PL204049B1

PL204049B1 - Wyrób powlekany obejmujący powłokę osadzoną na podłożu szklanym oraz jego zastosowanie

Info

Publication number: PL204049B1
Application number: PL369400A
Authority: PL
Inventors: Grzegorz Stachowiak
Original assignee: Guardian Industries
Priority date: 2001-12-21
Filing date: 2002-12-16
Publication date: 2009-12-31
Also published as: US6942923B2; AU2002367150A1; PL369400A1; EP1458655A1; EP2256095B1; EP1458655B1; CA2467332C; EP2256095A3; US20030175529A1; ES2684469T3; WO2003055818A1; EP2256095A2; CA2467332A1; ES2622447T3

Description

Opis wynalazku

Przedmiotem wynalazku jest wyrób powlekany obejmujący powłokę osadzoną na podłożu szklanym oraz jego zastosowania. W szczególności powyższe wyroby powlekane można stosować do wytwarzania okna ze szkła zespolonego lub innych typów okien.

Tło i streszczenie wynalazku

Będące odnośnikiem zgłoszenie patentowe nr US09/794,224 ujawnia wyroby powlekane posiadające następujący stos warstw, taki jak pokazany na fig. 1 w niniejszym zgłoszeniu patentowym, od strony szkła na zewnątrz:

T a b e l a 1:

Przykładowe substancje/grubości w powyższym będącym odnośnikiem zgłoszeniu patentowym

Warstwa	Zakres korzystny (nm)	Zakres bardziej korzystny (nm)	Przykład (nm)
podłoże (1-10 nm)
TiO2	0-40 nm	5-25 nm	10 nm
Si_XNy	0-40 nm	5-25 nm	17 nm
NiCrOx	0,5-10 nm	1-5 nm	1,8 nm
Ag	5-25 nm	8-12 nm	10,5 nm
NiCrOx	0,5-10 nm	1-5 nm	1,6 nm
SnO2	0-80 nm	50-85 nm	65 nm
Si_XNy	0-80 nm	5-25 nm	17 nm
NiCrO_x	0,5-10 nm	1-5 nm	1,8 nm
Ag	5-25 nm	8-12 nm	10,5 nm
NiCrOx	0,5-10 nm	1-5 nm	1,6 nm
SnO2	0-50 nm	10-30 nm	15 nm
Si3N4	0-50 nm	10-30 nm	25 nm

W innych postaciach wykonania powyższego zgłoszenia patentowego będą cego odnośnikiem dla obecnego zgłoszenia, dolną warstwę tlenku tytanu można usunąć albo zastąpić warstwą azotku krzemu.

Podczas gdy wymienione powyżej wyroby powlekane opisane w odnośnym (powiązanym) zgłoszeniu patentowym zapewniają dobry kolor, i dobre odbicie promieni nadfioletowych (UV) i/lub promieni podczerwonych (IR), czasem pożądana jest zwiększona przepuszczalność w zakresie widzialnym i/lub zmniejszone odbicie w zakresie widzialnym.

W pewnych zastosowaniach pożądany jest takż e neutralny kolor wyrobów powlekanych. Wiele typowych sposobów wykonania wyrobu powlekanego o bardziej neutralnym kolorze skutkuje zmniejszeniem przepuszczalności w zakresie widzialnym i/lub zwiększeniem odbicia w zakresie widzialnym. Dotychczas, trudno było zwiększyć przepuszczalność w zakresie widzialnym oraz zmniejszyć odbicie w zakresie widzialnym, jednocześ nie zapewniając albo utrzymując dość neutralny kolor i zadowalające charakterystyki kontroli promieniowania słonecznego oraz charakterystyki termiczne. Określenie czy kolor jest „neutralny czy też nie, jest subiektywne, i zależne od gustu osobistego. Jednakże, mówiąc ogólnie, pożądany jest kolor przesuwający się w kierunku celu koloru neutralnego (np. a* = 0, b* = 0, albo pewnego innego celu koloru neutralnego, takiego jak przepuszczalne a* = -2 i przepuszczalne b* = -3,4), jednakże takie cele nie muszą być spełnione we wszystkich postaciach wykonania niniejszego wynalazku.

Z powyż szego punktu widzenia, celem pewnych postaci wykonania niniejszego wynalazku jest dostarczenie wyrobu powlekanego kontrolującego promieniowanie słoneczne (to jest, wyrobu obejmującego co najmniej jedną i korzystnie dwie albo więcej warstw takich jak Ag do odbijania promieni IR i/lub UV) wykazującego zwiększoną przepuszczalność w zakresie widzialnym i/lub zmniejszoną reflektancję w zakresie widzialnym. W pewnych przykładowych i nieograniczających postaciach wykonania niniejszego wynalazku, celem jest połączenie takiej wysokiej przepuszczalności w zakresie widzialnym i/lub

PL 204 049 B1 zmniejszonej reflektancji w zakresie widzialnym z naturalnym kolorem wyrobu powlekanego. Inaczej, zastosowanie ulepszonego układu (układów) warstwy (warstw) przeciwodbiciowego może umożliwić powłokom posiadanie albo stosowanie silniejszej warstwy (warstw) kontaktowej (np. cieńszej dla lepszej trwałości) i/lub cieńszej warstwy (warstw) srebrnej (Ag) (to jest, ulepszonej charakterystyki termicznej), jednocześnie utrzymując podobne charakterystyki przepuszczalności jeśli zwiększona przepuszczalność nie jest najbardziej pożądaną cechą (np. najbardziej pożądaną cechą jest trwałość).

Innym celem niniejszego wynalazku jest spełnienie jednego albo więcej z wymienionych powyżej celów i/lub potrzeb.

Przedmiotem wynalazku jest wyrób powlekany obejmujący powłokę osadzoną na podłożu szklanym, w którym powłoka obejmuje:

pierwszą i drugą warstwę odbijającą promienie (IR), zawierającą srebro (Ag);

pierwszą warstwę dielektryczną wykazującą współczynnik załamania światła n <= 3,0, umieszczoną pomiędzy warstwą odbijającą promienie IR, a podłożem szklanym, charakteryzujący się tym, że zawiera drugą warstwę dielektryczną, wykazującą współczynnik załamania światła 1,8 <= n <= 2,2 umieszczoną pomiędzy pierwszą, a drugą warstwą odbijającą promienie IR, w której druga warstwa dielektryczna ma współczynnik załamania światła n mniejszy od współczynnika załamania światła n pierwszej warstwy dielektrycznej;

trzecią warstwę dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu umieszczoną ponad pierwszą i drugą warstwą odbijającą promienie IR, przy czym trzecia warstwa dielektryczna, zawierająca tlenoazotek krzemu ma współczynnik załamania światła n mniejszy od współczynnika załamania światła n drugiej warstwy dielektrycznej; i przy czym wyrób powlekany wykazuje przepuszczalność w zakresie widzialnym co najmniej 70%.

Korzystny wyrób powlekany obejmuje trzecią warstwę dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu wykazujący współczynnik załamania światła 1,45 <= n <= 2.0, jeszcze korzystniej wykazujący współczynnik załamania światła 1,6 <= n <= 1,9.

Według korzystnej postaci wykonania wyrobu powlekanego według wynalazku każda z pierwszej i drugiej warstwy odbijającej promienie IR, zawierającej Ag, jest umieszczona pomiędzy i styka się z parą warstw kontaktowych, i przy czym co najmniej jedna z warstw kontaktowych sąsiednich względem każdej warstwy odbijającej promienie IR zawiera co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx, i NiCrNx.

Korzystnie co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawiera Ni i Cr, a pierwsza warstwa dielektryczna korzystnie zawiera tlenek tytanu, przy czym w takim przypadku korzystny wyrób powlekany według wynalazku zawiera ponadto warstwę zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy pierwszą warstwą odbijającą promienie IR i pierwszą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek tytanu.

Korzystne jest również, gdy druga warstwa dielektryczna zawiera tlenek cyny, przy czym bardziej korzystny wyrób powlekany według wynalazku zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy pierwszą warstwą odbijającą promienie IR i drugą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek cyny.

W innej korzystnej postaci wyrób powlekany zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i drugą warstwą odbijającą promienie IR, albo alternatywnie wyrób zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i warstwą odbijającą promienie IR.

Korzystnie wyrób powlekany według wynalazku jest określony przez wartość przepuszczalności w zakresie widzialnym co najmniej 75%, rezystancję powierzchniową (R_s) nie większą od 10 Ω/ϋ, i reflektancję w zakresie widzialnym od strony szkła <= 9%, korzystniej wykazuje przepuszczalność w zakresie widzialnym co najmniej 76,5%.

Według alternatywnej postaci wykonania wyrobu powlekanego według wynalazku, korzystny wyrób obejmuje trzecią warstwę dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu co najmniej stopniowo utlenioną i stopniowo azotkowaną tak, że współczynnik załamania światła n trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu zmienia się od pierwszej wartości w pierwszej części trzeciej warstwy dielektrycznej do mniejszej, drugiej wartości w drugiej części trzeciej warstwy dielektrycznej, przy czym druga część trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu o mniejszym współczynniku załamania światła n znajduje się dalej od warstw odbijających promienie IR, niż pierwsza część trzeciej warstwy dielektrycznej.

Według kolejnej korzystnej postaci wykonania wyrobu powlekanego według wynalazku powłoka zawiera, od podłoża szklanego na zewnątrz: pierwszą warstwę dielektryczną zawierającą tlenek tytanu;

PL 204 049 B1 pierwszą warstwę kontaktową zawierającą co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx i NiCrNx;

pierwszą warstwę odbijającą promienie IR, zawierającą Ag;

drugą warstwę kontaktową zawierającą co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx i NiCrNx;

drugą warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny;

trzecią warstwę kontaktową zawierająca co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx i NiCrNx;

drugą warstwę odbijającą promienie IR, zawierającą Ag;

czwartą warstwę kontaktową zawierającą co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx i NiCrNx;

trzecią warstwę dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu; i przy czym wyrób powlekany wykazuje rezystancję powierzchniową (R_s) nie większą od 10 Ω/ϋ, oraz przy czym jeszcze korzystniej wyrób zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy i stykającą się z pierwszą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek tytanu i pierwszą warstwą kontaktową. Alternatywnie powyższy jeszcze korzystniejszy wyrób powlekany zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy drugą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek cyny i trzecią warstwą kontaktową, albo jeszcze korzystniejszy wyrób zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny, umieszczoną pomiędzy i stykającą się z trzecią warstwą dielektryczną, zawierającą tlenoazotek krzemu, a czwartą warstwą kontaktową, albo też zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i czwartą warstwą kontaktową.

Korzystne jest również, aby w wyrobie według wynalazku co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawierała Ni i Cr, a trzecia warstwa dielektryczna zawierająca tlenoazotek krzemu była co najmniej stopniowo utleniona i stopniowo azotkowana tak, że współczynnik załamania światła n trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu zmieniał się od pierwszej wartości w pierwszej części trzeciej warstwy dielektrycznej do mniejszej, drugiej wartości w drugiej części trzeciej warstwy dielektrycznej, przy czym druga część trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu o mniejszym współczynniku załamania światła n znajdowała się dalej od warstw odbijających promienie IR, niż pierwsza część trzeciej warstwy dielektrycznej.

Wynalazek dotyczy również zastosowania wyrobu powlekanego według wynalazku do wytwarzania okna ze szkła zespolonego lub innego typu okna.

Skrócony opis rysunków

Fig. 1 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego z poza zakresu wynalazku, jak ujawniono w odnośnym zgłoszeniu patentowym.

Fig. 2 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego z poza zakresu wynalazku.

Fig. 3 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego według innej postaci wykonania niniejszego wynalazku.

Fig. 4 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego według innej postaci wykonania niniejszego wynalazku.

Fig. 5 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego z poza zakresu wynalazku.

Fig. 6 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego według innej postaci wykonania niniejszego wynalazku.

Szczegółowy opis przykładowych postaci wykonania wynalazku

Niniejszy wynalazek dotyczy wyrobów powlekanych, które można użyć w zastosowaniach obejmujących ale nie ograniczonych do okien ze szkła zespolonego (IG), innych typów okien budowlanych, świetlików, i/lub innych typów okien. Wyroby powlekane według niniejszego wynalazku obejmują ulepszony układ warstwy (warstw) przeciwodbiciowej dla zmniejszenia reflektancji w zakresie widzialnym i/lub zwiększenia przepuszczalności w zakresie widzialnym w wyrobach powlekanych, które dostarczają funkcji kontroli promieniowania słonecznego (np. odbicia promieni IR i/lub UV). Zaskakująco, w pewnych przykładowych postaciach wykonania stwierdzono, że pewne układy warstwy (warstw) przeciwodbiciowej według niniejszego wynalazku mogą zarówno: (a) zwiększać przepuszczalność w zakresie widzialnym i/lub zmniejszać reflektancję w zakresie widzialnym, podczas gdy jednocześnie (b) osiągać dopuszczalnie neutralny kolor otrzymanego wyrobu powlekanego.

Fig. 2 przedstawia rzut przekroju poprzecznego wyrobu powlekanego z poza zastrzeganego zakresu wynalazku. Wyrób powlekany według fig. 2, jak i inne niniejsze wyroby powlekane, można użyć w wymienionych powyżej zastosowaniach (np. oknach budowlanych, itd.). Wyrób powlekany według fig. 2 obejmuje od strony podłoża szklanego na zewnątrz (wszystkie współczynniki załamania światła „n podano dla 550 nm):

PL 204 049 B1 szkło (n = 1,51) tlenek tytanu (np. TiO2) (n = 2,1 do 2,7) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek krzemu (np. SiO3) (n = 1,4 do 1,7; korzystnie n = 1,45) powietrze (n = 1,0)

Jak pokazano na fig. 2, warstwy kontaktowe (to jest, warstwy NiCrOx) otaczają i stykają się z warstwami odbijającymi promienie IR wykonanymi z Ag. Warstwy NiCrOx w niniejszym zgłoszeniu patentowym nazywa się warstwami „kontaktowymi ponieważ każda z nich styka się z warstwą odbijającą promienie IR (to jest, warstwą Ag). Warstwy kontaktowe NiCrOx zapewniają najbardziej bezpośrednią ochronę chemiczną warstwy Ag, i służą także jako warstwy adhezyjne i/lub nukleacyjne. W róż nych postaciach wykonania, warstwy kontaktowe mogą, albo też nie, być utlenione stopniowo jak opisano w będącym odnośnikiem zgłoszeniu patentowym. Ponadto, zamiast NiCrOx, jedną albo więcej z warstw kontaktowych można wykonać z albo może ona zawierać inną substancję (substancje) obejmującą, ale nie ograniczoną do NiCr, NiCrNx, NiCrOxNy, ZnO, Al2O3, TiO2, ZnAlOx, Ni, Cr, CrNx, NiOx, NbOx, jakiegokolwiek ich połączenia, albo temu podobnych. Przykładowe grubości warstw kontaktowych, i innych warstw w niniejszym zgłoszeniu patentowym, są rozważane powyżej w części „tło i streszczenie niniejszego zgłoszenia patentowego.

Zamiast Ag, w warstwie (warstwach) odbijającej promienie IR można zastosować inne substancje odbijające promienie IR (np. Au, stopy Ag, stopy Au, itd.) (stosuje się to do wszystkich postaci wykonania niniejszego wynalazku). Grubość metalicznych warstw Ag (warstw odbijających promienie IR) jest dobrana w celu osiągnięcia pożądanej charakterystyki termicznej (patrz powyższe przykładowe zakresy grubości). Na przykład, warstwa Ag może posiadać grubość od 5-25 nm (50 - 250 A), w celu osiągnięcia rezystancji powierzchniowej (Rs) (przed i/lub po obróbce cieplnej) mniejszej albo równej 10,0 Ω/ϋ, korzystniej mniejszej albo równej 8,0 Ω/ϋ, i jeszcze korzystniej mniejszej albo równej 5,0 Ω/ϋ, i najkorzystniej mniejszej albo równej 4,0 Ω/ϋ. Podobnie, grubość (grubości) warstwy (warstw) Ag jest dobrana tak, aby powłoka (albo wyrób powlekany) miała normalną emisyjność (En) nie większą od 0,08, korzystniej nie większą od 0,06, i najkorzystniej nie większą od 0,05 (przed i/lub po obróbce cieplnej).

Dolne dziesięć warstw (10) powłoki według fig. 2 (i powłok z fig. 3-4) są rozważane w odnośnym zgłoszeniu patentowym (włączonym do niniejszego zgłoszenia patentowego jako odnośnik), i dla ułatwienia nie są rozważane w niniejszym zgłoszeniu patentowym. W związku z tym, patrz grubości/substancje opisane w odnośnym zgłoszeniu. Niniejsze zgłoszenie patentowe ogniskuje się na dostarczeniu górnych dwu warstw takich, jak przedstawiono na fig. 2, które zapewniają zwiększenie przepuszczalności w zakresie widzialnym i/lub zmniejszenia odbicia w zakresie widzialnym (odbicia od strony szkła i/lub warstwy) wyrobu powlekanego. W szczególności, w odniesieniu do postaci wykonania według fig. 2, zostanie poniżej pokazane, że zastąpienie górnej warstwy azotku krzemu (patrz odnośne zgłoszenie, albo fig. 1 w niniejszym zgłoszeniu patentowym) warstwą tlenku krzemu (patrz fig. 2) skutkuje znacznym zwiększeniem przepuszczalności w zakresie widzialnym. Oczywiście jest to korzystne.

Poprzez zastosowanie tlenku krzemu (to jest, stechiometrycznego SiO2, albo inaczej postaci niestechiometrycznej) ponad górną warstwą tlenku cyny, powłoka (układ warstw) może być scharakteryzowana przez górną część dielektryczną T, wykazującą efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od środkowej części dielektrycznej M, która z kolei ma efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od dolnej części dielektrycznej B (patrz fig. 2). Innymi słowy, nT<nM<nB, gdzie nT oznacza efektywny współczynnik załamania światła górnej części dielektrycznej T, nM oznacza efektywny współczynnik załamania światła środkowej części dielektrycznej M, i nB oznacza efektywny współczynnik załamania światła dolnej części dielektrycznej B. Jak pokazano na fig. 2, odpowiednio

PL 204 049 B1 każda z części dielektrycznych: górnej, środkowej i dolnej, T, M i B, może zawierać wiele różnorodnych warstw dielektrycznych, jednakże w innych postaciach wykonania którakolwiek albo wszystkie z tych części muszą jedynie obejmować pojedynczą warstwę dielektryczną. Poprzez stopniowe zmniejszanie odpowiednich współczynników załamania światła „n od położonej najbliżej środka albo dolnej części B, do środkowej części dielektrycznej M, i do górnej części dielektrycznej T w kierunku powietrza, układ przeciwodbiciowy z fig. 2 umożliwia osiągnięcie zwiększonej przepuszczalności w zakresie widzialnym i/lub zmniejszonego odbicia w zakresie widzialnym. Zaskakują co, jak zostanie to pokazane poniżej w Przykładach tej postaci wykonania, układ przeciwodbiciowy umożliwia też uzyskanie dość neutralnego koloru wyrobu powlekanego. Ponadto, w pewnych przykładowych postaciach, n_T jest <= 2,0. Warstwa tlenku krzemu może mieć grubość od około 1-70 nm (10 - 700 A) w pewnych przykładowych postaciach wykonania niniejszego wynalazku, korzystniej grubość od 2-60 nm (20 - 600 A), i najkorzystniej od 5-50 nm 5-50 nm (50 - 500 A) grubości.

Dla wszystkich niniejszych postaci wykonania, zilustrowane warstwy są korzystnie osadzone/utworzone przez napylanie katodowe (patrz Przykłady w odnośnym zgłoszeniu patentowym), jednakże inne techniki osadzania mogą oczywiście być zastosowane w innych postaciach wykonania niniejszego wynalazku.

Przykład (Przykłady) postaci wykonania według fig. 2

Poniższe Tabele ilustrują Przykłady 1-7 według postaci wykonania z fig. 2, które należy porównać z Przykładem (Przykładami) Porównawczym, podobnym do fig. 1 z poza zastrzeganego zakresu wynalazku. Zatem, CE dotyczy powłoki, która jest podobna do tej zilustrowanej w odnośnym zgłoszeniu. Dla tych przykładów symulacyjnych w poniższych Tabelach, przyjęto następujące współczynniki załamania światła dla 550 nm: dla szkła, n = 1,51; dla Si3N4, n = 2,0; dla SiOxNy, n = 1,72; dla SiO2, n = 1,45; dla SnO2, n = 2,0 i dla TiO2, n = 2,57. Grubości dla każdej z warstw w poniższej Tabeli Pierwszej są podane w nanometrach (nm). Poniższa Tabela Druga podaje charakterystyki optyczne (np. przepuszczalność w zakresie widzialnym, kolor, itd.) dla Przykładów i CE w odniesieniu do postaci wyżarzonej i postaci monolitycznej. Wszystkie podłoża szklane są takie same pod względem grubości i koloru. Żaden z niniejszych przykładów symulacyjnych nie był poddawany obróbce cieplnej. Ponadto, wszystkie dane optyczne poniżej zostały wyznaczone metodą I11. C, 2 stopniową.

Zaznacza się, że Przykłady porównawcze (CEs) w niniejszym zgłoszeniu patentowym, stosują więcej utlenionych warstw NiCrOx, niż przykłady w odnośnym zgłoszeniu patentowym (to tłumaczy dlaczego niniejsze przykłady porównawcze, w postaci monolitycznej nie poddawanej obróbce cieplnej, wykazują wyższą przepuszczalność w zakresie widzialnym, od wyrobów monolitycznych nie poddawanych obróbce cieplnej w odnośnym zgłoszeniu patentowym). Jednakże, to rozróżnienie nie ma znaczenia ponieważ przyjęto, że wszystkie warstwy NiCrOx w niniejszym zgłoszeniu patentowym mają to samo utlenowanie, zatem porównania w niniejszym zgłoszeniu patentowym pomiędzy CEs i Przykładami są zgodne. Zaznacza się także, że współczynniki dla wszystkich Ag i NiCrOx są przyjęte tak, aby były takie same dla wszystkich warstw w niniejszych Przykładach i CEs.

T a b e l a Pierwsza: struktura warstwy - grubości (postać według fig. 2)

	CE	Przykł. 1	Przykł. 2	Przykł. 3	Przykł. 4	Przykł. 5	Przykł. 6	Przykł. 7
1	2	3	4	5	6	7	8	9
szkło
TiO2	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm
S13N4	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	15,3 nm	15,7 nm	15,3 nm
NiCrO_x	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	67,2 nm	67,2 nm	67,2 nm	67,2 nm	67,2 nm	70,5 nm	72,4 nm	67,4 nm
Si3N4	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm
NiCrOx	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm

PL 204 049 B1 cd. tabeli 1

1	2	3	4	5	6	7	8	9
Ag	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm
NiCrO_x	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm
SnO₂	22,7 nm	22,7 nm	22,7 nm	22,7 nm	22,7 nm	25,2 nm	31,4 nm	23,4 nm
Si3N4	22,5 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm
SiO2	0 nm	55 nm	45 nm	40 nm	35,3 nm	46 nm	28,6 nm	43,5 nm

T a b e l a Druga:

charakterystyka optyczna (postać według fig. 2: monolityczna)

	^TVIS	o* a*T	b*T	R od strony szkła (g)	^a*g	b* b*g	R od str. warstwy (f)	a*f	b*f
Przykł. 1:	77,3%	-2,8	2,1	4,5%	7,9	-11,9	3,0%	11,7	-18,2
Przykł. 2:	76,9%	-1,9	0,8	4,5%	5,3	-5,3	3,6%	2,7	-7,8
Przykł. 3:	76,4%	-0,2	-0,7	4,7%	4,0	-2,5	4,1%	-0,6	-4,5
Przykł. 4 :	75,9%	-1,1	0,2	5,0%	1,9	0,6	4,8%	-3,7	-2,2
Przykł. 5:	77,5%	-2,6	1,9	4,6%	8,2	-11,4	3,4%	8,2	-12,5
Przykł. 6:	77,1%	-2,4	1,0	4,8%	10,2	-10,1	4,2%	4,8	-2,6
Przykł. 7 :	76,8%	-1,8	0,7	4,6%	5,2	-4,7	3,6%	2,0	-5,3
CE:	75,5%	-2,1	0,2	5,9%	9,2	-10,6	5,2%	3,2	-1,0

Na podstawie powyższych Tabel dotyczących postaci z poza zastrzeganego zakresu wynalazku według fig. 2 można zauważyć, że układ przeciwodbiciowy umożliwia uzyskanie nie tylko lepszych charakterystyk przepuszczalności w zakresie widzialnym (to jest, zwiększonej przepuszczalności TViS%), ale także zmniejszonego odbicia (np. niższego współczynnika odbicia od strony szkła i/lub od strony warstwy). Ponadto, zapewniony jest także dość neutralny kolor przepuszczalny. W szczególności, każdy z Przykładów 1-7 (patrz fig. 2) wykazuje lepszą przepuszczalność w zakresie widzialnym (wyższe TViS) i lepszy współczynnik odbicia od strony szkła i/lub warstwy (niższe Rg i/lub Rf) od Przykładu Porównawczego (CE). Ponadto, Przykład 7 ilustruje, że grubości pewnych warstw w stosie mogą być dopasowane w celu osiągnięcia bardzo neutralnego koloru (to jest, bardzo niskich wartości a* i/lub b*), podczas gdy wciąż osiąga on wysoką przepuszczalność w zakresie widzialnym.

Fig. 3 przedstawia przekrój poprzeczny wyrobu powlekanego według postaci wykonania niniejszego wynalazku. Postać wykonania według fig. 3 różni się od postaci wykonania według fig. 2 tym, że górna warstwa tlenku cyny i tlenku krzemu jest, na fig. 3, zastąpiona warstwą tlenoazotku krzemu. Postać wykonania według fig. 3 różni się od tej według fig. 1 (to jest od CE) tym, że warstwy tlenku cyny i azotku krzemu są zastąpione warstwą tlenoazotku krzemu. Warstwa tlenoazotku krzemu jest pożyteczna dlatego, że w różnych postaciach wykonania niniejszego wynalazku jej współczynnik załamania światła n (dla 550 nm) może zmieniać się od 1,45 do 2,0, korzystniej od 1,6 do 1,9 i najkorzystniej od 1,65 do 1,85. Współczynnik n warstwy tlenoazotku krzemu może być zmieniany, na przykład, przez dopasowanie przepływów gazowego tlenu i/lub azotu stosowanych podczas napylania katodowego tej warstwy. Warstwa tlenoazotku krzemu może mieć stały (albo w przybliżeniu stały, to jest stały plus/minus około 5%) współczynnik załamania światła n wzdłuż całej swej grubości w pewnych postaciach wykonania niniejszego wynalazku, ale inaczej może być stopniowo utleniana i/lub azotkowana tak, żeby wykazywać współczynnik załamania światła n, który zmienia się wzdłuż grubości warstwy (np. współczynnik n może stopniowo zmniejszać się w kierunku powietrza wzdłuż grubości warstwy tlenoazotku krzemu). Wyrób powlekany według fig. 3 obejmuje od podłoża szklanego na zewnątrz (wszystkie współczynniki podano dla 550 nm):

szkło (n = 1,51) tlenek tytanu (np. TiO2) (n = 2,1 do 2,7) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx)

PL 204 049 B1 srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenoazotek krzemu (np. SiOxNy) (n = 1,45 - 2,0, korzystnie n = 1,6 - 1,9) powietrze (n = 1,0)

Przez zastosowanie tlenoazotku krzemu ponad górną warstwą kontaktową, układ warstw można opisać za pomocą górnej części dielektrycznej T, wykazującej efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla środkowej części dielektrycznej M, która z kolei ma efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla dolnej części dielektrycznej B. Innymi słowy, nT<nM<nB, gdzie nT oznacza efektywny współczynnik załamania światła górnej części dielektrycznej T, NM oznacza efektywny współczynnik załamania światła środkowej części dielektrycznej M, i nB oznacza efektywny współczynnik załamania światła dolnej części dielektrycznej B. Jak pokazano na fig. 3, odpowiednio każda z dielektrycznej części: górnej, środkowej i dolnej, T, M i B, może zawierać wiele różnorodnych warstw dielektrycznych, jednakże w innych postaciach wykonania którakolwiek albo wszystkie z tych części muszą jedynie obejmować pojedynczą warstwę dielektryczną. Przez stopniowe zmniejszanie odpowiednich współczynników y załamania światła „n od położonej najbliżej środka albo dolnej części B, do środkowej części dielektrycznej M, i do górnej części dielektrycznej T, w kierunku powietrza, układ przeciw-odbiciowy według fig. 3 umożliwia osiągnięcie zwiększonej przepuszczalności w zakresie widzialnym. Określenie „efektywny oznacza całkowity, efektywny współczynnik n, w szczególnych częściach B, T albo M, niezależnie od tego jak wiele warstw jest w nich umieszczone. Układ przeciwodbiciowy może także umożliwiać uzyskanie dosyć neutralnego koloru wyrobu powlekanego w pewnych przykładowych postaciach wykonania. Warstwa tlenoazotku krzemu może mieć grubość od około 10-90 nm (100-900 A) w pewnych przykładowych postaciach wykonania niniejszego wynalazku, korzystniej grubość od 2-60 nm (20-600 A), i najkorzystniej od 5-50 (50-500 A) grubości.

Przykład (Przykłady) postaci wykonania według fig. 3

Poniższe tabele ilustrują Przykład 1 według zastrzeganej postaci wykonania z fig. 3, w porównaniu z Przykładem (Przykładami) Porównawczym (CE), podobnym do fig. 1. Zatem, CE dotyczy powłoki, która jest podobna do tej zilustrowanej w odnośnym zgłoszeniu. Dla tych przykładów symulacyjnych w poniższych Tabelach, przyjęto następujące współczynniki załamania światła dla 550 nm: dla szkła, n = 1,51; dla Si3N4, n = 2,0; dla SiOxNy, n = 1,72; dla SiO2, n = 1,45; dla SnO2, n = 2,0 i dla TiO2, n = 2,57. Grubości dla każdej z warstw, podane w poniższej Tabeli Pierwszej są wyrażone w nanometrach (nm). Poniższa Tabela Druga podaje charakterystyki optyczne (np. przepuszczalność w zakresie widzialnym, kolor, itd.) dla Przykładu 1 i CE w na podstawie postaci wyżarzonej i monolitycznej.

T a b e l a Pierwsza:

struktura warstwy - grubości (postać wykonania według fig. 3)

	CE	Przykł. 1
1	2	3
szkło
TiO2	12,5 nm	12,5 nm
S13N4	16,5 nm	16,5 nm
NiCrOx	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm
SnO₂	67,2 nm	67,2 nm
Si3N4	16,5 nm	16,5 nm
NiCrO_x	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrO_x	1,6 nm	1,6 nm

PL 204 049 B1 cd. tabeli 1

1	2	3
SnO2	22,7 nm	0 nm
Si3N4	25,2 nm	0 nm
SiO_xN_y	0 nm	56,6 nm

T a b e l a Druga:

charakterystyka optyczna (postać wykonania według fig. 3, monolityczna)

	^TVIS	o* a*T	b*T	R od strony szkła (g)	^a*g	b* b*g	R od str. warstwy (f)	a*f	b*f
Ex. 1:	77,1%	-2,4	1,6	4,4%	7,8	-11,4	3,1%	8,1	-13,9
CE:	75,5%	-2,1	0,2	5,9%	9,2	-10, 6	5,2%	3,2	-1,0

Na podstawie powyższych Tabel dotyczących postaci wykonania niniejszego wynalazku według fig. 3 można zauważyć, że układ przeciwodbiciowy według niniejszego wynalazku umożliwia uzyskanie nie tylko lepszych charakterystyk przepuszczalności w zakresie widzialnym (to jest, zwiększonej przepuszczalności TViS%), ale także zmniejszonego odbicia (np. niższego współczynnika odbicia od strony szkła i/lub od strony warstwy). W szczególności, Przykład 1 (patrz fig. 3) wykazuje lepszą przepuszczalność w zakresie widzialnym (wyższe Tvis) i lepsze odbicie od strony szkła i/lub warstwy (niższe Rg i/lub Rf) od Przykładu Porównawczego (CE - patrz Fig. 1).

Fig. 4 przedstawia przekrój poprzeczny wyrobu powlekanego według innej postaci wykonania niniejszego wynalazku. Postać wykonania według fig. 4 różni się od postaci wykonania według fig. 2 tym, że warstwa krzemu jest, na fig. 4, zastąpiona warstwą tlenoazotku krzemu. Postać wykonania według fig. 4 różni się od tej według fig. 1 (to jest od CE) tym, że górna warstwa azotku krzemu jest zastąpiona warstwą tlenoazotku krzemu. Warstwa tlenoazotku krzemu jest pożyteczna dlatego, że jej współczynnik załamania światła n (dla 550 nm) może zmieniać się od 1,45 do 2,0, korzystniej od 1,6 do 1,9, a najkorzystniej od 1,65 do 1,85, w różnych postaciach wykonania niniejszego wynalazku. W tej i wszystkich innych niniejszych postaciach wykonania obejmują cych warstwę tlenoazotku krzemu, warstwa tlenoazotku krzemu może mieć stały (albo w przybliżeniu stały, to jest stały plus/minus około 5%) współczynnik załamania światła n wzdłuż całej swej grubości w pewnych postaciach wykonania niniejszego wynalazku, ale inaczej może być stopniowo utleniana i/lub azotkowana tak, żeby wykazywać współczynnik załamania światła n, który zmienia się wzdłuż grubości warstwy (np. współczynnik n może stopniowo zmniejszać się w kierunku powietrza wzdłuż grubości warstwy tlenoazotku krzemu). Wyrób powlekany według fig. 4 obejmuje od podłoża szklanego na zewnątrz (wszystkie współczynniki podano dla 550 nm):

szkło (n = 1,51) tlenek tytanu (np. TiO2) (n = 2,1 do 2,7) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenoazotek krzemu (np. SiOxNy) (n = 1,45-2,0, korzystnie n = 1,6-1,9) powietrze (n = 1,0)

Przez zastosowanie tlenoazotku krzemu ponad górną warstwą tlenku cyny i ponad górną warstwą kontaktową, układ warstw można określić za pomocą górnej części dielektrycznej T, wykazującej efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla środkowej części dielektrycznej M, która z kolei ma efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla dolnej części die10

PL 204 049 B1 lektrycznej B. Innymi słowy, nT<nM<nB. Warstwy tlenoazotku krzemu i tlenku cyny posiadają grubości opisane powyżej.

Przykład (Przykłady) postaci wykonania według fig. 4

Poniższe Tabele ilustrują Przykłady 1-5 według postaci wykonania z fig. 4, w porównaniu z Przykładem (Przykładami) Porównawczym (CE), podobnym do fig. 1 z poza zastrzeganego zakresu wynalazku. Zatem, CE dotyczy powłoki, która jest podobna do tej zilustrowanej w odnośnym zgłoszeniu. Dla tych przykładów symulacyjnych w poniższych Tabelach, przyjęto następujące współczynniki załamania światła dla 550 nm: dla szkła, n = 1,51; dla Si3N4, n = 2,0; dla SiOxNy, n = 1,72; dla SiO2, n = 1,45; dla SnO2, n = 2,0 i dla TiO2, n = 2,57. Grubości dla każdej z warstw, podane w poniższej Tabeli pierwszej są wyrażone w nanometrach (nm). Poniższa Tabela druga podaje charakterystyki optyczne (np. przepuszczalność w zakresie widzialnym, kolor, itd.) dla Przykładów i CE w na podstawie postaci wyżarzonej i monolitycznej.

T a b e l a Pierwsza:

struktura warstwy - grubości (postać wykonania według fig. 4)

	CE	Przykł. 1	Przykł. 2	Przykł. 3	Przykł. 4	Przykł. 5
szkło
TiO2	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm	12,5 nm
Si3N4	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	13,3 nm	15,8 nm
NiCrOx	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	67,2 nm	67,2 nm	67,2 nm	73,1 nm	70,8 nm	67,1 nm
Si3N4	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm	16,5 nm
NiCrO_x	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	22,7 nm	22,7 nm	22,7 nm	26,2 nm	21,7 nm	11,0 nm
Si3N4	25,2 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm	0 nm
SiO_XNy	0 nm	35 nm	29,8 nm	24,6 nm	31,5 nm	40,9 nm

T a b e l a Druga:

charakterystyka optyczna (postać wykonania według fig. 4, monolityczna)

	^TVIS	a*T	b*T	R od strony szkła (g)	^a*g	b* b*g	R od str. warstwy (f)	a*f	b*f
Przykł. 1:	76,6%	-2,4	0,6	4,9%	8,6	-9,4	3,8%	5,0	-4,3
Przykł. 2:	76,3%	-1,5	-0,2	4,9%	6,1	-4,0	4,1%	-1,1	2,2
Przykł. 3:	77,0%	-2,5	1,2	4,8%	11,2	-11,1	4,4%	5,1	-2,6
Przykł. 4:	76,9%	-2,3	1,0	4,8%	9,7	-10,1	3,9%	5,2	-1,8
Przykł. 5:	76,4%	-1,5	0,3	4,7%	4,7	-3,3	3,9%	-0,5	-2,0
CE:	75,5%	-2,1	0,2	5,9%	9,2	-10,6	5,2%	3,2	-1,0

Na podstawie powyższych Tabel dotyczących postaci wykonania niniejszego wynalazku według fig. 4 można zauważyć, że układ przeciwodbiciowy wyrobu według wynalazku umożliwia uzyskanie nie tylko lepszych charakterystyk przepuszczalności w zakresie widzialnym (to jest, zwiększonej przepuszczalności Tvis%), ale także zmniejszonego odbicia (np. niższego współczynnika odbicia od strony szkła i/lub od strony warstwy). Ponadto można także osiągnąć dość neutralny kolor. W szczególności, Przykłady 1-5 (patrz fig. 4) wykazują lepszą przepuszczalność w zakresie widzialnym (wyższe Tvis)

PL 204 049 B1 i lepsze odbicie od strony szkła i/lub warstwy (niższe Rg i/lub Rf) od Przykładu Porównawczego (CE patrz fig. 1).

Fig. 5 przedstawia przekrój poprzeczny wyrobu powlekanego z poza zastrzeganego zakresu wynalazku. W tej postaci wykonania, górna część dielektryczna T obejmuje warstwę azotku krzemu (stechiometrycznego albo niestechiometrycznego, takiego jak we wszystkich postaciach wykonania) i warstwę tlenku krzemu (stechiometrycznego albo niestechiometrycznego, takiego jak we wszystkich postaciach wykonania). Wyrób powlekany według fig. 5 obejmuje od podłoża szklanego na zewnątrz (wszystkie współczynniki podano dla 550 nm):

szkło (n = 1,51) tlenek tytanu (np. TiO2) (n = 2,1 do 2,7) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8-2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek krzemu (np. SiO2) (n = 1,4 do 1,7, korzystnie n = 1,45) powietrze (n = 1,0)

Przez zastosowanie tlenku krzemu i azotku krzemu ponad górną warstwą kontaktową, powłokę (układ warstw) można określić za pomocą górnej części dielektrycznej T, wykazującej efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla środkowej części dielektrycznej M, która z kolei ma efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla dolnej części dielektrycznej B. Innymi słowy, nT<nM<nB. Warstwy tlenku krzemu i azotku krzemu mogą mieć grubości takie jak opisane powyżej. Postać wykonania według fig. 5 jest także korzystna, ponieważ górną warstwę tlenku krzemu i górną warstwę azotku krzemu można napylić katodowo z tej samej tarczy Si, albo tego samego typu tarczy Si, z różnicą w napylaniu katodowym obejmującą różnicę w przepływie gazu (to jest gazowego tlenu vs. gazowego azotu).

Przykład (Przykłady) postaci wykonania według fig. 5

Poniższe Tabele ilustrują Przykład 1 według postaci wykonania z fig. 5, w porównaniu z Przykładem (Przykładami) Porównawczym (CE), podobnym do fig. 1. Zatem, CE dotyczy powłoki, która jest podobna do tej zilustrowanej w odnośnym zgłoszeniu. Dla tych przykładów symulacyjnych w poniższych

Tabelach, przyjęto następujące współczynniki załamania światła dla 550 nm: dla szkła, n = 1,51; dla Si3N4, n = 2,0; dla SiOxNy, n = 1,72; dla SiO2, n = 1,45; dla SnO2, n = 2,0 i dla TiO2, n = 2,57. Grubości dla każdej z warstw, podane w poniższej Tabeli Pierwszej są wyrażone w nanometrach (nm). Poniższa Tabela Druga podaje charakterystyki optyczne (np. przepuszczalność w zakresie widzialnym, kolor, itd.) dla Przykładu i CE w na podstawie postaci wyrażonej (nie-HT) i monolitycznej.

T a b e l a Pierwsza:

struktura warstwy - grubości (postać wykonania według fig. 5)

	CE	Przykł. 1
1	2	3
szkło
TiO2	12,5 nm	12,5 nm
Si3N4	16,5 nm	15,2 nm
NiCrOx	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	67,2 nm	70,7 nm

PL 204 049 B1 cd. tabeli 1

1	2	3
SI3N4	16,5 nm	16,5 nm
NiCrO_x	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	22,7 nm	0 nm
Si3N4	25,2 nm	25,3 nm
SiO2	0 nm	45,7 nm

T a b e l a Druga:

charakterystyka optyczna (postać wykonania według fig. 5, monolityczna)

	^TVIS	a*T	b*T	R od strony szkła (g)	^a*g	b* b*g	R od str. warstwy (f)	a*f	b*f
Przykł. 1:	77,4%	-2,6	1,9	4,6%	8,4	-11,5	3,5%	8,8	-12,8
CE:	75,5%	-2,1	0,2	5,9%	9,2	-10,6	5,2%	3,2	-1,0

Na podstawie powyższych Tabel dotyczących postaci wykonania według fig. 5 można zauważyć, że układ przeciwodbiciowy umożliwia uzyskanie nie tylko lepszych charakterystyk przepuszczalności w zakresie widzialnym (to jest, zwiększonej przepuszczalności TViS%), ale także zmniejszonego odbicia (np. niższego współczynnika odbicia od strony szkła i/lub od strony warstwy). Zapewniony jest także dość neutralny kolor. Przykład 1 (patrz fig. 5) wykazuje lepszą przepuszczalność w zakresie widzialnym (wyższe Tvis) i lepsze odbicie od strony szkła i/lub warstwy (niższe Rg i/lub Rf) od Przykładu Porównawczego (CE - patrz Fig. 1).

Fig. 6 przedstawia przekrój poprzeczny wyrobu powlekanego według kolejnej postaci wykonania niniejszego wynalazku. W tej postaci wykonania, górna powierzchnia dielektryczna obejmuje warstwę azotku krzemu (stechiometrycznego albo niestechiometrycznego) i warstwę tlenoazotku krzemu. Wyrób powlekany według fig. 6 obejmuje od podłoża szklanego na zewnątrz (wszystkie współczynniki podano dla 550 nm):

szkło (n = 1,51) tlenek tytanu (np. TiO2) (n = 2,1 do 2,7) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) tlenek cyny (np. SnO2) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8 do 2,2, korzystnie n = 2,0) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) srebro (Ag) tlenek niklu-chromu (NiCrOx) azotek krzemu (np. Si3N4) (n = 1,8-2,2, korzystnie n = 2,0) tlenoazotek krzemu (np. SiOxNy) (n = 1,45-2,0, korzystnie n = 1,6-1,9) powietrze (n = 1,0)

Przez zastosowanie tlenoazotku krzemu i azotku krzemu ponad górną warstwą kontaktową, powłokę (układ warstw) można określić za pomocą górnej części dielektrycznej T, wykazującej efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla środkowej części dielektrycznej M, która z kolei ma efektywny współczynnik załamania światła n mniejszy od tego dla dolnej części dielektrycznej B. Innymi słowy, nT<nM<nB. Warstwy tlenku krzemu i azotku krzemu mogą mieć grubości takie jak opisane powyżej.

Przykład (Przykłady) postaci wykonania według fig. 6

Poniższe Tabele ilustrują Przykład 1 według postaci wykonania według fig. 6, w porównaniu z Przykładem (Przykładami) Porównawczym (CE), podobnym do fig. 1. Zatem, CE dotyczy powłoki, która jest podobna do tej zilustrowanej w odnośnym zgłoszeniu. Dla tych przykładów symulacyjnych

PL 204 049 B1 w poniższych Tabelach, przyjęto następujące współczynniki załamania światła dla 550 nm: dla szkła, n = 1,51; dla Si3N4, n=2,0; dla SiOxNy, n = 1,72; dla SiO2, n = 1,45; dla SnO2, n = 2,0 i dla TiO2, n = 2,57. Grubości dla każdej z warstw, podane w poniższej Tabeli Pierwszej są wyrażone w nm (nanometrach). Poniższa Tabela Druga podaje charakterystyki optyczne (np. przepuszczalność w zakresie widzialnym, kolor, itd.) dla Przykładów na podstawie postaci wyżarzonej i postaci monolitycznej.

T a b e l a Pierwsza:

struktura warstwy - grubości (postać wykonania według fig. 6)

	CE	Przykł. 1
szkło
TiO2	12,5 nm	12,5 nm
S13N4	16,5 nm	15,4 nm
NiCrOx	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	67,2 nm	72,2 nm
Si3N4	16,5 nm	16,5 nm
NiCrO_x	1,8 nm	1,8 nm
Ag	9,8 nm	9,8 nm
NiCrOx	1,6 nm	1,6 nm
SnO2	22,7 nm	0 nm
Si3N4	25,2 nm	19,8 nm
SiO_XNy	0 nm	33,6 nm

T a b e l a Druga:

charakterystyka optyczna (postać wykonania według fig. 6, monolityczna)

	^TVIS	a*T	b*T	R od strony szkła (g)	^a*g	b* b*g	R od str. warstwy (f)	a*f	b*f
Ex. 1:	77,0%	-2,5	1,3	4,7%	10,2	-10,1	4,0%	6,4	-5,4
CE:	75,5%	-2,1	0,2	5,9%	9,2	-10,6	5,2%	3,2	-1,0

Na podstawie powyższych Tabel dotyczących postaci wykonania niniejszego wynalazku według fig. 6 można zauważyć, że układ przeciwodbiciowy według niniejszego wynalazku umożliwia uzyskanie nie tylko lepszych charakterystyk przepuszczalności w zakresie widzialnym (to jest, zwiększonej przepuszczalności Tvis%), ale także zmniejszonego odbicia (np. niższego współczynnika odbicia od strony szkła i/lub od strony warstwy). Ponadto, zapewniony jest także dość neutralny kolor. Przykład 1 (patrz fig. 6) wykazuje lepszą przepuszczalność w zakresie widzialnym (wyższe TViS) i lepsze odbicie od strony szkła i/lub warstwy (niższe Rg i/lub Rf) od Przykładu Porównawczego (CE - patrz fig. 1).

Odpowiednio, wyroby powlekane według pewnych postaci wykonania niniejszego wynalazku są określone za pomocą jednego albo więcej z następujących parametrów:

Charakterystyka	ogólnie	korzystniej	najkorzystniej
Tvis (I11. C, 2 stopn.):	>= 70%	>= 75%	>= 76,5%
RgY (I11. C, 2 stopn.):	<= 11%	<= 9%	<= 5,0%
RfY (I11. C, 2 stopn.):	<= 11%	<= 9%	<= 5,0%
^Tsłon.	<= 50%	<= 48%

Podczas gdy wynalazek został opisany łącznie z tym, co jest obecnie rozważane jako najbardziej praktyczna i korzystna postać wykonania należy rozumieć, że wynalazek nie jest ograniczony do

PL 204 049 B1 ujawnionej postaci wykonania, ale przeciwnie, jest przeznaczony do objęcia różnorodnych zmian i równoważnych układów zawartych w zamyśle i zakresie załączonych zastrzeżeń. Na przykład i nie ograniczająco, można zastosować substancje inne niż te opisane powyżej w innych postaciach wykonania niniejszego wynalazku bez odchodzenia od zamysłu tego wynalazku.

Claims

1. Wyrób powlekany obejmujący powłokę osadzoną na podłożu szklanym, w którym powłoka obejmuje:

pierwszą warstwę dielektryczną wykazującą współczynnik załamania światła n <= 3,0, umieszczoną pomiędzy warstwą odbijającą promienie IR, a podłożem szklanym, znamienny tym, że zawiera drugą warstwę dielektryczną, wykazującą współczynnik załamania światła 1,8 <= n <= 2,2 umieszczoną pomiędzy pierwszą, a drugą warstwą odbijającą promienie IR, w której druga warstwa dielektryczna ma współczynnik załamania światła n mniejszy od współczynnika załamania światła n pierwszej warstwy dielektrycznej;

2. Wyrób powlekany wedł ug zastrz. 1, znamienny tym, ż e trzecia warstwa dielektryczna zawierająca tlenoazotek krzemu wykazuje współczynnik załamania światła 1,45 <= n <= 2.0.

3. Wyrób powlekany według zastrz. 2, znamienny tym, ż e trzecia warstwa dielektryczna zawierająca tlenoazotek krzemu wykazuje współczynnik załamania światła 1,6 <= n <= 1,9.

4. Wyrób powlekany wed ług zastrz. 1, znamienny tym, że każda z pierwszej i drugiej warstwy odbijającej promienie IR, zawierającej Ag jest umieszczona pomiędzy i styka się z parą warstw kontaktowych, i przy czym co najmniej jedna z warstw kontaktowych sąsiednich względem każdej warstwy odbijającej promienie IR zawiera co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx, i NiCrNx.

5. Wyrób powlekany wedł ug zastrz. 1, znamienny tym, ż e co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawiera Ni i Cr.

6. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że pierwsza warstwa dielektryczna zawiera tlenek tytanu.

7. Wyrób powlekany według zastrz. 6, znamienny tym, ż e zawiera ponadto warstwę zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy pierwszą warstwą odbijającą promienie IR i pierwszą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek tytanu.

8. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że druga warstwa dielektryczna zawiera tlenek cyny.

9. Wyrób powlekany według zastrz. 8, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy pierwszą warstwą odbijającą promienie IR i drugą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek cyny.

10. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i drugą warstwą odbijającą promienie IR.

11. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i warstwą odbijającą promienie IR.

12. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że jest określony przez wartość przepuszczalności w zakresie widzialnym co najmniej 75%, rezystancję powierzchniową (Rs) nie większą od 10 Ω/ϋ i reflektancję w zakresie widzialnym od strony szkła <= 9%.

13. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że wykazuje przepuszczalność w zakresie widzialnym co najmniej 76,5%.

14. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że trzecia warstwa dielektryczna zawierająca tlenoazotek krzemu jest co najmniej stopniowo utleniona i stopniowo azotkowana tak, że współczynnik załamania światła n trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu

PL 204 049 B1 zmienia się od pierwszej wartości w pierwszej części trzeciej warstwy dielektrycznej do mniejszej, drugiej wartości w drugiej części trzeciej warstwy dielektrycznej, przy czym druga część trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu o mniejszym współczynniku załamania światła n znajduje się dalej od warstw odbijających promienie IR, niż pierwsza część trzeciej warstwy dielektrycznej.

15. Wyrób powlekany według zastrz. 1, znamienny tym, że powłoka zawiera, od podłoża szklanego na zewnątrz:

pierwszą warstwę dielektryczną zawierającą tlenek tytanu;

pierwszą warstwę kontaktową zawierającą co najmniej jeden z NiCr, NiCrOx i NiCrNx;

pierwszą warstwę odbijającą promienie IR, zawierającą Ag;

drugą warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny;

drugą warstwę odbijającą promienie IR, zawierającą Ag;

trzecią warstwę dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu; i przy czym wyrób powlekany wykazuje rezystancję powierzchniową (R_s) nie większą od 10 Ω/ϋ.

16. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy i stykającą się z pierwszą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek tytanu i pierwszą warstwą kontaktową.

17. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy drugą warstwą dielektryczną zawierającą tlenek cyny i trzecią warstwą kontaktową.

18. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą tlenek cyny, umieszczoną pomiędzy i stykającą się z trzecią warstwą dielektryczną, zawierającą tlenoazotek krzemu, a czwartą warstwą kontaktową.

19. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że zawiera ponadto inną warstwę dielektryczną zawierającą azotek krzemu, umieszczoną pomiędzy trzecią warstwą dielektryczną zawierającą tlenoazotek krzemu i czwartą warstwą kontaktową.

20. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że co najmniej jedna z warstw kontaktowych zawiera Ni i Cr.

21. Wyrób powlekany według zastrz. 15, znamienny tym, że trzecia warstwa dielektryczna zawierająca tlenoazotek krzemu jest co najmniej stopniowo utleniona i stopniowo azotkowana tak, że współczynnik załamania światła n trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu zmienia się od pierwszej wartości w pierwszej części trzeciej warstwy dielektrycznej do mniejszej, drugiej wartości w drugiej części trzeciej warstwy dielektrycznej, przy czym druga część trzeciej warstwy dielektrycznej zawierającej tlenoazotek krzemu o mniejszym współczynniku załamania światła n znajduje się dalej od warstw odbijających promienie IR, niż pierwsza część trzeciej warstwy dielektrycznej.

22. Zastosowanie wyrobu powlekanego zdefiniowanego w zastrzeżeniu 1, do wytwarzania okna ze szkła zespolonego.

23. Zastosowanie wyrobu powlekanego zdefiniowanego w zastrz. 15 do wytwarzania okna.