki 12 uksztaltowana jako krzywka przesuwa sie po sworzniu 13 wymuszajac ruch plytki 9 w ten sposób, ze podloze dosuwane jest najpierw do powierzchni bazujacej 6 dluzszej a na¬ stepnie do krótszej. Mocowanie podloza 4 odbywa sie przez odchylny docisk 14. PL

Claims (3)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Uchwyt ustalajacy, zwlaszcza do ustalania pro¬ stokatnych podlozy ukladów hybrydowych w pro¬ cesie naparowywania prózniowego, w którym pod¬ loze ukladu i maska sa ustalane przy pomocy baz mechanicznych znamienny tym, ze ma zamocowa¬ na wahliwie i przesuwnie plytke dociskowa (9) sluzaca do dosuwania podloza (4) do powierzchnii baz (6), której jeden z boków (12) jest uksztalto¬ wany w postaci krzywki oraz wspólpracujacy z ta krzywka nieruchomy sworzen (13) wymuszajacy kierunek ruchu plytki (9) w plaszczyznie uchwytu w ten sposób, ze podloze (4) jest dosuwane zawsze najpierw do powierzchni bazujacej dluzszej, a po¬ tem krótszej.
2. 2. Uchwyt wedlug zastrz. 1 znamienny tym, ze ma element sprezysty (11) umieszczony ponad uch¬ wytem, wywierajacy ciagly nacisk na plytke (9) w kierunku baz (6).
3. 3. Uchwyt wedlug zastrz. 1 znamienny tym, ze otwór (2) przez który nastepuje naparowywanie ma wystepy (3) mieszczace sie w obrysie podloza (4) przenoszace przez maske (7) sile dociskajaca podloze do maski. LZG Zakl. Nr 3 w Pab. Zam. 634-76 nakl 125+20 Cena 10 zl PL