PL118006B2 - Method of manufacturing of conductive layers particularly designed for thick-layer hybrid microcircuitsja tolstoplenochnykh gibridnykh mikroskhem - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania warstw przewodzacych, zwlaszcza dla grubowarstwo¬ wych mikroukladów hybrydowych, jak np. gazowanych wskazników hybrydowych i grubowarstwowych termi- storów liniowych.Dotychczas znane sposoby wytwarzania warstw przewodzacych polegaja na sporzadzeniu mieszaniny elek- troizolacyjnych proszków szkiel olowiowo-borokizemowyeh,z ewentualnym dodatkiem proszku tlenku borowe¬ go lub równowaznej ilosci proszku kwasu borowego wzglednie innego zwiazku boru, z drobnodyspersyjnymi proszkami takich metali, ich tlenków, ich stopów, jak zloto, srebro, pallad, platyna, miedz, nikiel, kobalti glin.Mieszaniny te po dodaniu organicznych substancji nanosi sie na podloze ceramiczne lub szklane znanymi meto¬ dami, jak np. metoda sitodruku, natrysku, malowania.Tak naniesione warstwy suszy sie i wypala w temperatuize 600—900°C w zaleznosci od zastosowanego metalu, w wyniku czego tworzy sie warstwa przewodzaca przylegajaca w sposób trwaly do podloza, stanowiaca bezpostaciowa faze szklista, w której zawieszone sa czastki metali, tlenków metali, stopów metali.W pizypadku typowej pasty przewodzacej ilosc fazy szklistej wynosi do 45%. Warstwy wykonane z pasty zawierajacej proszki takich metali, ich tlenków, ich stopów, jak zloto, srebro, pallad i platyna wypala sie w po¬ wietrzu w temperaturze rzedu 800°C, natomiast warstwy wykonane z pasty zawierajacej proszki takich metali, ich tlenków, ich stopów jak miedz, nikiel, kobalt i glin wypala sie w temperatuize 600-1000°C w atmosferze ochronnej, tj. redukcyjnej lub obojetnej.Zasadnicza niedogodnoscia techniczno-uzytkowa tego sposobu wytwarzania warstw przewodzacychjest to, ze w przypadku stosowania jako skladniki przewodzace takich metali, ich tlenków, ich stopów jak miedz, nikiel i glin konieczne jest stosowanie w czasie wypalu atmosfery ochronnej, tj. redukcyjnej lub obojetnej. Dalsza niedogodnoscia jest to, ze dla uzyskania dyspersji mniejszej od 60 Mm skladnik przewodzacy musi byc poddawa¬ ny specjalnym zabiegom,jak np. mielenie, sedymentacja.Istota wynalazku polega na tym, ze jako skladnik przewodzacy pasty nanoszonej na podloze stosuje sie 30—90 czesci wagowych proszku fosforo-niklu, zawierajacego fosfor w ilosci 5—20 procent wagowych, otrzyma¬ nego z roztworu soH niklu przez redukcje podfosforynami metali alkalicznych przy pH=3—8.2 118006 Zasadnicza korzyscia techniczno-uzytkowa wynikajaca ze stosowania sposobu wytwarzania wedlug wyna¬ lazku jest mozliwosc wypalania warstw w atmosferze utleniajacej. Nastepna korzyscia jest mozliwosc wypalu w nizszych temperaturach, a mianowicie w zakresie 450—700°C. Kolejna korzysc wynika z latwosci otrzymywa¬ nia proszku fosforo-niklu o uziarnieniu odpowiednim do zastosowania w pascie.Przedmiot wynalazku przedstawionyjest w przykladach wykonania.Przyklad I. 50 czesci wagowych proszku fosforo-niklu, zawierajacego fosfor w ilosci 9 procent wagowych, otrzymanego z roztworu siarczanu niklowego przez redukcje podfosforynem sodowym przy pH = 5,6 w temperaturze 95°C, oraz 40 czesci wagowych proszku szkla olowiowo-borokrzemowego o uziarnieniu ponizej 10/im i 17 czesci wagowych proszku kwasu borowego poddaje sie mieleniu w mlynie kulowym przez kilka godzin dla rozdrobnienia i wymieszania. Nastepnie do 75 czesci wagowych tak otrzymanej mieszaniny dodaje sie 25 czesci wagowych nosnika skladajacego sie z 92 procent wagowych terpineolu i 8 procent wagowych etyloce¬ lulozy, po czym dokladnie miesza sie. Tak otrzymana paste nanosi sie w znany sposób, np. metoda sitodruku na podloze ceramiczne lub szklane, po czym suszy sie przez 10 minut w temperaturze 130°C, a nastepnie wypala w temperaturze 600°C przez 10 minut. Otrzymuje sie warstwe przewodzaca o rezystancji na kwadrat Rn=100mfi/n.Przyklad II. 40 czesci wagowych proszku fosforo-niklu, zawierajacego fosfor w ilosci 16 procent wagowych, otrzymanego z roztworu siarczanu niklowego przez redukcje podfosforynem sodowym przy pH = 3 w temperaturze 95°C, oraz 50 czesci wagowych proszku szkla olowiowo-borokrzemowego o uziarnieniu ponizej 10/im i 17 czesci wagowych proszku kwasu borowego poddaje sie mieleniu w mlynie kulowym przez kilka godzin dla rozdrobnienia i wymieszania. Nastepnie postepuje sie jak w przykladzie I. Otrzymuje sie grubowar¬ stwowy terrrristor liniowy o wartosci wspólczynnika zmian rezystancji a = +0,4%/°C i rezystancji na kwadrat Rq = lOft/D.Zastrzezenie patentowe Sposób wytwarzania warstw przewodzacych, zwlaszcza dla grubowarstwowych mikroukladów hybrydo¬ wych, polegajacy na nanoszeniu na podloze pasty skladajacej sie z nosnika oraz z proszku stanowiacego miesza¬ nine skladnika przewodzacego i skladników izolacyjnych, przy czymjako skladnik izolacyjny stosuje sie 70-10 czesci wagowych proszku szkla olowiowo^boro-krzemowego i 10—40 czesci wagowych proszku tlenku borowego lub równowaznej ilosci proszku kwasu borowego, wzglednie innego zwiazku boru, a nastepnie poddawaniu jej procesowi obróbki termicznej w powietrzu, w temperaturze 550—800° C, znamienny tym, ze jako skla¬ dnik przewodzacy stosuje sie 30—90 czesci wagowych proszku fosforo-niklu zawierajacego fosfor w ilosci 5—20 procent wagowych, otrzymanego z roztworu soli niklu przez redukcje podfosforynami metali alkalicznych przy pH = 3-8.Prac. Poligraf.UP PRL. Naklad 120 egz.Cena 100 zl PL

Claims (3)

1. Zastrzezenie patentowe

2. Sposób wytwarzania warstw przewodzacych, zwlaszcza dla grubowarstwowych mikroukladów hybrydo¬ wych, polegajacy na nanoszeniu na podloze pasty skladajacej sie z nosnika oraz z proszku stanowiacego miesza¬ nine skladnika przewodzacego i skladników izolacyjnych, przy czymjako skladnik izolacyjny stosuje sie 70-10 czesci wagowych proszku szkla olowiowo^boro-krzemowego i 10—40 czesci wagowych proszku tlenku borowego lub równowaznej ilosci proszku kwasu borowego, wzglednie innego zwiazku boru, a nastepnie poddawaniu jej procesowi obróbki termicznej w powietrzu, w temperaturze 550—800° C, znamienny tym, ze jako skla¬ dnik przewodzacy stosuje sie 30—90 czesci wagowych proszku fosforo-niklu zawierajacego fosfor w ilosci 5—20 procent wagowych, otrzymanego z roztworu soli niklu przez redukcje podfosforynami metali alkalicznych przy pH =

3. -8. Prac. Poligraf.UP PRL. Naklad 120 egz. Cena 100 zl PL