PL404701A1 - Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych - Google Patents

Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych

Info

Publication number
PL404701A1
PL404701A1 PL404701A PL40470113A PL404701A1 PL 404701 A1 PL404701 A1 PL 404701A1 PL 404701 A PL404701 A PL 404701A PL 40470113 A PL40470113 A PL 40470113A PL 404701 A1 PL404701 A1 PL 404701A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
liquid
transporter
gas
module
modules
Prior art date
Application number
PL404701A
Other languages
English (en)
Other versions
PL225095B1 (pl
Inventor
Wojciech Matusewicz
Kamil Krot
Edward Chlebus
Piotr Górski
Maciej Zawiślak
Original Assignee
Politechnika Wrocławska
Matusewicz Budowa Maszyn Spółka Jawna
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Wrocławska, Matusewicz Budowa Maszyn Spółka Jawna filed Critical Politechnika Wrocławska
Priority to PL404701A priority Critical patent/PL225095B1/pl
Publication of PL404701A1 publication Critical patent/PL404701A1/pl
Publication of PL225095B1 publication Critical patent/PL225095B1/pl

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Przedmiotem wynalazku jest transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych, zwłaszcza w procesie wytwarzania układów elektronicznych zarówno na płytkach krzemowych, jak i wszelkiego rodzaju metalizowanych laminatach. Transporter ma umieszczone w wannie (WA) co najmniej dwa moduły ciekłe (MC), połączone przewodami poprzez pompę (PO) i filtr (FL) z wanną (WA), przy czym pomiędzy sąsiadującymi modułami ciekłymi (MC) osadzony jest moduł gazowy (MG), ponadto każdy moduł ciekły (MC) zamknięty jest od góry płytą transportującą (PT), wyposażoną w dysze procesowe (DP), natomiast moduł gazowy (MG) zamknięty jest od góry płytą transportującą (PT), wyposażoną w dysze powietrzne (DG) oraz w separatory transportu ciecz-gaz (ST), przy czym moduł gazowy (MG) i separatory transportu ciecz-gaz (ST) podłączone są do sprężarki modułu gazowego (SP), jednocześnie wzdłuż modułów (MC, MG), w prowadnicach, zamocowane są dysze sterujące (DS), podłączone do sprężarki układu sterowania (SS).
PL404701A 2013-07-15 2013-07-15 Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych PL225095B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL404701A PL225095B1 (pl) 2013-07-15 2013-07-15 Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL404701A PL225095B1 (pl) 2013-07-15 2013-07-15 Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL404701A1 true PL404701A1 (pl) 2014-03-31
PL225095B1 PL225095B1 (pl) 2017-02-28

Family

ID=50350346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL404701A PL225095B1 (pl) 2013-07-15 2013-07-15 Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL225095B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL225095B1 (pl) 2017-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWD167549S (zh) 氣體擴散器組件之部分
PE20200653A1 (es) Proceso para la co-produccion de metanol y amoniaco en paralelo
IN2013MN01983A (pl)
MX360962B (es) Método para operar una instalación de tratamiento de superficie, conjunto de módulos de filtro e instalación de tratamiento de superficie.
WO2018183971A8 (en) Systems and methods for manufacturing biologically-produced products
NZ586924A (en) Carbon dioxide gas removal from a fluid circuit of a dialysis device with device having annular concentric housings
MX2015012758A (es) Metodo y sistema para modulacion de la respiracion.
MX2015017050A (es) Humidificador multietapa con columna de burbujeo.
EP2669493A3 (en) Utilization of fuel gas for purging a dormant fuel gas circuit
MY186309A (en) Tsv-connected backside decoupling
MX2024003732A (es) Metodo y sistema automatizado para producir un producto inflable.
MX2016014508A (es) Proceso para producir 2,6-dimetil-5-hepten-1-al.
AR101444A1 (es) Tratamiento integrado de gases
GB2559712A (en) Solid state delivery system
PL404701A1 (pl) Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych
WO2012145763A3 (en) Fluid filtration systems having gas introducer devices and associated systems and methods
ITMI20130954A1 (it) Elementro strutturale con contatto passante e procedimento per la relativa produzione
MY171360A (en) Gaseous ozone (o3) treatment for solar cell fabrication
WO2017186617A3 (de) Elektronikmodul und verfahren zur herstellung eines elektronikmoduls
PL404700A1 (pl) Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych
JP2015222778A5 (pl)
PL404702A1 (pl) Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych
MX2017012134A (es) Procedimiento para la produccion de laminados organicos e inorganicos flexibles.
PL404704A1 (pl) Transporter płaskich elementów w procesach produkcyjnych
MY188634A (en) Suction-extraction apparatus for treatment fluid and etching apparatus containing the same