NL2000449C2

NL2000449C2 - Method and device for mechanically processing semiconductor products in a press.

Info

Publication number: NL2000449C2
Application number: NL2000449A
Authority: NL
Inventors: Wilhelmus Hendrikus Johannes Harmsen; Gerardus Hermanus Johannes Reulink
Original assignee: Fico Bv
Priority date: 2007-01-22
Filing date: 2007-01-22
Publication date: 2008-07-23
Also published as: TW200924960A; WO2008091146A1

Description

Werkwijze en inrichting voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider productenMethod and device for mechanically processing semiconductor products in a press

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en inrichting voor het in 5 een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten.The present invention relates to a method and device for mechanically processing semiconductor products in a press.

Bij de productie van halfgeleider producten is het gebruikelijk dat een groot aantal producten op een drager is verenigd in een gezamenlijk samenstel van halfgeleider producten (dat bijvoorbeeld ook wordt aangeduid als een “lead frame” of een “board”). 10 Na het voltooien van een deel van de productiestappen van de halfgeleider producten, zoals typisch het op de drager plaatsen van de elektronische componenten en het omhullen van de elektronische componenten, worden de samengebouwde halfgeleider producten van elkaar gescheiden door een separatiebewerking. Zo wordt bij de productie van halfgeleiders het ponsen of stansen van de drager (bijvoorbeeld in de 15 vorm van een strook plaatmateriaal) veelvuldig toegepast. Daarnaast kunnen er ook andere mechanische bewerkingen op de elektronische componenten worden uitgevoerd zoals bijvoorbeeld het vervormen van het dragermateriaal. Bij deze mechanische . bewerkingen dienen er lokaal veelal aanzienlijke krachten op het dragermateriaal uitgeoefend te worden (in de ordegrootte van duizenden kilo’s per cm2). Een ander 20 kenmerk van de mechanische bewerking van de halfgeleider producten is dat dit ook afval kan opleveren, bijvoorbeeld in de vorm van “schrot” (in het engels “slug”). De bestaande persen voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten zijn kostbaar en zijn tevens lawaaierig tijdens het gebruik (een geluidsdruk ruim boven 90 dB is gebruikelijk).In the production of semiconductor products, it is common for a large number of products to be combined on a carrier in a joint assembly of semiconductor products (which is also referred to, for example, as a "lead frame" or a "board"). After completing a part of the production steps of the semiconductor products, such as typically placing the electronic components on the carrier and encasing the electronic components, the assembled semiconductor products are separated from each other by a separation operation. For example, in the production of semiconductors, punching or punching of the support (for example in the form of a strip of sheet material) is used frequently. In addition, other mechanical operations can also be performed on the electronic components, such as, for example, deforming the carrier material. With this mechanical. During processing, considerable forces must usually be exerted locally on the carrier material (in the order of thousands of kilos per cm 2). Another characteristic of the mechanical processing of the semiconductor products is that this can also generate waste, for example in the form of "scrap" (in English "slug"). The existing presses for the mechanical machining of semiconductor products are expensive and also noisy during use (a sound pressure well above 90 dB is common).

2525

Doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een verbeterde werkwijze en een verbeterde inrichting voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarmee de mechanische bewerkingen ten opzichte van de stand der techniek relatief goedkoop en stil kunnen worden uitgevoerd.The object of the present invention is to provide an improved method and an improved device for mechanically machining semiconductor products in a press with which the mechanical operations can be carried out relatively cheaply and quietly relative to the prior art.

3030

De uitvinding verschaft daartoe een werkwijze voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarbij de onderlinge verplaatsing van de alzonderlijke persdelen tijdens het uitvoeren van een mechanische bewerking wordt aangedreven door een roterende beweging waarvan de verhouding van de afgelegde 2 weg tot de tijdsduur van de beweging varieert in de tijd. Een dergelijke roterende beweging wordt ook wel aangeduid als een niet-eenparig roterende beweging, dat wil zeggen dat de roterende beweging een niet-eenparige bewegingskarakteristiek kent. Ter verdere verduidelijking: een eenparige beweging (EB) wordt ook wel gedefinieerd als 5 een beweging waarbij de verhouding van de afgelegde weg tot de tijdsduur van de beweging constant is op elk ogenblik, hetgeen inhoudt dat de snelheid op elk ogenblik constant is. De onderlinge beweging van de bewerkingselementen is volgens de deskundige in het vakgebied tot op heden wenselijk vloeiend. Vloeiende bewegingen zijn immers snel en betrouwbaar te realiseren in vergelijking met niet-vloeiende 10 bewegingen. De afzonderlijke persdelen worden bij voorkeur ten opzicht van elkaar in hoofdzaak lineair verplaatst, en deze relatieve lineaire verplaatsing wordt dan doorgaans op economische wijze geïnitieerd door de niet-eenparig roterende beweging van bijvoorbeeld een elektromotor.To this end, the invention provides a method for mechanically machining semiconductor products in a press, wherein the relative displacement of the individual press parts during the execution of a mechanical operation is driven by a rotating movement, the ratio of which 2 travels to the duration of the movement varies over time. Such a rotating movement is also referred to as a non-uniform rotating movement, that is to say that the rotating movement has a non-uniform movement characteristic. To further clarify: a single movement (EB) is also defined as a movement in which the ratio of the distance traveled to the duration of the movement is constant at every moment, which means that the speed is constant at every moment. According to the person skilled in the art, the mutual movement of the processing elements is to date desirable smooth. Smooth movements can after all be realized quickly and reliably in comparison with non-flowing movements. The individual press parts are preferably substantially linearly displaced relative to each other, and this relative linear displacement is then usually initiated economically by the non-uniformly rotating movement of, for example, an electric motor.

15 Wanneer een gewenste onderlinge beweging van de persdelen niet vloeiend volgens een sinusoïde verloopt (dat wil zeggen als de tweede afgeleide van de beweging naar de tijd, d2x/dt2, in ieder geval niet discontinue is) bestaat het (vooroordeel dat dit problemen oplevert bij een nauwkeurige besturing en er door de massatraagheid van de onderling verplaatsbare onderdelen een beperking optreedt ten aanzien van de mogelijke 20 bewerkingssnelheid. Een bekende voorkeurswaarde om de vloeiende beweging nader te preciseren volgens de stand der techniek is dat de ruk (“jerk”) van de bewerkingselementen in de tijd een constant verloop dient te bezitten, of nog meer bij voorkeur wordt beperkt tot waarden kleiner dan 200 m/s3. Daarnaast gaat de deskundige ervan uit dat de ten gevolge van de gebruikelijke omzetting van een eenparige roterende 25 aandrijving naar een lineaire verplaatsing toch al een sinusoïde-vormige bewegingskarakteristiek van de persdelen tot een zachte sluiting van de persdelen leidt. De onderhavige uitvinding verschaft echter het inzicht dat een niet-eenparig roterende aandrijving van de persdelen het belangrijk voordeel oplevert, in het bijzonder indien bij het tot op de kortste afstand benaderen van de afzonderlijke persdelen een nog grotere 30 vertraging optreedt dan met de sinusoïde-vormige bewegingskarakteristiek van de persdelen. Het contactmoment van de persdelen is in de praktijk niet gelegen in het dode punt (dat wil zeggen niet op de toppen of dalen van de bewegingskarakteristiek) maar op enige afstand van het dode punt. De oorzaak hiervan schuilt in het feit dat de met de persdelen verbonden werktuigen ook nog een “werkslag” dienen te maken. Zo 3 moeten bij het stansen bijvoorbeeld de stanselementen nog tot in de stansplaat worden gedrongen. Het gevolg hiervan is dat op het moment dat de persdelen - respectievelijk (wat hier in deze aanvrage aan gelijk gesteld wordt) het met elkaar in contact treden van de van de persdelen deel uitmaken, of daarmee gekoppelde, werktuigen - elkaar in 5 contact komen zij nog een aanzienlijke lineaire snelheid kunnen bezitten.When a desired mutual movement of the press parts does not flow smoothly according to a sinusoid (i.e. if the second derivative of the movement over time, d2x / dt2, is in any case not discontinuous) it exists (prejudice that this causes problems with accurate control and a limitation with regard to the possible processing speed due to the inertia of the mutually displaceable parts A known preferred value for further specifying the smooth movement according to the prior art is that the jerk ("jerk") of the processing elements should have a constant course over time, or even more preferably be limited to values smaller than 200 m / s 3. In addition, the person skilled in the art assumes that, as a result of the usual conversion of a uniform rotary drive to a linear displacement already a sinusoid-shaped movement characteristic of the press parts to a soft closure of the press sharing leads. However, the present invention provides the insight that a non-uniformly rotating drive of the press parts provides the important advantage, in particular if an even greater delay occurs when approaching the individual press parts up to the shortest distance than with the sinusoidal movement characteristic of the press parts. The contact moment of the press parts is in practice not situated at the dead center (that is, not at the tops or troughs of the movement characteristic), but at some distance from the dead center. The reason for this lies in the fact that the tools connected to the press parts also have to make a "working stroke". For example, when punching, the punching elements still have to be forced into the punching plate. The consequence of this is that at the moment that the press parts - or (which is deemed equivalent in this application) the contacting of the parts of the press parts, or coupled thereto, form part of each other, they come into contact with each other still have a considerable linear speed.

Het inzicht dat de onderhavige vinding verschaft is dat de bewegingskarakteristiek nu juist zo moet worden aangepast dat er reeds voor dat het dode punt van een sinusoïde wordt bereikt een behoefte is aan - meer dan volgens de gebruikelijke sinusoïde -10 versterkte vertraging. De variatie in de rotatiesnelheid van de aandrijving treed meer in het bijzonder op onder omstandigheden waarin de gemiddelde snelheid van opeenvolgende bewerkingen gelijk is. Dit wil zeggen dat er in het bijzonder naar wordt gestreefd binnen een enkele bewerkingscyclus zowel te vertragen als te versnellen. Hiermee wordt verder gespecificeerd dat het niet zozeer wijzigen in rotatiesnelheid 15 betreft over meerdere opvolgende bewerkingscycli maar naar vertraging en versnelling binnen een enkele bewegingscyclus. De toppen van de bewegingskarakteristiek kunnen zo worden “verbreed”. De pers blijkt aldus onverwacht veel stiller te lopen (in de praktijk blijkt een geluidsreductie met meer dan 20 dB haalbaar). De nadelen van een de niet-eenparig roterende aandrijving blijken niet op te wegen tegen de voordelen die dit 20 kan opleveren, in het bijzonder in omstandigheden waarbij de geluidsbelasting van de omgeving van een pers een belangrijke factor vormt. Hierbij dient met name gedacht te worden aan eisen die worden gesteld aan arbeidsomstandigheden. Een ander belangrijk voordeel is dat de pers doordat deze met minder grote snelheid sluit op deze wijze “soepeler” loopt hetgeen de slijtage van de gereedschappen reduceert. De van de 25 persdelen deel uitmakende gereedschappen komen immers met een lager dan gebruikelijke snelheid met elkaar in contact. Een verminderde slijtage is uiteraard voordelig omdat daardoor de gereedschappen minder onderhoud behoeven maar ook omdat daardoor de nuttige bedrijfstijd van de pers toeneemt. Daarnaast laat de onderhavige uitvinding ook hogere snelheden van de pers toe, hetgeen een zeer 30 belangrijk voordeel oplevert ten aanzien van de productiviteit van de machine. Een productiviteitstoename van 30 - 50% blijkt haalbaar te zijn.The insight provided by the present invention is that the movement characteristic must be adjusted precisely so that the dead point of a sinusoid is already reached a need for - more than with the usual sinusoid -10 amplified delay. The variation in the rotational speed of the drive occurs more particularly under circumstances in which the average speed of successive operations is equal. This means that, in particular, the aim is to both slow down and accelerate within a single processing cycle. This further specifies that it is not so much a matter of changing rotation speed 15 over several successive processing cycles but of deceleration and acceleration within a single movement cycle. The tops of the movement characteristic can thus be "broadened". The press thus appears to run unexpectedly much quieter (in practice, a noise reduction of more than 20 dB is achievable). The disadvantages of a non-uniformly rotating drive turn out not to outweigh the advantages that this can yield, in particular in circumstances where the noise impact of the environment of a press is an important factor. In this regard, particular consideration must be given to requirements imposed on working conditions. Another important advantage is that the press, because it closes at a lower speed, runs “smoother” in this way, which reduces wear on the tools. After all, the tools forming part of the pressing parts come into contact with each other at a lower than usual speed. Reduced wear is of course advantageous because the tools require less maintenance, but also because the useful operating time of the press increases as a result. In addition, the present invention also permits higher press speeds, which provides a very important advantage with regard to the productivity of the machine. A productivity increase of 30 - 50% appears to be feasible.

De uitvinding verschaft tevens een werkwijze voor het in een pers mechanisch bewerken van halfgeleider producten waarbij de onderlinge verplaatsing van de 4 afzonderlijke persdelen waarbij tijdens het uitvoeren van de mechanisch bewerking van halfgeleider producten afVal ontstaat dat wordt opgevangen in een houder, waarbij overschrijding van ten minste één vulniveau van de houder automatisch wordt bewaakt. Dit is bijvoorbeeld mogelijk door middel van gewichtsbepaling van de houder met 5 inhoud. Het is van belang dat de houder tijdig wordt geleegd. Indien een houder wordt geleegd voordat deze een bepaalde minimum hoeveelheid afval bevat wordt er nodeloos werk verricht. Anderzijds kan het legen van een houder die een bepaald vulniveau heeft overschreden leiden tot ongewenste arbeidsomstandigheden en/of belemmering van de werking van de pers. Een automatische detectie van de beladingsgraad van de houder 10 kan hierbij uitkomst bieden. Omdat de houder doorgaans uitwisselbaar is en omdat er veelal ondermeer kleine verontreiniging (stof) in de houder aanwezig is, vormt met name een gewichtsdetectie een betrouwbare oplossing om te voorzien in een dergelijke detectie.The invention also provides a method for mechanically machining semiconductor products in a press, wherein the mutual displacement of the 4 separate press parts, wherein during the mechanical machining of semiconductor products waste is produced which is collected in a holder, wherein at least one fill level of the container is automatically monitored. This is possible, for example, by weight determination of the container with content. It is important that the holder is emptied in time. If a container is emptied before it contains a certain minimum amount of waste, unnecessary work is done. On the other hand, the emptying of a container that has exceeded a certain filling level can lead to undesired working conditions and / or impediment to the operation of the press. An automatic detection of the degree of loading of the holder 10 can offer a solution here. Because the holder is generally interchangeable and because there is often, inter alia, small contamination (dust) present in the holder, a weight detection in particular forms a reliable solution for providing such a detection.

15 In een andere voorkeurswerkwijze wordt de kracht van de naar elkaar toe gerichte beweging van de persdelen door middel van een beveilingssysteem bewaakt om zo te voorkomen dat bij verkeerd geplaatste producten schade aan de inrichting (bijvoorbeeld de persdelen of de van de persdelen onderdeel uitmakende gereedschappen) ontstaat.In another preferred method, the force of the movement of the press parts directed towards each other is monitored by means of a safety system in order to prevent damage to the device in the case of incorrectly placed products (for example the press parts or the tools forming part of the press parts) arises.

20 Evenzo is het voordelig indien de te bewerken halfgeleider producten mechanisch aan de pers worden toegevoerd op zodanige wijze dat de toevoer van de producten door middel van een krachtbegrenzing wordt gelimiteerd. De toevoer kan bijvoorbeeld verschillende bewegingscomponenten bezitten die ook afzonderlijk kunnen zijn begrensd. Denk hierbij bijvoorbeeld aan een haas-vormige toevoerbeweging met 25 afzonderlijke horizontale en verticale bewegingscomponenten; deze kunnen afzonderlijk van een krachtbegrenzing worden voorzien. Aldus wordt voorkomen dat er (aanzienlijke) schade ontstaat in het geval van het bijvoorbeeld foutieve toevoer van te bewerken onderdelen, foutieve onderdelen of anderszins voor het toevoeren belemmerende zaken. Nog een voordeel van de krachtbegrenzing is dat dit leidt tot een 30 verhoogde veiligheid van de operators; ook deze maatregel leidt tot verbeterde arbeidsomstandigheden.It is likewise advantageous if the semiconductor products to be processed are mechanically supplied to the press in such a way that the supply of the products is limited by means of a force limitation. The feed may, for example, have different movement components which may also be limited individually. For example, consider a hare-shaped feed movement with separate horizontal and vertical movement components; these can be individually provided with a force limitation. In this way it is prevented that (considerable) damage will occur in the case of, for example, an incorrect supply of parts to be processed, incorrect parts or other items that hinder the supply. Another advantage of the force limitation is that this leads to an increased safety of the operators; this measure also leads to improved working conditions.

Verder is het voordelig indien de positionering van productafhankelijke instellingen bijvoorbeeld onder tussenkomst van snelkoppelingen slechts mogelijk is in 5 voorkeurposities. Aldus is de kans op fouten bijvoorbeeld door verkeerde afstelling beperkt en kan er snel worden gewerkt.Furthermore, it is advantageous if the positioning of product-dependent settings is only possible in preferred positions, for example through the use of quick couplings. The risk of errors is thus limited, for example due to incorrect adjustment, and work can be done quickly.

Voor het nog verder beperken van de geluidsdruk is het voordelig indien de persdelen 5 op elkaar aansluiten onder tussenkomst van een veerkrachtig materiaal deel. Een dergelijke aansluiting wordt dan overigens wel in samenwerking met een vormvaste (nauwkeurig gedimensioneerde) aanslag die de eindmaat bepaald; het veerkrachtig materiaaldeel draagt dan zorg voor demping terwijl er toch een nauwkeurig eindmaat is bepaald.To limit the sound pressure even further, it is advantageous if the press parts 5 connect to each other through a resilient material part. Such a connection is then, incidentally, in collaboration with a form-retaining (accurately dimensioned) stop that determines the final measure; the resilient material part then provides for damping, while an accurate final dimension has nevertheless been determined.

1010

De onderhavige uitvinding verschaft tevens een persinrichting voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten omvattende: een gestel, ten minste twee onderlinge lineair in het gestel verplaatsbare persdelen, een met het gestel samengebouwde roterende aandrijving, en een de aandrijving en ten minste één van de 15 persdelen verbindende overbrenging voor het omzetten van de roterende aandrijfbeweging in een lineaire beweging, waarbij de roterende aandrijving is voorzien van een besturing waardoor de rotatiesnelheid tijdens het aandrijven variabel is. Met een dergelijke inrichting kunnen de voordelen worden gerealiseerd zoals bovengaand reeds aangegeven, in het bijzonder kan een dergelijke inrichting relatief stil functioneren en 20 zal er minder mechanische slijtage plaatsvinden aan de specifieke bewegende delen van de inrichting.The present invention also provides a pressing device for the mechanical machining of semiconductor products comprising: a frame, at least two press parts displaceable linearly in the frame, a rotary drive assembled with the frame, and a drive and at least one of the press parts connecting transmission for converting the rotary drive movement into a linear movement, the rotary drive being provided with a control whereby the rotation speed during the drive is variable. With such a device the advantages can be realized as already indicated above, in particular such a device can function relatively quietly and there will be less mechanical wear on the specific moving parts of the device.

In een voorkeursvariant omvat de inrichting tevens: een houder voor het opvangen van afval van de halfgeleider producten en detectiemiddelen voor het waarnemen van ten 25 minste één vulniveau van de afvalhouder. Dergelijke afvalhouders zijn doorgaans losneembaar om ze eenvoudig te kunnen legen. Door de detectie van de vulgraad kan worden voorkomen dat een houder zodanig gevuld raakt dat deze te zwaar wordt om (handmatig) te legen of dat deze zodanig vol raakt dat dit een goede werking van de pers gaat belemmeren. Naast het voordeel dat hierdoor de kans op te laat legen kan 30 worden verkleind is het ook mogelijke het maximale gewicht van een door een operator uit te nemen houder te beheersen. Ook deze maatregel leidt daarom tot verbeterde arbeidsomstandigheden.In a preferred variant, the device also comprises: a holder for collecting waste from the semiconductor products and detection means for detecting at least one filling level of the waste holder. Such waste containers are usually detachable for easy emptying. By detecting the degree of filling it can be prevented that a container becomes filled such that it becomes too heavy to empty (manually) or that it becomes so full that this will hamper the proper functioning of the press. In addition to the advantage that the chance of emptying too late can hereby be reduced, it is also possible to control the maximum weight of a container to be taken out by an operator. This measure therefore also leads to improved working conditions.

66

In een voorkeursuitvoering omvatten de detectiemiddelen voor het waarnemen van ten minste één vulniveau van de afvalhouder een gewichtsdetector voor de houder. De kan voordelig zijn samengebouwd met het gestel van de pers. Omdat het afval stoffige is bijvoorbeeld visuele detectie moeilijk. Ook is het zo dat juist een overmatig gewicht een 5 factor is die de arbeidsomstandigheden negatief kan beïnvloeden wordt zo juist de waarde gemeten die van belang is. Door de detector samen te bouwen met het gestel kan een uitwisselbare houder eenvoudig zijn uitgevoerd en neemt de betrouwbaarheid van de inrichting toe.In a preferred embodiment the detection means for detecting at least one filling level of the waste container comprise a weight detector for the container. The can can be advantageously assembled with the frame of the press. For example, because the waste is dusty, visual detection is difficult. It is also the case that excess weight is a factor that can negatively influence working conditions, so that the value that is important is measured. By assembling the detector with the frame, an exchangeable holder can be of simple design and the reliability of the device increases.

10 In weer een andere voordelige uitvoeringsvariant is ten minste een de van persdelen onder tussenkomst van detectiesysteem met terugkoppeling naar de roterende aandrijving beveiligd. Een dergelijke detectie kan plaatsvinden onder tussenkomst van detectiepennen (“safety pins”). Voor de duidelijkheid wordt hier nogmaals gesteld dat onder het begrip “persdeel” wordt begrepen het niet uitwisselbare machinedeel in 15 combinatie met een uitwisselbaar daarmee verbonden gereedschapsdeel. Door de beveiliging wordt de kans beschadiging van de persdelen verder verkleind.In yet another advantageous embodiment variant, at least one of the press parts is secured with feedback to the rotating drive with the aid of a detection system. Such detection can take place through the use of detection pins ("safety pins"). For the sake of clarity, it is again stated here that the term "press part" is understood to mean the non-exchangeable machine part in combination with an interchangeably connected tool part. Due to the protection, the chance of damage to the press parts is further reduced.

Ook voordelig is het indien de inrichting is voorzien van een op de persdelen aansluitende toevoer voor te bewerken halfgeleider producten, welke toevoer onder 20 tussenkomst van een krachtbegrenzing is aangedreven. Deze toevoer kan meerdere bewegingscomponenten bevatten die afzonderlijk zijn begrensd. Denk hierbij bijvoorbeeld aan een horizontale en een verticale bewegingscomponent van een “haasvormige” toevoerbeweging. Zoals reeds bovengaand aangegeven leidt een dergelijke begrenzing tot een verminderde kans op beschadiging van de inrichting (en de 25 producten) en geeft dit tevens het voordeel van een grotere veiligheid voor de operator.It is also advantageous if the device is provided with a feed for semiconductor products to be connected to the pressing parts, which feed is driven by means of a force limitation. This feed can contain several movement components that are individually limited. Consider, for example, a horizontal and a vertical movement component of a "hare-shaped" feed movement. As already indicated above, such a limitation leads to a reduced risk of damage to the device (and the products) and also gives the advantage of greater safety for the operator.

In weer een andere voorkeursuitvoering is de inrichting is voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het verplaatsen van een productafhankelijke instelbaar onderdeel van de inrichting. Op een vergelijkbare wijze is het voordelig indien de inrichting is 30 voorzien van ten minste één snelkoppeling voor het uitwisselen van een productafhankelijke onderdeel van de inrichting. Deze maatregelen vereenvoudigen een omstelling van de inrichting hetgeen zowel tot tijdwinst kan leiden als hetgeen voordelig is voor de arbeidsomstandigheden. Nog een voordeel is dat de betrouwbaarheid van juist instellingen hiermee toeneemt zonder daarbij in aanzienlijk 7 mate afhankelijk te zijn van de deskundigheid en vaardigheid van de betreffende operators.In yet another preferred embodiment, the device is provided with at least one quick coupling for displacing a product-dependent adjustable part of the device. In a comparable manner, it is advantageous if the device is provided with at least one quick coupling for exchanging a product-dependent part of the device. These measures simplify a change-over of the device, which can lead to both gains in time and is advantageous for working conditions. Another advantage is that the reliability of correct settings increases with this without being substantially dependent on the expertise and skill of the relevant operators.

Nog een andere voorkeursvariant van de pers is gekenmerkt doordat ten minste één van 5 de persdelen is voorzien van een naar een ander persdeel gekeerde zijde gelegen aanslag welke aanslag aan de contactzijde is voorzien van een veerkrachtig materiaaldeel. Dit veerkrachtig materiaaldeel is daarbij wenselijk in een vormvaste uitsparing geplaatst en bestaat verder uit een vol materiaaldeel dat aan de op het vormvaste materiaaldeel grenzende zijden is voorzien van tot onder het vormvaste materiaaldeel afgeschuinde 10 zijden. Aldus ontbreekt de volgens de stand der techniek gebruikelijke centrale opening in het veerkrachtige materiaaldeel. De rand(en) van het veerkrachtig materiaaldeel bieden in deze constructie nog enige ruimte voor het vervormen van het veerkrachtig materiaaldeel in de door het vormvaste materiaaldeel vrijgelaten ruimte.. Het veerkrachtig materiaaldeel is bij voorkeur echter zo groot dat het niet volledig tot in de 15 door het vormvaste materiaaldeel vrijgelaten ruimte worden gedrongen. Aldus wordt voorkomen dat het vormvaste materiaal op enig moment de eindmaat van de aanslag bepaald, door een nauwkeurige beheersing van de vorm en het volume van het veerkrachtige materiaaldeel. Naast het aldus verminderen van de geluidsdruk heeft een veerkrachtig materiaaldeel zonder centrale opening het voordeel dat een dergelijk 20 veerkrachtig materiaaldeel een langere levensduur heeft dan de materiaaldelen met een centrale opening.Yet another preferred variant of the press is characterized in that at least one of the press parts is provided with a stop located facing another press part, which stop on the contact side is provided with a resilient material part. This resilient material part is herein desirably placed in a form-retaining recess and furthermore consists of a full material part which, on the sides adjacent to the form-retaining material part, is provided with sides that are bevelled to below the form-retaining material part. Thus, the central opening customary in the state of the art is missing in the resilient material part. In this construction, the edge (s) of the resilient material part still offer some space for deforming the resilient material part in the space left free by the form-retaining material part. However, the resilient material part is preferably so large that it does not completely extend to the inside. space left free by the form-retaining material part. In this way it is prevented that the form-retaining material determines the final dimension of the stop at any time, by precise control of the form and the volume of the resilient material part. In addition to thus reducing the sound pressure, a resilient material part without a central opening has the advantage that such a resilient material part has a longer service life than the material parts with a central opening.

De onderhavige uitvinding zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de in navolgende figuren weergegeven niet-limitatieve uitvoeringsvoorbeelden. Hierin toont: 25 figuur 1 een perspectivisch aanzicht op een inrichting overeenkomstig de uitvinding, figuren 2A en 2B perspectivische aanzichten op onderdelen van de inrichting zoals getoond in figuur 1, in het bijzonder onderdelen in verband met de aandrijving van de inrichting, figuren 3 A en 3 B perspectivische aanzichten op onderdelen van de inrichting zoals 30 getoond in figuur 1, in het bijzonder onderdelen voor het verwijderen van afVal, en figuren 4A en 4B een perspectivisch aanzicht op een veerkrachtig aanslagdeel volgens de stand der techniek voorzien van een centrale opening dat in een vormvaste uitsparing is geplaatst en een veerkrachtig aanslagdeel volgens de uitvinding.The present invention will be further elucidated with reference to the non-limitative exemplary embodiments shown in the following figures. Herein: figure 1 shows a perspective view of a device according to the invention, figures 2A and 2B show perspective views of parts of the device as shown in figure 1, in particular parts in connection with the drive of the device, figures 3A and 3B perspective views of parts of the device as shown in figure 1, in particular parts for the removal of waste, and figures 4A and 4B a perspective view of a resilient stop part according to the state of the art provided with a central opening which a form-retaining recess is placed and a resilient stop part according to the invention.

88

Figuur 1 toont een perspectivisch aanzicht op een persinrichting 1 voor het mechanisch bewerken van halfgeleider producten voorzien van een toevoerbaan 2 waarlang de te bewerken producten worden aangevoerd en een afvoerbaan 3 waarlangs de bewerkte, doorgaans opgedeelde, producten worden afgevoerd. De afvoerbaan 3 is voorzien van 5 een snelsluiting 4 waarmee met een enkele handeling toegang kan worden verkregen tot de afvoerbaan 3 om bijvoorbeeld een vastgelopen product te verwijderen of terug in het gelid te plaatsen. Met de snelsluiting 4 kan de afvoerbaan 3 vervolgens weer met een eenvoudige handeling worden teruggebracht is een afgeschermde toestand. Verder toont figuur 1 een elektromotor 5 die is verbonden met één van de persdelen 6, 7; een en 10 ander zal navolgend aan de hand van de figuren 2A en 2B meer in detail worden uitgeduid. Aan de persdelen 6, 7 kunnen verschillende, hier niet getoonde, bewerkingselementen worden gekoppeld; in het bijzonder wordt de inrichting 1 gebmikt in combinatie met een stans (“punch”) en stansplaat. De aandrijving 5 is zichtbaar omdat een deur 8 in een geopende stand is weergegeven. Daardoor is in de 15 figuur 1 ook de afvalcontainer 9, welke is voorzien van een handvat 10, zichtbaar. Bij bijvoorbeeld het stansen en verenkelen van producten kan afval naar de container 9 worden afgevoerd. Zodra deze is gevuld dient een operator de deur 8 te openen en de container 8 te vervangen of te legen. Dit zal verder worden verduidelijkt aan de hand van de figuren 3A en 3B. De persdelen 6, 7 zijn van de buitenwereld afgeschermd door 20 middel van een kap 11, bij opening waarvan een sensor wordt geactiveerd die de werking van de inrichting 1 stopt. De deur 8 en alle overige onderdelen zijn samengebouwd mat een gestel 12.Figure 1 shows a perspective view of a pressing device 1 for the mechanical machining of semiconductor products provided with a supply track 2 along which the products to be processed are supplied and a discharge track 3 along which the processed, generally divided, products are discharged. The discharge track 3 is provided with a quick-release fastener 4 with which access can be gained with a single operation to the discharge track 3 in order, for example, to remove a jammed product or to place it back in the line. With the quick-release fastener 4, the discharge track 3 can then be returned again with a simple operation, which is a shielded state. Furthermore, figure 1 shows an electric motor 5 which is connected to one of the press parts 6, 7; one and the other will be explained in more detail below with reference to figures 2A and 2B. Various processing elements, not shown here, can be coupled to the press parts 6, 7; in particular, the device 1 is used in combination with a punch ("punch") and punching plate. The drive 5 is visible because a door 8 is shown in an open position. As a result, the waste container 9, which is provided with a handle 10, is also visible in Figure 1. With, for example, the stamping and singling of products, waste can be discharged to the container 9. As soon as it is filled, an operator must open the door 8 and replace or empty the container 8. This will be further elucidated with reference to figures 3A and 3B. The press parts 6, 7 are shielded from the outside world by means of a cap 11, at the opening of which a sensor is activated which stops the operation of the device 1. The door 8 and all other parts are assembled together with a frame 12.

Figuur 2A toont een perspectivisch aanzicht op een uit het gestel 12 losgenomen deel 25 van de aandrijving en persdelen 6, 7 zoals deze onderdeel uitmaken van de inrichting 1 getoond in figuur 1. De elektromotor 5 is onder tussenkomst van een drijffol 26 en een drijfriem 20 gekoppeld met een drijfwiel 21 dat onder tussenkomst van, zie hiertoe figuur 2B, excenters 22 de verticale verplaatsing van het bovenste persdeel 7 aandrijft. De koppeling van de excenters 22 met het persdeel 7 kan worden beveiligd door een, 30 hier eveneens niet getoond, detectiesysteem waardoor kan worden ingegrepen op de elektromotor 5. Met een tweede aandrijving 27 wordt onder tussenkomst van een drijfriem 28 ten minste één mechanisme dat cam 24 volgt met een krachtbegrensde koppeling een, hier niet in detail getoond, toevoerelement intermitterend kan worden bewogen. Zo’n koppeling kan bijvoorbeeld magnetisch zijn uitgevoerd zodanig dat bij 9 het overschrijden van een bepaalde belasting de magneetkoppeling loskomt. Voor het herstellen van de koppeling behoeven dan slechts de onderdelen weer bij elkaar te worden gebracht. Een andere mogelijkheid is een verbindingspen met een bepaalde voorspanning in een koppelende positie te houden. Als de voorspanning op de pen 5 wordt overschreden door een belasting wordt de pen uit de koppelende positie gedrukt en is aldus de aandrijving ontkoppeld van het persdeel 7. Overigens is een krachtbegrensde aandrijving ook toepasbaar voor andere gedwongen bewegingen in de inrichting 1. In de figuur 2A is verder schematisch ook de besturing 25 van de elektromotoren 5 en 27 weergegeven waarmee ondermeer de niet-eenparige rotatie van 10 de motor 5 kan worden aangestuurd overeenkomstig de onderhavige uitvinding.Figure 2A shows a perspective view of a part 25 of the drive and press parts 6, 7 that are detached from the frame 12 as they form part of the device 1 shown in figure 1. The electric motor 5 is interposed by a drive roller 26 and a drive belt 20 coupled to a driving wheel 21 which, via the intervention of, see here Figure 2B, eccentrics 22, drives the vertical displacement of the upper pressing part 7. The coupling of the eccentrics 22 with the pressing part 7 can be secured by a detection system, which is also not shown here, so that action can be taken on the electric motor 5. With a second drive 27, at least one mechanism can be cammed through a drive belt 28 24 follows with a force-limited coupling that a supply element, not shown here in detail, can be moved intermittently. Such a coupling can, for example, be of a magnetic design such that when a certain load is exceeded, the magnetic coupling is released. To restore the coupling, only the parts then have to be brought back together. Another possibility is to hold a connecting pin with a certain bias in a coupling position. If the bias on the pin 5 is exceeded by a load, the pin is pressed out of the coupling position and the drive is thus disconnected from the pressing part 7. Incidentally, a force-limited drive can also be used for other forced movements in the device 1. In the figure 2A also schematically shows the control 25 of the electric motors 5 and 27, with which, inter alia, the non-uniform rotation of the motor 5 can be controlled in accordance with the present invention.

Figuur 3 A toont een perspectivisch aanzicht op de afvalcontainer 9 met handvat 10 die steunt op een weegstrip 30. Zoals ook figuur 3B toont is de weegstrip 30 samengebouwd met het gestel 12 van de inrichting 1 waarmee het gewicht van de 15 container 9 met inhoud kan worden bewaakt. Naar believen kan er in de container een onderdruk worden opgewekt door op een met de container 30 verbonden overloop 31 een afzuiging aan te sluiten. Afhankelijk van omstandigheden zoals de gevoeligheid van de te verwerken producten, de hoeveelheid en het type van de vrijkomende kleine deeltjes, de lokaal geldende normen en zo voorts, kan er ook voor worden gekozen de 20 overloop 31 vrij te laten communiceren met de omgeving.Figure 3A shows a perspective view of the waste container 9 with handle 10 which rests on a weighing strip 30. As also Figure 3B shows, the weighing strip 30 is assembled with the frame 12 of the device 1 with which the weight of the container 9 with content can be monitored. Optionally, a reduced pressure can be generated in the container by connecting a suction to an overflow 31 connected to the container 30. Depending on circumstances such as the sensitivity of the products to be processed, the quantity and type of the small particles released, the locally applicable standards and so on, it is also possible to opt for allowing the overflow 31 to communicate freely with the environment.

Figuur 4A toont een eerste aanslag 40 volgens de stand der techniek die wordt gevormd door een vormvaste basis 41 met een nauwkeurig op maat geslepen contactzijde 42. Door de vormvaste basis 41 wordt een veerkrachtig materiaaldeel 43 gehouden op 25 zodanig wijze dat dit tot boven de contactzijde 42 uitkraagt. In het veerkrachtig materiaaldeel 43 is een centrale uitsparing 44 voorzien. Bij het met een overliggende tweede aanslag 45 in contact komen van de eerste aanslag 41 is het mede vanwege de centrale opening 44 in het veerkrachtig materiaaldeel 43 mogelijk dat het veerkrachtig materiaaldeel 43 zover wordt ingedrukt dat de tweede aanslag 45 in contact komt met 30 de op maat geslepen contactzijde 42; de aanslagmaat is aldus nauwkeurig bepaald. Een nadeel van de centrale opening 44 in het veerkrachtig materiaaldeel 43 is dat deze de levenduur en de vervormbaarheid van het veerkrachtig materiaaldeel 43 beperkt, maar belangrijker dat deze aanslag 40 bijdraagt in de geluidsproductie van een persinrichting.Figure 4A shows a first stop 40 according to the prior art which is formed by a form-retaining base 41 with an accurately ground contact side 42. The form-retaining base 41 holds a resilient material part 43 in such a way that it is above the contact side 42. A central recess 44 is provided in the resilient material part 43. When the first stop 41 comes into contact with an opposite second stop 45 it is partly because of the central opening 44 in the resilient material part 43 that the resilient material part 43 is pressed in such a way that the second stop 45 comes into contact with the ground ground contact side 42; the assessment size is thus accurately determined. A drawback of the central opening 44 in the resilient material part 43 is that it limits the service life and the deformability of the resilient material part 43, but more importantly that this stop 40 contributes to the sound production of a pressing device.

1010

De aanslag zoals in dwarsdoorsnede weergegeven in figuur 4B toont een vol veerkrachtig materiaaldeel 46 waarvan de op een vormvast aanslagdeel 47 grenzende zijden 48 zijn afschuind zodanig dat zij tot onder de meest uitkragende zijden 49 van het vormvaste materiaaldeel 47 reiken. Een centraal deel 50 van de contactzijde van het 5 veerkrachtige materiaaldeel 46 kraagt echter meer uit dan de meest uitkragende zijden 49 van het vormvaste materiaaldeel 47. Voordeel van de aanslag 51 zoals getoond in figuur 4B is dat hiermee het geluid van het sluiten van de persdelen kan worden gereduceerd zonder in te boeten in aanslagnauwkeurigheid. Voorwaarde daarbij is echter wel dat het volume van het veerkrachtige materiaaldeel 46 zo wordt gekozen dat 10 dit nooit volledig in het vormvaste materiaaldeel 47 kan worden gedrongen en de eindmaat wordt bepaald door het vormvaste materiaaldeel 47; de aanslag wordt immer gevormd door het veerkrachtige materiaaldeel 46. Uiteraard vormt daarbij de vormnauwkeurigheid van het veerkrachtige materiaaldeel 46 een kritische maat.The stop as shown in cross-section in Figure 4B shows a fully resilient material part 46, the sides 48 of which are abutting a form-retaining stop part 47 being bevelled such that they extend below the most protruding sides 49 of the form-retaining material part 47. A central part 50 of the contact side of the resilient material part 46, however, protrudes more than the most protruding sides 49 of the form-retaining material part 47. The advantage of the stop 51 as shown in Fig. 4B is that with this the sound of the closing of the press parts can be reduced without sacrificing velocity accuracy. However, it is a condition that the volume of the resilient material part 46 is chosen such that it can never be completely forced into the form-retaining material part 47 and the final dimension is determined by the form-retaining material part 47; the stop is always formed by the resilient material part 46. Of course, the dimensional accuracy of the resilient material part 46 forms a critical measure.

Claims

Method for mechanically machining semiconductor products in a press, wherein the relative displacement of the individual press parts during the execution of a mechanical operation is driven by a rotating movement whose ratio of the distance traveled to the duration of the movement varies in the time.

Method according to claim 1, characterized in that the average speed 10 of successive operations is the same.

Method according to claim 1 or 2, characterized in that the rotating movement is both slowed and accelerated within a single processing cycle.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the individual press parts are displaced substantially linearly relative to each other, which relative linear displacement is initiated by the non-uniformly rotating movement.

A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the driving rotary movement is delayed when approaching the individual pressing parts to the shortest distance.

6. Method as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that during performing the mechanical processing of semiconductor products waste is created which is collected in a holder, wherein exceeding of at least one filling level of the holder is automatically monitored.

7. Method as claimed in claim 6, characterized in that the filling level of the container is monitored by determining the weight of the container with contents.

A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the force of the movement of the press parts directed towards each other is monitored by means of a detection system.

9. Method as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the semiconductor products to be processed are mechanically supplied to the press in such a way that the supply of the products is limited in at least one direction by means of a force limitation.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the positioning of product-dependent settings is only possible in preferred positions. 10

11. Method as claimed in any of the foregoing claims, characterized in that the press parts connect to each other through the intervention of a resilient material part.

12. Pressing device for mechanically machining semiconductor products, comprising: - a frame, - at least two press parts that can be linearly displaced in the frame, - a rotating drive assembled with the frame, and - a drive and at least one of the press parts connecting transmission for converting the rotary drive movement into a linear movement, characterized in that the rotary drive is provided with a control whereby the rotational speed during the driving is variable.

13. Pressing device as claimed in claim 12, characterized in that the device also comprises: a holder for collecting waste from the semiconductor products and detection means for detecting at least one filling level of the waste holder.

14. Press device as claimed in claim 12, characterized in that the detection means for detecting at least one filling level of the waste container comprise a weight detector for the container.

15. Pressing device as claimed in claim 13 or 14, characterized in that the detection means are assembled with the frame of the press.

16. Pressing device as claimed in any of the claims 12-15, characterized in that the device is provided with a detection system through which action can be taken on the drive of at least one of the pressing parts.

17. Pressing device as claimed in any of the claims 12-16, characterized in that the device is provided with a feed for semiconductor products for processing, which feed is connected to the press parts, which feed is driven by means of a force limitation.

A pressing device according to any one of claims 12 - 17, characterized in that the device is provided with at least one quick coupling for displacing a product-dependent adjustable part of the device.

19. Pressing device as claimed in any of the claims 12-18, characterized in that the device is provided with at least one quick coupling for exchanging a product-dependent part of the device.

20. Pressing device as claimed in any of the claims 12-19, characterized in that at least one of the pressing parts is provided with a stop 20 facing a different pressing part, which stop is provided on the contact side with a resilient material part.

21. Pressing device as claimed in claim 20, characterized in that the resilient material part is placed in a form-retaining recess, consists of a full material part which is provided on the sides adjacent to the form-retaining material part with sides beveled below the form-retaining material part.