PL164250B1 - Method of and apparatus for detecting and classifying surface corrugation - Google Patents

Method of and apparatus for detecting and classifying surface corrugation

Info

Publication number
PL164250B1
PL164250B1 PL89282932A PL28293289A PL164250B1 PL 164250 B1 PL164250 B1 PL 164250B1 PL 89282932 A PL89282932 A PL 89282932A PL 28293289 A PL28293289 A PL 28293289A PL 164250 B1 PL164250 B1 PL 164250B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
screen
area
portions
opaque
transparent
Prior art date
Application number
PL89282932A
Other languages
English (en)
Inventor
Piergiorgio Varrone
Gianfranco Burzio
Sergio Damiani
Original Assignee
Fiat Auto Spa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fiat Auto Spa filed Critical Fiat Auto Spa
Publication of PL164250B1 publication Critical patent/PL164250B1/pl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

1. Urzadzenie do wykrywania i klasyfikacji pofaldowania powierzchni zawierajace zródlo swiatla i ekran posiadajacy wiele nieprzezroczystych czesci ulozonych na przemian z czesciami przezroczystymi, oraz element wykrywajacy do badania analitycznego powierzchni, przy czym ekran jest usytuowany pomie- dzy zródlem swiatla i badana powierzchnia, a element wykrywajacy jest przystosowany do wytwarzania zmiennego elektrycznego sygnalu i jest czuly na ko- lejno nastepujace prazki jasne i ciemne wytworzone na badanej powierzchni, natomiast z elementem wy- krywajacym sa polaczone elementy liczace przystoso- wane do dokonywania matematycznego obliczania gradientu sygnalu wytwarzanego przez element wy- krywajacy, znamienne tym, ze czesci przezroczyste (13) i czesci nieprzezroczyste (12) ekranu (11) maja stala szerokosc. Fig. 1 PL

Description

Przedmiotem wynalazku jest urządzenie do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania powierzchni.
Wynalazek dotyczy urządzenia, które może być korzystnie stosowane do oceny estetycznego wykonywania karoserii pojazdu natryskiwanego farbą, umożliwiając ocenę wykonania obróbki w czasiejej trwania i pozwala na natychmiastowe dokonanie poprawek tak, żeby uzyskać doskonałe wyniki, szczególnie odnośnie samej powierzchni. Jak wiadomo, niedokładne pokrycie farbą powoduje powstawanie na powierzchni drobnych i średnich fałdek o dowolnym nachyleniu i kierunku, przypominających wyglądem skórkę pomarańczy.
Dotychczasowe wykrywanie i klasyfikacja pofałdowania powierzchni polega na ręcznym rzutowaniu na badaną powierzchnię siatek zawierających przemiennie ułożone obszary świetlne (białe) i ciemne (czarne) ze zmniejszającym się nachyleniem. Obserwator ocenia, czy pofałdowanie farby zniekształca obraz odbijany przez badaną powierzchnię tak, że dwa sąsiednie ciemne prążki łączą się. Jeśli się łączą, to numerem siatki, która powoduje taki efekt, jest określana wielkość pofałdowania (w skali zmniejszającej się zwykle od 6 do 20, gdzie 20 reprezentuje doskonałe odbijanie i zerowe pofałdowanie). Stosowane urządzenia zarówno z punktu widzenia ich ręcznego manipulowania, jak też ze względu na uzyskiwane niezbyt dokładne i subiektywne wyniki są zawodne.
Znane jest z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr 4 682 041 urządzenie do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania powierzchni, które zawiera źródło światła i ekran posiadający wiele nieprzezroczystych i przezroczystych, naprzemianległych obszarów oraz element wykrywający, czuły na zmienne natężenie światła obraz odbitego od badanej powierzchni.
Urządzenie przedstawione w powyższym opisie jest czułe na jaskrawość obrazu odbitego od badanej powierzchni, w związku z czym konieczne jest wprowadzenie współczynnika normalizacji, co powoduje niedokładność pomiaru ze względu na złożoność obliczeń i stosowanie dodatkowego parametru.
Urządzenie do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania powierzchni zawiera źródło światła i ekran posiadający wiele nieprzezroczystych części ułożonych na przemian z częściami przezroczystymi oraz element wykrywający do badania analitycznego powierzchni, przy czym ekranjest usytuowany pomiędzy źródłem światła i badaną powierzchnią, a element wykrywający jest przystosowany do wytwarzania zmiennego elektrycznego sygnału i jest czuły na kolejno następujące prążki jasne i ciemne wytworzone na badanej powierzchni. Z elementem wykrywającym są połączone elementy liczące przystosowane do dokonywania matematycznego obliczania gradientu sygnału wytwarzanego przez element wykrywający.
Według wynalazku, urządzenie charakteryzuje się tym, że części przezroczyste i części nieprzezroczyste ekranu mają stałą szerokość.
Korzystnie części nieprzezroczyste i części przezroczyste ekranu są proste.
Korzystnie części nieprzezroczyste i części przezroczyste ekranu są zakrzywione.
Korzystnie zakrzywione części nieprzezroczyste i części przezroczyste ekranu są pierścieniowe i koncentryczne.
Korzystnie nieprzezroczyste części i przezroczyste części mają taką samą szerokość.
Urządzenie do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania według wynalazku ma wiele zalet, z których główne to te, że pomiar pofałdowaniajest całkowicie zautomatyzowany i dzięki temu nie podlega subiektywnej ocenie operatora, a ponadto nie zależy od barwy badanej warstwy. Nie wymaga wprowadzania parametrów normalizacyjnych.
Towarzyszące punktowe uszkodzenia nie fałszują pomiaru, gdyż są odtwarzane całkowicie poza ogniskiem płaszczyzny obrazu kamery telewizyjnej. Żadne krzywizny czy niedokładności siatki lub niedokładne ogniskowanie nie wpływają na wyniki pomiarów /skala może być zmieniona/ i jest możliwe ustawienie kamery w szerokim zakresie odległości od badanego obszaru, utrzymując układ soczewki kamery telewizyjnej nieznacznie otwartym. Urządzenie może być stosowane do różnego rodzaju powierzchni po różnych obróbkach powierzchniowych.
Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykładzie wykonana na rysunku, na którym fig. 1 pokazuje schemat urządzenia do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania powierzchni poddanej obróbce, fig. 2, 3 i 4 - przebieg niektórych sygnałów wykrywanych lub obliczanych przez urządzenie pokazane na fig. 1 w trzech różnych stanach pracy, fig. 5, 6 i 7 - wykresy uzyskane przy zastosowaniu urządzenia pokazanego na fig. 1 i odnoszące się do stanów pracy przedstawionych kolejno na fig. 2,3 i 4 oraz fig. 8 - w powiększonej skali przykład możliwego stanu pracy, który może wystąpić podczas stosowania urządzenia pokazanego na fig. 1.
Na figurze 1 jest przedstawione urządzenie 1 do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania poddanej obróbce. Urządzenie 1 może być korzystnie stosowane do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania warstwy 2 farby nanesionej na powierzchnię blachy 3 stanowiącej zewnętrzną część karoserii pojazdu, na przykład samochodu osobowego. Urządzenie 1 zawiera elementy oświetlające 5 przystosowane do oświetlania badanego obszaru 6 powierzchni warstwy 2 za pomocą wiązki świetlnej 7 zawierającej wiele obszarów jasnych na przemian z obszarami ciemnymi i z wyraźnymi krawędziami pomiędzy poszczególnymi obszarami. Elementy oświetlające 5 zawierają źródło światła 10 i ekran 11 wyświetlający wiele nieprzezroczystych części 12 na przemian z przezroczystymi częściami 13 ekranu. W celu prawidłowego użycia urządzenia źródło 10 i ekran 11 powinny być tak ustawione, żeby na powierzchni warstwy 2 farby odbijana siatka składająca się z obszarów jasnych i ciemnych z wyraźnymi sąsiednimi krawędziami tworzyła prążki. Urządzenie 1 według wynalazku zawiera elementy 15 wykrywające obraz, przystosowane do badania obszaru 6 warstwy 2 przez analizowanie tak, że zostaje uzyskany przemienny sygnał elektryczny dla kolejnego wykrywania obszarów jasnych i ciemnych tej siatki oraz elementy liczące 16, które dokonują matematycznego obliczenia gradientu sygnału wytwarzanego przez elementy 15 wykrywające obraz. Elementy 15 wykrywające obraz zawierają korzystnie kamerę telewizyjną położoną bezpośrednio przeciwległe względem źródła 10 i ustawioną tak, że obraz pokazuje obszar padania wiązki 7.
Linie analizowania, kamery telewizyjnej 15 są prostopadłe do prążków sieci powstałych na powierzchni obszaru warstwy 2. W korzystnym wykonaniu według wynalaku, opisanym dalej, możliwe jest dowolne ustawienie kamery telewizyjnej względem sieci pod warunkiem, że jest ona usytuowana w symetrycznym lustrzanym położeniu. Kąt podania A pomiędzy wiązką 7 i powierzchnią warstwy 2 nie jest stały, dla przykładu może być równy 45°. Urządzenie 1 zawiera również elemnty porównujące 17, które przeprowadzają analizę porównawczą wykresów prążków uzyskanych na końcu badania obszaru 6 z ustalonymi wartościami odniesienia. Elementy liczące 16 i elementy porównujące 17 tworzą razem układ przetwarzający 18 sygnały wizyjne, wyposażony w wyjście, które jest dołączone bezpośrednio do układu wyświetlającego 19, który może zawierać dla przykładu monitor i/lub drukarkę /nie przedstawione na rysunku/.
Figury 2a, 3a i 4a pokazują trz.y różne przykłady obrazów odbicia wiązki świetlnej 7 przez badany obszar 6, powstałych w wyniku odbicia od trzech powierzchni warstwy 2 farby o różnym stopniu pofałdowania /zero, średnim, dużym/. W tym przypadku kamera telewizyjna 15 wytwarza podczas analizy powierzchni warstwy 2, przeprowadzanej przy użyciu linii analizowania S, trzy różne sygnały elektryczne /fig. 2b, 3b, 4b/, których bezwzględna wartość gradientu, obliczona przez elementy liczące 16, jest podana na fig. 2c, 3c,4c. Analizowanie powierzchni obszaru 6 przez kamerę telewizyjną 15 powinno być przeprowadzane idealnie wzdłuż lini, które są położone prostopadle do prążków będących obrazem części przezroczystych i nieprzezroczystych 12,13 rzutowanych na obszar 6 powierzchni, o czym już wzmiankowo.
Na figurach 5,6 i 7 są przedstawione wykresy gradientów w funkcji liczby pikseli, zwykle wyświetlane w układzie wyświetlającym 19 i uzyskiwane za pomocą układu przetwarzającego 18, dla sygnału wyjściowego wytwarzanego przez kamerę telewizyjną 15, w odniesieniu do kolejnych obrazów powierzchni warstwy 2 z fig. 2, 3 i 4. Gradient jest obliczony jako wartość bezwzględna różnicy amplitud sygnału wizyjnego kamery telewizyjnej 15 dla pobliskich pikseli, a maksymalne jako wartości GO, G1 i G2 są zaznaczone odpowiednio na fig. 5,6 i 7 . Należy zaznaczyć, że wykresy pokazane na fig. 5,6 i 7 są wiernymi przykładami i podlegają zakłóceniom wytwarzanym podczas odbioru i następnie przetwarzania sygnału optycznego przez kamerę telewizyjną 15 i układ przetwarzający 18.
Na figurze 8 pokazano tor elementarnej części P źródła światła 10 oświetlającego część P’ obszaru 6 i skupionego w odpowiedniej części P” płaszczyzny obrazu kamery telewizyjnej 15 za pomocą soczewki skupiającej 20. Jakiekolwiek zniekształcenie N’ na pofałdowanej powierzchni warstwy farby powoduje, że wiązka świetlna 7 jest odbijana na obszar N” płaszczyzny obrazu kamery telewizyjnej 15, w położeniu poza ogniskiem części P”.
Widać jasno, że przy użyciu urządzenia 1 towarzyszące, punktowe uszkodzenia powierzchni badanej warstwy oddziafywują na uzyskanie dane nieznacznie, gdyż obraz tych uszkodzeń powstaje całkowicie poza ogniskiem, gdy wykrywanie jest typu statystycznego, opartego na dużej liczbie pikseli.
Wykrywanie i klasyfikacja pofałdowania powierzchni poddanej obróbce według wynalazku polega na tym, że oświetla się obszar wiązką świetlną 7, zasadniczo zawierającą wiele obszarów jasnych na przemian z obszarami ciemnymi i korzystnie z wyraźnymi krawędziami poszczególnymi obszarami sąsiednimi, a następnie wykrywa się wiązkę 7 odbitą przez obszar 6 powierzchni warstwy 2 przy pomocy elementów 15 wykrywających obraz, które analizują obraz 6 tak, ażeby uzyskać zmienny sygnał elektryczny dla kolejnego wykrywania obszarów jasnych i ciemnych powierzchni, po czym oblicza się matematycznie przy pomocy elementu 16 gradient i odpowiednią liczbę pikseli dla tego sygnału wytwarzanego przez elementy 15 wykrywające obraz oraz wyświetla się wykres gradientu w funkcji liczby pikseli, a następnie przy pomocy elementu 17 przeprowadza się analizę porównawczą wykresu uzyskanego nakońcu badania obszaru 6 z ustalonymi wartościami odniesienia.
W przypadku tego typu pofałdowania powierzchni warstwy farby, na końcu badania powierzchni, uzyskano różne wykresy, co pokazano dla przykładu na fig.5, 6 i 7. Analiza uzyskanych wartości GO, G1 g2 pozwala określić stopień pofałdowania, które wzrasta, gdy maksymalna wartość gradientu obliczona dla poszczególnego przypadku maleje. Dla przykładu, poważnie pofałdowana powierzchnia powoduje, że wzdłuż badanej linii występuje stopniowe łączenie się obszarów ciemnych i jasnych przy gradiencie, który dąży do zera.
Maksymalna szerokość części 12 i 13 tworzących siatkę, bez względu na ich położenie w stosunku do kamery telewizyjnej 15, jest określana przez przekładnię optyczną reprezentowaną przez maksymalny kąt nachylenia elementarnych części stanowiących pofałdowaną powierzchnię warstwy 2 względem ekranu Hi przez odległość pomiędzy źródłem 10 i rzeczywistą powierzchnią warstwy 2. Maksymalne rozważane nachylenie badanej powierzchni względem ekranu 11 musi być takie, aby na badanym obszarze 6 warstwy 2 zawsze występowały prążki jasne i ciemne. Liczba obszarów zawartych w siatce ekranu 11, przy uwzględnieniu minimalnych wymiarów ustalanych w oparciu o powyższe rozważania, nie jest ograniczona, pod warunkiem, że umożliwia dokonanie miarodajnych obliczeń statystycznych.
Klasyfikacji pofałdowania dokonuje się w ten sposób, że wykres uzyskany na końcu analizy badanej powierzchni /fig. 5,6 i 7/ dzieli się na różne części, a wielkość pofałdowania w wyniku natryskiwania określa się w oparciu o uprzednio przygotowane próbki. Analizuje się liczbę pikseli w każdej z tych części i jeżeli ta liczba jest mniejsza niż ustalone minimum, staje się ona pierwszą wartością stanu powierzchni, przesuwając się z prawej strony wykresu na lewą stronę, gdzie przekracza minimum.
Przy użyciu nachylonych siatek jest możliwe odróżnienie pofałdowania zorientowanego w nieprzypadkowy sposób na przykład w kształcie krzywizn lub pierścieni koncentrycznych i wykrycie maksymalnej wartości pofałdowania, a także możliwe jest stosowanie siatek ekranu 11, w których obszaay jrame i cietmn są zzłkrzywone lub pierściernowe. Jeeżlinaleey zrralliowaa rzutowanie ze względnym ruchem pomiędzy badanym obszarem 6 i urządzeniem 1, można zastosować źródło światła 10, które dostarcza przerwaną wiązkę świetlną 7 właściwie zsynchronizowaną z ruchem pomiędzy badanym obszarem 6 i urządzeniem 1, można zastosować źródło światła 10, które dostarcza przerywana wiązkę świetlną 7 właściwie osychroeizowaną z ruchem elementów dostarczających obraz.
Można dokonać modyfikacji urządzenia, które przedstawiono powyżej, bez oddalania się od istoty wynalazku. Dla przykładu, przedstawione powyżej urządzenie stosowane do wykrywania i kIasycyikαhji pofałdowania powierzchni farby karoserii samochodu osobowego, można również zastosować z dużą korzyścią do spełniania podobnych zadań przy obróbce powierzchniowej innego rodzaju.
Fig2 b, Ί FL-T
c) ----
ο Π Π Π-Π
Fig.3
1164250
Fig.7 ns pixeis
Fig.1 /\
Departament Wydawnictw UP RP. Nakład 90 egz. Cena 1,100 zł.

Claims (5)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Urządzenie do wykrywania i klasyfikacji pofałdowania powierzchni zawierające źródło światła i ekran posiadający wiele nieprzezroczystych części ułożonych na przemian z częściami przezroczystymi oraz element wykrywający do badania analitycznego powierzchni, przy czym ekranjest usytuowany pomiędzy źródłem światła i badaną powierzchnią, a elementwykrywający jest przystosowany do wytwarzania zmiennego elektrycznego sygnału i jest czuły na kolejno następujące prążki jasne i ciemne wytworzone na badanej powierzchni, natomiast z elementem wykrywającym są połączone elementy liczące przystosowane do dokonywaniamatematycznego obliczania gradientu sygnału wytwarzanego przez element wykrywający, znamienne tym, że części przezroczyste (13) i części nieprzezroczyste (12) ekranu (11) mają stałą szerokość.
  2. 2. Urządzenie według zastrz. 1, znamienne tym, że części nieprzezroczyste (12) i części przezroczyste (13) ekranu (11) są proste.
  3. 3. Urządzenie według zastrz. 1 znamienne tym, że części nieprzezroczyste (12) i części przezroczyste (13) ekranu (11) są zakrzywione.
  4. 4. Urządzenie według zastrz. 3 znamienne tym, że zakrzywione części nieprzezroczyste (12) i części przezroczyste (13) ekranu (11) są pierścieniowe i koncentryczne.
  5. 5. Urządzenie według zastrz. 3 albo 4, znamienne tym, że nieprzezroczyste części (12) i przezroczyste części (13) mają taką samą szerokość.
PL89282932A 1988-12-23 1989-12-22 Method of and apparatus for detecting and classifying surface corrugation PL164250B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT68151/88A IT1224030B (it) 1988-12-23 1988-12-23 Metodo e dispositivo per il rilievo e la classivicazione della raggrinzatura di trattamenti superficiali

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL164250B1 true PL164250B1 (en) 1994-07-29

Family

ID=11308191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL89282932A PL164250B1 (en) 1988-12-23 1989-12-22 Method of and apparatus for detecting and classifying surface corrugation

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0374977B1 (pl)
BR (1) BR8906757A (pl)
DE (1) DE68910791T2 (pl)
ES (1) ES2046440T3 (pl)
IT (1) IT1224030B (pl)
PL (1) PL164250B1 (pl)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3235012A (en) * 1964-04-13 1966-02-15 Johnson Farm Machinery Co Inc Seed bed shaping and tilling device
NL9001164A (nl) * 1990-05-18 1991-12-16 Hoogovens Groep Bv Werkwijze en inrichting ter bepaling van de beeldhelderheid van een oppervlak.
US5078496A (en) * 1990-08-14 1992-01-07 Autospect, Inc. Machine vision surface characterization system
WO1993012615A1 (en) * 1991-12-19 1993-06-24 The United States Of America, Represented By The Secretary, United States Department Of Commerce Method and apparatus for assessment of surface smoothness using reflected energy
DE4301546C2 (de) * 1993-01-21 2002-08-08 Isra Vision Systems Ag Einrichtung zum Prüfen von Oberflächen von Werkstücken
US5566244A (en) * 1993-11-22 1996-10-15 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of inspecting a workpiece surface including a picturing system with a shortened focal plane
DE19612093A1 (de) * 1996-03-27 1997-10-02 Krupp Ag Hoesch Krupp Verfahren und Einrichtung zum Messen von Oberflächenwelligkeiten
DE19941028A1 (de) 1999-08-28 2001-04-05 Willing Gmbh Dr Ing Beleuchtungsvorrichtung mit blattförmiger Lichtverteilung zur Oberflächeninspektion
AT502094B1 (de) * 2005-06-20 2007-08-15 Polymer Competence Ct Leoben G Verfahren zur analyse der oberflächeneigenschaften eines materials
AT513062A1 (de) * 2012-07-09 2014-01-15 Polymer Competence Ct Leoben Gmbh Vorrichtung zur Erfassung des Glanzes einer Oberfläche eines Gegenstandes

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2867149A (en) * 1953-10-05 1959-01-06 Bell Telephone Labor Inc Method of determining surface flatness
JPS6175236A (ja) * 1984-09-20 1986-04-17 Nippon Soken Inc 塗装面測定装置
JPH05271289A (ja) * 1992-03-17 1993-10-19 Ishihara Sangyo Kaisha Ltd ポリペプチド

Also Published As

Publication number Publication date
EP0374977B1 (en) 1993-11-18
DE68910791T2 (de) 1994-03-31
BR8906757A (pt) 1990-09-18
ES2046440T3 (es) 1994-02-01
IT1224030B (it) 1990-09-26
IT8868151A0 (it) 1988-12-23
EP0374977A1 (en) 1990-06-27
DE68910791D1 (de) 1993-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6229913B1 (en) Apparatus and methods for determining the three-dimensional shape of an object using active illumination and relative blurring in two-images due to defocus
US7092105B2 (en) Method and apparatus for measuring the three-dimensional surface shape of an object using color informations of light reflected by the object
JP3874422B2 (ja) 表面検査システム
AU728407B2 (en) Moire interferometry system and method with extended imaging depth
US10670829B2 (en) Imaging device
US5097516A (en) Technique for illuminating a surface with a gradient intensity line of light to achieve enhanced two-dimensional imaging
EP0244781B1 (en) Method and apparatus of using a two beam interference microscope for inspection of integrated circuits and the like
JP5199539B2 (ja) 焦点ずれ検出のためのマルチスペクトル技術
US7177458B1 (en) Reduction of false alarms in PCB inspection
US4360269A (en) Apparatus for inspecting defects in a periodic pattern
US20070269099A1 (en) Image inspection method and image inspection apparatus employing the same
EP0543900B1 (en) Machine vision surface characterization system
JP3483948B2 (ja) 欠陥検出装置
PL164250B1 (en) Method of and apparatus for detecting and classifying surface corrugation
JP2004309240A (ja) 3次元形状測定装置
US5880845A (en) Apparatus for measuring the photometric and colorimetrics characteristics of an object
JPH11211673A (ja) 表面性状評価装置および表面性状評価方法
JP3189588B2 (ja) 表面欠陥検査装置
JP2558864B2 (ja) 分光解析装置
JPS604402B2 (ja) 表面形状測定装置
Karbacher et al. Visualization and detection of small defects on car-bodies
JPS61217708A (ja) 表面性状測定方法および装置
JPS63229311A (ja) 断面形状検知方法
JPH0820309B2 (ja) 分光演算装置
JPS6281616A (ja) 焦点位置検出装置