NL2000203C2 - Product carrying and transport device. - Google Patents
Product carrying and transport device. Download PDFInfo
- Publication number
- NL2000203C2 NL2000203C2 NL2000203A NL2000203A NL2000203C2 NL 2000203 C2 NL2000203 C2 NL 2000203C2 NL 2000203 A NL2000203 A NL 2000203A NL 2000203 A NL2000203 A NL 2000203A NL 2000203 C2 NL2000203 C2 NL 2000203C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- product
- carrying
- cells
- medium
- transporting device
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
- B65H5/22—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by air-blast or suction device
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2406/00—Means using fluid
- B65H2406/10—Means using fluid made only for exhausting gaseous medium
- B65H2406/11—Means using fluid made only for exhausting gaseous medium producing fluidised bed
- B65H2406/113—Details of the part distributing the air cushion
- B65H2406/1132—Multiple nozzles arrangement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2406/00—Means using fluid
- B65H2406/30—Suction means
- B65H2406/36—Means for producing, distributing or controlling suction
- B65H2406/365—Means for producing, distributing or controlling suction selectively blowing or sucking
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/10—Handled articles or webs
- B65H2701/19—Specific article or web
- B65H2701/1928—Printing plate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
NL 47055-VB/coNL 47055-VB / co
Product-draag en -transportinrichtingProduct carrying and transport device
De uitvinding heeft betrekking op een product-draag en -transportinrichting omvattende een transporteur die een tijdens gebruik naar het product gericht oppervlak bezit dat voorzien is van toevoeropeningen en afvoeropeningen voor een 5 medium dat het product tractie verschaft.The invention relates to a product-carrying and transporting device comprising a conveyor which has a surface directed towards the product during use and which is provided with supply openings and discharge openings for a medium which provides the product with traction.
Een dergelijke product-draag en -transportinrichting is bekend uit EP-A 0 962 409 en tevens uit US-A 5 634 636.Such a product carrier and transport device is known from EP-A 0 962 409 and also from US-A 5 634 636.
Een dergelijke inrichting is tevens bekend uit het artikel "Motion Control of Planar Objects using Large-Area 10 arrays of Mems-like Distributed Manipulators" door AndrewSuch a device is also known from the article "Motion Control of Planar Objects using Large-Area 10 arrays or Mems-like Distributed Manipulators" by Andrew
Berlin, et al. van juni 2000, gepresenteerd tijdens de Micro-mechatronicsbeurs 2000.Berlin, et al. Of June 2000, presented during the Micro-mechatronics fair 2000.
De hiervoor genoemde publicaties hebben als onderwerp het verplaatsen van flexibele producten en in het bij-15 zonder het verplaatsen van vellen papier onder gebruikmaking van lucht als medium dat het product tractie verschaft.The aforementioned publications have as subject the displacement of flexible products and in particular the displacement of sheets of paper using air as medium that provides the product traction.
De volgens de aanhef bedoelde inrichting is tevens bekend uit het artikel "Air Film System for Handling Semiconductor Wafers" door J.A. Paivanas en J.K. Hassan, gepubli-20 ceerd in IBM Journal of Research and Development, vol. 23, nr. 4, juli 1979, pagina's 361-375.The device referred to in the preamble is also known from the article "Air Film System for Handling Semiconductor Wafers" by J.A. Paivanas and J.K. Hassan, published in IBM Journal of Research and Development, vol. 23, No. 4, July 1979, pages 361-375.
Hoewel de literatuur op het gebied van product-draag en -transportinrichtingen die gebruikmaken van lucht als transportmiddel omvangrijk is, is er nog geen geschikte uit-25 voering voorgesteld van een dergelijke inrichting waarmee dunne fragiele producten eenvoudig en betrouwbaar getransporteerd kunnen worden, en waarbij uitval van dergelijke producten door beschadigingen tijdens het transport zo veel mogelijk wordt tegengegaan. Het gaat hierbij om producten als wa-30 fers, glazen substraten, silicium zonnecellen, glasplaten, displays en printplaten, waarvan de afmetingen en waarvan de dikte over een ruim gebied kunnen variëren (ter indicatie van een mogelijke maatvoering: bijvoorbeeld circa 100 x 100 mm bij een dikte van circa 1 mm).Although the literature in the field of product carrying and transporting devices that use air as a means of transport is extensive, no suitable embodiment has yet been proposed of such a device with which thin fragile products can be transported easily and reliably, and in which failure of such products is prevented as much as possible by damage during transport. This concerns products such as wafers, glass substrates, silicon solar cells, glass plates, displays and printed circuit boards, the dimensions and thickness of which can vary over a wide area (to indicate a possible dimension: for example approximately 100 x 100 mm at a thickness of approximately 1 mm).
22
Bij de bekende product-draag en -transportinrichting wordt in het algemeen een vrij sterke luchtstroming toegepast die turbulent van karakter is. Deze luchtstroming is doorgaans zo sterk dat zonder tegenmaatregelen het te transporte-5 ren product te veel gaat leviteren, hetgeen de inrichting minder nauwkeurig en zelfs zonder dergelijke tegenmaatregelen onbruikbaar maakt. Teneinde dit probleem tegen te gaan, wordt veelal, zoals in EP-A 0 962 409 en US-A 5 634 636, gebruik gemaakt van een aan weerszijden van het te transporteren pro-10 duet opgesteld transporteuroppervlak, waarbij ieder oppervlak voorzien is van toevoeropeningen voor een gas. Met het toegevoegde oppervlak wordt zodoende een tegendruk verschaft en kan het product nauwkeurig tussen beide oppervlakken gepositioneerd worden.In the known product carrier and transport device, a fairly strong air flow is generally used which is of a turbulent nature. This air flow is generally so strong that without countermeasures the product to be transported will deliver too much, which renders the device less accurate and even useless without such countermeasures. In order to counteract this problem, use is often made, as in EP-A 0 962 409 and US-A 5 634 636, of a conveyor surface arranged on either side of the product to be transported, each surface being provided with feed openings for a gas. With the added surface, a back pressure is thus provided and the product can be accurately positioned between the two surfaces.
15 Met de uitvinding is beoogd de bekende product-draag en -transportinrichting te vereenvoudigen en deze beter bruikbaar te maken voor tractie van dunne, kwetsbare producten, zoals de genoemde wafers en glazen substraten.The object of the invention is to simplify the known product carrier and transport device and to make it more usable for traction of thin, vulnerable products, such as the aforementioned wafers and glass substrates.
De product-draag en -transportinrichting volgens de 20 uitvinding is daartoe gekenmerkt door één of meer van de aangehechte conclusies. Het is met deze product-draag en -transportinrichting mogelijk om vele verschillende typen producten te hanteren met afmetingen waaraan in beginsel geen grens is gesteld. Het te hanteren product dient slechts aan 25 de naar de transporteur gerichte zijde impermeabel voor het medium te zijn.To this end, the product carrying and transporting device according to the invention is characterized by one or more of the appended claims. With this product carrier and transport device it is possible to handle many different types of products with dimensions to which in principle no limit has been set. The product to be handled should only be impermeable to the medium on the side facing the conveyor.
In een eerste aspect van de uitvinding is de product-draag en -transportinrichting erdoor gekenmerkt dat het oppervlak van de transporteur tenminste voorzien is van cel-30 len die ieder ten minste een toevoeropening en een afvoerope-ning voor het medium hebben. Dit medium kan een gas of een vloeistof zijn. Hiermee blijkt het mogelijk om de toevoerope-ning op een lichte overdruk en de afvoeropening op een lichte onderdruk te bedrijven, waarmee voldoende levitatie van het 35 product kan worden bereikt en tegelijk een afdoende tractie aan het product kan worden verschaft zonder daarbij te vervallen in hoge stroomsnelheden van het medium, zoals het geval is in de stand van de techniek. De tractie die de pro- 3 duct-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding verschaft, is zodoende niet op impulsoverdracht door het uitstromende medium gebaseerd, maar op basis van krachtoverbren-ging in de grenslaag die het in iedere cel stromende medium 5 vormt met het zich nabij die cel bevindende product.In a first aspect of the invention, the product carrier and transport device is characterized in that the surface of the conveyor is at least provided with cells, each of which has at least one supply opening and an outlet opening for the medium. This medium can be a gas or a liquid. This makes it possible to operate the supply opening at a slight overpressure and the discharge opening at a slight underpressure, with which sufficient levitation of the product can be achieved and at the same time a sufficient traction can be provided to the product without thereby falling into high flow rates of the medium, as is the case in the prior art. The traction that the product carrier and transport device according to the invention provides is therefore not based on pulse transfer through the outflowing medium, but on the basis of force transfer in the boundary layer that forms the medium flowing in each cell with the product located near that cell.
Opgemerkt wordt dat het niet noodzakelijk is dat alle cellen dergelijke (regelbare) tractiecellen zijn. Zogeheten overdrukcellen (om het product te dragen en die voorzien zijn van tenminste een toevoeropening en geen afvoeropening) 10 en zogeheten onderdrukcellen (om het product voor te spannen en die voorzien zijn van tenminste een afvoeropening en geen toevoeropening) kunnen ook toegevoegd worden.It is noted that it is not necessary that all cells are such (controllable) traction cells. So-called overpressure cells (for carrying the product and which are provided with at least one supply opening and no discharge opening) and so-called underpressure cells (for biasing the product and which are provided with at least one discharge opening and no supply opening) can also be added.
Wanneer optimale controle van positie en snelheid van het te transporteren product gewenst is, geniet het de 15 voorkeur dat de cellen ieder voorzien zijn van twee toevoer-openingen en twee afvoeropeningen die individueel instelbaar zijn voor het regelen van de hoeveelheid aan te voeren en af te voeren medium. Door iedere toevoeropening paarsgewijs te koppelen aan een afvoeropening en deze paren toevoeropeningen 20 en afvoeropeningen ten opzichte van elkaar orthogonaal op te stellen, kan door een geschikte regeling van de hoeveelheid per toevoeropening en afvoeropening aan te voeren, respectievelijk af te voeren medium, een nauwkeurige tractie in een gewenste richting aan het te transporteren product worden ge-2 5 geven.When optimum control of position and speed of the product to be transported is desired, it is preferable that the cells are each provided with two supply openings and two discharge openings that are individually adjustable for controlling the quantity of feed and discharge. carry medium. By coupling each supply opening in pairs to an outlet opening and arranging these pairs of inlet openings 20 and outlet openings relative to each other, accurate traction can be achieved by suitable control of the quantity of medium to be supplied and discharged per inlet and outlet. be given to the product to be transported in a desired direction.
Één van de onderscheidende aspecten van de product-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding ten opzichte van de stand van de techniek is, dat het naar het product gerichte oppervlak volstaat voor het verschaffen van 30 tractie aan het product en dat een tegenover dit oppervlak geplaatst verder tractieverschaffend orgaan kan ontbreken.One of the distinguishing aspects of the product carrying and transporting device according to the invention compared to the state of the art is that the surface facing the product is sufficient to provide traction to the product and that a face placed opposite this surface further traction-providing body may be missing.
De cellen van de product-draag en -transportinrichting laten zich bij voorkeur eenvoudig vormen als rechthoekige kamers die begrensd zijn door dammen die de 35 kamers onderling scheiden. De bovenzijden van deze dammen vormen daarbij het oppervlak van de transporteur.The cells of the product carrier and transport device are preferably simple to form as rectangular chambers bounded by dams separating the chambers from one another. The tops of these dams thereby form the surface of the conveyor.
In de zojuist bedoelde uitvoering van de cellen als rechthoekige kamers geniet het de voorkeur om de toevoerope- 4 ningen en afvoeropeningen in de hoeken van de kamers te plaatsen.In the embodiment of the cells as rectangular chambers just intended, it is preferable to place the supply openings and discharge openings in the corners of the chambers.
De eenvoud van de constructie van de product-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding en de besturing 5 daarvan is ermee gediend dat de cellen regelmatig verdeeld in het oppervlak zijn aangebracht.The simplicity of the construction of the product carrier and transport device according to the invention and the control thereof benefits from the fact that the cells are arranged regularly distributed in the surface.
Verder geniet het daarbij de voorkeur dat de medium-druk van iedere cel individueel regelbaar is.Furthermore, it is preferred that the medium pressure of each cell is individually adjustable.
De voordelen die de uitvinding biedt kunnen geheel 10 tot ontwikkeling komen wanneer de product-draag en -transportinrichting is voorzien van één of meer positie-opnemers voor het bepalen van de positie van een product, alsmede een op de positie-opnemers aangesloten regelaar voor het per individuele cel of groep van cellen instellen van de hoeveel-15 heid aan te voeren en/of af te voeren medium zodanig dat het product een vooraf bepaalde, gewenste mate van tractie verkrijgt in een vooraf bepaalde richting.The advantages offered by the invention can be fully developed when the product-carrying and transporting device is provided with one or more position sensors for determining the position of a product, as well as a controller for connecting to the position sensors. for each individual cell or group of cells adjusting the amount of medium to be supplied and / or discharged such that the product obtains a predetermined, desired degree of traction in a predetermined direction.
Een en ander wordt optimaal gefaciliteerd door de inrichting daarbij zo uit te voeren dat de regelaar sturend 20 is aangesloten op instelbare weerstanden die zijn opgenomen in leidingen voor het medium naar en van de toevoeropening resp. de afvoeropening van iedere cel. Voordelig is hierbij dat hiermee een stabiele afstandspositionering van het product ten opzichte van de transporteur wordt verschaft.All this is optimally facilitated by designing the device in such a way that the controller is connected to controllable resistors which are included in lines for the medium to and from the supply opening or the like. the drain opening of each cell. It is advantageous here that a stable distance positioning of the product relative to the conveyor is hereby provided.
25 De uitvinding zal in het navolgende verder worden toegelicht aan de hand van een de navolgende octrooiconclu-sies niet beperkende schematische weergave van een uitvoe-ringsvoorbeeld van de inrichting volgens de uitvinding, en onder verwijzing naar de tekening.The invention will be further elucidated hereinbelow on the basis of a non-limiting schematic representation of the following patent claims of an exemplary embodiment of the device according to the invention, and with reference to the drawing.
30 In de tekening toont30 shows in the drawing
Fig. 1 een schematische weergave van een product-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding met een daarop aanwezig product, enFIG. 1 a schematic representation of a product carrier and transport device according to the invention with a product present thereon, and
Fig. 2 een detailweergave van de in fig. 1 getoonde 35 product-draag en -transportinrichting.FIG. 2 is a detailed view of the product carrier and transport device shown in FIG. 1.
In de figuren gebruikte gelijke verwijzingscijfers verwijzen naar dezelfde onderdelen.Identical reference numbers used in the figures refer to the same parts.
In fig. 1 is met verwijzingscijfer 1 in het algemeen 5 de product-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding aangeduid.In Fig. 1, reference numeral 1 generally designates the product carrying and transporting device according to the invention.
Deze product-draag en -transportinrichting 1 omvat een transporteur 2 die een tijdens gebruik naar een product 3 5 gericht oppervlak 4 bezit dat voorzien is van hierna nog verder toe te lichten toevoeropeningen en afvoeropeningen voor een medium, bijvoorbeeld een gas, dat het product 3 tractie verschaft.This product-carrying and transporting device 1 comprises a conveyor 2 which has a surface 4 which is directed towards a product 3 during use and which is provided with supply openings and discharge openings for a medium, for example a gas, that the product 3 will be explained further below. traction.
In fig. 1 is weergegeven dat het oppervlak 4 van de 10 transporteur 2 ten minste voorzien is van cellen 5, ook wel tractiecellen genoemd.Fig. 1 shows that the surface 4 of the conveyor 2 is at least provided with cells 5, also referred to as traction cells.
In fig. 1 is ook duidelijk weergegeven dat deze cellen 5 regelmatig verdeeld in het oppervlak 4 zijn aangebracht .It is also clearly shown in Fig. 1 that these cells 5 are regularly distributed in the surface 4.
15 In fig. 2 zijn vier van dergelijke naast elkaar lig gende cellen 5 getoond. In fig. 2 is duidelijk zichtbaar dat deze cellen 5 rechthoekige kamers vormen die begrensd zijn door dammen 6 die de kamers 5 onderling scheiden en waarvan de bovenzijden het oppervlak 4 van de transporteur vormen.FIG. 2 shows four such adjacent cells 5. It is clearly visible in Fig. 2 that these cells 5 form rectangular chambers bounded by dams 6 which separate the chambers 5 and whose tops form the surface 4 of the conveyor.
20 Hierbij kan worden opgemerkt dat de toevoeropeningen 7 en afvoeropeningen 8 in de hoeken van de kamers vormende cellen 5 zijn aangebracht.It can be noted here that the supply openings 7 and discharge openings 8 are arranged in cells 5 forming the corners of the chambers.
Minimaal dient iedere cel 5 ten minste één toevoer-opening 7 en één afvoeropening 8 voor het tractieverschaffen- 25 de medium (gas of vloeistof) te bezitten. De voorkeur geniet echter dat iedere cel 5 voorzien is van twee toevoeropeningen 7 en twee afvoeropeningen 8 die bovendien individueel instelbaar zijn voor het regelen van de hoeveelheid aan te voeren en af te voeren medium.At least each cell 5 must have at least one supply opening 7 and one discharge opening 8 for the traction-providing medium (gas or liquid). It is preferred, however, that each cell 5 is provided with two supply openings 7 and two discharge openings 8, which moreover are individually adjustable for controlling the amount of medium to be supplied and discharged.
30 Naast de hiervoor genoemde (tractie-)cellen 5 kunnen er ook nog andersoortige cellen zijn, zoals overdrukcellen (met alleen een of meer toevoeropeningen) en onderdrukcellen (met alleen een of meer afvoeropeningen). Dit is in de figuren verder niet getoond, maar is de vakman geheel duidelijk.In addition to the aforementioned (traction) cells 5, there may also be other types of cells, such as overpressure cells (with only one or more supply openings) and underpressure cells (with only one or more discharge openings). This is not further shown in the figures, but is entirely clear to the skilled person.
35 Hiervoor is reeds opgemerkt dat het naar het product 3 gerichte oppervlak 4 van de transporteur 2 volstaat voor het verschaffen van tractie aan het product 3 en dat zodoende een tegenover dit oppervlak 4 geplaatst verder tractiever- 6 schaffend orgaan geheel kan ontbreken.It has already been noted above that the surface 4 of the conveyor 2 facing the product 3 is sufficient to provide traction to the product 3 and that a further traction-providing member placed opposite this surface 4 can therefore be completely absent.
Verwijzend weer naar fig. 1, is getoond dat voorzien is in een regelaar 9 die enerzijds gekoppeld is met een aantal positie-opnemers voor het bepalen van de positie van een 5 product. Dergelijke positie-opnemers zijn met verwijzingscij-fer 10 in fig. 2 weergegeven op de hoekpunten van iedere cel 5. Signaaloverdracht van de positie-opnemers 10 naar de regelaar 9 geschiedt via de in fig. 1 getoonde signaallijnen 11.Referring again to Fig. 1, it is shown that a controller 9 is provided on the one hand coupled to a number of position sensors for determining the position of a product. Such position sensors are shown with reference numeral 10 in Fig. 2 at the angular points of each cell 5. Signal transfer from the position sensors 10 to the controller 9 takes place via the signal lines 11 shown in Fig. 1.
Anderzijds is de regelaar 9 gekoppeld met voorzie-10 ningen voor het per individuele cel 5 of groep van cellen 5 instellen van de hoeveelheid aan te voeren en/of af te voeren medium zodanig dat het product 3 een vooraf bepaalde, gewenste mate van tractie verkrijgt in een vooraf bepaalde richting. Hiertoe is voorzien in signaallijnen 12 en 13 waarmee 15 actuatoren bediend kunnen worden voor het regelen van de gasdoorstroming in iedere cel.On the other hand, the regulator 9 is coupled to means for adjusting the amount of medium to be supplied and / or discharged per individual cell 5 or group of cells 5 such that the product 3 obtains a predetermined, desired degree of traction in a predetermined direction. For this purpose signal lines 12 and 13 are provided with which actuators can be operated for controlling the gas flow in each cell.
De hiervoor gegeven beschrijving van een uitvoe-ringsvoorbeeld van een product-draag en -transportinrichting volgens de uitvinding dient uitdrukkelijk uitsluitend ter 20 toelichting van de navolgende conclusies zonder deze conclusies te beperken tot dit specifieke uitvoeringsvoorbeeld.The foregoing description of an exemplary embodiment of a product carrier and transport device according to the invention is explicitly intended solely to illustrate the following claims without limiting these claims to this specific exemplary embodiment.
De beschermingsomvang die aan de conclusies toekomt, wordt uitsluitend bepaald door hetgeen de vakman als wezenlijke bijdrage aan de stand van de techniek ervaart, zoals 25 belichaamd in de navolgende conclusies.The scope of protection that belongs to the claims is solely determined by what the person skilled in the art experiences as a substantial contribution to the state of the art, as embodied in the following claims.
Binnen het kader van de uitvinding zijn in overeenstemming met het voorgaande, vele varianten denkbaar, waaronder zonder pretentie van volledigheid genoemd kan worden: - De inrichting werkt niet alleen horizontaal, maar 30 ook in een hellende opstelling en bij een geschikte uitvoering zelfs in een verticale opstelling en onderste boven.Within the scope of the invention, in accordance with the foregoing, many variants are conceivable, among which can be mentioned without pretension of completeness: - The device operates not only horizontally, but also in an inclined arrangement and in a suitable embodiment even in a vertical setup and bottom up.
- De inrichting is niet alleen geschikt voor het transporteren maar ook voor het positioneren van een product op een gewenste positie. In combinatie met een geschikt sen- 35 sor- en controlesysteem zijn zowel translatie en rotatie mogelijk.- The device is not only suitable for transporting but also for positioning a product at a desired position. In combination with a suitable sensor and control system, both translation and rotation are possible.
- De cellen zijn niet noodzakelijk gelijkvormig. Verschillende eisen (bijvoorbeeld gewenste nauwkeurigheid of 7 voorkeursrichtingen) op verschillende posities van de inrichting leiden ertoe dat mogelijk verschillend gevormde cellen geselecteerd worden, zoals vierkanten, rechthoeken, zeshoeken of driehoeken.- The cells are not necessarily uniform. Different requirements (for example desired accuracy or 7 preferred directions) at different positions of the device lead to the selection of possibly differently shaped cells, such as squares, rectangles, hexagons or triangles.
5 - Opgemerkt wordt dat het niet noodzakelijk is dat alle cellen (regelbare) tractiecellen zijn. Zogeheten over-drukcellen (om het product te dragen en die voorzien zijn van tenminste een toevoeropening en geen afvoeropening) en zogeheten onderdrukcellen (om het product voor te spannen en die 10 voorzien zijn van tenminste een afvoeropening en geen toevoeropening) kunnen ook toegevoegd worden.5 - It is noted that it is not necessary that all cells are (controllable) traction cells. So-called overpressure cells (for carrying the product and which are provided with at least one supply opening and no discharge opening) and so-called underpressure cells (for biasing the product and which are provided with at least one discharge opening and no supply opening) can also be added.
Claims (9)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2000203A NL2000203C2 (en) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | Product carrying and transport device. |
| PCT/NL2007/050424 WO2008026924A1 (en) | 2006-08-29 | 2007-08-29 | Apparatus for carrying and transporting a product |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2000203 | 2006-08-29 | ||
| NL2000203A NL2000203C2 (en) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | Product carrying and transport device. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2000203C2 true NL2000203C2 (en) | 2008-03-03 |
Family
ID=37857133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2000203A NL2000203C2 (en) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | Product carrying and transport device. |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL2000203C2 (en) |
| WO (1) | WO2008026924A1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL2009764C2 (en) | 2012-11-06 | 2014-05-08 | Univ Delft Tech | An apparatus for carrying and transporting a product. |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3976330A (en) * | 1975-10-01 | 1976-08-24 | International Business Machines Corporation | Transport system for semiconductor wafer multiprocessing station system |
| JPS5375683A (en) * | 1976-12-17 | 1978-07-05 | Hitachi Ltd | Wafer transporting apparatus |
| NL8402410A (en) * | 1984-08-01 | 1986-03-03 | Bok Edward | IMPROVED PROCESS INSTALLATION WITH DOUBLE-FLOATING TRANSPORT AND PROCESSING OF WAFERS AND TAPE. |
| JPH0195530A (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | Carrier system |
| JPH10139160A (en) * | 1996-11-01 | 1998-05-26 | Toray Eng Co Ltd | Plate-like article carrier device and non-contact carrying line |
| JP2006135083A (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ckd Corp | Noncontact support apparatus |
-
2006
- 2006-08-29 NL NL2000203A patent/NL2000203C2/en not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-08-29 WO PCT/NL2007/050424 patent/WO2008026924A1/en active Application Filing
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3976330A (en) * | 1975-10-01 | 1976-08-24 | International Business Machines Corporation | Transport system for semiconductor wafer multiprocessing station system |
| JPS5375683A (en) * | 1976-12-17 | 1978-07-05 | Hitachi Ltd | Wafer transporting apparatus |
| NL8402410A (en) * | 1984-08-01 | 1986-03-03 | Bok Edward | IMPROVED PROCESS INSTALLATION WITH DOUBLE-FLOATING TRANSPORT AND PROCESSING OF WAFERS AND TAPE. |
| JPH0195530A (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Hitachi Ltd | Carrier system |
| JPH10139160A (en) * | 1996-11-01 | 1998-05-26 | Toray Eng Co Ltd | Plate-like article carrier device and non-contact carrying line |
| JP2006135083A (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ckd Corp | Noncontact support apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2008026924A1 (en) | 2008-03-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI294867B (en) | Air-floating unit, transporting method, and air-floating-type transporting apparatus | |
| JP5871366B2 (en) | Levitation transfer device | |
| TWI445578B (en) | Coating device | |
| CA2718290A1 (en) | Method and conveyor belt system having at least one conveyor belt for transporting flat transport goods | |
| JP5108909B2 (en) | Backside foreign matter detection method, backside foreign matter detection device, and coating device | |
| JP2003063643A (en) | Thin plate conveying system and apparatus | |
| EP2730420B1 (en) | Transportation device and recording apparatus | |
| NL2000203C2 (en) | Product carrying and transport device. | |
| KR20190044089A (en) | Tablet printing device and tablet printing method | |
| TW200918428A (en) | Conveyance direction turnabout apparatus and levitation conveyance system | |
| KR20160150047A (en) | Flow rate measuring device and processing apparatus | |
| JP2007001185A (en) | Image forming apparatus | |
| JP2010245336A (en) | Transfer-direction changing device and levitation transfer system | |
| JP6860356B2 (en) | Coating device and coating method | |
| JP4229670B2 (en) | Method and apparatus for conveying thin plate material | |
| JP2007204278A (en) | Substrate floating carrying device | |
| US10772801B2 (en) | Tablet printing apparatus and tablet printing method | |
| JP2003279495A (en) | Inspection device for glass substrate | |
| JP2002012375A (en) | Device for carrying material to be printed through printing unit | |
| JP2018114476A (en) | Apparatus and method for coating | |
| JP2004168496A (en) | Vertical type conveyance apparatus for plate-shaped material | |
| Berlin et al. | Paper transport using modulated airjet arrays | |
| KR100702402B1 (en) | Carrying system | |
| JP6896008B2 (en) | Substrate processing equipment and substrate processing method | |
| JPH05104344A (en) | Conveyor for substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20100301 |