Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do jonowego trawienia powierzchni próbek metalicznych i dielektrycznych. Urzadzenie ma zastosowanie w technice jonowej, tak w badaniach laboratoryjnych, jak równiez w produkcji przemyslowej, szczególnie tam, gdzie chodzi o uzyskanie powierzchni np. gladkich, czystych, nieuszkodzonych, zbieranie warstwy powierzchniowej o znacznej grubosci, uzyskiwanie dostepu do obszarów w glebi materialu próbki, ujawnienie struktury materialu próbki.Z publikacji: J. Appl. Phys. 4111 /l970/4740, znanejest urzadzenie dojonowego trawienia powierzchni próbek. Sklada sie ono ze zbiornika prózniowego, zespolu dwóch zródel jonowych, ruchomego stolika manipulacyjnego, na którym umieszczona jest próbka, oraz dwóch silników elektrycznych nadajacych odpowiedni ruch na próbce. Stolik manipulacyjny, umieszczony w zbiorniku prózniowym, jest tak skons¬ truowany, ze umozliwia jonowe trawienie próbki, pod odpowiednio dobranym katem 8 w trakcie procesu próbka moze podlegac ruchowi zlozonemu z obrotowego i posuwisto-zwrotnego. Zapewniajatodwa silniki, kazdy z nich odpowiedzialny jest za jeden rodzaj ruchu. Silniki umieszczone sa równiez wewnatrz zbiornika prózniowego. Zastosowane zródlo jonowe jest jedno lub wielootwprowa wyrzutnia jarzeniowa z wnekowa anoda, zamocowane na scianie bocznej zbiornika. Proces trawienia przebiega w ten sposób, ze wiazka jonowa wytworzona w zródle pada na obracajaca sie i przesuwajaca ruchem posuwisto-zwrotnym próbke, powodujac trawienie jej powierzchni.Znane urzadzenie jest skomplikowane, szczególnie jesli chodzi o konstrukcje mechaniczna stolika manipulacyjnego. Wymaga to zastosowania, trudno dostepnych na rynku krajowym, malogabarytowych, ale o znacznym momencie obrotowym, silników elektrycznych, nadajacych sie do pracy w warunkach prózniowych, z duza niezawodnoscia.Wynalazek dotyczy urzadzenia do jonowego trawienia powierzchni skladajacego sie ze zbiornika prózniowego, zródla jonowego i silnika wraz ze stolikiem manipulacyjnym.Istota wynalazku polega na tym, ze zródlojonowe, zamocowane na zbiorniku prózniowym ma otwory umieszczone w jednej linii, na glównej srednicy krazka katodowego, stolik manipulacyjny jest oddzielnym podzespolem, zas silnik umieszczony jest na zewnatrz zbiornika prózniowego, przymocowany jest za posrednictwem pierscienia uszczelniajacego do sciany bocznej zbiornika. Walek napedowy silnika wprowa¬ dzony do wnetrza zbiornika prózniowego przez obrotowy przepust prózniowy, sprzezonyjest bezposrednio ze stolikiem manipulacyjnym. Stolik ten wykonuje ruch zlozony z obrotowego i posuwisto-zwrotnego, przy czym amplituda tego drugiego ruchu musi byc równa odleglosci miedzyposzczególnymi otworamiwkrazku katodowym. Zmiany kata 6 padania wiazki jonowej na powierzchnie próbki, umieszczonej na stoliku,2 116395 dokonuje sie przez obrót silnika wokól jego osi, poslugujac sie przy tym skala katowa umieszczona na obwodzie silnika. Napedowy walek wyposazony jest w napedowe kólko napedzajace stolik wraz z próbka, przy czym stolik zamocowanyjest obrotowo w korpusie, natomiast wodzaca tuleja ma na swojej zewnetrznej powierzchni wykonany rowek wspólpracujacy* wodzikiem. Tulejasprzezonajest z korpusem umieszczonym przesuwnie na prowadzacym walku. ^ Urzadzenie wedlug wynalazku jest bardzo proste konstrukcyjnie. Pozwala na latwa obsluge, montaz i demontaz, co jest niezwykle wazne przy czestej zmianie trawionych próbek. Zastosowanie tylko jednego silnika napedzajacego stolik manipulacyjny, umieszczonego na zewnatrz zbiornika prózniowego, oraz wyposazona juz prosta konstrukcja decyduja o duzej niezawodnosci omawianego urzadzenia. Szczególnie istotne, z punktu widzenia niezawodnosci jest umieszczenie silnika na zewnatrz zbiornika prózniowego.Dzieki temu silnik pracuje w normalnych warunkach cisnienia, wilgotnoscij temperatury.Przedmiot wynalazku jest pokazany w przykladzie wykonania na rysunku, który przedstawia urzadze¬ nie do jonowego trawienia powierzchni próbek.Przykladowe rozwiazanie urzadzenia wedlug wynalazku przeznaczone jest do jonowego trawienia próbek o srednicy okolo 10 mm, zarówno metalicznych jak i dielektrycznych. Sklada sie ono z jonowego zródla 1 z wnekowa anoda, zamocowanego przez gumowa uszczelke 2 do prózniowego zbiornika 3. Silnik 4 znajdujacy sie na zewnatrz prózniowego zbiornika 3, przymocowany jest do jego sciany bocznej przez uszczelniajacy pierscien 5 i sprzezony mechanicznie ze stolikiem manipulacyjnym umieszczonym w próznio¬ wym zbiorniku 3. Stolik manipulacyjny jest podzespolem zlozonym z napedowego walka 6, wodzika 7, zabezpieczajacych pierscieni 8, stolika 9, napedowego kólka 10, wodzacej tulei 11, korpusu 12 stolika i prowadzacego walka 13. Silnik 4 ijonowe zródlo 1 umocowane sa na zbiorniku prózniowym 3pod katem 90° wzgledem siebie, w taki sposób by punkty przeciecia sie osi wszystkich otworów katodowego krazka 14 z glówna osia silnika 4 znajdowaly sie na powierzchni próbki 15 umieszczonej na stoliku 9.Ruch obrotowy napedowego walka 6 zostaje przekazany przez wodzaca tuleje 11 i napedowe kólko 10, na stolik 9. Zastosowanie zakonczenia wielowypustowego na napedowym walku 6 oraz odpowiadajacego mu gniazda w wodzacej tulei 11, z mozliwoscia swobodnego, wzdluznego przesuwania obu czesci wzgledem siebie, umozliwia przekazywanie stolikowi równiez drugiego ruchu o charakterze posuwisto-zwrotnym.Uzyskuje sie go dzieki sprzezeniu wodzika 7 z wodzaca tuleja 11. Sprzezenie to powoduje,ze w trakcie obrotu napedowego walka 6, stolik 9 wraz z calym zespolem skladajacym sie z wodzacej tulei 11, kólka napedowego 10, korpusu 12 stolika, wykonuje ruch posuwisto-zwrotny, przesuwajac sie na walku prowadzacym 13.Próbka 15 porusza sie ruchem zlozonym z obrotowego i posuwisto-zwrotnego. Dzieki temu wiazka jonowa padajaca z jonowego zródla 1 bombarduje cala powierzchnie próbki 15, powodujac jednorodne trawienie jonowe tej powierzchni.Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do jonowego trawienia powierzchni skladajace sie ze zbiornika prózniowego wyposazo¬ nego wjonowe zródlo i silnika ze stolikiem manipulacyjnym, znamienne tym, zejonowe zródlo (l)maotwory wykonane wjednej linii na glównej srednicy katodowego krazka (14) a napedowy silnik (4) usytuowanyjest na zewnatrz prózniowego zbiornika (3) i sprzezony jest ze stolikiem manipulacyjnym umieszczonym wew¬ natrz prózniowego zbiornika (3) za pomoca napedowego walka (6) i wodzacej tulei (11). 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze napedowy walek (6) wyposazony jest w napedowe kólko (10), napedzajace stolik (9) umocowany obrotowo w korpusie (12). 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, zaamieniie tym, ze wodzaca tuleja (11) ma na zewnetrznej powierzchni wykonany prowadzacy rowek wspólpracujacy zwodzikiem (7), a korpus (12)umieszczonyjestprzesuwniena prowadzacym walku (13).114 395 PL