PL44160B1 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
PL44160B1
PL44160B1 PL44160A PL4416060A PL44160B1 PL 44160 B1 PL44160 B1 PL 44160B1 PL 44160 A PL44160 A PL 44160A PL 4416060 A PL4416060 A PL 4416060A PL 44160 B1 PL44160 B1 PL 44160B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
electrodes
semiconductor
electrostatic
lens
shape
Prior art date
Application number
PL44160A
Other languages
English (en)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of PL44160B1 publication Critical patent/PL44160B1/pl

Links

Description

Opublikowano dnia 14 lutego 1963 r.Jy £ ^ BIBLIOTEKA! «wj *if «t POLSKIEJ RZECZYPOSPOLITEJ LUDOWEJ OPIS PATENTOWY Nr'44160 KI. 21 g, 37/20 Przemysloiuy Instytut Elektroniki*) Warszawa, Polska Soczewka elektrostatyczna Patent trwa od dnia 14 kwietnia 1960 r.Przedmiotem wynalazku jest soczewka elek¬ trostatyczna z elektrodami polaczonymi za po¬ moca pólprzewodnika.W znanych dotychczas ukladach elektronoop^ tycznych z ogniskowaniem elektrostatycznym maja zastosowanie soczewki w postaci metalo¬ wych elektrod cylindrycznych lub przeslon, umocowanych na wspornikach w prózni. Pole elektrostatyczne, wytworzone w takich soczew¬ kach, jest zalezne od potencjalu elektrod oraz ich wymiarów geometrycznych i moze byc okre¬ slane za pomoca równan Laplasa. W zwiazku z ,tym mozliwosc zmian konfiguracji linii sil pola, wplywajacej na ksztaltowanie strumienia elektronów przechodzacych przez soczewke, jest ograniczona.W odróznieniu soczewka elektrostatyczna we¬ dlug wynalazku sklada sie z dwóch lub kilku elektrod, polaczonych ze soba za pomoca pól¬ przewodnika, dzieki czemu zmiana potencjalu *) Wlasciciel patentu oswiadczyl, ze twórca wynalazku jest Aleksander Fryszman. miedzy elektrodami okreslona jest nie równa¬ niem Laplasa, lecz równaniem charakterystycz¬ nym dla ksztaltu i wymiarów pólprzewodnika, przez co znacznie zwiekszaja sie mozliwosci ksztaltowania linii sil pola elektrostatycznego i strumienia elektronów przechodzacych przez soczewke.Fig 1—3 przedstawiaja przykladowo schematy soczewek elektrostatycznych wedlug wynalazku z pólprzewodnikami róznego ksztaltu oraz odpo¬ wiednie konfiguracje wytworzonych przez te soczewki pól elektrostatycznych. Fig. 1 przed¬ stawia przykladowo schemat soczewki zlozonej z dwóch cylindrycznych elektrod metalowych, polaczonych pólprzewodnikiem majacym ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca jest li¬ nia prosta, fig. 2 — schemat innej soczewki, w której elektrody sa polaczone pólprzewodnikiem o linii tworzacej wypuklej, a fig. 3 — pólprze¬ wodnikiem o linii tworzacej wkleslej. .Soczewka wedlug wynalazku sklada sie z elektrod metalowych 1 o dowolnym ksztalcie, polaczonych za pomoca pólprzewodnika, któryunlgmozlr^ia * gromadzenie sie i na ¦¦ swojej po- ^wiecjsclmi,,laczków elektrycznych. Natezenie pola ele%frofctat£cznego miedzy elektrodami ta¬ kiej soczewki jest .zalezne nie tylko od poten¬ cjalów elektrod • i ich wymiarów gepmetr^cz"" nych (jak to ma miejsce w znanych, dotychczas soczewkach), ale takze od rozkladu potencjalu wzdluz powierzchni pólprzewodnika. zmieniajac ksztalt i wymiary pólprzewodnika laczacfego elektrody, mozna wytworzyc rózne konfiguracje linii sil pola elektrostatycznego, nieosiagalne w znanych dotychczas konstruk¬ cjach soczeweM Przyklady uwidocznione na fig. 1—3 nie ogra¬ niczaja oczywiscie mozliwosci konstruowania in- innych soczewek wedlug wynalazku, zlozonych z okreslonej liczby elektrod polaczonych pól¬ przewodnikami, przy czym zarówno ksztalty i wymiary elektrod, jak i laczacych je pólprze¬ wodników moga byc dobrane w zaleznosci od przeznaczenia soczewki. Zastosowanie pólprze¬ wodników laczacych elektrody soczewek zapo¬ biega równoczesnie mozliwosci powstawania przebic w ukladach.Soczewka elektrostatyczna wedlug wynalazku moze znalezc zastosowanie w róznych ukladach' elektronooptycznych, na przyklad w lampach analizujacych lub mikroskopach elektronowych. PL

Claims (3)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Soczewka elektrostatyczna zlozona z okreslo¬ nej liczby elektrod metalowych, znamienna tym, ze poszczególne elektrody (1) sa pola¬ czone ze soba za pomoca pólprzewodnika (2), dzilgki czemu konfiguracja pola elektrosta¬ tycznego miedzy elektrodami okresla sie nie tylko ksztaltem, wymiarami i potencjalem elektrod, ale takze rozkladem potencjalu wzdluz powierzchni pólprzewodnika.
2. Soczewka wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze pólprzewodnik (2) laczacy elektrody (1) ma ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca stanowi linie prosta.
3. Soczewka wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze pólprzewodnik (2) laczacy elektrody (1) ma ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca stanowi linie krzywa wypukla lub wklesla. Przemyslowy Instytut Elektroniki Zastepca: inz. Zbigniew Kaminski rzecznik patentowy Fig / i. /i \ I I ! I! / Fig. 2 2887. RSW „Prasa", Kielce. PL
PL44160A 1960-04-14 PL44160B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL44160B1 true PL44160B1 (pl) 1960-12-15

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013546122A5 (pl)
PL44160B1 (pl)
JP2003234077A (ja) ウィーンフィルタ
ATE248435T1 (de) Wien filter
US2909688A (en) Magnetic means for deflecting electron beams
JP6147177B2 (ja) アンテナカバー及びそれを用いたプラズマ発生装置
KR100521271B1 (ko) 주사전자현미경 등을 위한 빈 필터.
US3617686A (en) Apparatus for treating workpieces with magnetically focused beams of electrically charged particles
US5101107A (en) Corona charging device
US9984849B2 (en) Electron beam splitter
US2757303A (en) Damp rod construction for cathode-ray tube grid structures
KR20040034600A (ko) 입자 비임용 슬릿 렌즈장치
RU2011144457A (ru) Система электростатической фокусировки и многокомпонентное устройство (варианты) для фокусировки электронных пучков
JP3040245B2 (ja) ウィーンフィルタ
US2055487A (en) Photoelectric tube
JP2856518B2 (ja) E×b型エネルギーフィルタ
PL80947B3 (pl)
SU894362A1 (ru) Преобразователь механических перемещений в электрическую величину
US20240429016A1 (en) Magnetic vector potential-based lens
JPS60163357A (ja) イオン注入装置
US1594060A (en) Hot-filament magnetic rectifier
US3030506A (en) X-ray shadow microscope
JPH02201855A (ja) ウィーンフィルタ
DE2100130A1 (de) Magnetzungenschalter
JPS58169857A (ja) 荷電粒子フイルタ