JPS58112232A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPS58112232A JPS58112232A JP56214034A JP21403481A JPS58112232A JP S58112232 A JPS58112232 A JP S58112232A JP 56214034 A JP56214034 A JP 56214034A JP 21403481 A JP21403481 A JP 21403481A JP S58112232 A JPS58112232 A JP S58112232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- cathode
- electron beam
- power source
- beam irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 24
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229930091051 Arenine Natural products 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は、熱陰極形電子銃を備え良電子ａｍ射装置に関
する。
する。
（２）従来技術と問題点
第１図は、従来の電子線照射装置の電子銃とその電源装
置を示す。
置を示す。
図において、１は陰極、２社陰極チップ、８紘発熱体、
４はグリ、ド、５はアノード、６はバイアス電圧発生装
置、７は隘極加熱電源、８社電子ビーム加速用高電圧電
源である。
４はグリ、ド、５はアノード、６はバイアス電圧発生装
置、７は隘極加熱電源、８社電子ビーム加速用高電圧電
源である。
このような装置において、陰極ｌは加熱用電源７よシ供
給される電流によシ通電加熱され、さらに電子ビーム加
速用高電圧電源によｐ負の高電圧Ｋｇ＃、九れている。
給される電流によシ通電加熱され、さらに電子ビーム加
速用高電圧電源によｐ負の高電圧Ｋｇ＃、九れている。
マ九陰極１とグリッド４との関にはグリッドバイアス電
圧がかけられ、グリッド４は陰極１に対して負電位とな
っている。
圧がかけられ、グリッド４は陰極１に対して負電位とな
っている。
このようか電子銃として黒鉛を発熱体とするＬａＢ６陰
極があシ、これを定電流電源で加熱した時の加熱電力と
陰極温度０時間に対する変化を第２図に示す。
極があシ、これを定電流電源で加熱した時の加熱電力と
陰極温度０時間に対する変化を第２図に示す。
この図から明らかなように発熱体の抵抗が徐々に低下す
るために陰極で消費される電力が低下して発熱量が減少
し、陰極温度も次第に低下する０従って輝度醇の電子放
射特性が変化する０（６）発明の目的 本発明の目的は陰極を加熱する電力を一定に保つように
加熱用電源を制御することにょｐ１陰極温度を長時間一
定に保ちその結果、電子放射特性を一定に保つことので
きる電子銃を備え走電ｉｌＩ照射装置を提供することに
ある。
るために陰極で消費される電力が低下して発熱量が減少
し、陰極温度も次第に低下する０従って輝度醇の電子放
射特性が変化する０（６）発明の目的 本発明の目的は陰極を加熱する電力を一定に保つように
加熱用電源を制御することにょｐ１陰極温度を長時間一
定に保ちその結果、電子放射特性を一定に保つことので
きる電子銃を備え走電ｉｌＩ照射装置を提供することに
ある。
（４）発明の構成
本発明は陰極温度と陰極が熱電力との関係紘長時間にわ
たって一定に保九れることを利用し、陵部加熱電流と加
熱電圧を検出し、この積、すなわち加熱電力を演算し、
この演算結果とあらかじめ設定されている基準値との差
を演算し、この差に応じて加熱電源の出力を制御すると
とＫよｐ陰極加熱電力を一定に保りて陰極ＩＬ＆を一定
に保つようにし九本のである。
たって一定に保九れることを利用し、陵部加熱電流と加
熱電圧を検出し、この積、すなわち加熱電力を演算し、
この演算結果とあらかじめ設定されている基準値との差
を演算し、この差に応じて加熱電源の出力を制御すると
とＫよｐ陰極加熱電力を一定に保りて陰極ＩＬ＆を一定
に保つようにし九本のである。
（５）発明の実施例
１ＩｐＪａ図に本発ａＯ−実施例を示す＠胸部加熱電流
（Ｉ）と加熱電圧（ロ）は検出部８１で検出され、検出
した値に比例する２つの出力が得られる。
（Ｉ）と加熱電圧（ロ）は検出部８１で検出され、検出
した値に比例する２つの出力が得られる。
この出力は掛は算器３２０入力となｐ１掛は算＠３２け
これら２つの出力の積（財）を演算する。その演算結果
（ロ）は減算器３３に送られ、減算器３３はこの結果と
基準値発生６３４にあらかじめ決められている基準値（
Ｐｏ ）との差（Ｐｏ−Ｐ＝ｄ）を演算し、これを出力
する。この出力（ｄ）は電源制御回路３５へ送られる。
これら２つの出力の積（財）を演算する。その演算結果
（ロ）は減算器３３に送られ、減算器３３はこの結果と
基準値発生６３４にあらかじめ決められている基準値（
Ｐｏ ）との差（Ｐｏ−Ｐ＝ｄ）を演算し、これを出力
する。この出力（ｄ）は電源制御回路３５へ送られる。
電源制御回路３５は初期設定状態では基準値（Ｐｏ ）
に対応した出カマＯを出力しているが、ｄの値に応じて
ｄ）ｏなら出力（ｖ）を増し、ｄ＜Ｏなら出力（マ）を
へらすと共にこの動作によってｄ−ｏをな−）た時にそ
の時の出力（ｖ）を保持して出力する機能を持つ。
に対応した出カマＯを出力しているが、ｄの値に応じて
ｄ）ｏなら出力（ｖ）を増し、ｄ＜Ｏなら出力（マ）を
へらすと共にこの動作によってｄ−ｏをな−）た時にそ
の時の出力（ｖ）を保持して出力する機能を持つ。
陰極加熱用電源７は定電流特性を持つ電源で電源制御回
路３５の出力（マ）に比例した出力電源が得られる。
路３５の出力（マ）に比例した出力電源が得られる。
（６）発明の効果
本発明のこの実施例によれば陰極加熱電力が基準値よシ
小さくなると加熱電流が、上記電力と基準値が一致する
まで増加する九めに常に一定の加熱電力が得られ、陰極
温度が一定に＆るという効果がある。
小さくなると加熱電流が、上記電力と基準値が一致する
まで増加する九めに常に一定の加熱電力が得られ、陰極
温度が一定に＆るという効果がある。
Claims (1)
- 熱陰極形電子銃と、陰極加熱用電源と、電子ビーム加速
用高電圧電源と、グリッドバイアス電圧発生手段を備え
た電子線照射装置において、熱陰極加熱電流と熱陰極加
熱電圧を検出する手段と該加熱電流と該加熱電圧の積を
演算する手段と、腋演算結果と基準値の差を演算する手
段と、皺演算結果に応じて上記加熱電流を制御する手段
を備えたことを特徴とする電子ＩＩＩＪＩｌ射鋏置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56214034A JPS58112232A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56214034A JPS58112232A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58112232A true JPS58112232A (ja) | 1983-07-04 |
Family
ID=16649176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56214034A Pending JPS58112232A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58112232A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6072917A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | Ajinomoto Co Inc | エポキシ樹脂用潜在性硬化剤 |
| JPS61279041A (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-09 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 液体金属イオン源 |
| JP2007026870A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Sharp Corp | フィラメント制御装置、フィラメント制御方法および熱電子利用処理装置 |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP56214034A patent/JPS58112232A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6072917A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-25 | Ajinomoto Co Inc | エポキシ樹脂用潜在性硬化剤 |
| JPH0312567B2 (ja) * | 1983-09-30 | 1991-02-20 | Ajinomoto Kk | |
| JPS61279041A (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-09 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 液体金属イオン源 |
| JP2007026870A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Sharp Corp | フィラメント制御装置、フィラメント制御方法および熱電子利用処理装置 |
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