PL235831B1 - Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne - Google Patents
Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne Download PDFInfo
- Publication number
- PL235831B1 PL235831B1 PL397977A PL39797712A PL235831B1 PL 235831 B1 PL235831 B1 PL 235831B1 PL 397977 A PL397977 A PL 397977A PL 39797712 A PL39797712 A PL 39797712A PL 235831 B1 PL235831 B1 PL 235831B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- target
- textile
- layer
- electromagnetic
- base
- Prior art date
Links
- 239000004753 textile Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 title abstract description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000012791 sliding layer Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 9
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 9
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 6
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007563 Zn—Bi Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910016334 Bi—In Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017518 Cu Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017755 Cu-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017752 Cu-Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017927 Cu—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017943 Cu—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007567 Zn-Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007614 Zn—Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N copper zinc Chemical compound [Cu].[Zn] TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
- D06M11/83—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with metals; with metal-generating compounds, e.g. metal carbonyls; Reduction of metal compounds on textiles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/20—Metallic material, boron or silicon on organic substrates
- C23C14/205—Metallic material, boron or silicon on organic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3485—Sputtering using pulsed power to the target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
- C23C28/021—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal alloy layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
- C23C28/023—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
- C23C28/023—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only
- C23C28/025—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only with at least one zinc-based layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/322—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only
- C23C28/3225—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer only coatings of metal elements only with at least one zinc-based layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/345—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one oxide layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/345—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one oxide layer
- C23C28/3455—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with at least one oxide layer with a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxide, ZrO2, rare earth oxides or a thermal barrier system comprising at least one refractory oxide layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
- D06M11/32—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
- D06M11/36—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond with oxides, hydroxides or mixed oxides; with salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
- D06M11/44—Oxides or hydroxides of elements of Groups 2 or 12 of the Periodic Table; Zincates; Cadmates
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
- D06M11/00—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising
- D06M11/32—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
- D06M11/36—Treating fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, with inorganic substances or complexes thereof; Such treatment combined with mechanical treatment, e.g. mercerising with oxygen, ozone, ozonides, oxides, hydroxides or percompounds; Salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond with oxides, hydroxides or mixed oxides; with salts derived from anions with an amphoteric element-oxygen bond
- D06M11/46—Oxides or hydroxides of elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table; Titanates; Zirconates; Stannates; Plumbates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
- H01J37/32752—Means for moving the material to be treated for moving the material across the discharge
- H01J37/32761—Continuous moving
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
- H01J37/3405—Magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3464—Operating strategies
- H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
- H05K9/0073—Shielding materials
- H05K9/0081—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding
- H05K9/0088—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding comprising a plurality of shielding layers; combining different shielding material structure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
Przedmiotem wynalazku jest wyrób włókienniczy, tłumiący pole elektromagnetyczne poprzez pokrywanie wyrobów włókienniczych powłokami nanoszonymi metodą rozpylania magnetronowego, które to wyroby włókiennicze przeznaczone są do stosowania jako ekrany elektromagnetyczne, w szczególności w szpitalach, w budynkach biurowych, mieszkalnych i w laboratoriach i które mogą znaleźć zastosowanie do wytwarzania tapet, kotar albo zasłon i rolet. Wyrób włókienniczy ma na podłoże (P) naniesioną powłokę, zawierającą co najmniej jedną warstwę (W1, W2, W3, W4) metalu i/lub co najmniej jedną warstwę (W1, W2, W3, W4) tlenku metalu o grubości nie przekraczającej pojedynczych µm, przy czym warstwy (W1, W2, W3, W4) nałożone są na podłoże (P) naprzemiennie, a ilość nałożonych warstw (W1, W2, W3, W4) uwarunkowana jest współczynnikiem efektywności tłumienia pola elektromagnetycznego wyrobu włókienniczego. Przedmiotem wynalazku jest również urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego, tłumiącego pole elektromagnetyczne, mające wewnątrz komory próżniowej, nad urządzeniem transportowym zamocowanym w podstawie, umieszczoną trójwarstwową anodę, wykonaną w kształcie części powierzchni walca, umocowaną poprzez izolatory w podstawie, zamocowanej do obudowy komory. Anodą, od strony target, ma warstwę poślizgową, a pod nią warstwę konstrukcji nośnej, zaś od dołu stabilizator temperatury, do którego zamocowany jest układ chłodzenia, wykonany z zespołu rurek transportujących medium chłodzące. Nad trójwarstwową anodą zamocowane jest urządzenie magnetronowe (1) wyposażone w prostokątny target, podłączone do zasilacza (27), który połączony jest poprzez układ sterowania (26) z komputerem (25). Układ sterowania (26) połączony jest poprzez sterownik zaworu (28) z zaworem regulacyjnym (29), licznikiem długości pokrytego powłoką materiału włókienniczego (30) i jednocześnie poprzez regulator obrotów silnika (31) z silnikiem napędowym (32) napędzającym napęd rewersyjny urządzenia transportowego.
Description
Przedmiotem wynalazku jest urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne poprzez pokrywanie wyrobów włókienniczych powłokami nanoszonymi metodą rozpylania magnetronowego, które to wyroby włókiennicze przeznaczone są do stosowania jako ekrany elektromagnetyczne, w szczególności w szpitalach, w budynkach biurowych, mieszkalnych i w laboratoriach i które mogą znaleźć zastosowanie do wytwarzania tapet, kotar albo zasłon i rolet.
Sposób i urządzenie do powlekania podłoża warstwą przezroczystego tlenku metalu w procesie rozpylania magnetronowego, znane są z niemieckiego opisu patentowego nr DE102008034960. Sposób polega na tym, że powlekane podłoże przemieszczane jest urządzeniem transportowym, poprzez otwory wykonane w komorze urządzenia, przy czym na podłoże nanoszone są metodą napylania magnetronowego warstwy cyny, cynku, kadmu, galu, indu, jak również związki, w szczególności tlenki, lub mieszaniny tych materiałów. Urządzenie ma komorę wyposażoną w zawory gazowe, przy czym w dolnej części komory zamocowane jest urządzenie transportowe, a nad nim urządzenie magnetronowe wyposażone w target, podłączone do zasilacza.
Sposób wytwarzania tkanin anty-UV oraz ekranujących fale elektromagnetyczne znany jest z chińskiego opisu patentowego nr CN1970882. Sposób, polega na tym, że powlekana tkanina jest myta w detergencie, płukana w czystej wodzie, suszona i wygładzana. Następnie tkanina jest umieszczana w komorze próżniowej wyposażonej w urządzenie do magnetronowego napylania powłoki na tkaninę, którą nanosi się w temperaturze od 0 do 150°C, przy ciśnieniu od 0,4 10-2 do 100 Pa, z mocą rozpylania w zakresie od 20 do 400 W, przez 5-60 min. Materiałem nanoszonym w postaci powłoki, są metale, takie jak: aluminium, srebro, żelazo, nikiel, chrom, złoto, platyna lub magnez, ich mieszaniny oraz ich związki w szczególności tlenki i azotki.
Istota urządzenia, według wynalazku polega na tym, że wewnątrz komory próżniowej nad urządzeniem transportowym zamocowanym w podstawie, umieszczona jest trójwarstwowa anoda wykonana w kształcie części powierzchni walca, umocowana poprzez izolatory w podstawie zamocowanej do obudowy komory. Anoda od strony targetu ma warstwę poślizgową, a pod nią warstwę konstrukcji nośnej, zaś od dołu stabilizator temperatury, do którego zamocowany jest układ chłodzenia wykonany z zespołu rurek transportujących medium chłodzące. Nad trójwarstwową anodą zamocowane jest urządzenie magnetronowe wyposażone w prostokątny target, podłączone do zasilacza, który połączony jest poprzez układ sterowania z komputerem. Ponadto układ sterowania połączony jest poprzez sterownik zaworu z zaworem regulacyjnym, licznikiem długości pokrytego powłoką materiału włókienniczego i jednocześnie poprzez regulator obrotów silnika z silnikiem napędowym napędzającym napęd rewersyjny urządzenia transportowego.
Korzystnie, urządzenie transportowe ma rolki z przewijanym wyrobem włókienniczym, wyposażone w próżniowe sprzęgła elektromagnetyczne, które to rolki połączone są z rewersyjnym napędem, przy czym rolki i rewersyjny napęd zamocowane są w podstawie.
Korzystnie jest, gdy rolka osadzona jest poprzez izolator na osi napędowej, przy czym pierwszy koniec osi napędowej połączony jest z tarczą hamulca umocowaną w podstawie, za którą umieszczona jest sprężyna z regulatorem docisku hamulca, zaś drugi koniec osi napędowej poprzez sprzęgła elektromagnetyczne połączony jest z kołem napędowym, przy czym sprzęgło elektromagnetyczne od strony koła napędowego ma tarczę sprzęgła i solenoid obudowany magnetowodem.
Korzystnie, stabilizator temperatury i zespół rurek wykonane są z materiału dobrze przewodzącego ciepło, korzystnie miedzi.
Korzystnie, target jest na potencjale ziemi.
Korzystnym jest również, gdy target jest wieloskładnikowy, najkorzystniej zestawiony z co najmniej dwóch segmentów w postaci płyt.
Korzystnie, urządzenie transportowe osadzone jest w podstawie na regulatorze wysokości targetu nad przewijanym wyrobem włókienniczym, przy czym przewijany wyrób włókienniczy umieszczany jest w obszarze plazmy.
Korzystnie, target zamocowany jest za pomocą elementów mocujących na korpusie urządzenia magnetronowego, przy czym pomiędzy targetem i korpusem umieszczona jest folia metalowa, najkorzystniej miedziana, która jest intensywnie chłodzona płynem chłodzącym doprowadzanym do przestrzeni pomiędzy korpusem, układem magnetycznym i folią metalową, układem chłodzenia.
Korzystnie, folia metalowa połączona jest trwale z korpusem, najkorzystniej połączeniem lutowanym.
PL 235 831 B1
Korzystnie, poniżej powierzchni targetu w jego osi pomiędzy strefami emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego, umieszczona jest rurka dozująca gaz roboczy otworami. Rurka dozująca połączona jest bezpośrednio z zaworem dozującym gaz roboczy albo rurka dozująca połączona jest z zaworem dozującym gaz roboczy, rurką wygiętą w kształcie litery U, najkorzystniej długość rurki dozującej jest mniejsza od długości strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego.
Korzystnym jest również, gdy poniżej powierzchni targetu pomiędzy strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego, doprowadzany jest gaz roboczy otworami z co najmniej trzech rurek dozujących, połączonych z rurą rozprowadzającą, która podłączona jest do zaworu dozującego gaz roboczy.
Wyrób włókienniczy charakteryzuje się dużą stabilnością, a niewielka grubość włókien umożliwia dokładne zapełnienie powierzchni materiału przemieszczanego podczas napylania po wypukłej anodzie. Proces napylania zachodzi w stosunkowo niskiej temperaturze i nie uszkadza materiału włókienniczego. Zastosowanie sprzęgieł elektromagnetycznych pracujących w próżni oraz regulacji prędkości przesuwu podłoża pozwala na odpowiednie naprężenie podłoża podczas napylania powłoki, przez co urządzenie zapewnia równomierne pokrycie podłoża tak, że powstaje siatka przewodząca, nadająca mu właściwość tłumienia pola elektromagnetycznego. Ponadto urządzenie wyposażone jest w układ zasilania zapewniający modulację mocy, która regulowana jest precyzyjnie w zakresie 0-100%, w celu uniknięcia nadtopień materiału włókienniczego w strefie plazmy, przy dużych porcjach energii przekazywanych w krótkim czasie. Urządzenie wyposażone jest też w komputerowy system archiwizacji parametrów technologicznych, który pozwala na prowadzenie powtarzalnych procesów napylania zwłaszcza materiałów włókienniczych.
Przedmiot wynalazku objaśniony jest w przykładach wykonania i na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia warstwowy wyrób włókienniczy w ujęciu schematycznym wytworzony w urządzeniu, fig. 2 - urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego w ujęciu schematycznym, fig. 3 - komorę próżniową wyposażoną w urządzenie transportowe i urządzenie magnetronowe, fig. 4 - rolkę urządzenia transportowego, fig. 5 - urządzenie magnetronowe, fig. 6 - rurkę dozującą umieszczoną pod targetem, fig. 7 - rurkę dozującą połączoną z rurką wygiętą w kształcie litery U, a fig. 8 - trzy rurki dozujące połączone z rurą rozprowadzającą gaz roboczy.
P r z y k ł a d 1
Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne zawiera komorę próżniową wyposażoną w zawory gazowe, urządzenie transportowe i urządzenie magnetronowe 1 podłączone do zasilacza 27 oraz target 11 jednoskładnikowy. Nad urządzeniem transportowym zamocowanym w podstawie 10 stalowej, wewnątrz komory próżniowej umieszczona jest trójwarstwowa anoda wykonana w kształcie części powierzchni walca, umocowana poprzez izolatory 6 w postawie 10 zamocowanej do obudowy komory. Uformowanie anody w kształcie części walca zwiększa dostępność głębszych warstw podłoża P włókienniczego dla osadzanych na nim metali i/lub tlenków metali i/lub ich mieszanin. Anoda od strony targetu 11 ma warstwę poślizgową 5, a pod nią warstwę konstrukcji nośnej 4, zaś od dołu stabilizator temperatury 3, do którego zamocowany jest układ chłodzenia wykonany z zespołu rurek 2 transportujących medium chłodzące w postaci wody, przy czym rurki 2 wykonane są z miedzi stanowiącej materiał dobrze przewodzącego ciepło. Stabilizator temperatury 3 obniża temperaturę pokrywanego podłoża P włókienniczego. Nad trójwarstwową anodą zamocowane jest urządzenie magnetronowe 1 wyposażone w długi prostokątny target 11, podłączone do zasilacza 27, który połączony jest poprzez układ sterowania 26 z komputerem 25. Komputer 25 pozwala na archiwizację parametrów technologicznych oraz na prowadzenie powtarzalnych procesów napylania warstwa na materiały włókiennicze. Układ sterowania 26 połączony jest również, poprzez sterownik zaworu 28 z zaworem regulacyjnym 29, licznikiem długości pokrytego powłoką materiału włókienniczego 30 i jednocześnie poprzez regulator obrotów silnika 31 z silnikiem napędowym 32 napędzającym napęd rewersyjny 9 urządzenia transportowego. Urządzenie transportowe ma rolki 8 z przewijanym wyrobem włókienniczym 7 oraz wyposażone jest w próżniowe sprzęgła elektromagnetyczne 13. Rolki 8 połączone są z rewersyjnym napędem 9, przy czym rolki 8 i rewersyjny napęd 9 zamocowane są w podstawie 10. Każda rolka 8 osadzona jest poprzez izolator 24 na osi napędowej 18, przy czym pierwszy koniec osi napędowej połączony jest z tarczą hamulca 16 umocowaną w podstawie 10, za którą umieszczona jest sprężyna 15 z regulatorem docisku hamulca 14, zaś drugi koniec osi napędowej 18 poprzez sprzęgła elektromagnetyczne 13 regulujące naciąg i prędkość przesuwu p pokrywanego podłoża P włókienniczego, połączony jest z kołem napędowym 20. Sprzęgło elektromagnetyczne 13 od strony koła napędowego 20 ma tarczę sprzęgła 23 i solenoid 19 obudowany magnetowodem 22. Ponadto urządzenie
PL 235 831 B1 transportowe osadzone jest w podstawie 10 na regulatorze wysokości targetu 11 nad przewijanym wyrobem włókienniczym 7, przy czym przewijany wyrób włókienniczy 7 umieszczany jest w obszarze plazmy 12. Target 11 zamocowany jest za pomocą elementów mocujących na korpusie 34 urządzenia magnetronowego 1, przy czym pomiędzy targetem 11 i korpusem 34 umieszczona jest folia metalowa 37, wykonana z miedzi. Folia metalowa 37 o grubości 0,25 mm, połączona jest trwale z korpusem 34, połączeniem lutowanym i jest intensywnie chłodzona płynem chłodzącym doprowadzanym układem chłodzenia 36 do przestrzeni pomiędzy korpusem 34 układem magnetycznym 35 i folią metalową 37. Poniżej powierzchni targetu 11 w jego osi pomiędzy strefami emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego 35, umieszczona jest rurka dozująca 38 gaz roboczy otworami 39. Rurka dozująca 38 połączona jest bezpośrednio z zaworem dozującym gaz roboczy.
P r z y k ł a d 2
Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne wykonane jak w przykładzie pierwszym z tą różnicą, że target 11 jest dwuskładnikowy i zestawiony z dwóch segmentów w postaci płyt. Ponadto target 11 jest na potencjale ziemi, co pozwala na uzyskanie plazmy bardziej ukierunkowanej na podłoże. Zasilacz 27 zasilający urządzenie magnetronowe jest przetwornicą sinusoidalną z impulsową modulacją przebiegu napięcia o regulowanej częstotliwości w zakresie 1 Hz do 5 kHz. Ponadto gaz roboczy podawany jest na target 11 rurką dozującą 38 zawierającą otwory wylotowe 39 o średnicy do 1 mm, połączoną z zaworem dozującym gaz roboczy, rurką wygiętą w kształcie litery U, przy czym korzystnie długość rurki dozującej 38 jest mniejsza od długości strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego 35, dzięki czemu materiał rurki dozującej 38 nie jest rozpylany.
P r z y k ł a d 3
Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne wykonane jak w przykładzie pierwszym albo drugim z tą różnicą, że poniżej powierzchni targetu 11 pomiędzy strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego 35, doprowadzany jest gaz roboczy otworami 39 co najmniej trzech rurek dozujących 38, połączonych z rurą rozprowadzającą, która podłączona jest do zaworu dozującego gaz roboczy.
W urządzeniu magnetronowym 1 pracującym impulsowo, moc wydzielona na targecie 11 regulowana jest szerokością podawanych impulsów prądowych, co umożliwia stabilność procesów reaktywnych, która wynika z eliminacji niekontrolowanych wyładowań łukowych. Ponieważ w pojedynczym impulsie istnieje zawsze maksymalna szybkość rozpylania, to modulacja impulsowa pozwala na zwiększenie stosunku rozpylonego materiału do zanieczyszczeń. Ponadto zastosowanie zasilacza 27 rezonatorowego pozwala na efektywne wykorzystanie mocy wydzielanej na targecie 11. Modulacja częstotliwości plazmy wspomaga proces napylania przez niwelowanie zjawiska elektryzacji powierzchni materiałów, zwłaszcza izolacyjnych jak wyroby włókiennicze włókniny i tkaniny z włókien syntetycznych np. polipropylenowe, powodując wnikanie cząstek rozpylanego targetu między włókna, w głąb materiału.
W urządzeniach magnetronowych 1, target 11 i układ magnetyczny 35 chłodzony jest wodą poprzez odpowiednio wykonany układ chłodzenia 36. W proponowanym rozwiązaniu folia miedziana 37 o grubości nie przekraczającej 0,25 mm pełni rolę uszczelki 34, co zapobiega przedostawaniu się wody z układu chłodzenia 36 do komory próżniowej podczas zniszczenia lub uszkodzenia targetu 11. W długich prostokątnych urządzeniach magnetronowych, podstawowym problemem jest zapewnienie jednorodnej koncentracji jonów gazu roboczego przy powierzchni targetu, które zapewnia rozpylanie targetu wzdłuż całej powierzchni roboczej. Problem ten rozwiązano przez zastosowanie rurki dozującej 38 gaz roboczy, zawierającej otwory wylotowe 39 skierowane prostopadle do powierzchni targetu 11.
Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne, w którym na podłoże P włókiennicze nanosi się warstwy W1, W2, W3, W4, metaliczne w obojętnej atmosferze argonu, a warstwy tlenkowe w procesie reaktywnego rozpylania magnetronowego w tlenie lub mieszaninie tlenu i argonu. Na podłoże P będące tkaniną, dzianiną lub włókniną, o strukturze zapewniającej stabilne wymiary, wykonane z włókien poliolefinowych, poliestrowych, poliamidowych, aramidowych, poliakrylonitrylowych oraz ich kombinacji, nanosi się warstwy W1, W2, W3, W4 metali wybranych z grupy obejmującej Zn, Cu, Al, Ti, Ag i AL, ich mieszanin lub stopów wybranych z grupy obejmującej Zn-Bi, Bi-In, Cu-Sn, Cu-Zn Cu-Zn-Ni, Cu, Ni-Fe oraz, warstw W1, W2, W3, W4, metali i tlenków wybranych z grupy obejmującej Zn-ZnO-Zn, Ti-TiO2-Ti, Zn-ZnO-Zn, Zn-TiO2-Zn, Ti-ZnO-Ti, jak również pojedyncze warstwy W1 w postaci powłok wykonanych z mieszaniny SnO2-ImO3, czy też z mieszaniny ZnOIn2O3. Najwyższe współczynniki tłumienia pola elektromagnetycznego przekraczające 50 dB uzyskano dla kompozytów Zn-Bi, natomiast dla warstw Ti, Al, Fe-Ni współczynnik tłumienia wynosi około 35 dB. Przez napyleniem warstw W1, W2, W3, W4, podłoża P włókiennicze za pomocą wyładowania jarzeniowego, są
PL 235 831 B1 wstępnie odgazowane z gazów zaadsorbowanych oraz oczyszczane. Podczas napylania powłoki urządzenie magnetronowe 1 zasila się zasilaczem 27 stanowiącym impulsowe źródło prądowe o mocy 12 kW i maksymalnym napięciu 1,2 kV. Źródło to umożliwia zasilanie urządzenia magnetronowego 1 w dwóch modach: unipolarnym DC-M o częstotliwości 160 kHz oraz bipolarnym AC-M o częstotliwości 80 kHz. Mod unipolarny stosowany jest do rozpylania targetów metalicznych, a bipolarny do procesów reaktywnych. Prąd moduluje się grupowo prostokątnymi sygnałami w postaci paczek, o częstotliwości f = 2 kHz (ti = 500 ms), z możliwością regulacji częstotliwości powtarzania paczek impulsów w zakresie od 50 Hz do 5 kHz (ti = 0,02 s - 200 ms). Czas t2 określa czas rozpylania targetu, a w czasie ti-t2 materiał z obszaru plazmy jest nakładany na podłoża P. Stosunek ti/t2 jest dodatkowym parametrem technologicznym charakterystycznym dla każdego procesu reaktywnego. Zmieniając jego wartość kontroluje się stechiometryczny skład otrzymywanych warstw W i, W2, W3, W4 tlenkowych lub wieloskładnikowych. Ilość i rodzaj nanoszonych warstw Wi, W2, W3, W4 uwarunkowana jest współczynnikiem efektywności tłumienia pola elektromagnetycznego wyrobu włókienniczego. Parametry elektryczne warstw tlenkowych regulowane są parametrami procesu rozpylania magnetronowego, a ilość i kolejność nakładanych warstw jest dowolna i uwarunkowana współczynnikiem efektywności tłumienia pola elektromagnetycznego, którym powinien charakteryzować się wyrób włókienniczy.
Wykaz oznaczeń na rysunku:
i - urządzenie magnetronowe,
- rurka z medium chłodzącym,
- stabilizator temperatury,
- warstwa konstrukcji nośnej,
- warstwa poślizgowa,
- izolator,
- wyrób włókienniczy,
- rolka,
- rewersyjny napęd, i0 - podstawa, ii - target (elektroda rozpylana), i2 - obszar plazmy i3 - sprzęgło elektromagnetyczne, i4 - regulatorem docisku hamulca, i5 - sprężyna, i6 - tarcza hamulca, i7 - wpust, i8 - oś napędowa, i9 - solenoid,
- koło napędowe,
2i - wieloklin,
- magnetowód,
- tarcza sprzęgła,
- izolator rolki.
- komputer,
- sterownik procesu,
- zasilacz magnetronu,
- sterownik zaworu argonu,
- zawór regulacyjny argonu,
- licznik metrów materiału,
3i - regulator obrotów silnika,
- silnik napędowy,
- element mocujący,
- korpus,
- układ magnetyczny,
- układ chłodzenia,
- folia miedziana,
- rurka dozująca,
- otwór wylotowy.
PL 235 831 B1
Claims (13)
1. Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne, zawierające komorę próżniową wyposażoną w zawory gazowe, przy czym w dolnej części komory zamocowane jest urządzenie transportowe, a nad nim urządzenie magnetronowe wyposażone w target, podłączone do zasilacza, znamienne tym, że wewnątrz komory próżniowej nad urządzeniem transportowym zamocowanym w podstawie (10), umieszczona jest trójwarstwowa anoda wykonana w kształcie części powierzchni walca, umocowana poprzez izolatory (6) w podstawie (10) zamocowanej do obudowy komory, przy czym anoda od strony targetu ma warstwę poślizgową (5), a pod nią warstwę konstrukcji nośnej (4), zaś od dołu stabilizator temperatury (3), do którego zamocowany jest układ chłodzenia wykonany z zespołu rurek (2) transportujących medium chłodzące, natomiast nad trój warstwową anodą zamocowane jest urządzenie magnetronowe (1) wyposażone w prostokątny target (11), podłączone do zasilacza (27), który połączony jest poprzez układ sterowania (26) z komputerem (25), ponadto układ sterowania (26) połączony jest poprzez sterownik zaworu (28) z zaworem regulacyjnym (29), licznikiem długości pokrytego powłoką materiału włókienniczego (30) i jednocześnie poprzez regulator obrotów silnika (31) z silnikiem napędowym (32) napędzającym napęd rewersyjny (9) urządzenia transportowego.
2. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że urządzenie transportowe ma rolki (8) z przewijanym wyrobem włókienniczym (7), wyposażone w próżniowe sprzęgła elektromagnetyczne (13), które to rolki (8) połączone są z rewersyjnym napędem (9), przy czym rolki (8) i rewersyjny napęd (9) zamocowane są w podstawie (10).
3. Urządzenie, według zastrz. 2, znamienne tym, że rolka (8) osadzona jest poprzez izolator (24) na osi napędowej (18), przy czym pierwszy koniec osi napędowej (18) połączony jest z tarczą hamulca (16) umocowaną w podstawie (10), za którą umieszczona jest sprężyna (15) z regulatorem docisku hamulca (14), zaś drugi koniec osi napędowej (18) poprzez sprzęgła elektromagnetyczne (13) połączony jest z kołem napędowym (20), przy czym sprzęgło elektromagnetyczne (13) od strony koła napędowego (20) ma tarczę sprzęgła (23) i solenoid (19) obudowany magnetowodem (22).
4. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że stabilizator temperatury (3) i zespół rurek (2) wykonane są z materiału dobrze przewodzącego ciepło, korzystnie miedzi.
5. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że target (11) jest na potencjale ziemi.
6. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że target (11) jest wieloskładnikowy, korzystnie zestawiony z co najmniej dwóch segmentów w postaci płyt.
7. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że urządzenie transportowe osadzone jest w podstawie (10) na regulatorze wysokości targetu (11) nad przewijanym wyrobem włókienniczym (7), przy czym przewijany wyrób włókienniczy (7) umieszczany jest w obszarze plazmy (12).
8. Urządzenie, według zastrz. 1, znamienne tym, że target (11) zamocowany jest za pomocą elementów mocujących na korpusie (34) urządzenia magnetronowego, przy czym pomiędzy targetem (11) i korpusem (34) umieszczona jest folia metalowa (37), korzystnie miedziana, która jest intensywnie chłodzona płynem chłodzącym doprowadzanym do przestrzeni pomiędzy korpusem (34) układem magnetycznym (35) i folią metalową (37), układem chłodzenia (36).
9. Urządzenie, według zastrz. 8, znamienne tym, że folia metalowa (37) połączona jest trwale z korpusem (34), korzystnie połączeniem lutowanym.
10. Urządzenie, według zastrz. 8, znamienne tym, że poniżej powierzchni targetu (11) w jego osi pomiędzy strefami emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego (35), umieszczona jest rurka dozująca (38) gaz roboczy otworami (39).
11. Urządzenie, według zastrz. 10, znamienne tym, że rurka dozująca (38) połączona jest bezpośrednio z zaworem dozującym gaz roboczy.
12. Urządzenie, według zastrz. 10, znamienne tym, że rurka dozująca (38) połączona jest z zaworem dozującym gaz roboczy, rurką wygiętą w kształcie litery U, korzystnie długość rurki dozującej (38) jest mniejsza od długości strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego (35).
13. Urządzenie, według zastrz. 10, znamienne tym, że poniżej powierzchni targetu (11) pomiędzy strefy emisyjnego oddziaływania układu magnetycznego (35), doprowadzany jest gaz roboczy otworami (39) co najmniej trzech rurek dozujących (38), połączonych z rurą rozprowadzającą, która podłączona jest do zaworu dozującego gaz roboczy.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL397977A PL235831B1 (pl) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne |
| PCT/PL2013/000006 WO2013115660A2 (en) | 2012-02-02 | 2013-01-25 | Textile product for attenuation of electromagnetic field and the devices for manufacturing the textile product attenuating electromagnetic field |
| EP13707057.9A EP2809841B1 (en) | 2012-02-02 | 2013-01-25 | Textile product for attenuation of electromagnetic field |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL397977A PL235831B1 (pl) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL397977A1 PL397977A1 (pl) | 2013-08-05 |
| PL235831B1 true PL235831B1 (pl) | 2020-11-02 |
Family
ID=47757675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL397977A PL235831B1 (pl) | 2012-02-02 | 2012-02-02 | Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2809841B1 (pl) |
| PL (1) | PL235831B1 (pl) |
| WO (1) | WO2013115660A2 (pl) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103640282B (zh) * | 2013-12-12 | 2016-01-20 | 安徽工程大学 | 一种纺织品、其制作方法及应用 |
| CN103935081A (zh) * | 2014-02-26 | 2014-07-23 | 东莞市万丰纳米材料有限公司 | 一种具有无机杀菌抑菌作用的透气性材料及其制备方法 |
| PL412341A1 (pl) | 2015-05-16 | 2016-11-21 | Instytut Włókiennictwa | Sposób otrzymywania kompozytowego materiału włókienniczego o właściwościach bioaktywnych i barierowych dla pól elektromagnetycznych |
| GB2535818B (en) * | 2015-07-22 | 2017-04-05 | Whyte And Ivory Ltd | Fabric for a window treatment |
| CN116654661B (zh) * | 2023-07-28 | 2023-10-27 | 山西科为磁感技术有限公司 | 一种矿用物料输送机用铁磁材料检测系统 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6075669A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | 豊田合成株式会社 | 金属付着繊維物 |
| TW593833B (en) * | 2003-08-18 | 2004-06-21 | Helix Technology Inc | Method for plating a film to a non-ionized radiation fibrous fabric |
| WO2006030254A1 (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-23 | Kabushiki Kaisha Suzutora (Suzutora Corporation) | Metal-coated textile |
| CN1970882A (zh) | 2006-12-13 | 2007-05-30 | 东华大学 | 一种屏蔽电磁波和抗紫外的织物及其制备方法 |
| DE102008034960A1 (de) | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Verfahren und Beschichtungskammer zur Beschichtung eines Substrats mit einer transparenten Metalloxid-Schicht |
-
2012
- 2012-02-02 PL PL397977A patent/PL235831B1/pl unknown
-
2013
- 2013-01-25 EP EP13707057.9A patent/EP2809841B1/en not_active Not-in-force
- 2013-01-25 WO PCT/PL2013/000006 patent/WO2013115660A2/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2809841A2 (en) | 2014-12-10 |
| EP2809841B1 (en) | 2018-04-25 |
| WO2013115660A2 (en) | 2013-08-08 |
| WO2013115660A3 (en) | 2013-12-12 |
| PL397977A1 (pl) | 2013-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| PL235831B1 (pl) | Urządzenie do wytwarzania wyrobu włókienniczego tłumiącego pole elektromagnetyczne | |
| RU2602571C2 (ru) | Высокопроизводительный источник для процесса распыления | |
| JP5291086B2 (ja) | 真空アーク蒸発源、及び真空アーク蒸発源を有するアーク蒸発チャンバ | |
| US5616224A (en) | Apparatus for reducing the intensity and frequency of arcs which occur during a sputtering process | |
| JP5702143B2 (ja) | スパッタリング薄膜形成装置 | |
| JP2006511715A (ja) | アノードガス供給装置を備えたマグネトロンスパッタリング装置 | |
| JPH05507965A (ja) | 基材材料を被覆するための方法及び装置 | |
| RU2510097C2 (ru) | Способ осаждения электрически изолирующих слоев | |
| RU2058429C1 (ru) | Способ напыления пленок | |
| TW201408805A (zh) | 脈衝雙極濺鍍方法、用於製造工件的設備、方法以及工件 | |
| RU2578336C2 (ru) | Улучшенный способ совместного распыления сплавов и соединений с использованием двойной с-mag конструкции катода и соответствующая установка | |
| CN110453192A (zh) | 一种钢带离子镀膜上色工艺 | |
| EP0966021A2 (de) | Vorrichtung zum Beschichten von Substraten in einer Vakuumkammer | |
| US3750623A (en) | Glow discharge coating apparatus | |
| CN103649358B (zh) | 钢板稳定化装置 | |
| EP3095891B1 (en) | Method for preparation of a composite textile fabric with bioactive and barrier properties against electromagnetic fields | |
| RU2677551C1 (ru) | Способ напыления электропроводящего металл-углеродного многослойного покрытия на ленточную подложку из нетканого волокнистого материала | |
| Lorusso et al. | Pulsed laser deposition of yttrium photocathode suitable for use in radio-frequency guns | |
| DE102016101019A1 (de) | Beschichtungsanordnung und Verfahren zum Beschichten eines Bandsubstrats | |
| US5827580A (en) | Low temperature formation of electrode having electrically conductive metal oxide surface | |
| JP7189030B2 (ja) | 成膜装置 | |
| RU2443038C1 (ru) | Устройство для высокотемпературного осаждения сверхпроводящих слоев | |
| CN1103677A (zh) | 大面积可控电弧蒸发源 | |
| PL239275B1 (pl) | Sposób nanoszenia metodą magnetronową na podłoża ultracienkich powłok funkcyjnych o zwiększonej odporności fizycznej i chemicznej oraz podłoża z powłokami funkcyjnymi otrzymane tym sposobem | |
| PL221077B1 (pl) | Sposób nanoszenia warstw w wielotargetowym układzie do rozpylania magnetronowego |