Przedmiotem wynalazku jest reflektometr, sluza¬ cy do mierzenia promieniowania elektromagnetycz¬ nego odbitego przez badana próbke przy zmiennym kacie padania.Przy ocenie niektórych wlasciwosci optycznych powierzchni próbek pólprzewodnikowych badz me¬ talicznych, niezbedna jest znajomosc wspólczynnika odbicia R w funkcji dlugosci fali, to jest liczby okreslajacej stosunek natezenia swiatla odbitego do padajacego w danym obszarze spektralnym. Wy¬ znaczanie wspólczynnika odbicia R polega na mie¬ rzeniu natezenia promieniowania elektromagnetycz¬ nego odbitego od powierzchni próbki,,. przy czym wedlug ogólnie stosowanych sposobów, w istnieja¬ cych obecnie spektrofotometrach, pomiar ten od¬ bywa sie itylko dla zadanego kata padania promie¬ niowania elektromagnetycznego.Wyznaczanie wspólczynnika R przy zmiennym kacie padania jest dosc skomplikowane, gdyz — jak wiadomo — obrót próbki wzgledem wiazki promieniowania zmienia kat padania, co z kolei powoduje odpowiednio zmiane kata odbicia.A zatem, aby zarejestrowac promien odbity przy zmiennym kacie padania, nalezy odpowiednio prze¬ mieszczac detektor promieniowania elektromagne¬ tycznego lub zmieniac uklad optyczny, kierujacy wiazke promieniowania na detektor, co jest bardzo uciazliwe. W zwiazku z czym, w znanych spektro¬ fotometrach nie mozna zmierzyc wspólczynnika odbicia R przy zmiennym kacie padania, co moze 10 15 20 25 2 byc szczególnie wazne podczas pracy z promienio¬ waniem spolaryzowanym.Reflektometr wedlug wynalazku sklada sie z czterech luster plaskich i jednego Lustra sferycz¬ nego. Jedno lustro plaskie i lustro sferyczne, sprze¬ zone isa z osia geometryczna, na której umieszczo¬ ne jest jeszcze jedno lustro plaskie i badana prób¬ ka. Os geometryczna stanowia dwie sprzegniete ze soba mechanicznie, korzystnie za pomoca kól zeba¬ tych o przekladni 1 :2 osie, to jest os, na której umieszczone jest jedno lustro plaskie i próbka oraz os, na której umieszczone jest lustro plaskie i lu¬ stro sferyczne.Lustra te, to jest plaskie i sferyczne, przymo¬ cowane sa do ramion osi o równej wielkosci, co powoduje, ze poruszaja sie one po tej samej po¬ wierzchni cylindrycznej. Opisane sprzezenie osi po¬ woduje, ze predkosci katowej osi, na której umiesz¬ czona jest badana próbka i lustro plaskie, odpo¬ wiada dwukrotnie wieksza predkosc katowa osi, na której umieszczone jest lustro plaskie i lustro sferyczne. Pozostale dwa lustra, których zadaniem jest skierowanie wiazki swiatla wzdluz przedluzenia wiazki padajacej, umieszczone sa w sposób trwaly na kierunku wiazki padajacej.Zbiezna wiazka promieniowania elektromagnety¬ cznego pada na próbke, odbija sie od niej, a na¬ stepnie przez uklad czterech luster plaskich i jed¬ nego sferycznego jest kierowana wzdluz kierunku wiazki padajacej. 119 863119 863 Reflektometr wedlug wynalazku zapewnia zmiane kata padania bez zmiany polozenia detektora, po¬ nadto — ze wzgledu na zwarta i prosta konstruk¬ cje — .stwarza mozliwosc seryjnej produkcji jako elementu wyposazenia spektrofotometru.Wynalazek w przykladzie wykonania uwidocz¬ niony jest na rysunku, na którym fig. 1 przedsta¬ wia reflektometr w przekroju poziomym, fig. 2 — w przekroju pionowym, natomiast fig. 3 przedsta¬ wia schemat przestrzennego rozmieszczenia po¬ szczególnych czesci reflektometru.Reflektometr jsklada sie z 5 luster, w tym 4 pla- r skich M|7*ftjfs,-M4 iTM* oraz jednego sferycznego M*.? Próbka S i lustra plaskie Mi, M8 oraz lustro sfe¬ ryczne Mj sprzezone sa jedna osia geometryczna.Próbka.S i lustro Mi znajduja sie na wspólnej osi ¦ S—Mj. Lustra Mt i Mi sa ze soba sprzezone i po¬ ruszaja sie po tej samej powierzchni cylindrycznej.Osie S—Ms i Mi—M2 sa ze soba sprzezone mecha¬ nicznie tak, ze predkosci katowej co osi S-^MS. od¬ powiada predkosc katowa 2 co osi Mi—M2. Takie sprzezenie osiagnieto za pomoca kól zebatych o przekladni 1:2. Lustra M4 i M* sa zamocowane na trwale na podstawie spektrofotometru. W dwu- wiazkowym spektrofotometrze, reflektometr nalezy umieszczac tak, by rzeczywisty obraz zródla swia¬ tla promieniowania znajdowal sie na próbce S.W jednowiazkowym spektrofotometrze reflekto¬ metr nalezy umieszczac za monochromatorem i u- kladem optycznym, ogniskujacym szczeline wyj¬ sciowa monochromatora na próbce S. Obraz zró¬ dla swiatla promieniowania badz szczeliny wyjscio¬ wej monochromatora, znajduje sie na próbce S.Stad za pomoca lustra sferycznego M2 i luster plaskich Mi, Ms, M4 jest przenoszony do punktu P.Plaskie lustro M* zapewnia dalszy bieg wiazki.Wiazka wychodzaca z reflektometru jest prze¬ dluzeniem wiazki wchodzacej. Os obrotu próbki S m 15 25 30 35 i lustra plaskiego Ms (S—Ms) pokrywa sie z osia obrotu polaczonych na trwale luster Mi i M8. Lu¬ stra Mi i M2 poruszaja sie po powierzchni cylin¬ drycznej. Dla przykladu, dla powierzchni cylin¬ drycznej o promieniu r = 60 milimetrów, ognisko¬ wa lustra Mj wynosi okolo 80 milimetrów. Srodki luster Mi i Ms sa 20 milimetrów ponizej srodka próbki S. Srodki luster M* i Mr sa odpowiednio nizej — 50 i 40 milimetrów. Srodek lustra M5 znaj¬ duje sie na wysokosci próbki S.Opisany uklad mozna miniaturyzowac zmieniajac proporcjonalnie podane wyzej parametry.Zastrzezenia patentowe 1. Reflektometr, sluzacy do mierzenia promienio¬ wania elektromagnetycznego, odbitego przez bada¬ na próbke, przy zmiennym kacie padania, znamien¬ ny tym, ze sklada sie z czterech luster plaskich (Mi, Ms, M4, M5) i jednego lustra sferycznego (Ms), przy czym dwa lustra plaskie (Mi, M5) i lustro sfe¬ ryczne (M2) oraz badana próbka (S), zmieszczone sa na jednej geometrycznej osi, która stanowia dwie sprzegniete ze soba mechanicznie, korzystnie za pomoca kól zebatych o przekladni 1 :2 osie, to jest os (S—M8), kie (Ms) i próbka (S) oraz os umieszczone jest lustro plaskie (Mi) i lustro sfery¬ czne (M2), które to lustra przymocowane sa do ra¬ mion osi, o równej wielkosci i poruszaja sie po tej samejf powierzchni cylindrycznej, natomiast dwa pozostale lustra plaskie (M4 i M5) umieszczone sa w sposób trwaly na kierunku wiazki padajacej. 2. Reflektometr wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze predkosc katowa obrotu osi (Mi—Ms) jest dwu¬ krotnie wyzsza od predkosci katowej obrotu osi (S—M8).Fig. 1110 863 Fig. 2 -os obrotu (S-M3) i (M,-M2) Fig. 3 PL