PL68928B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL68928B1
PL68928B1 PL13484269A PL13484269A PL68928B1 PL 68928 B1 PL68928 B1 PL 68928B1 PL 13484269 A PL13484269 A PL 13484269A PL 13484269 A PL13484269 A PL 13484269A PL 68928 B1 PL68928 B1 PL 68928B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
cathode
electron gun
auxiliary
primary
heating
Prior art date
Application number
PL13484269A
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to PL13484269A priority Critical patent/PL68928B1/pl
Publication of PL68928B1 publication Critical patent/PL68928B1/pl

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

Pierwszenstwo: 15.VII.1969 (P. 134 842) 17.VII.1968 Zwiazek Socjalistycznych eh Republik Radzieckich Opublikowano: 2.IX.1974 68928 KI. 21M6/60 CZYTELNIA Urzedu Polentawego hhWL laeranM^ll W» Wspóltwórcy wynalazku: Igor Pawlowicz Brukowskij, Pawel Borysowicz Jakowlew, Kiril Dawidowicz Gutterman, Alek¬ sander Wasyliewicz Perow, Wladimir Fiedoro¬ wicz Zuków, Larisa Petrowna Niekrasowa, Ju¬ rij Dymitriewicz Iwanowskij Wlasciciel patentu: Moskowskij ordiena Lenina energieticzeskij institut, Moskwa (Zwiazek Socjalistycznych Republik Ra¬ dzieckich) Uklad automatycznej regulacji elektrycznych warunków pracy zespolu elektrotermicznego z wyrzutnia elektronowa Przedmiotem wynalazku jest uklad automatycz¬ nej regulacji elektrycznych warunków pracy zes¬ polu elektrotermicznego z wyrzutnia elektronowa.Znane sa uklady regulacji warunków elektrycz¬ nych zespolu elektrotermicznego z wyrzutnia ele¬ ktronowa, którego podstawowa katoda jest nagrze¬ wana za pomoca strumieni elektronów emitowa¬ nych przez katode pomocnicza. Katoda podstawo¬ wa dziala elektronowo i jest nagrzewana przez czlon nagrzewania katody podstawowej, a katoda pomocnicza — przez czlon nagrzewania katody po¬ mocniczej.Wymienione uklady regulacji nie zabezpieczaly nalezytej stabilnosci elektrycznych warunków pra¬ cy urzadzenia elektrotermicznego z wyrzutnia ele¬ ktronowa przy kondensacji par nagrzewanego me¬ talu na powierzchni katody lub przy zmianie jej temperatury pod wplywem strumienia jonów do¬ datnich, bombardujacych jej powierzchnie lub strumienia cieplnego powstalego wskutek cieplne¬ go promieniowania powierzchni nagrzewanego cia¬ la, gdyz nie byly wyposazone w osobny czlon ko¬ rekcji nagrzewania, który automatycznie przepro¬ wadza regulacje elektrycznych warunków pracy ukladu. Dotychczas korekcja elektrycznych wa¬ runków pracy ukladu przeprowadzana byla przez operatora.Celem wynalazku jest opracowanie urzadzenia do automatycznej regulacji elektrycznych warun¬ ków pracy urzadzenia elektrotermicznego z wy¬ rzutnia elektronowa, która zapewnia zwiekszona stabilnosc warunków elektrycznych przy zmniej¬ szaniu emisyjnych wlasciwosci katody z powodu kondensacji na jej powierzchni par nagrzewane* s go materialu lub przy zmianie temperatury kato¬ dy pod wplywem bombardowania jej powierzchni jonami dodatnimi albo pod wplywem powstawa¬ nia strumienia cieplnego wskutek cieplnego pro¬ mieniowania powierzchni nagrzanego wyrobu. 10 Uklad automatycznej regulacji elektrycznych warunków pracy urzadzenia elektrotermicznego z wyrzutnia elektronowa wedlug wynalazku ma na¬ grzewanie katody podstawowej strumieniem ele¬ ktronów emitowanych przez katode pomocnicza; is przy czym katoda podstawowa jest zasilana z czlo¬ nu nagrzewania katody podstawowej, a katoda pomocnicza — z czlonu nagrzewania katody po¬ mocniczej. Istote ukladu stanowi czlon korekcji nagrzewania katody podstawowej, który Jest po¬ st laczony co najmniej z jednym czlonem nagrzewa¬ nia. Korzystniejsze jest takie rozwiazanie, w któ¬ rym czlon korekcji nagrzewania katody podstawo¬ wej jest polaczony równoczesnie z czlonem na¬ grzewania katody pomocniczej, gdyz wówczas sa u regulowane oba czlony nagrzewania katod.Uklad wedlug wynalazku zapewnia zwiekszenie stabilnosci elektrycznych warunków dzialania u- rzadzenia, zwiekszenie jego wydajnosci i popra¬ wienie jakosci otrzymywanych wyrobów. st Przedmiot wynalazku jest szczególowiej objas- 68 92868 928 niony na przykladzie wykonania przedstawionym na rysunku na którym fig. 1 przedstawia schemat blokowy ukladu automatycznej regulacji warun¬ ków elektrycznych urzadzenia elektrotermicznego z wyrzutnia elektronowa, a fig. 2 — jedna z mo¬ zliwych odmian wykonania opisywanego ukladu.Jak wiadomo, temperatura emitujacej powierz¬ chni katody zalezy od mocy pobieranej "ze zródla zasilania przez grzejnik katody oraz od powierz¬ chni nagrzewanego wyrobu.W szeregu przypadków powierzchnia emitujaca katody podstawowej wyrzutni elektronowej i po¬ wierzchnia nagrzewanego wyrobu znajduja sie w strefie promieniowania wzajemnego.Przy zmianie~Uemperatury powierzchni nagrze¬ wanego wjrrobu lut^przy zmianie wspólczynnika promieniowani^ wzajemnego miedzy powierzchnia¬ mi katody i wyrobu (co wystepuje na przyklad w piecach do wytapiania, przy doprowadzaniu ma¬ terialu topionego do strefy promieniowania ele¬ ktronowego) zmienia sie wynikowy strumien cie¬ plny skierowany od powierzchni wyrobu do po¬ wierzchni katody,, powodujac zmiane temperatury emitujacej powierzchni katody, a co za tym idzie — zmiane mocy urzadzenia.Ponadto przyczyna zmiany temperatury emitu¬ jacej powierzchni katody, a przez to i zmiane mo¬ cy urzadzenia, jest zmiana intensywnosci strumie¬ nia jonowego na katode powodowana zmiana in¬ tensywnosci strumieni* jonowego padajacego na katode wskutek zmian cisnienia i skladu gazów w komorze roboczej.Nalezy podkreslic, ze odchylki mocy urzadzenia od ustalonej wartosci, przy stalej wartosci mocy zródla zasilania katody podstawowej wystepuja wtedy gdy wyrzutnia elektronowa urzadzenia ele¬ ktrotermicznego pracuje w warunkach, w których nie nastepuje ograniczanie pradu przez ladunek przestrzenny, co jest charakterystyczne dla wiek¬ szosci zespolów przemyslowych w zwiazku z ko¬ niecznoscia regulacji mocy urzadzen i szeregiem komplikacji technicznych, powstajacych podczas nagrzewania katod z czystych metali do tempera¬ tur, które zabezpieczaja mozliwosc dzialania wy¬ rzutni elektronowej w warunkach ograniczania pradu przez ladunek przestrzenny. Wahania mo¬ cy urzadzenia spowodowane wspomnianymi przy¬ czynami powoduja obnizenie wydajnosci urzadze¬ nia i pogorszenie jakosci otrzymywanych wyrobów, a w zwiazku z tym wymagaja regulacji celem powrotu urzadzenia do znamionowych warunków pracy Na fig. 1 przedstawiono schemat blokowy urza¬ dzenia, uklad polaczen urzadzenia elektrotermicz¬ nego z wyrzutnia elektronowa, a na fig. 2 wy¬ rzutnia elektronowa 1 jest zasilona ze zródla za¬ silania 2. Natomiast podstawowa katoda wyrzutni elektronowej 1 jest zasilana z czlonu 3 nagrzewa¬ nia katody podstawowej, w sklad której wchodzi czlon 4 regulacji warunków pracy czlonu 3. Ka¬ toda pomocnicza wyrzutni elektronowej 1 jest za¬ silana z czlonu zasilania 5 katody pomocniczej, w sklad którego wchodzi czlon regulacji 6 wa¬ runków pracy czlonu 5. Czlon 7 korekcji nagrze¬ wania katody podstawowej jest polaczony z wyj¬ sciem zródla zasilania 2 wyrzutni elektronowej 1.Czlon 3 nagrzewania katody podstawowej skla¬ da sie z prostownika 13, transformatora 14 wla¬ czonego przez zaciski 15 i 16 do sieci zasilajacej, 5 szeregowo — równoleglych tyrystorów 17 i 18 oraz z czlonu 4 do regulacji warunków pracy.Czlon 5, nagrzewania katody pomocniczej, skla¬ dajacy sie z transformatora 19, szeregowo — rów¬ noleglych tyrystorów 20 i 21 oraz z czlonu 6 do 10 regulacji warunków pracy jest wlaczony przez za¬ ciski 22 i 23 do sieci zasilajacej.Uklad automatycznej regulacji dziala w nizej opisany sposób. Przy zmianie pradu lub napiecia zasilania wyrzutni elektronowej 1. sygnal z wyjscia 15 zródla zasilania 2 wyrzutni elektronowej 1 jest przekazywany do czlonu 7 korekcji nagrzewania katody podstawowej, z którego wyjscia sygnal ko¬ rekcji nagrzewania katody podstawowej jest do¬ prowadzany do czlonu 3 nagrzewania katody pod- 20 stawowej i do czlonu 5 nagrzewania katody po¬ mocniczej. Wskutek wplywu czlonów 4 i 6 slu¬ zacych do regulacji warunków dzialania na ele¬ menty wykonawcze czlonu 3 nagrzewania katody podstawowej i czlonu 5 nagrzewania katody po- 25 mocniczej, moc zródla zasilania katody podstawo¬ wej, a wiec i je^o temperatura zmieniaja sie do chwili, az prad i napiecie wyrzutni elektronowej ustali sie na wymaganym poziomie.W przypadkach gdy jeden z czlonów na przy- »o klad czlon 3 nagrzewania katody podstawowej, dziala w warunkach stabilizacji napiecia lub pra¬ du zasilania katody podstawowej, sygnal z czlonu 7 korekcji nagrzewania katody podstawowej do¬ prowadzany jest tylko do czlonu 5 nagrzewania 35 katody pomocniczej, który dziala w ukladzie re¬ gulacji.Jak wynika z opisu i rysunków uklad wedlug wynalazku za pomoca czlonu 7 korekcji nagrze¬ wania katody podstawowej zapewnia automatycz- 40 ne zmiany mocy zródla zasilania katody podsta¬ wowej, a wiec i temperatury powierzchni emitu¬ jacej katody w zaleznosci od sygnalu przekazywa¬ nia z wyjscia zródla zasilania 2.M PL PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia'patentowe 1. Uklad do automatycznej regulacji elektrycz¬ nych warunków pracy urzadzenia elektrotermicz¬ nego z wyrzutnia elektronowa, w której nagrze¬ wanie katody podstawowej odbywa sie za pomo- 50 ca strumienia elektronów emitowanych przez ka¬ tode pomocnicza, przy czym katoda podstawowa wyrzutni elektronowej jest zasilana z regulowa¬ nego czlonu nagrzewania katody podstawowej, a katoda pomocnicza jest zasilana z regulowanego 50 czlonu nagrzewania katody pomocniczej, znamien¬ ny tym, ze zawiera czlon (7) korekcji nagrzewa¬ nia katody podstawowej, który jest polaczony przy¬ najmniej z jednym z czlonów; czlonu (3) zasila¬ nia katody podstawowej lub czlonu (5) zasilania ot katody pomocniczej.
2. Uklad wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze czlon (7) korekcji nagrzewania katody podstawo¬ wej jest polaczony jednoczesnie z czlonem (3) na¬ grzewania katody podstawowej i z czlonem (5) oo nagrzewania katody pomocniczej.KI. 21h,16/60 68 928 MKP H05b 7/00 \ d n—rn (—" ' i ' b—5J 1 ~[7} /7£/ /7£2 PL PL
PL13484269A 1969-07-15 1969-07-15 PL68928B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL13484269A PL68928B1 (pl) 1969-07-15 1969-07-15

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL13484269A PL68928B1 (pl) 1969-07-15 1969-07-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL68928B1 true PL68928B1 (pl) 1973-02-28

Family

ID=19950721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL13484269A PL68928B1 (pl) 1969-07-15 1969-07-15

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL68928B1 (pl)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB805165A (en) Improvements in and connected with processes using electrical glow discharges
KR920018236A (ko) 반응 스퍼터링 공정의 제어방법 및 이를 수행하는 장치
US6259210B1 (en) Power control apparatus for an ION source having an indirectly heated cathode
US3689798A (en) Device for automatically controlling electrical conditions of an electron beam unit
US4398132A (en) Electron beam current stabilizing device
EP0734459B1 (de) Verfahren und einrichtung zum plasmaaktivierten bedampfen
PL68928B1 (pl)
US3544913A (en) Power supply
CN100563399C (zh) 电子束轰击炉电子束发生系统电源控制方法及电源装置
JPS55126949A (en) Electron beam generator
US3244855A (en) System for correcting the shift of an electron-gun beam from the desired region of impingement
RU2311700C1 (ru) Устройство регулирования мощности электронного луча электронной пушки
US3392304A (en) Power supply for an electron beam furnace gun
US4500791A (en) High stability electron beam generator for processing material
CN115664212A (zh) 一种用于电子束精密调控的多级偏压电源
JPS5578452A (en) Electron gun
DE102015119455B3 (de) Vorrichtung zum Unterdrücken von Arcs in einem Elektronenstrahlerzeuger
GB2327513A (en) Power control apparatus for an ion source having an indirectly heated cathode
JPS58112232A (ja) 電子線照射装置
JPS57122686A (en) Parallel operation controller for dc motor
JPS54127272A (en) Hot-cathode electron source unit
JPS57205952A (en) Ion implanting device
GB987380A (en) Improvements in or relating to electron beam furnaces
GB1476202A (en) Three-phase x-ray apparatus
US3442252A (en) High voltage d.c. converter cathode supply circuit having means for controlling the voltage to the cathode