PL44160B1 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- PL44160B1 PL44160B1 PL44160A PL4416060A PL44160B1 PL 44160 B1 PL44160 B1 PL 44160B1 PL 44160 A PL44160 A PL 44160A PL 4416060 A PL4416060 A PL 4416060A PL 44160 B1 PL44160 B1 PL 44160B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- electrodes
- semiconductor
- electrostatic
- lens
- shape
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 15
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
Description
Opublikowano dnia 14 lutego 1963 r.Jy £ ^ BIBLIOTEKA! «wj *if «t POLSKIEJ RZECZYPOSPOLITEJ LUDOWEJ OPIS PATENTOWY Nr'44160 KI. 21 g, 37/20 Przemysloiuy Instytut Elektroniki*) Warszawa, Polska Soczewka elektrostatyczna Patent trwa od dnia 14 kwietnia 1960 r.Przedmiotem wynalazku jest soczewka elek¬ trostatyczna z elektrodami polaczonymi za po¬ moca pólprzewodnika.W znanych dotychczas ukladach elektronoop^ tycznych z ogniskowaniem elektrostatycznym maja zastosowanie soczewki w postaci metalo¬ wych elektrod cylindrycznych lub przeslon, umocowanych na wspornikach w prózni. Pole elektrostatyczne, wytworzone w takich soczew¬ kach, jest zalezne od potencjalu elektrod oraz ich wymiarów geometrycznych i moze byc okre¬ slane za pomoca równan Laplasa. W zwiazku z ,tym mozliwosc zmian konfiguracji linii sil pola, wplywajacej na ksztaltowanie strumienia elektronów przechodzacych przez soczewke, jest ograniczona.W odróznieniu soczewka elektrostatyczna we¬ dlug wynalazku sklada sie z dwóch lub kilku elektrod, polaczonych ze soba za pomoca pól¬ przewodnika, dzieki czemu zmiana potencjalu *) Wlasciciel patentu oswiadczyl, ze twórca wynalazku jest Aleksander Fryszman. miedzy elektrodami okreslona jest nie równa¬ niem Laplasa, lecz równaniem charakterystycz¬ nym dla ksztaltu i wymiarów pólprzewodnika, przez co znacznie zwiekszaja sie mozliwosci ksztaltowania linii sil pola elektrostatycznego i strumienia elektronów przechodzacych przez soczewke.Fig 1—3 przedstawiaja przykladowo schematy soczewek elektrostatycznych wedlug wynalazku z pólprzewodnikami róznego ksztaltu oraz odpo¬ wiednie konfiguracje wytworzonych przez te soczewki pól elektrostatycznych. Fig. 1 przed¬ stawia przykladowo schemat soczewki zlozonej z dwóch cylindrycznych elektrod metalowych, polaczonych pólprzewodnikiem majacym ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca jest li¬ nia prosta, fig. 2 — schemat innej soczewki, w której elektrody sa polaczone pólprzewodnikiem o linii tworzacej wypuklej, a fig. 3 — pólprze¬ wodnikiem o linii tworzacej wkleslej. .Soczewka wedlug wynalazku sklada sie z elektrod metalowych 1 o dowolnym ksztalcie, polaczonych za pomoca pólprzewodnika, któryunlgmozlr^ia * gromadzenie sie i na ¦¦ swojej po- ^wiecjsclmi,,laczków elektrycznych. Natezenie pola ele%frofctat£cznego miedzy elektrodami ta¬ kiej soczewki jest .zalezne nie tylko od poten¬ cjalów elektrod • i ich wymiarów gepmetr^cz"" nych (jak to ma miejsce w znanych, dotychczas soczewkach), ale takze od rozkladu potencjalu wzdluz powierzchni pólprzewodnika. zmieniajac ksztalt i wymiary pólprzewodnika laczacfego elektrody, mozna wytworzyc rózne konfiguracje linii sil pola elektrostatycznego, nieosiagalne w znanych dotychczas konstruk¬ cjach soczeweM Przyklady uwidocznione na fig. 1—3 nie ogra¬ niczaja oczywiscie mozliwosci konstruowania in- innych soczewek wedlug wynalazku, zlozonych z okreslonej liczby elektrod polaczonych pól¬ przewodnikami, przy czym zarówno ksztalty i wymiary elektrod, jak i laczacych je pólprze¬ wodników moga byc dobrane w zaleznosci od przeznaczenia soczewki. Zastosowanie pólprze¬ wodników laczacych elektrody soczewek zapo¬ biega równoczesnie mozliwosci powstawania przebic w ukladach.Soczewka elektrostatyczna wedlug wynalazku moze znalezc zastosowanie w róznych ukladach' elektronooptycznych, na przyklad w lampach analizujacych lub mikroskopach elektronowych. PL
Claims (3)
1. Zastrzezenia patentowe 1. Soczewka elektrostatyczna zlozona z okreslo¬ nej liczby elektrod metalowych, znamienna tym, ze poszczególne elektrody (1) sa pola¬ czone ze soba za pomoca pólprzewodnika (2), dzilgki czemu konfiguracja pola elektrosta¬ tycznego miedzy elektrodami okresla sie nie tylko ksztaltem, wymiarami i potencjalem elektrod, ale takze rozkladem potencjalu wzdluz powierzchni pólprzewodnika.
2. Soczewka wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze pólprzewodnik (2) laczacy elektrody (1) ma ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca stanowi linie prosta.
3. Soczewka wedlug zastrz. 1, znamienna tym, ze pólprzewodnik (2) laczacy elektrody (1) ma ksztalt powierzchni obrotowej, której tworzaca stanowi linie krzywa wypukla lub wklesla. Przemyslowy Instytut Elektroniki Zastepca: inz. Zbigniew Kaminski rzecznik patentowy Fig / i. /i \ I I ! I! / Fig. 2 2887. RSW „Prasa", Kielce. PL
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL44160B1 true PL44160B1 (pl) | 1960-12-15 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013546122A5 (pl) | ||
| PL44160B1 (pl) | ||
| JP2003234077A (ja) | ウィーンフィルタ | |
| ATE248435T1 (de) | Wien filter | |
| US2909688A (en) | Magnetic means for deflecting electron beams | |
| JP6147177B2 (ja) | アンテナカバー及びそれを用いたプラズマ発生装置 | |
| KR100521271B1 (ko) | 주사전자현미경 등을 위한 빈 필터. | |
| US3617686A (en) | Apparatus for treating workpieces with magnetically focused beams of electrically charged particles | |
| US5101107A (en) | Corona charging device | |
| US9984849B2 (en) | Electron beam splitter | |
| US2757303A (en) | Damp rod construction for cathode-ray tube grid structures | |
| KR20040034600A (ko) | 입자 비임용 슬릿 렌즈장치 | |
| RU2011144457A (ru) | Система электростатической фокусировки и многокомпонентное устройство (варианты) для фокусировки электронных пучков | |
| JP3040245B2 (ja) | ウィーンフィルタ | |
| US2055487A (en) | Photoelectric tube | |
| JP2856518B2 (ja) | E×b型エネルギーフィルタ | |
| PL80947B3 (pl) | ||
| SU894362A1 (ru) | Преобразователь механических перемещений в электрическую величину | |
| US20240429016A1 (en) | Magnetic vector potential-based lens | |
| JPS60163357A (ja) | イオン注入装置 | |
| US1594060A (en) | Hot-filament magnetic rectifier | |
| US3030506A (en) | X-ray shadow microscope | |
| JPH02201855A (ja) | ウィーンフィルタ | |
| DE2100130A1 (de) | Magnetzungenschalter | |
| JPS58169857A (ja) | 荷電粒子フイルタ |