Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nec CorpfiledCriticalNec Corp
Publication of NL7310667ApublicationCriticalpatent/NL7310667A/xx
Publication of NL179248BpublicationCriticalpatent/NL179248B/xx
Application grantedgrantedCritical
Publication of NL179248CpublicationCriticalpatent/NL179248C/xx
H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
H10D84/60—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D10/00 or H10D18/00, e.g. integration of BJTs
H10D84/67—Complementary BJTs
H10D84/673—Vertical complementary BJTs
H10W15/00—
H10W15/01—
NLAANVRAGE7310667,A1972-08-021973-08-01Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling met complementaire transistoren.
NL179248C
(nl)
Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleidereenheid met veldeffecttransistors met geisoleerde poort van de verarmingssoort en de verrijkingssoort.
Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, alsmede geintegreerde halfgeleiderschakeling, vervaardigd met deze werkwijze.