NL8500340A - Televisiekamerabuis. - Google Patents

Description

_ · *1 .i * PHN 11.270 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Televisiekanerabuis.

De uitvinding heeft betrekking op een televis iekamerabuis bevattende in een geëvakueerde omhulling een elektronenkanon voor het opwekken van tenminste een elektronenbundel die op een trefplaat voorzien van een fotogevoelige laag wordt gefokusseerd en over deze trefplaat 5 wordt af gebogen, vlak voor welke trefplaat een roos ter elektrode met zeshoekige openingen is aangebracht.

Een dergelijke televisiekanerabuis is bekend uit de Japanse Kokai 58-7752. In de daar beschreven buis is enkele millimeters voor de fotogevoelige laag een roosterelektrcde aangebracht. Het elektrische 10 veld tussen deze roosterelektrode en de fotogevoelige laag zorgt voor een nagenoeg loodrechte landing van de elektronenbundel overal op de fotogevoelige laag. Door het zeshoekig maken van de openingen in de roosterelektrode wordt de gevoeligheid voor Moiré-patronen, die ontstaan wanneer met een elektronenbundel een lijnenpatroon over de rooster-15 elektrode wordt geschreven, aanzienlijk verminderd. Het in de Japanse *·

Kokai 58-7752, die als hierin opgenomen kan worden beschpuwd, getoonde zeshoekig maken van de openingen heeft echter een verminderde elektronentransmissie vergeleken met de transmissie van de veelvuldig toegepaste roosterelektrode met vierkante openingen tot gevolg. Ter vermindering 20 van mikrofonie'verschijnselen in de buis wordt de roosterelektrode opgespannen. Daarbij wordt de maximaal optredende spanning beperkt door de trekvastheid van de roosterelektrode.

De uitvinding beoogt dan ook een televis iekamerabuis aan te geven waarbij de elektronentransmissie van de roosterelektrode tenminste 25 gelijk is'aan de elektronentransmissie van een gaas met vierkante openingen bij gelijkblijvende steek en spijlbreedte. De uitvinding beoogt tevens een televis iekamerabuis aan te geven met betere mikrofonie-eigenschappen.

Een televis iekamerabuis van de in de eerste alinea beschreven'

30 soort wordt volgens de uitvinding gekenmerkt, doordat de openingen in de roosterelektrode volgens een honingraatstructuur (zeshoekige openingen in een dichtste stapeling) zijn aangebracht, welke openingen de vorm van een BAD ORIGINAL

λ r λ λ « .

PHN 11.270 · 2 gelijkzijdige zeshoek met hoeken van 120° hebben. Bij gelijke spijl-breedte en steek is de transmissie van een roosterelektrode met honing-raatstructuur even groot als van een elektrode mét vierkante openingen. Zoals uit de figuren in de Japanse Kokai 58-7752 duidelijk wordt, heeft 5 de daar getoonde roosterelektrode twee onderling loodrechte richtingen . waarin de roosterelektrode het sterkst is, net als bij een rooster-elektrede net vierkante openingen. Bovendien sluiten de spijlen naast twee opeenvolgende openingen steeds aan elkaar aan. De roosterelektrode volgens de uitvinding heeft drie richtingen waarin de elektrode het 10 sterkst is. Bovendien liggen de spijlen die zich in één richting uitstrekken in eikaars verlengde maar sluiten niet aan elkaar aan. Daardoor wordt de mechanische spanning in de roosterelektrode beter verdeeld en kan dus hoger zijn, waardoor het mikrofoniegedrag beter wordt. Door de keuze van een hexagonaal patroon wordt een roosterelektrode met een 15 grote stevigheid verkregen. Een gaas met zeshoekige openingen volgens de uitvinding is daardoor veel beter op te spannen in een elektrode-houder, zonder dat daarbij het gaas scheurt. Door de grotere stevigheid zijn eventueel smallere spijlen en dus een grotere transmissie mogelijk.

Een zeer geschikt gaas voor toepassing in televisiekamerabuizen 20. wordt gekenmerkt doordat de openingen in de roosterelektrode met een steek tussen 10 en 50^um, bij voorkeur ongeveer 17^um, zijn/aangebracht en de breedte van de tussen de openingen gelegen spijlen 2 tot 6yUm, bij voorkeur ongeveer 4^um, bedraagt. De situatie steek 17yUm, spijlen 4^um korrespondeert met een transmissie van 60% bij 1500 lijnen per inch 25 (60 lijnen/itm). Het materiaal waaruit de roosterelektrode is vervaardigd is bij voorkeur een materiaal of legering uit de groep nikkel, koper, platina,, goud.

Een dergelijke roosterelektrode. kan worden verkregen mét een werkwijze bekend uit het Britse octrooischrift 2.063-299 dat als hierin 30 opgenemen kan worden beschouwd. Volgens deze werkwijze wordt een mal gebruikt, voorzien van een groevenpatroon, dat door middel van een foto-lithografische werkwijze in negatief van het gewenste patroon wordt aangebracht met een groef diepte in de mal, korresponderend met de gewenste elektrodedikte, waarin galvanoplastisch het gaas .wordt opgegroeid en van 35 de mal verwdjderd.

Een variant van deze bekende werkwijze gaat uit'van een mal van BAD1€Rf*lIGWllf^eri^ materiaal, met name kwartsglas, waarin het gewenste groevenpatroon door een RF-sputteretsproces wordt aangebracht. De bodem PHN 11.270 '3 · van de groeven wordt vervolgens met behulp van opgesputterd metallisch palladium, zilver of z ilver-palladium legeringen, dat respectievelijk die na aanbrengen wordt (en) weggewist en aldus alleen in de groeven achterblijft (en), elektrisch geleidend gemaakt. Vervolgens wordt 5 galvanoplastisch de elektrode opgegroeid en van de mal verwijderd.

Een elektrode met een honingraats tructuur is zoals gezegd steviger dan een elektrode met vierkante openingen bij gelijke spijl-breedte. Een elektrode met honingraatstruktuur is daardoor gemakkelijker van de mal te lossen ("strippen"), zelfs met dunnere spijlen, zonder . dat de elektrode scheurt.

Een andere variant van de bekende werkwijze gaat uit van een mal uit halfgeleidend materiaal en wel van een mohokristallijne silicium-plak. Hierop wordt door middel van een chemisch proces in de dampfase (CVD) een siliciumoxidelaag opgebracht. Vervolgens wordt met behulp van 15 een fotores istlaag fotolithograf isch door etsen met een fluorwaterstof-oplossing de silicium-oxidelaag tot een masker met een negatief van het gewenste groevenpatroon omgevormd. Via dit masker wordt nu met een kokende NaOH-oplossing het silicium tot een diepte van 5^um geëtst, waarna de elektrode in het verkregen malpatroon op dezelfde wijze als 20 bij de eerstgenoemde variant galvanoplastisch wordt gevormd en van de mal verwijderd. Deze werkwijze is echter tamelijk gekampliceerd en tijdrovend: voor iedere elektrode moet opnieuw in vacuo worden gesputterd en het overtollige metaal worden weggepoetst. Een aanzienlijk eenvoudiger uit het Amerikaanse octrooischrift 3.878.061, dat als hierin opgenomen 25 kan worden beschouwd, bekende werkwijze is de vervaardiging onder gebruikmaking van een mal, die meerdere malen gebruikt kan worden voor het opgroeien van een roosterelektrode, zonder dat de mal een tussentijdse behandeling moet ondergaan.. Daartoe zijn de groeven in de mal van niet elektrisch geleidende zijwanden en eèn elektrisch geleidende bodem 3Q voorzien.

De uitvinding wordt nu bij wijze van voorbeeld nader toegelicht aan de hand van een tekening, waarin figuur 1 een langsdcor snede van een televisiekamer abuis volgens de uitvinding laat zien, en 35 figuur 2 een deel van een roosterelektrode voer een televis iekamerabuis volgens figuur 1 met een honingraatstructuur toont.

De in figuur 1 in een langsdoorsnede geschetste televisie-BAD bevat een 9lazen omhulling 1, die aan één einde met een S ^ Λ ? /. Λ • PHN 11.270 · 4 glazen venster 2 voorzien van een trefplaat 3 is afgesloten. In de buis bevindt zich een elektronenkanon 4, waaraan via een aantal doorvoer-pennen 5 de gewenste elektrische spanningen kunnen worden toegevoerd. De binnenwand van de omhulling 1 is met een dunne nikkellaag 6 bedekt door g middel van een bekend procédé, zoals bijvoorbeeld stroomloos vernikkelen .. (electroless plating). De buis bevat verder een roosterelektrode 7 uit nikkel en een diafragma 8 met een opening 9, welke door een door het elektronenkanon 4 opgewekte elektronenbundel wordt gepasseerd alvorens op de fotogevoelige laag 3 te landen. De nikkellaag 6 is in de nabijheid 10 van de roosterelektrode 7 en het diafragma 8 in de omtreksrichting onderbroken, zodat deze laag in drie delen wordt gescheiden.' Elk van deze delen vormt een wandelektrcde die bijdraagt tot het vormen van een qua vorm en afmetingen gewenste tref vlek van de elektronenbundel qp de fotogevoelige laag 3. De in een draagring gespannen roosterelektrode 7 en 15 het diafragma 8 zijn door middel van bolletjes indium 10, 11 aan de van de draagvlakken af gekeerde zijden met de nikkellaag 6 mechanisch en elektrisch verbonden.

In figuur 2 is een deel van de roosterelektrode 7 met openingen 12 die volgens een boningraatstructuur zijn aangebracht. De openingen 12 20 hebben de vorm van gelijkzijdige zeshoeken met zijden van 16yUm met hoeken van 120°. De breedte b van de spijlen 13 is in dit geval 6^um en de openingen zijn met een steek van 34^um aangebracht zodat de transmissie 68% bedraagt. De dikte van de. spijlen is 4^um.

25 30 35

BAD ORIGINAL

Claims (2)

1. Tele vis iekarrerabuis bevattende in een geëvakueerde omhulling een elektronenkanon voor het opwekken van tenminste een elektronenbundel die op een trefplaat voorzien van een fotogevoelige laag wordt gefokus-seerd en over deze trefplaat wordt af gebogen, vlak voor welke trefplaat 5 een roosterelektrode met zeshoekige openingen is aangebracht, met het kenmerk, dat de openingen in de roosterelektrode volgens een honing-raatstructuur zijn aangebracht, welke openingen de vorm van een gelijkzijdige zeshoek met hoeken van 120° hebben.

2. Tele vis iekamerabuis volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat 10 de openingen in de roosterelektrode met een steek tussen 10 en 50^um zijn' aangebracht en de breedte van de tussen de openingen gelegen spijlen 2 tot 6^um bedraagt. 15 20 / 25 30 · 35 i’ys’Tfio