NL7902518A - Werkwijze en inrichting voor het langs elektronische weg weergeven van de potentiaalverdeling in een elek- tronische bouwsteen, alsook een inrichting voor het toepassen van een dergelijke werkwijze. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het langs elektronische weg weergeven van de potentiaalverdeling in een elek- tronische bouwsteen, alsook een inrichting voor het toepassen van een dergelijke werkwijze.

Info

Publication number
NL7902518A
NL7902518A NL7902518A NL7902518A NL7902518A NL 7902518 A NL7902518 A NL 7902518A NL 7902518 A NL7902518 A NL 7902518A NL 7902518 A NL7902518 A NL 7902518A NL 7902518 A NL7902518 A NL 7902518A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electronic
well
application
building block
potential distribution
Prior art date
Application number
NL7902518A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7902518A publication Critical patent/NL7902518A/xx

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R13/00—Arrangements for displaying electric variables or waveforms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
NL7902518A 1978-03-31 1979-03-30 Werkwijze en inrichting voor het langs elektronische weg weergeven van de potentiaalverdeling in een elek- tronische bouwsteen, alsook een inrichting voor het toepassen van een dergelijke werkwijze. NL7902518A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19782813948 DE2813948A1 (de) 1978-03-31 1978-03-31 Verfahren zur elektronischen abbildung der potentialverteilung in einem elektronischen bauelement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7902518A true NL7902518A (nl) 1979-10-02

Family

ID=6035858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7902518A NL7902518A (nl) 1978-03-31 1979-03-30 Werkwijze en inrichting voor het langs elektronische weg weergeven van de potentiaalverdeling in een elek- tronische bouwsteen, alsook een inrichting voor het toepassen van een dergelijke werkwijze.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4223220A (de)
JP (1) JPS54134571A (de)
DE (1) DE2813948A1 (de)
GB (1) GB2017940B (de)
NL (1) NL7902518A (de)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2903077C2 (de) * 1979-01-26 1986-07-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur berührungslosen Potentialmessung an einem elektronischen Bauelement und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
DE3036713A1 (de) * 1980-09-29 1982-05-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und anordnung zur quantitativen potentialmessung an oberflaechenwellenfiltern
DE3036660A1 (de) * 1980-09-29 1982-05-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Anordnung fuer stroboskopische potentialmessungen mit einem elektronenstrahl-messgeraet
DE3110140A1 (de) * 1981-03-16 1982-09-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung und verfahren fuer eine rasche interne logikpruefung an integrierten schaltungen
DE3110138A1 (de) * 1981-03-16 1982-09-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur darstellung logischer zustandsaenderungen mehrerer benachbarter schaltungsknoten in integrierten schaltungen in einem logikbild mittels einer gepulsten elektronensonde
DE3110139A1 (de) * 1981-03-16 1982-09-23 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Selektives logikbild von informationsgruppen auf mehreren zusammengehoerenden knoten einer integrierten schaltung
DE3138992A1 (de) * 1981-09-30 1983-04-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Abtastverfahren zur schnellen potentialbestimmung inder elektronenstrahl-messtechnik
DE3375438D1 (en) * 1982-03-01 1988-02-25 Toshiba Kk Stroboscopic scanning electron microscope
DE3227426A1 (de) * 1982-07-22 1984-01-26 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ablenkstruktur fuer ein korpuskularstrahl-austastsystem und verfahren zu seinem betrieb
JPS5931549A (ja) * 1982-08-13 1984-02-20 Hitachi Ltd ストロボ走査形電子顕微鏡の像表示装置
DE3235100A1 (de) * 1982-09-22 1984-03-22 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur messung elektrischer potentiale an vergrabener festkoerpersubstanz
DE3235484A1 (de) * 1982-09-24 1984-03-29 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur unterdrueckung einer stoerung bei der messung von signalverlaeufen mit einer korpuskularsonde und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens
DE3235700A1 (de) * 1982-09-27 1984-03-29 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur aufzeichnung von signalverlaeufen an einer zyklisch betriebenen probe in abhaengigkeit von einem sporadisch auftretenen ereignis
DE3335623A1 (de) * 1983-09-30 1985-04-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung einer kohlenstoff enthaltenden schicht, kohlenstoff enthaltende schicht, verwendung einer kohlenstoff enthaltenden schicht und vorrichtung zur durchfuehrung eines verfahrens zur herstellung einer kohlenstoff enthaltenden schicht
DE3407041A1 (de) * 1984-02-27 1985-09-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur automatischen einstellung des arbeitspunktes bei signalverlaufsmessungen mit korpuskularstrahl-messgeraeten
EP0166814B1 (de) * 1984-05-30 1990-07-18 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zur Detektion und Abbildung eines Messpunkts, der eine Spannung wenigstens einer bestimmten Frequenz führt
DE3519401A1 (de) * 1984-05-30 1985-12-05 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur detektion und abbildung eines punktes einer probe, der ein signal wenigstens einer bestimmten frequenz fuehrt
DE3428965A1 (de) * 1984-08-06 1986-02-06 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und vorrichtung zur detektion und abbildung von messpunkten, die einen bestimmten signalverlauf aufweisen
US4677296A (en) * 1984-09-24 1987-06-30 Siemens Aktiengesellschaft Apparatus and method for measuring lengths in a scanning particle microscope
US4689555A (en) * 1985-03-22 1987-08-25 Siemens Aktiengesellschaft Method for the determination of points on a specimen carrying a specific signal frequency by use of a scanning microscope
EP0226913A3 (de) * 1985-12-17 1988-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren und Anordnung zur Lokalisierung und/oder Abbildung der ein bestimmtes zeitabhängiges Signal führenden Punkte einer Probe
JPS62174937A (ja) * 1986-01-29 1987-07-31 Hitachi Ltd ストロボ方式の電位測定装置
EP0302241B1 (de) * 1987-08-06 1994-01-26 Siemens Aktiengesellschaft Spannungsmessung mit einer Elektronensonde ohne externes Triggersignal
EP0310816B1 (de) * 1987-09-30 1991-11-06 Siemens Aktiengesellschaft Automatische Frequenznachführung bei Korpuskularstrahlmessverfahren unter Anwendung eines modulierten Primärstrahls
DE3738453A1 (de) * 1987-11-12 1989-08-03 Brust Hans Detlef Verfahren und anordnung zur messung des signalverlaufs an einem messpunkt einer probe
DE3829770A1 (de) * 1988-09-01 1990-04-19 Brust Hans Detlef Verfahren und anordnung zur asynchronen messung von signalverlaeufen
DE3917411A1 (de) * 1989-05-29 1990-12-06 Brust Hans Detlef Verfahren und anordnung zur schnellen spektralanalyse eines signals an einem oder mehreren messpunkten
JP2941328B2 (ja) * 1990-02-02 1999-08-25 株式会社日立製作所 荷電ビーム装置
US11942302B2 (en) 2018-12-28 2024-03-26 Asml Netherlands B.V. Pulsed charged-particle beam system

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3549949A (en) * 1967-04-03 1970-12-22 Texas Instruments Inc Solid-state modular microwave system
US3531716A (en) * 1967-06-16 1970-09-29 Agency Ind Science Techn Method of testing an electronic device by use of an electron beam
US3549999A (en) * 1968-06-05 1970-12-22 Gen Electric Method and apparatus for testing circuits by measuring secondary emission electrons generated by electron beam bombardment of the pulsed circuit
US3628012A (en) * 1969-04-03 1971-12-14 Graham Stuart Plows Scanning stereoscopic electron microscope
JPS4823385A (de) * 1971-07-28 1973-03-26
US3956698A (en) * 1974-02-12 1976-05-11 Westinghouse Electric Corporation Contactless test method for integrated circuits

Also Published As

Publication number Publication date
DE2813948C2 (de) 1988-06-16
GB2017940B (en) 1982-10-06
DE2813948A1 (de) 1979-10-11
GB2017940A (en) 1979-10-10
JPS54134571A (en) 1979-10-19
US4223220A (en) 1980-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7902518A (nl) Werkwijze en inrichting voor het langs elektronische weg weergeven van de potentiaalverdeling in een elek- tronische bouwsteen, alsook een inrichting voor het toepassen van een dergelijke werkwijze.
NL191640C (nl) Plasma-weergeefinrichting en werkwijze voor het bedrijven van de inrichting.
NL7904408A (nl) Werkwijze en inrichting voor de registratie en weergave van gegevens.
NL7902774A (nl) Werkwijze en inrichting voor het verstuiven van vloeistof.
NL7902517A (nl) Werkwijze en inrichting voor het contactloos meten van het potentiaalverloop in een elektronische bouw- steen.
NL7901158A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een vocht doorlatende foelie.
NL188614C (nl) Stelsel voor het overdragen en op een televisiescherm weergeven van teksten.
NL7902766A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bepalen van een vloeistofniveau.
NL7902519A (nl) Werkwijze voor het contactloos meten van het potenti- aalverloop in een electronische bouwsteen, en een in- richting voor het toepassen van een dergelijke werkwij- ze.
NL7902069A (nl) Installatie voor de bescherming van personen en goederen in een stedelijke agglomeratie.
NL7713304A (nl) Werkwijze en inrichting voor het opsmelten van polymeerafval.
NL7803565A (nl) Inrichting voor het bevochtigen en/of ontladen van elektrisch isolerende voorwerpen en materialen en werk- wijze voor het toepassen van de inrichting.
NL7904529A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van glas- panelen.
NL7803704A (nl) Kosmetika-potlood en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL7712454A (nl) Inrichting voor het herkennen van tekens.
NL7900165A (nl) Werkwijze voor het aftakken en een inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7902001A (nl) Pompaggregaat alsmede werkwijze voor het samenstellen daarvan.
NL7800019A (nl) Werkwijze en inrichting voor het identificeren van gecodeerde etiketten.
NL7807158A (nl) Werkwijze en apparatuur voor het detecteren van inslui- tingen in glazen voorwerpen en dergelijke.
NL189867B (nl) Werkwijze voor het herbestraten van met straatstenen verharde wegen en inrichting voor toepassing van de werkwijze.
BE867193A (nl) Werkwijze en apparaat voor het voorspellen van metallografische strukturen
NL7812316A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van tekens.
NL7812294A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van zakken.
NL7804464A (nl) Werkwijze voor de totale bepaling van hormonen en farmaca.
NL7808141A (nl) Inrichting en werkwijze voor de polymerisatie van vi- nylchloride.