PL425014A1 - Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem - Google Patents
Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenemInfo
- Publication number
- PL425014A1 PL425014A1 PL425014A PL42501418A PL425014A1 PL 425014 A1 PL425014 A1 PL 425014A1 PL 425014 A PL425014 A PL 425014A PL 42501418 A PL42501418 A PL 42501418A PL 425014 A1 PL425014 A1 PL 425014A1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- titanium
- oxygen
- precursor
- coating
- reactor
- Prior art date
Links
Abstract
Przedmiotem zgłoszenia jest sposób wytwarzania warstwy węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem na powierzchniach metalicznych, zwłaszcza na powierzchni implantów medycznych oraz weterynaryjnych, z wykorzystaniem nanoszenia powłoki w procesie RF PACVD polegający na umieszczeniu pokrywanego elementu na spolaryzowanej ujemnie elektrodzie roboczej reaktora plazmo-chemicznego i w pierwszej kolejności trawieniu powierzchni argonem, w obecności niskociśnieniowej plazmy wyładowania o częstotliwości radiowej, a następnie, po odcięciu dopływu argonu, wprowadzeniu do komory reaktora gazu węglonośnego oraz par prekursora charakteryzujący się tym, że stosuje się prekursor tlenu i tytanu, przy czym nanoszenie powłoki węglowej zawierającej tlen i tytan w procesie RF PACVD prowadzi się przy ujemnym potencjale elektrody roboczej równym 200 – 1200 V, zaś gaz węglonośny oraz prekursor tlenu i tytanu wprowadza się jednocześnie w takiej ilości aby ciśnienie w reaktorze było równe 6 - 60 Pa, w czasie uzależnionym od wymaganej grubości powłoki.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL425014A1 true PL425014A1 (pl) | 2019-10-07 |
| PL239495B1 PL239495B1 (pl) | 2021-12-06 |
Family
ID=68099318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL425014A PL239495B1 (pl) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL239495B1 (pl) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447295B1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-09-10 | Nobel Biocare Ab | Diamond-like carbon coated dental retaining screws |
| EP2196557A1 (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Precursors for depositing group 4 metal-containing films |
| EP2330109A1 (en) * | 2009-12-07 | 2011-06-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films |
| US20150240944A1 (en) * | 2012-08-10 | 2015-08-27 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Sliding element, in particular piston ring, having resistant coating |
| CN106282935A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 新科实业有限公司 | 具有类金刚石涂层的材料及其制备方法 |
-
2018
- 2018-03-26 PL PL425014A patent/PL239495B1/pl unknown
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6447295B1 (en) * | 1999-04-15 | 2002-09-10 | Nobel Biocare Ab | Diamond-like carbon coated dental retaining screws |
| EP2196557A1 (en) * | 2008-12-10 | 2010-06-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Precursors for depositing group 4 metal-containing films |
| EP2330109A1 (en) * | 2009-12-07 | 2011-06-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films |
| US20150240944A1 (en) * | 2012-08-10 | 2015-08-27 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Sliding element, in particular piston ring, having resistant coating |
| CN106282935A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 新科实业有限公司 | 具有类金刚石涂层的材料及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| T. M. MANHABOSCO I. L. MULLER, TRIBOCORROSION OF DIAMOND-LIKE 1 CARBON DEPOSITED ON TI6A14V -TRIBOLOGY LETTERS, March 2009 (2009-03-01) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL239495B1 (pl) | 2021-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200708209A (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
| US10378095B2 (en) | TiB2 layers and manufacture thereof | |
| TWI346145B (en) | Voltage non-uniformity compensation method for high frequency plasma reactor for the treatment of rectangular large area substrates | |
| TW200704818A (en) | Process for forming zinc oxide film | |
| US20110274852A1 (en) | Method for producing diamond-like carbon film | |
| JP2014136836A (ja) | 硬質膜が被覆されたステンレス製品及びその製造方法 | |
| WO2021044140A3 (en) | Chemical vapor deposition process for producing diamond | |
| PL425014A1 (pl) | Sposób wytwarzania powłoki węglowej domieszkowanej tytanem i tlenem | |
| US8721845B2 (en) | Coated article and method for making same | |
| JP2016032028A5 (pl) | ||
| JP6872453B2 (ja) | 窒化バナジウム膜、窒化バナジウム膜の被覆部材およびその製造方法 | |
| KR101324763B1 (ko) | 반도체 제조장비용 부품의 코팅장치 및 그 코팅방법 | |
| Kutsay et al. | Surface properties of amorphous carbon films | |
| JP2014105350A (ja) | プラズマｃｖｄ装置及び膜の製造方法 | |
| TWI554633B (zh) | 類鑽碳膜及其製作方法 | |
| KR20160009504A (ko) | 압출금형의 표면처리방법, 압출금형 및 압출공정시스템 | |
| RU2611003C1 (ru) | Способ ионного азотирования титановых сплавов | |
| RU2596554C1 (ru) | Способ вакуумно-плазменного азотирования изделий из нержавеющей стали в дуговом несамостоятельном разряде низкого давления | |
| KR101412070B1 (ko) | 스크라이버 고정핀에 다이아몬드 라이크 카본 박막을 증착하기 위한 방법 및 장치와 이를 이용한 스크라이버 고정핀 | |
| JPS60125366A (ja) | 部材の表面処理方法 | |
| RU2656191C1 (ru) | Устройство для обработки изделия из стали в плазме тлеющего разряда | |
| ATE533872T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum aufbringen eines überzugs auf ein substrat | |
| WO2015119199A1 (ja) | 管状体内にプラズマを発生させる発生装置 | |
| RU2009130532A (ru) | Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме | |
| Krysina et al. | Generation of a low-temperature plasma of arc discharge and its use for modifying the surfaces of materials |