PL160219B3 - Uklad elektryczny do wytwarzania plazmy niskocisnieniowej w komorze technologicznej PL - Google Patents

Abstract

Uklad elektryczny do wytwarzania plazmy niskocisnieniowej w komorze technologicznej, zawie- rajacy transformator jednofazowy, którego wtórne uz- wojenie jest podlaczone poprzez kondensator do dwu zacisków, do których przylaczony jest w jednej galezi zawór prostownikowy a w drugiej - komora technolo- giczna i drugi zawór prostownikowy, wedlug patentu nr 148 143, znamienny tym, ze ma dodatkowo wla- czone dwa zawory prostownikowe (P3 i P4) oraz dwu- polozeniowy przelacznik (P), który w polozeniu (2) zwory tworzy uklad mostkowy z czterema zaworami prostownikowymi (P1, P2, P3 i P4) podlaczony na wejsciu poprzez kondensator (C) do wtórnego uzwo- jenia transformatora (Tr), a na wyjsciu - do zacisków komory technologicznej. (51) IntCl5: H 0 5 B 7 / 1 6 H 05H 1 / 2 4 PL

Description

Przedmiotem wynalazku jest układ elektryczny do wytwarzania plazmy niskociśnieniowej w komorze technologicznej, stanowiący ulepszenie układu według patentu nr 148 143.

Zgodnie z wynalazkiem opatentowanym za nr 148 143, końce wtórnego uzwojenia transformatora zasilającego komorę technologiczną, podłączone są poprzez kondensator do dwu zacisków, do których przyłączony jest w jednej gałęzi zawór prostownikowy, a w drugiej komora technologiczna 1 drugi zawór prostownikowy. Każdy z zacisków stanowi połączenie różnoimlennych elektrod zaworów prostownikowych.

Istota układu według wynalazku polega na tym, że układ wyposażono dodatkowo w dwa zawory prostownikowe oraz dwupołożeniowy przełącznik, który w zależności od położenia zwory, tworzy układ według patentu 148 143 albo układ mostkowy z czterema zaworami prostownikowymi podłączony poprzez kondensator do wtórnego uzwojenia transformatora 1 zasilający komorę technologiczną impulsami o podwojonej częstotliwości sieciowej.

Rozwiązanie według wynalazku ma wszystkie zalety układu opatentowanego pod nr 148 143, w tym również radykalnie ogranicza niebezpieczeństwo powstania wyładowania łukowego w komorze technologicznej. Oodatkową, bardzo istotną zaletą układu w porównaniu z patentem nr 148 143 jest dwukrotne zwiększenie liczby impulsów prądowych, zasilających komorę w jednostce czasu. W rezultacie efektywny czas zasilania komory technologicznej ulega podwojeniu, co umożliwia przy tej samej gęstości prądu na odpowiednie skrócenia czasu obróbki technologicznej np. procesu azotowania.

Wynalazek zostanie bliżej objaśniony w przykładzie wykonania przedstawionym na rysunku będącym schematem ideowym układu elektrycznego.

Końce wtórnego uzwojenia Jednofazowego transformatora Tr, przy ustawieniu zwory przełącznika P w położeniu 1, podłączone są poprzez kondensator C do zacisków a i b a w położeniu 2 do zacisków a i c zestawu zaworów prostownikowych Pr /zawory Pp Pj, Pp i P^/. Komora technologiczna K w obu przypadkach Jest podłączona do zacisków bid zestawu zaworów prostownikowych Pr, przy czym elektroda Ej komory K, stanowiąca katodę, jest podłączona poprzez izolator przepustowy I, a drugą elektrodę Ej, stanowi uziemiona obudowa komory K.

160 219

Działanie układu według wynalazku jest następujące: Przy ustawieniu zwory przełącznika P w położeniu 1, w Jednym pdłokresle zmienności napięcia, napięcie transformatora Tr ładuje kondensator C, a w drugim zasila komorę technologiczną K, przy czym równocześnie następuje rozładowanie przez komorę K, kondensatora C. H rezultacie komora K jest zasilana Jednokierunkowymi impulsami prądowymi o częstotliwości repetycji 50 lmp/_gek· Natomiast w przypadku ustawienia zwory przełącznika P w położeniu 2 - napięcie transformatora Tr doprowadzone poprzez kondensator C do zacisków ale Jest prostowane w pełnookresowym układzie mostkowym i zasila komorę K w postaci impulsów o częstotliwości repetycji równej podwojonej częstotliwości napięcia sieci tj. 100 imp/gek*

160 219 fimm

Zakład Wydawnictw UP RP. Nakład 90 egz. Cena 10 000 zł

Claims (1)

1. Zastrzeżenie patentowe

   Układ elektryczny do wytwarzania plazmy niskociśnieniowej w komorze technologicznej, zawierający transformator jednofazowy, którego wtórne uzwojenie jest podłączone poprzez kondensator do dwu zacisków, do których przyłączony jest w jednej gałęzi zawór prostownikowy a w drugiej - komora technologiczna i drugi zawór prostownikowy, według patentu nr 148 143, znamienny tym, że ma dodatkowo włączone dwa zawory prostownikowe /p_} i p₄/ oraz dwupołożeniowy przełącznik /P/, który w położeniu /2/ zwory tworzy układ mostkowy z czterema zaworami prostownikowymi /Pp Pj, Pj, P^/ podłączony na wejściu poprzez kondensator /C/ do wtórnego uzwojenia transformatora /Tr/, a na wyjściu - do zacisków komory technologicznej.

   ·«·