PL425014A1 - Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem - Google Patents
Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenemInfo
- Publication number
- PL425014A1 PL425014A1 PL425014A PL42501418A PL425014A1 PL 425014 A1 PL425014 A1 PL 425014A1 PL 425014 A PL425014 A PL 425014A PL 42501418 A PL42501418 A PL 42501418A PL 425014 A1 PL425014 A1 PL 425014A1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- titanium
- oxygen
- precursor
- coating
- reactor
- Prior art date
Links
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 title abstract 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 title abstract 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title abstract 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 title abstract 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title abstract 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title abstract 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
Abstract
Przedmiotem zgłoszenia jest sposób wytwarzania warstwy węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem na powierzchniach metalicznych, zwłaszcza na powierzchni implantów medycznych oraz weterynaryjnych, z wykorzystaniem nanoszenia powłoki w procesie RF PACVD polegający na umieszczeniu pokrywanego elementu na spolaryzowanej ujemnie elektrodzie roboczej reaktora plazmo-chemicznego i w pierwszej kolejności trawieniu powierzchni argonem, w obecności niskociśnieniowej plazmy wyładowania o częstotliwości radiowej, a następnie, po odcięciu dopływu argonu, wprowadzeniu do komory reaktora gazu węglonośnego oraz par prekursora charakteryzujący się tym, że stosuje się prekursor tlenu i tytanu, przy czym nanoszenie powłoki węglowej zawierającej tlen i tytan w procesie RF PACVD prowadzi się przy ujemnym potencjale elektrody roboczej równym 200 – 1200 V, zaś gaz węglonośny oraz prekursor tlenu i tytanu wprowadza się jednocześnie w takiej ilości aby ciśnienie w reaktorze było równe 6 - 60 Pa, w czasie uzależnionym od wymaganej grubości powłoki.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL425014A1 true PL425014A1 (pl) | 2019-10-07 |
| PL239495B1 PL239495B1 (pl) | 2021-12-06 |
Family
ID=68099318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL239495B1 (pl) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447295B1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-09-10 | Nobel Biocare Ab | Diamond-like carbon coated dental retaining screws |
| EP2196557A1 (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Precursors for depositing group 4 metal-containing films |
| EP2330109A1 (en) * | 2009-12-07 | 2011-06-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films |
| US20150240944A1 (en) * | 2012-08-10 | 2015-08-27 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Sliding element, in particular piston ring, having resistant coating |
| CN106282935A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 新科实业有限公司 | 具有类金刚石涂层的材料及其制备方法 |
-
2018
- 2018-03-26 PL PL425014A patent/PL239495B1/pl unknown
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447295B1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-09-10 | Nobel Biocare Ab | Diamond-like carbon coated dental retaining screws |
| EP2196557A1 (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Precursors for depositing group 4 metal-containing films |
| EP2330109A1 (en) * | 2009-12-07 | 2011-06-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films |
| US20150240944A1 (en) * | 2012-08-10 | 2015-08-27 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Sliding element, in particular piston ring, having resistant coating |
| CN106282935A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 新科实业有限公司 | 具有类金刚石涂层的材料及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| T. M. MANHABOSCO I. L. MULLER, TRIBOCORROSION OF DIAMOND-LIKE 1 CARBON DEPOSITED ON TI6A14V -TRIBOLOGY LETTERS, March 2009 (2009-03-01) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL239495B1 (pl) | 2021-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103320772B (zh) | 一种金属内表面改性的装置和方法 | |
| WO2005026409A3 (en) | Replaceable plate expanded thermal plasma apparatus and method | |
| WO2008146575A1 (ja) | 化合物系薄膜及びその形成方法、並びにその薄膜を用いた電子装置 | |
| US10378095B2 (en) | TiB2 layers and manufacture thereof | |
| CN105990081B (zh) | 等离子体处理装置及其制作方法 | |
| US20110274852A1 (en) | Method for producing diamond-like carbon film | |
| CN101365289B (zh) | 空心阴极耦合正偏压管筒内表面注入离子的装置及方法 | |
| MY189225A (en) | Ticn having reduced growth defects by means of hipims | |
| WO2021044140A3 (en) | Chemical vapor deposition process for producing diamond | |
| PL425014A1 (pl) | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem | |
| JP6872453B2 (ja) | 窒化バナジウム膜、窒化バナジウム膜の被覆部材およびその製造方法 | |
| KR101324763B1 (ko) | 반도체 제조장비용 부품의 코팅장치 및 그 코팅방법 | |
| US8721845B2 (en) | Coated article and method for making same | |
| CN106480427A (zh) | 一种避免空心阴极放电的喷淋头 | |
| CN105308209B (zh) | 碳涂层部件及其制造方法 | |
| Kutsay et al. | Surface properties of amorphous carbon films | |
| JP6383910B2 (ja) | プラズマｃｖｄ装置及び膜の製造方法 | |
| CN101235488A (zh) | 在放置于射频等离子体之外的衬底上形成薄膜的技术 | |
| RU2611003C1 (ru) | Способ ионного азотирования титановых сплавов | |
| KR20160009504A (ko) | 압출금형의 표면처리방법, 압출금형 및 압출공정시스템 | |
| WO2015119199A1 (ja) | 管状体内にプラズマを発生させる発生装置 | |
| KR101412070B1 (ko) | 스크라이버 고정핀에 다이아몬드 라이크 카본 박막을 증착하기 위한 방법 및 장치와 이를 이용한 스크라이버 고정핀 | |
| PL404578A1 (pl) | Sposób wytwarzania implantu kostnego z tytanu i/lub stopu tytanu i implant stawu biodrowego | |
| JPS60125366A (ja) | 部材の表面処理方法 | |
| KR20160009505A (ko) | 압출금형의 표면처리방법 및 압출금형 |