NL2030738B1 - Laser apparatus, method and computer program - Google Patents

Laser apparatus, method and computer program Download PDF

Info

Publication number
NL2030738B1
NL2030738B1 NL2030738A NL2030738A NL2030738B1 NL 2030738 B1 NL2030738 B1 NL 2030738B1 NL 2030738 A NL2030738 A NL 2030738A NL 2030738 A NL2030738 A NL 2030738A NL 2030738 B1 NL2030738 B1 NL 2030738B1
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
laser
scan
line
laser beam
scanning
Prior art date
Application number
NL2030738A
Other languages
English (en)
Inventor
Mertens Michiel
Original Assignee
P Laser N V
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by P Laser N V filed Critical P Laser N V
Priority to NL2030738A priority Critical patent/NL2030738B1/en
Priority to BE20235055A priority patent/BE1030227B1/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL2030738B1 publication Critical patent/NL2030738B1/en

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • B08B7/0042—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/362—Laser etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/362—Laser etching
    • B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Claims (32)

CONCLUSIES
1. Laserinrichting (100) voor het bestralen van een object (101) met een laserstraal (102), die omvat: een laserscankop (103) voor het richten van de laserstraal (102) op het object (101); een transporteenheid (104) voor het ten opzichte van elkaar verplaatsen van het object (101) en de laserscankop (103); een besturingseenheid (105) die is geconfigureerd om de laserscankop (103) te besturen om een eerste scanbeweging van de laserstraal (102) en een tweede scanbeweging van de laserstraal (102) uit te voeren; waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de transporteenheid (104) te besturen om het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar in een transportrichting (113) te bewegen tijdens de eerste scanbeweging en tijdens de tweede scanbeweging; waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om een eerste scanbeweging uit te voeren door de laserstraal (102) langs een eerste scanrichting (111) te bewegen om een eerste lijn (121) op het object (101) te bestralen, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om tweede scanbeweging uit te voeren door de laserstraal (102) langs een tweede scanrichting (112) te bewegen om een tweede lijn (122) op het object (101) te bestralen, waarbij de eerste scanrichting (111) zich uitstrekt over ten minste een deel van een breedte van het object (101), waarbij de breedte loodrecht op de transportrichting (113) staat, waarbij de tweede scanrichting (112) zich uitstrekt over ten minste een deel van de breedte van het object (101) tegengesteld aan de eerste scanrichting (111), waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de tweede scanrichting (112) te regelen op basis van de eerste scanrichting (111) en een vector (402) in de transportrichting (113).
2. Laserinrichting (100) volgens conclusie 1, waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de laserscankop (103) te besturen om de eerste lijn (121) en de tweede lijn (122) op het object (101) parallel aan elkaar te plaatsen.
3. Laserinrichting (100) volgens conclusie 2, waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de laserscankop (103) te besturen om de eerste lijn (121) en de tweede lijn (122) naast elkaar te plaatsen.
4. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de vector (402} in de transportrichting (113) is gebaseerd op een scansnelheid van de tweede scanbeweging; waarbij de scansnelheid een snelheid is waarmee de laserscankop (103) de laserstraal (102) langs de tweede scanrichting (112) beweegt om de tweede lijn (122) te bestralen.
5. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de transporteenheid (104) te besturen om het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar in de transportrichting (113) meteen transportsnelheid te bewegen, waarbij de vector (402) in de transportrichting (113) is gebaseerd op de transportsnelheid.
6. Laserinrichting (100) volgens conclusie 4 of 5, waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de tweede scanrichting (112) te regelen op basis van een inverse (400) van de eerste scanrichting (111).
7. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de laserscankop (103) ten minste een spiegel en ten minste een galvoscannermotor omvat; waarbij de ten minste een spiegel is geplaatst om de laserstraal (102) naar het object (101) te reflecteren, waarbij de ten minste een galvoscannermotor is geconfigureerd om de ten minste een spiegel te roteren; waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de ten minste een galvo- scannermotor aan te sturen om de eerste scanbeweging en de tweede scanbeweging te besturen.
8. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om de eerste scanbeweging te starten op een eerste startpunt (221) op de eerste lijn (121), om de eerste scanbeweging te stoppen op een eerste eindpunt (222) op de eerste lijn (121), om de tweede scanbeweging te starten op een tweede startpunt (321) op de tweede lijn (122), om de tweede scanbeweging te stoppen op een tweede eindpunt (322) op de tweede regel (122),
waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om het eerste eindpunt (222) en het tweede startpunt (321) op het object (101) op afstand (202) van elkaar op te stellen, waarbij de afstand (202) loodrecht op de eerste lijn (121) staat, waarbij de afstand (202) gelijk is aan of kleiner is dan een diameter van de laserstraal (102).
9. Laserinrichting (100) volgens conclusie 8, waarbij de afstand (202) minder dan 80% van de diameter van de laserstraal (102) bedraagt.
10. Laserinrichting (100) volgens conclusie 8 of 9, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om: de laserstraal (102) op te stellen in een eerste laserstartpositie (411) om het eerste beginpunt (221) te bestralen; de laserstraal (102) op te stellen in een eerste lasereindpositie (412) om het eerste eindpunt (222) te bestralen; de laserstraal (102) op te stellen in een tweede laserstartpositie (421) om het tweede beginpunt (321) te bestralen; de laserstraal (102) op te stellen in een tweede lasereindpositie (422) om het tweede eindpunt (322) te bestralen; waarbij de eerste laserstartpositie (411), de eerste lasereindpositie (412), de tweede laserstartpositie (421) en de tweede lasereindpositie (422) ten opzichte van de laserscankop (103) zijn; waarbij de laserstraal (102) in de tweede laserstartpositie (421) tegengegesteld is geplaatst aan de transportrichting (113) ten opzichte van de laserstraal (102) in de eerste lasereindpositie (412).
11. Laserinrichting (100) volgens conclusie 9, waarbij de tweede laserstartpositie (421) dezelfde is als de eerste lasereindpositie (412).
12. Laserinrichting (100) volgens conclusie 9 of 10, waarbij de laserstraal (102) in de tweede lasereindpositie (422) in de transportrichting (113) ten opzichte van de laserstraal (102) in de eerste laserstartpositie (411) is geplaatst.
13. Laserinrichting (100) volgens conclusie 12, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om de eerste scanbeweging uit te voeren om een derde lijn (321) op het object (101) te bestralen; waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om: de derde scanbeweging te starten op een derde startpunt (331) op de derde lijn (321),
de derde scanbeweging te stoppen op een derde eindpunt (332) op de derde lijn (321), de laserstraal (102) naar de eerste laserstartpositie (411) te leiden om het derde beginpunt (331) te bestralen; de laserstraal (102) naar de eerste lasereindpositie (412) te leiden om het derde eindpunt (332) te bestralen; waarbij de eerste lijn (121) en de derde lijn (321) zich aan weerszijden van de tweede lijn (122) bevinden.
14. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om de eerste lijn (121) te bestralen, waarbij de eerste lijn (121) loodrecht op de transportrichting (113) staat.
15. Laserinrichting (100) volgens een van de conclusies 1 tm 13, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om de eerste lijn (121) te bestralen, waarbij de eerste lijn (121) een schuine hoek (500) heeft ten opzichte van de transportrichting (113).
16. Laserinrichting (100) volgens conclusie 15, waarbij de eerste regel (121) zich uitstrekt over een scanbreedte (502) van het object (101), waarbij de scanbreedte (502) loodrecht op de transportrichting (113) staat, waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om een eerste gemiddelde scansnelheid te hebben voor een scanbeweging over een lengte van de scanbreedte (502), waarbij de laserscankop (103) is geconfigureerd om een tweede gemiddelde scansnelheid te hebben voor de eerste scanbeweging, waarbij de tweede gemiddelde scansnelheid hoger is dan de eerste gemiddelde scansnelheid.
17. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, die een verdere laserscankop (703) omvat voor het richten van een verdere laserstraal (702) op het object (101), waarbij de verdere laserscankop (703) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar zijn gerangschikt langs de richting loodrecht op de transportrichting (113), waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de verdere laserscankop (703) te besturen om een verdere eerste scanbeweging van de verdere laserstraal (702) en een verdere tweede scanbeweging van de verdere laserstraal (702) uit te voeren, waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de transporteenheid (104) te besturen om het object (101) en de verdere laserscankop (703) ten opzichte van elkaar in de transportrichting (113) te bewegen tijdens de verdere eerste scanbeweging en tijdens de verdere tweede scanbeweging;
waarbij de verdere laserscankop (703) is geconfigureerd, voert u de verdere eerste scanbeweging uit door de verdere laserstraal (702) langs een verdere eerste scanrichting (711) te bewegen om een verdere eerste lijn (721) op het object (101) te bestralen, waarbij de verdere laserscankop (703) is geconfigureerd om de verdere tweede scanbeweging uit te voeren door de verdere laserstraal (702) langs een verdere tweede scanrichting (712) te bewegen om een verdere tweede lijn (822) op het object (101) te bestralen, waarbij de verdere eerste scanrichting (711) zich uitstrekt over ten minste een deel van de breedte van het object (101), waarbij de verdere tweede scanrichting (712) zich uitstrekt over ten minste een deel van de breedte van het object (101) tegengesteld aan de verdere eerste scanrichting (711), waarbij de besturingseenheid (105) is geconfigureerd om de verdere tweede scanrichting (712) te besturen op basis van de verdere eerste scanrichting (711) en een verdere vector in de transportrichting (113).
18. Laserinrichting (100) volgens conclusie 17, waarbij de laserscankop (103) en de verdere laserscankop (703) zijn opgesteld om de eerste lijn (121) en de verdere eerste lijn (721) naast elkaar op het object (101) te plaatsen, en om de tweede lijn (122) en de verdere tweede lijn (822) naast elkaar op het object (101) te plaatsen.
19. Laserinrichting (100) volgens een van de voorgaande conclusies, waarbij het laserapparaat (100) een laserreinigingsapparaat is.
20. Laserscankop (103) voor gebruik in het laserapparaat (100) volgens een van de conclusies 1 tot en met 19.
21. Besturingseenheid (105) voor gebruik in het laserapparaat (100) volgens een van de conclusies 1 tot en met 19.
22. Methode voor het bestralen van een object (101) met een laserstraal (102), de methode omvat de stappen van: het richten van de laserstraal (102) met een laserscankop (103) op het object (101), het uitvoeren van een eerste scanbeweging met de laserscankop (103) door de laserstraal (102) langs een eerste scanrichting (111) te bewegen om een eerste lijn (121) op het object (101) te bestralen, terwijl het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar in een transportrichting (113) worden bewogen; het uitvoeren van een tweede scanbeweging met de laserscankop (103) door de laserstraal (102) langs een tweede scanrichting (112) te bewegen om een tweede lijn (122)
op het object (101) te bestralen, terwijl het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar in de transportrichting (113) worden bewogen, waarbij de eerste scanrichting (111) zich uitstrekt over ten minste een deel van een breedte van het object (101), waarbij de breedte loodrecht op de transportrichting (113) staat, waarbij de tweede scanrichting (112) zich uitstrekt over ten minste een deel van de breedte van het object (101) tegengegesteld aan de eerste scanrichting (111), waarbij de methode de stap omvat van het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de eerste scanrichting (111) en een vector (402) in de transportrichting (113).
23. Methode volgens conclusie 22, die de stap omvat waarbij de eerste lijn (121) en de tweede lijn (122) op het object (101) evenwijdig aan elkaar worden opgesteld.
24. Methode volgens conclusie 23, die de stap omvat van het naast elkaar opstellen van de eerste lijn (121) en de tweede lijn (122) op het object (101).
25. Methode volgens een van conclusies 22 tot en met 24, die de stap omvat van het bewegen van de laserstraal (102) langs de tweede scanrichting (112) om de tweede lijn (122) met een scansnelheid te bestralen; waarbij de stap van het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de vector (402) in de transportrichting (113) het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de scansnelheid omvat.
26. Methode volgens conclusie 25, die de stap omvat van het bewegen van het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar in de transportrichting (113) met een transportsnelheid; waarbij de stap van het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de vector (402) in de transportrichting (113) het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de transportsnelheid omvat.
27. Methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 26, waarbij de stap van het besturen van de tweede scanrichting (112) op basis van de eerste scanrichting (111) het besturen van de tweede scanrichting (112) omvat op basis van een inverse (400) van de eerste scanrichting (111).
28. Methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 27, die de stappen omvat van:
het starten van de eerste scanbeweging op een eerste startpunt (221) op de eerste lijn (121), het stoppen van de eerste scanbeweging op een eerste eindpunt (222) op de eerste lijn (121), het starten van de tweede scanbeweging op een tweede startpunt (321) op de tweede lijn (122), het stoppen van de tweede scanbeweging op een tweede eindpunt (322) op de tweede lijn (122), het opstellen van het eerste eindpunt (222) en het tweede beginpunt (321) op het object (101) op afstand (202) van elkaar, waarbij de afstand (202) loodrecht op de eerste lijn (121) staat, waarbij de afstand (202) gelijk is aan of kleiner is dan een diameter van de laserstraal (102).
29.Methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 28, die de stappen omvat van: het plaatsen van de laserstraal (102) in een eerste laserstartpositie (411) om het eerste beginpunt (221) te bestralen, het plaatsen van de laserstraal (102) in een eerste lasereindpositie (412) om het eerste eindpunt (222) te bestralen; het plaatsen van de laserstraal (102) in een tweede laserstartpositie (421) om het tweede startpunt (321) te bestralen; het plaatsen van de laserstraal (102) in een tweede lasereindpositie (422) om het tweede eindpunt (322) te bestralen; het plaatsen van de laserstraal (102) in de tweede laserstartpositie (421) tegengesteld aan de transportrichting (113) van de laserstraal (102) in de eerste lasereindpositie (412); waarbij de eerste laserstartpositie (411), de eerste lasereindpositie (412), de tweede laserstartpositie (421) en de tweede lasereindpositie (422) relatief zijn ten opzichte van de laserscankop (103).
30. Methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 29, waarbij de stap van het uitvoeren van de eerste scanbeweging het bestralen omvat van de eerste lijn (121), waarbij de eerste lijn (121) een schuine hoek (500) heeft ten opzichte van de transportrichting (113).
31. Methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 30, die de stappen omvat van: het voorzien van een verdere laserscankop (703} voor het richten van een verdere laserstraal (702) op het object (101),
het uitvoeren van de methode volgens een van de conclusies 22 tot en met 30 met de verdere laserscankop (703) om een verdere eerste lijn (721) en een tweede eerste lijn (121) te bestralen, het opstellen van de verdere eerste lijn (721) naast de eerste lijn (121), het opstellen van de verdere tweede lijn (822) naast de tweede lijn (122).
32. Computerprogramma met instructies die, wanneer zij worden uitgevoerd door een besturingseenheid (105) van een laserapparaat (100), waarbij het laserapparaat (100) een laserscankop (103) omvat voor het richten van een laserstraal (102) op een object {101}, en een transporteenheid (104) voor het bewegen van het object (101) en de laserscankop (103) ten opzichte van elkaar, ervoor zorgen dat de besturingseenheid (105) de methode uitvoert volgens een van de conclusies 22 tot en met 31.
NL2030738A 2022-01-27 2022-01-27 Laser apparatus, method and computer program NL2030738B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2030738A NL2030738B1 (en) 2022-01-27 2022-01-27 Laser apparatus, method and computer program
BE20235055A BE1030227B1 (nl) 2022-01-27 2023-01-27 Laserinrichting, werkwijze en computerprogramma

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL2030738A NL2030738B1 (en) 2022-01-27 2022-01-27 Laser apparatus, method and computer program

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL2030738B1 true NL2030738B1 (en) 2023-08-07

Family

ID=80624055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL2030738A NL2030738B1 (en) 2022-01-27 2022-01-27 Laser apparatus, method and computer program

Country Status (2)

Country Link
BE (1) BE1030227B1 (nl)
NL (1) NL2030738B1 (nl)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4956539A (en) * 1986-07-09 1990-09-11 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser processing method
WO2007144565A2 (en) * 2006-06-14 2007-12-21 Oerlikon Balzers Coating (Uk) Limited Process for laser scribing
WO2010086865A1 (en) 2009-02-02 2010-08-05 Advanced Dicing Technologies Ltd. System and method for high speed laser material processing
EP2684636A1 (en) * 2011-03-08 2014-01-15 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Optical scanning device and laser machining device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4956539A (en) * 1986-07-09 1990-09-11 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser processing method
WO2007144565A2 (en) * 2006-06-14 2007-12-21 Oerlikon Balzers Coating (Uk) Limited Process for laser scribing
WO2010086865A1 (en) 2009-02-02 2010-08-05 Advanced Dicing Technologies Ltd. System and method for high speed laser material processing
EP2684636A1 (en) * 2011-03-08 2014-01-15 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Optical scanning device and laser machining device

Also Published As

Publication number Publication date
BE1030227B1 (nl) 2023-11-08
BE1030227A1 (nl) 2023-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2019200676B2 (en) Laser ablation and processing methods and systems
JP4027930B2 (ja) ポリゴンミラーと利用したレーザー加工装置及び方法
EP2275223B1 (en) Glass substrate processing device using laser beam with rotation of multi-spot focused beams
JP6588498B2 (ja) レーザ加工装置
CN107708969A (zh) 多光束增材制造
JP2019111580A (ja) 最適化された範囲の選択的レーザーアブレーションシステム及び方法
JP4614844B2 (ja) レーザ加工方法及びレーザ加工装置
CN108436283B (zh) 激光打标机及其打标方法
KR102272649B1 (ko) 작업 품질 검사 기능을 구비한 레이저 클리닝 장치 및 그 방법
JP7387870B2 (ja) 板状または管状のワークピースをビーム加工するための方法
CN110730694B (zh) 激光清洗装置及激光清洗方法
NL2030738B1 (en) Laser apparatus, method and computer program
CN112676267A (zh) 脉冲激光清洗方法
EP4043142A1 (en) Method for batch processing of 3d objects using laser treatment and a system implementing the method
CN107662054B (zh) 脆性材料基板的激光加工方法及激光加工装置
JP6977191B1 (ja) レーザ加工装置
CN115229334A (zh) 旋转式选区表面处理激光加工系统及加工方法
JP4039306B2 (ja) 立体回路パターンの形成方法、装置、及びこれらを用いて製造される立体回路板
KR20060089790A (ko) 레이저 가공 장치 및 방법
JP2022503913A (ja) 工作物の材料を除去するレーザ加工方法
KR101358804B1 (ko) 레이저빔 조사 장치 및 그 동작 방법
JP5298157B2 (ja) レーザー加工装置、レーザー加工方法及びレーザー加工物
JP3615045B2 (ja) レーザ加工装置の制御方法
CN107662055B (zh) 脆性材料基板的激光加工方法及激光加工装置
JP2017104875A (ja) レーザー加工装置及びレーザー加工方法