NL7506983A - Inrichting voor het elimineren van aberraties van een bundel geladen deeltjes. - Google Patents

Inrichting voor het elimineren van aberraties van een bundel geladen deeltjes.

Info

Publication number
NL7506983A
NL7506983A NL7506983A NL7506983A NL7506983A NL 7506983 A NL7506983 A NL 7506983A NL 7506983 A NL7506983 A NL 7506983A NL 7506983 A NL7506983 A NL 7506983A NL 7506983 A NL7506983 A NL 7506983A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
bundle
loaded particles
eliminating aberrations
aberrations
eliminating
Prior art date
Application number
NL7506983A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Publication of NL7506983A publication Critical patent/NL7506983A/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)
NL7506983A 1974-06-26 1975-06-12 Inrichting voor het elimineren van aberraties van een bundel geladen deeltjes. NL7506983A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/483,267 US4066863A (en) 1974-06-26 1974-06-26 Method and system for automatically correcting aberrations of a beam of charged particles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7506983A true NL7506983A (nl) 1975-12-30

Family

ID=23919399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7506983A NL7506983A (nl) 1974-06-26 1975-06-12 Inrichting voor het elimineren van aberraties van een bundel geladen deeltjes.

Country Status (11)

Country Link
US (1) US4066863A (xx)
JP (1) JPS5333473B2 (xx)
CA (1) CA1040275A (xx)
CH (1) CH587561A5 (xx)
DE (1) DE2521579C2 (xx)
ES (1) ES438667A1 (xx)
FR (1) FR2276624A1 (xx)
GB (1) GB1504976A (xx)
IT (1) IT1038693B (xx)
NL (1) NL7506983A (xx)
SE (1) SE401753B (xx)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5367365A (en) * 1976-11-29 1978-06-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Correcting method for beam position
JPS5693318A (en) * 1979-12-10 1981-07-28 Fujitsu Ltd Electron beam exposure device
US4371774A (en) * 1980-11-26 1983-02-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy High power linear pulsed beam annealer
JPS57209786A (en) * 1981-06-17 1982-12-23 Hitachi Ltd Electron beam machining device
JPS585955A (ja) * 1981-07-03 1983-01-13 Hitachi Ltd 動的偏向非点の補正装置
JPS5921481A (ja) * 1982-07-26 1984-02-03 Mitsubishi Electric Corp 金属ストリツプ製造ラインにおけるパンチングおよびサイドノツチング装置
US5171964A (en) * 1990-07-23 1992-12-15 International Business Machines Corporation High accuracy, high flexibility, energy beam machining system
US5124522A (en) * 1990-07-23 1992-06-23 Booke Michael A High accuracy, high flexibility energy beam machining system
JPH08146156A (ja) * 1994-11-28 1996-06-07 Masataro Sato 腕輪時計
JP4359232B2 (ja) * 2004-12-20 2009-11-04 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
JP6042552B2 (ja) * 2014-12-26 2016-12-14 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 ３次元造形装置、３次元造形装置の制御方法および制御プログラム

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2831145A (en) * 1956-12-31 1958-04-15 Ibm Anti-distortion means for cathode ray tube displays
IT598814A (xx) * 1957-11-20
US2951965A (en) * 1959-01-23 1960-09-06 Westinghouse Electric Corp Cathode ray image display systems
US3150284A (en) * 1962-09-17 1964-09-22 Philco Corp Apparatus for use in conjunction with a cathode ray tube to reduce defocusing and astigmatism of an electron beam thereof
US3422305A (en) * 1967-10-12 1969-01-14 Tektronix Inc Geometry and focus correcting circuit
US3619707A (en) * 1969-08-08 1971-11-09 Rca Corp Astigmatism correction for electron beam devices
US3644700A (en) * 1969-12-15 1972-02-22 Ibm Method and apparatus for controlling an electron beam
US3749963A (en) * 1970-05-19 1973-07-31 Us Air Force Device to aid in centering of high energy electric particle beams in an evacuated drift tube
US3740608A (en) * 1970-08-18 1973-06-19 Alphanumeric Inc Scanning correction methods and systems utilizing stored digital correction values
US3714496A (en) * 1970-10-07 1973-01-30 Harris Intertype Corp Compensation for graphical image display system for compensating the particular non-linear characteristic of a display
BE789869A (fr) * 1971-10-09 1973-04-09 Philips Nv Dispositif de reproduction d'images de television en couleur, muni d'untube cathodique
US3806758A (en) * 1972-07-19 1974-04-23 Hughes Aircraft Co Dynamic focus generator

Also Published As

Publication number Publication date
ES438667A1 (es) 1977-03-01
CA1040275A (en) 1978-10-10
FR2276624B1 (xx) 1977-03-18
SE401753B (sv) 1978-05-22
US4066863A (en) 1978-01-03
JPS5111574A (xx) 1976-01-29
DE2521579A1 (de) 1976-01-15
DE2521579C2 (de) 1982-06-16
SE7506874L (sv) 1975-12-29
JPS5333473B2 (xx) 1978-09-14
FR2276624A1 (fr) 1976-01-23
CH587561A5 (xx) 1977-05-13
IT1038693B (it) 1979-11-30
GB1504976A (en) 1978-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL183556C (nl) Antenne-inrichting voor het opwekken van een aantal bundels.
NL175806C (nl) Inrichting voor het verdelen van stortgoed over een aantal afvoerpunten.
NL7503439A (nl) Inrichting voor het vasthouden van voorwerpen.
NL7510112A (nl) Inrichting voor het verdelen van een gas voor een gefluidiseerd bed.
NL7611606A (nl) Inrichting voor het behandelen van vloeistoffen.
NL7500461A (nl) Op een vrachtwagen gemonteerde inrichting voor het laden en lossen van laadkisten.
NL7508604A (nl) Inrichting voor het controleren van een buislei- ding.
NL7511762A (nl) Inrichting voor het behandelen van media.
NL7603278A (nl) Inrichting voor het behandelen van pijpen.
NL7508885A (nl) Inrichting voor het bereiden van een luchtporien bevattende mortel.
NL7503043A (nl) Inrichting voor het in formatie laden van vervoermiddelen.
NL7509891A (nl) Inrichting voor het afschermen van een meerpolige lijnsteker.
BE814375A (nl) Werkwijze voor het zuiveren van een gas en een inrichting daarvoor
NL7504671A (nl) Inrichting voor het bevochtigen van een gas.
NL7511246A (nl) Inrichting voor het scheiden van materialen.
NL7416697A (nl) Werkwijze voor het laden van accumulatoren.
NL7500789A (nl) Inrichting voor het afgeven van schijven.
NL7506983A (nl) Inrichting voor het elimineren van aberraties van een bundel geladen deeltjes.
NL7513937A (nl) Inrichting voor het pneumatisch legen van houders.
NL168333C (nl) Inrichting voor het tellen van deeltjes.
NL7500371A (nl) Inrichting voor het bestuderen van het electro- statische gedrag van poeders.
NL7501283A (nl) Inrichting voor het maken van een luier.
NL7512159A (nl) Inrichting voor het laden van een los gestort materiaal.
NL7507903A (nl) Inrichting voor het centreren van een transver- saalfilter van een echo-annulator.
NL176433C (nl) Inrichting voor het afremmen van vallende lichamen.

Legal Events

Date Code Title Description
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
BV The patent application has lapsed