NL164156C - Werkwijze tot het vervaardigen van een vlakke veld- effecttransistor met schottky-stuurelektrode. - Google Patents

Werkwijze tot het vervaardigen van een vlakke veld- effecttransistor met schottky-stuurelektrode.

Info

Publication number
NL164156C
NL164156C NL6907747.A NL6907747A NL164156C NL 164156 C NL164156 C NL 164156C NL 6907747 A NL6907747 A NL 6907747A NL 164156 C NL164156 C NL 164156C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
scottky
manufacturing
field effect
effect transistor
flat field
Prior art date
Application number
NL6907747.A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL164156B (nl
NL6907747A (enExample
Original Assignee
Ibm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ibm filed Critical Ibm
Publication of NL6907747A publication Critical patent/NL6907747A/xx
Publication of NL164156B publication Critical patent/NL164156B/xx
Application granted granted Critical
Publication of NL164156C publication Critical patent/NL164156C/xx

Links

Classifications

    • H10W74/43—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02—Local etching
    • H10D64/0121—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • H10P14/6309—
    • H10P14/6322—
    • H10P95/00—

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)
NL6907747.A 1968-06-28 1969-05-21 Werkwijze tot het vervaardigen van een vlakke veld- effecttransistor met schottky-stuurelektrode. NL164156C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH971168A CH497792A (de) 1968-06-28 1968-06-28 Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL6907747A NL6907747A (enExample) 1969-12-30
NL164156B NL164156B (nl) 1980-06-16
NL164156C true NL164156C (nl) 1980-11-17

Family

ID=4354823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL6907747.A NL164156C (nl) 1968-06-28 1969-05-21 Werkwijze tot het vervaardigen van een vlakke veld- effecttransistor met schottky-stuurelektrode.

Country Status (8)

Country Link
US (1) US3669732A (enExample)
BE (1) BE733950A (enExample)
CH (2) CH497792A (enExample)
DE (1) DE1966841A1 (enExample)
FR (2) FR2012003A1 (enExample)
GB (2) GB1258158A (enExample)
NL (1) NL164156C (enExample)
SE (1) SE355266B (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH506188A (de) * 1970-09-02 1971-04-15 Ibm Feldeffekt-Transistor
JPS5612011B2 (enExample) * 1973-01-16 1981-03-18
US4032341A (en) * 1973-01-16 1977-06-28 Katsumi Momose Pattern exposure using a polychromatic light source
GB2140460B (en) * 1983-05-27 1986-06-25 Dowty Electronics Ltd Insulated metal substrates

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3226265A (en) * 1961-03-30 1965-12-28 Siemens Ag Method for producing a semiconductor device with a monocrystalline semiconductor body
DE1283970B (de) * 1966-03-19 1968-11-28 Siemens Ag Metallischer Kontakt an einem Halbleiterbauelement
FR1518245A (fr) * 1966-04-07 1968-03-22 Philips Nv Transistors à effet de champ et leur procédé de fabrication
CH471242A (de) * 1968-03-01 1969-04-15 Ibm Verfahren zur selektiven Maskierung zu bearbeitender Flächen

Also Published As

Publication number Publication date
NL164156B (nl) 1980-06-16
DE1927955B2 (de) 1972-11-16
CH497792A (de) 1970-10-15
CH484517A (de) 1970-01-15
NL6907747A (enExample) 1969-12-30
GB1258158A (enExample) 1971-12-22
US3669732A (en) 1972-06-13
DE1966841A1 (de) 1974-08-08
FR2012004B1 (enExample) 1974-02-22
BE733950A (enExample) 1969-11-17
SE355266B (enExample) 1973-04-09
GB1262758A (en) 1972-02-09
DE1927955A1 (de) 1970-01-02
FR2012004A1 (enExample) 1970-03-13
FR2012003A1 (enExample) 1970-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL150273B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een cryogene dunne lagenschakeling met ten minste een cryotron.
NL152707B (nl) Halfgeleiderinrichting bevattende een veldeffecttransistor van het type met geisoleerde poortelektrode en werkwijze ter vervaardiging daarvan.
NL140659B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor met een geisoleerde poort en een veldeffecttransistor vervaardigd volgens de werkwijze.
NL163676C (nl) Veldeffecttransistor.
AT320023B (de) Feldeffekttransistor mit isolierter Torelektrode
NL144091B (nl) Halfgeleiderveldeffectinrichting van het type met een geisoleerde poortelektrode.
NL156542B (nl) Veldeffecttransistor met geisoleerde stuurelektrode.
NL164158C (nl) Schakeling met een veldeffecttransistor met een geisoleerde stuurelektrode voorzien van een beveiligingsdiode.
NL150052B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een inktopbrengorgaan en inktopbrengorgaan vervaardigd met deze werkwijze.
NL144107B (nl) Versterker met een veldeffecttransistor van het junctiontype.
NL159532B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een, van een geisoleerde stuurelektrode voorziene veldeffecttransistor van het verrijkingstype, alsmede veldeffecttransistor, vervaardigd met deze werkwijze.
NL162511C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling met een laterale transistor en werkwijze voor het vervaardigen van de geintegreerde halfgeleiderschakeling.
NL142018B (nl) Werkwijze tot het vervaardigen van een halfgeleidende inrichting en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL157749C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffect- transistor en veldeffecttransistor vervaardigd volgens de werkwijze.
IT994212B (it) Comando di sterzo con servomecca nismo e metodo per fabbricarlo
NL154869B (nl) Werkwijze tot het vervaardigen van een veldeffecttransistor met een geisoleerde stuurelektrode, benevens veldeffecttransistor vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL162790C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van veldeffect- transistoren met een geisoleerde stuurelektrode.
NL152160B (nl) Produktiestraat voor met toepassing van kleefstof vervaardigd schoenwerk.
NL145730B (nl) Elektrische keten voorzien van een veldeffecttransistor met geisoleerde poortelektrode, alsmede een werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor en een volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffecttransistor.
NL164156C (nl) Werkwijze tot het vervaardigen van een vlakke veld- effecttransistor met schottky-stuurelektrode.
NL148435B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van gesinterde elektroden.
NL153723B (nl) Veldeffecttransistor voorzien van een geisoleerde stuurelektrode.
NL158312B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een niet-ohmse elektrode voor een spanningafhankelijke weerstand en weerstand, verkregen volgens deze werkwijze.
NL165005C (nl) Halfgeleiderinrichting bevattende veldeffecttransistors met geisoleerde stuurelektrode en werkwijze voor het vervaardigen van de halfgeleiderinrichting.
NL149642B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektroluminescerende inrichting en aldus vervaardigde inrichting.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee