NO874410L - Innretning for understoettelse av metallisk mikrofilterfolie. - Google Patents
Innretning for understoettelse av metallisk mikrofilterfolie. Download PDFInfo
- Publication number
- NO874410L NO874410L NO874410A NO874410A NO874410L NO 874410 L NO874410 L NO 874410L NO 874410 A NO874410 A NO 874410A NO 874410 A NO874410 A NO 874410A NO 874410 L NO874410 L NO 874410L
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- layer
- foil
- microfilter
- elevations
- contact points
- Prior art date
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 35
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 6
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 235000001674 Agaricus brunnescens Nutrition 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000009295 crossflow filtration Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000012065 filter cake Substances 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0069—Inorganic membrane manufacture by deposition from the liquid phase, e.g. electrochemical deposition
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
- B01D29/012—Making filtering elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
- B01D29/05—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements supported
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/111—Making filtering elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/13—Supported filter elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0053—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
- B01D67/006—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods
- B01D67/0062—Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods by micromachining techniques, e.g. using masking and etching steps, photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/10—Supported membranes; Membrane supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
- B01D2325/26—Electrical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/88—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices
- B01D29/94—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for discharging the filter cake, e.g. chutes
- B01D29/945—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for discharging the filter cake, e.g. chutes for continuously discharging concentrated liquid
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12479—Porous [e.g., foamed, spongy, cracked, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
Oppfinnelsen angår en innretning for understøttelse av metallisk mikrofilterfolie ifølge kravenes innledning.
Slike mikrofilterfolier er såkalte overflate- eller silfiltre som egner seg som filtermedium for tverrstrømfilt-rering. Da det ved disse fremgangsmåter ikke avsettes filter-kaker på filtermediet, er en kontinuerlig filtrering mulig. Denne mikrofilterfolies porer kan være mindre enn bakterier hvis cellestørrelse er minst 0,2 mikrometer. Derfor er en kontinuerlig avkimingsfiltrering mulig.
En fordelaktige fremgangsmåte for fremstilling av slike mikrofilterfolier beskrives eksempelvis i CH-søknad 02 945/86. Ifølge denne benyttes en modifisert fotolitografisk fremgangsmåte. Ved bruk av en laser hvormed et interferens-mønster frembringes, oppnås et lysømfintlig lakkskikt med en rasterliknende overflatestruktur. To ytterligere bearbeid-ningsfaser, eksempelvis katodisk forstøvning og polering, fører til en tynn, regelmessig perforert metallhud.
Folien kan eksempelvis bestå av gull, nikkel eller titan eller av en legering, eksempelvis av gull og palladium.
Slike mikrofilterfolier er meget ømfintlige konstruk-sjoner og det er derfor nødvendig å forsterke disse med en støttestruktur før de legges på en filterholder og innsettes i en filtreringsanordning.
Oppfinnelsens mål er å utforme en understøttelse for mikrofilterfolier som gjør en stor flate av mikrofilterfolien gjennomtrengbar og allikevel er ytterst stabil.
Denne oppgave løses ved hjelp av de i kravenes karak-teriserende deler anførte trekk.
For fremstillingen av den galvanoplastiske forsterk-ning prepareres konstruksjonen til en elektrode (katode).
Med utgangspunkt eksempelvis i en mikrofilterfolie slik den er beskrevet i den forannevnte sveitsiske patentsøk-nad 02 945/86, befinner den fremstile mikrofilterfolie seg på et substrat, eksempelvis en glassplate, idet lysømfintlig lakk befinner seg mellom glassplaten og folien. Derved kan et sjikt med ledende lakk som inneholder fint fordelte metall-partikler, pålegges mikrofilterfoliens overflate. Deretter kan den med ledende lakk forsterkede mikrofilterfolie fjernes fra glassplaten ved å la et løsningsmiddel som selektivt kun oppløser den lysømfintlige lakk, men ikke den ledende lakk, diffundere gjennom det porøse ledende lakksjikt. Et slikt selektivt løsningsmiddel er eksempelvis den lysømfintlige lakks fremkallerløsning.
Etter oppløsningen av den lysømfintlige lakk kan mikrofilterfolien overføres til en metallisk, galvanisk bærer ved at denne legges på mikrofilterfolien som fremdeles befinner seg på glassplaten. Glassplaten trekkes bort i lengderet-ningen og mikrof ilterf olien befinner seg nå med den oppad rettede, frittliggende bakside, på den galvaniske bærer.
På denne måte kan mikrofilterfolien suges og fikseres til den galvaniske bærer med vakuum slik at folien ligger glatt an mot den galvaniske bærers overflate.
Deretter kan mikrofilterfoliens frilagte bakside for fremstilling av et første sjikt, belegges med en lysøm-fintlig lakk.
I dette lakksjikt frilegges flater som ved den galvaniske belegging gir kontaktstedene på hvilke det første sjikt setter seg på mikrofilterfolien.
For fremstillingen av kontaktstedmønsteret kan det benyttes en tilsvarende preparert maske. Masken kan bestå av en glassplate hvis overflate på bestemte steder er dekket med et ikke-lysgjennomtrengelig sjikt, eksempelvis av krom.
Etter belysning fremkalles platen på kjent måte, idet fotolakken oppløses på de belyste steder som tilsvarer kontakt s tedene.
Deretter kan den galvanoplastiske fremgangsmåte begyn-ne, idet det eksempelvis kan benyttes gull som sjiktmateriale.
På kontaktstedene konsentreres materialet og vokser, avhengig av belysningstiden til forhøyelser som kan ha søyle-og/eller stegform og som i den øvre del kan trenge noe ut over kontaktstedenes konturer.
Dersom første og andre sjikt skal fremstilles ved en fremstillingsmetode i ett trinn, velges en så lang belys-ningstid at naboforhøyninger vokser sammen og således frembringer en plan sammenhengende struktur. Imidlertid må den galvaniske besjiktning avbrytes så lenge det mellom forhøyn- ingene opprettholdes poreformede åpninger, idet disse porer i understøttelsesstrukturen, skal være vesentlig større enn mikrofilterfoliens mikroporer.
Kontaktstedene som ikke skal dekke mer enn 20% av mikrofilterfolien kan være isolerte flekker eller sammenhengende striper. Med et kontaktstedmønster som består av flekker, kan en mer porøs understøttelsesstruktur frembringes enn ved stripe- eller nettmønster. Med et nettmønster kan det imidlertid oppnås en større strekkfasthet. En kombinasjon av begge varianter er derfor spesielt fordelaktig.
Ved en ytterligere fordelaktig fremstillingsmåte frembringes første og andre sjikt i to operasjoner.
Det første sjikt fremstilles på tilsvarende måte som den foran beskrevne fremgangsmåte. Således dampes metall, eksempelvis gull, på dette sjikt og hele flaten gjøres på denne måte elektrisk ledende. Deretter foregår en andre påleg-ging av lakk og en belysning gjennom en maske samt en fremkalling. Herunder frilegges de flater hvorpå det andre sjikt skal pålegges. De flater som senere skal danne makroporer er dekket av et f otolakks j ikt. Nå kan det andre sjikt frembringes galvanisk. På fordelaktig måte kan sjiktet bestå av gull og danne kontaktsteder hvor sluttelig en bærestruktur kan anbringes ved diffusjonssveising.
Oppfinnelsen beskrives i det følgende i sammenheng med på tegningen viste utførelser, hvor fig. 1 viser et grunnriss av en med belyst fotolakk dekket mikrofilterfolie etter fremkalling, fig. lb viser en mikrofilterfolie etter fremstillingen av støttestrukturen med to sjikt, fig. lc viser en mikrofilterfolie med støttestrukturens to sjikt i tverrsnitt, fig. 2, 3, 4a og 5a viser ulike ut førelsesvarianter i grunnriss og fig. 4b og 5b i tverrsnitt, en ytterligere utførelse av en støttestruktur med to sjikt er vist i grunnriss mot det øvre andre sjikt i fig. 6a, fig. 6b viser et grunnriss mot det nedre første sjikt, og fig. 6c viser et tverrsnitt gjennom mikrofilterfolien med støttestrukturen.
Ifølge fig. la har det lysømfintlige lakksjikt 1 heksagonalt anordnede, sirkelformede kontaktsteder 2 over mikrofilterfolien 3, etter maskebelysningen. Etter et tilsvar ende tidsintervall med galvanoplastisk belysning er det over og nær kontaktstedene utformet soppformede enkelte forhøyning-er 4 på stammer 5. Mellom enkelte forhøyningene 4 foreligger åpne porer 6 (fig. lb og lc). Herved danner stammene det første sjikt b og sopphattene 4 det andre sjikt a.
Etter ferdigstilling av støttestrukturen kan fotolakk-sjiktet oppløses på vanlig måte.
Det på fig. 2 viste utsnitt av en ytterligere utfør-else viser en nettformet utforming av kontaktstriper 7, idet det etter avslutning av den galvanoplastiske fremgangsmåte har dannet seg stegformede forhøyninger 8 som strekker seg sideveis over stripenes konturer. De på denne måte dannede porer 9 er herved anordnet i et parkettliknende mønster.
Fig. 3 viser et utsnitt av en utførelse hvor det foreligger både nettformede kontaktstriper 10 og mellom disse ortogonalt anordnede, sirkelformede kontaktsteder 11. Ved oppbyggingen av det galvanoplastiske sjikt oppstår sammenhengende sopper 12 som likeledes henger sammen med kontaktstrip-enes 10 stegformede forhøyninger 13. Mellom disse oppstår åpne porer 14.
Den på fig. 4a og 4b viste utførelse adskiller seg fra fig. 3 ved at store kontaktsteder 15 foreligger ved nettets knutepunkter og gir soppformede forhøyninger 16 som er høyere enn de omliggende forhøyninger 12 og 13. De element-er som stemmer overens med fig. 3 har samme henvisningstall.
Denne utførelse medfører muligheten til å forbinde støttestrukturen med to sjikt ved hjelp av diffusjonssveising i forhøyningene 16, med en ikke vist bærestruktur.
Den på fig. 5a og 5b viste utførelse adskiller seg fra fig. 4a og 4b ved at kontaktstedene 17 på nettets knutepunkter er ringformede, noe som frembringer en torusformet forhøyning 18. Dette muliggjør feste av støttestrukturen med en ikke vist filterbærer ved hjelp av et loddemiddel. Med dette formål kan loddemidlet i pastaform pålegges knute-punktene ved hjelp av sikttrykk.
Ved lodding holdes det smeltede loddemiddel fanget i torusen 18. På denne måte hindres at mikrofilterfoliens mikroporer lukkes av bortstrømmende loddemiddel i loddesteden-
es omgivelse.
Den på fig. 6a-c viste utførelse av en støttestruktur fremstilles i en fremgangsmåte i to trinn.
Fig. 6a-c viser i grunnriss et andre sjikt c, hhv. et første sjikt d og en mikrofolie 20 med påsatt støttestruk-tur c, d med to sjikt-. Utformingen av det øvre sjikt c fremstilles ved hjelp av en maske med tilsvarende mønster. Det metalliske sjikt 21 har makroporer 22 over mikrofilmen 20. Disse gjennomgangsåpninger for filtratet kan være relativt store, uavhengig av den sjikts d beskaffenhet. Dette er fordelaktig da det ved bruk av et kostbart, eksempelvis gull, kan innspares materiale i forhold til de på fig. la-5b viste utførelser.
Ved denne utførelse er kontaktstedene 23 i sjiktet c innrettet for feste av en ikke vist bærestruktur. Bærestrukturen har spissformede forhøyninger som er anordnet nøyaktig passende til kontaktstedene 23. Forbindelsen mellom mikrofilterfoliens støttestrukturen og bærestrukturen skal foregå med diffusjonssveising. I foreliggende tilfelle er kontaktstedene 23 utformet som rosetter, idet smale metalliske steg 24 er anordnet mellom rosettbladene og vender mot rosettens midtpunkt. Denne utforming har den fordel at de ved diffusjonssveising nødvendige høye trykk kan frembringes med relativt små krefter på grunn av den lille berøringsflate mellom stegene 24 og bærestrukturens spisser.
En ytterligere fordel består i at en slik bærestruk-turs spisser ikke må være nøyaktig like høye. Slike spissers høydeforskjeller kan utliknes ved tidsparende deformasjon av stegene 24.
For tilpasning det øvre sjikts c mønster velges et tilsvarende maskemønster for fremstilling av det nedre sjikt d. Dette sjikt utformes slik at de søyleformede forhøyninger 25, 26 hvis øvre ender er noe utvidet i kontaktstedenes 23 område, er tettere enn i det øvrige område. For bedre forstå-else av den viste struktur er over hverandre liggende kon-struksjoner A' til A<1>", B" til B'" og C til C" angitt på fig. 6a til 6c.
Claims (11)
1. Innretning for understøttelse av en metallisk mikro-filmfolie, omfattende en galvanisk pålagt støttestruktur med åpne porer, som er vesentlig større enn mikrofilterfoliens mikroporer, KARAKTERISERT VED at støttestrukturen består av minst to porøse sjikt pålagt på mikrofilterfoliens bakside, og at det første sjikt som er pålagt direkte på mikrofilterfoliens bakside, består av enkelte forbindelseselementer som forbinder mikrofilterfolien med det andre sjikt, idet forbind-elseselementenes kontaktflater for størstedelen lar mikrofilterfolien udekket, og at det andre sjikt består av en sammenhengende struktur som frigjør makroporer.
2. Innretning ifølge krav 1, KARAKTERISERT VED at for-bindelseselementene som sjiktet består av, er deler av søyle-og/eller stegformede forhøyninger.
'3. Innretning ifølge krav 2, KARAKTERISERT VED at for-høyningene på deres øvre ender er utvidet til alle sider og er sammenvokset til en plan struktur med åpne makroporer og således danner andre sjikt.
4. Innretning ifølge krav 2, KARAKTERISERT VED at det andre sjikt for seg er brakt på det første sjikt, idet det andre sjikt danner en sømløs tverrforbindelse mellom forhøyn-ingenes øvre ender.
5. Innretning ifølge krav 4, KARAKTERISERT VED at det andre sjikt har.kontaktsteder for en ytterligere bærestruktur.
6. Innretning ifølge krav 5, KARAKTERISERT VED at det første sjikts forhøyninger er anordnet tettere ved kontaktstedene enn i det øvrige område.
7. Innretning ifølge krav 5, KARAKTERISERT VED at det andre sjikt har smale, mot kontaktstedenes midtpunkt rettede steg i kontaktstedenes områder.
8. Innretning ifølge krav 2, KARAKTERISERT VED at kontaktstedene i det første sjikt er anordnet lik et raster.
9. Innretning ifølge krav 3, KARAKTERISERT VED at det første sjikt omfatter et nett med stegformede forhøyninger og inne i nettets masker anordnede, søyleformede forhøyninger.
10. Innretning ifølge krav 9, KARAKTERISERT VED at forhøyninger er anordnet i nettets knutepunkter og har større dimensjoner enn de øvrige forhøyninger.
11. Innretning ifølge krav 9, KARAKTERISERT VED at torusformede forhøyninger befinner seg i nettets knutepunkter.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH422686 | 1986-10-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO874410D0 NO874410D0 (no) | 1987-10-22 |
NO874410L true NO874410L (no) | 1988-04-25 |
Family
ID=4272157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO874410A NO874410L (no) | 1986-10-23 | 1987-10-22 | Innretning for understoettelse av metallisk mikrofilterfolie. |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4812236A (no) |
EP (1) | EP0264594B1 (no) |
JP (1) | JPS63107705A (no) |
AT (1) | ATE71558T1 (no) |
DE (1) | DE3776068D1 (no) |
DK (1) | DK441587A (no) |
FI (1) | FI874241A (no) |
NO (1) | NO874410L (no) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4977038A (en) * | 1989-04-14 | 1990-12-11 | Karl Sieradzki | Micro- and nano-porous metallic structures |
DE19521275A1 (de) | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche |
US6309546B1 (en) | 1997-01-10 | 2001-10-30 | Ellipsis Corporation | Micro and ultrafilters with controlled pore sizes and pore size distribution and methods for making |
US7141812B2 (en) * | 2002-06-05 | 2006-11-28 | Mikro Systems, Inc. | Devices, methods, and systems involving castings |
US7785098B1 (en) | 2001-06-05 | 2010-08-31 | Mikro Systems, Inc. | Systems for large area micro mechanical systems |
EP1404501B1 (en) * | 2001-06-05 | 2012-08-01 | Mikro Systems Inc. | Method and mold system for manufacturing three-dimensional devices |
DE10164214A1 (de) * | 2001-12-31 | 2003-07-31 | Schwerionenforsch Gmbh | Metallmembranfilter und Verfahren sowie Vorrichtung zur Herstellung desselben |
US7168266B2 (en) * | 2003-03-06 | 2007-01-30 | Lucent Technologies Inc. | Process for making crystalline structures having interconnected pores and high refractive index contrasts |
NL1024250C2 (nl) * | 2003-09-09 | 2005-03-10 | Fluxxion B V | Vervaardiging van een microzeef, en microzeef en inrichting met een microzeef. |
JP2006112888A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 分析用フィルタ |
WO2008024070A1 (en) * | 2006-08-22 | 2008-02-28 | Agency For Science, Technology And Research | Microfluidic filtration unit, device and methods thereof |
EP2559533B1 (en) | 2008-09-26 | 2020-04-15 | United Technologies Corporation | Casting |
US8813824B2 (en) | 2011-12-06 | 2014-08-26 | Mikro Systems, Inc. | Systems, devices, and/or methods for producing holes |
WO2017141609A1 (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 株式会社村田製作所 | 濾過フィルタ及び濾過フィルタデバイス |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2246380A (en) * | 1938-02-19 | 1941-06-17 | Edward O Norris Inc | Electrolytic method of producing screens |
US2271662A (en) * | 1939-01-17 | 1942-02-03 | Rubissow George Alexis | Filtering element and new method for its manufacture |
DE1202610B (de) * | 1960-10-29 | 1965-10-07 | W Kampschulte & Cie Dr | Verfahren zur galvanischen Herstellung poroeser Metallschichten |
US3264720A (en) * | 1964-09-11 | 1966-08-09 | Lambert H Mott | Porous metal articles of differential permeability |
NL7416897A (nl) * | 1974-12-27 | 1976-06-29 | Stork Brabant Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een geme- talliseerd zeefgaas, alsmede zeefgaas verkregen onder toepassing van deze werkwijze. |
US4575406A (en) * | 1984-07-23 | 1986-03-11 | Polaroid Corporation | Microporous filter |
-
1987
- 1987-08-24 DK DK441587A patent/DK441587A/da not_active Application Discontinuation
- 1987-08-29 EP EP87112644A patent/EP0264594B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-29 AT AT87112644T patent/ATE71558T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-08-29 DE DE8787112644T patent/DE3776068D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1987-09-28 FI FI874241A patent/FI874241A/fi not_active Application Discontinuation
- 1987-10-16 US US07/109,222 patent/US4812236A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-20 JP JP62265189A patent/JPS63107705A/ja active Pending
- 1987-10-22 NO NO874410A patent/NO874410L/no unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI874241A (fi) | 1988-04-24 |
JPS63107705A (ja) | 1988-05-12 |
DE3776068D1 (de) | 1992-02-27 |
DK441587D0 (da) | 1987-08-24 |
US4812236A (en) | 1989-03-14 |
EP0264594A2 (de) | 1988-04-27 |
DK441587A (da) | 1988-04-24 |
EP0264594A3 (en) | 1989-03-22 |
NO874410D0 (no) | 1987-10-22 |
ATE71558T1 (de) | 1992-02-15 |
FI874241A0 (fi) | 1987-09-28 |
EP0264594B1 (de) | 1992-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO874410L (no) | Innretning for understoettelse av metallisk mikrofilterfolie. | |
US4801379A (en) | Microfilter foil and method of producing same | |
US4772540A (en) | Manufacture of microsieves and the resulting microsieves | |
US4575406A (en) | Microporous filter | |
JPS63171603A (ja) | 穿孔を有する膜、該膜の製造方法及び一つ又はそれ以上の該膜を包含する分離装置 | |
KR101616573B1 (ko) | 종이 제조 공정 동안 이미지를 형성하기 위한 전기판 | |
US4379737A (en) | Method to make a built up area rotary printing screen | |
US3988153A (en) | Method of forming a thin film iris diaphragm for a corpuscular beam apparatus | |
EP0141335B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Röntgenmaske mit Metallträgerfolie | |
DE19536901A1 (de) | Verfahren zum Herstellen integrierter Elektroden in Kunststoff-Formen, Kunststoff-Formen mit integrierten Elektroden und deren Verwendung | |
US3342706A (en) | Method of constructing evaporation masks | |
JP5970561B2 (ja) | 印刷用サスペンドメタルマスク及びその製造方法 | |
JPH0647215A (ja) | フィルタ材料の製造方法 | |
US4427497A (en) | Method for making unitary, hollow structures | |
RU2363587C2 (ru) | Матрицы для гальванопластики трафаретных сеток и гальванопластическое устройство | |
US4490217A (en) | Method of making a stencil plate | |
EP0483662B1 (de) | Verfahren zur Herstellung freitragender Mikrostrukturen | |
JP2002025573A (ja) | 燃料電池用電極の製造方法 | |
EP1025286A1 (en) | Method of manufacturing a screen product, a skeleton for use in the method, and a product obtained in this way | |
JPH0625885A (ja) | ポーラス状電鋳成形型及びその製造方法 | |
CN100473508C (zh) | 筛网材料及其制造方法和应用 | |
JPH0145703B2 (no) | ||
JPS6159397B2 (no) | ||
JPS59123781A (ja) | 微細金属メツシユの製造方法 | |
Crahay et al. | Process and Apparatus for Manufacturing Thin Perforated Foils by Electroforming |