NL142016B - Werkwijze voor het behandelen van voorwerpen in een geioniseerde gasatmosfeer. - Google Patents
Werkwijze voor het behandelen van voorwerpen in een geioniseerde gasatmosfeer.Info
- Publication number
- NL142016B NL142016B NL676710208A NL6710208A NL142016B NL 142016 B NL142016 B NL 142016B NL 676710208 A NL676710208 A NL 676710208A NL 6710208 A NL6710208 A NL 6710208A NL 142016 B NL142016 B NL 142016B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- anionized
- gas atmosphere
- handling objects
- handling
- objects
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/503—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using dc or ac discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S148/00—Metal treatment
- Y10S148/158—Sputtering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S422/00—Chemical apparatus and process disinfecting, deodorizing, preserving, or sterilizing
- Y10S422/906—Plasma or ion generation means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Packages (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US57945266A | 1966-09-01 | 1966-09-01 | |
US64109567A | 1967-04-28 | 1967-04-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL6710208A NL6710208A (es) | 1968-03-04 |
NL142016B true NL142016B (nl) | 1974-04-16 |
Family
ID=27077766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL676710208A NL142016B (nl) | 1966-09-01 | 1967-07-24 | Werkwijze voor het behandelen van voorwerpen in een geioniseerde gasatmosfeer. |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3484358A (es) |
BE (1) | BE700937A (es) |
BR (1) | BR6792541D0 (es) |
CH (1) | CH468769A (es) |
DE (1) | DE1639042B2 (es) |
ES (1) | ES344947A1 (es) |
GB (1) | GB1202572A (es) |
IL (1) | IL28232A (es) |
MY (1) | MY7100087A (es) |
NL (1) | NL142016B (es) |
NO (1) | NO123048B (es) |
SE (1) | SE317237B (es) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3664895A (en) * | 1969-06-13 | 1972-05-23 | Gen Electric | Method of forming a camera tube diode array target by masking and diffusion |
FR2129996B1 (es) * | 1971-03-25 | 1975-01-17 | Centre Nat Etd Spatiales | |
US4579609A (en) * | 1984-06-08 | 1986-04-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Growth of epitaxial films by chemical vapor deposition utilizing a surface cleaning step immediately before deposition |
US4961832A (en) * | 1989-03-14 | 1990-10-09 | Shagun Vladimir A | Apparatus for applying film coatings onto substrates in vacuum |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE582893A (es) * | 1958-09-25 | 1900-01-01 | ||
GB915771A (en) * | 1959-01-12 | 1963-01-16 | Ici Ltd | Method of conducting gaseous chemical reactions |
US3294669A (en) * | 1963-07-22 | 1966-12-27 | Bell Telephone Labor Inc | Apparatus for sputtering in a highly purified gas atmosphere |
US3390980A (en) * | 1964-01-20 | 1968-07-02 | Mhd Res Inc | Method of producing beryllium halides from beryllium ore in a high intensity ore |
-
1967
- 1967-04-28 US US641095A patent/US3484358A/en not_active Expired - Lifetime
- 1967-06-30 NO NO168880A patent/NO123048B/no unknown
- 1967-07-02 IL IL28232A patent/IL28232A/xx unknown
- 1967-07-05 BE BE700937D patent/BE700937A/xx unknown
- 1967-07-24 NL NL676710208A patent/NL142016B/xx unknown
- 1967-08-09 DE DE19671639042 patent/DE1639042B2/de active Pending
- 1967-08-17 GB GB37929/67A patent/GB1202572A/en not_active Expired
- 1967-08-30 BR BR192541/67A patent/BR6792541D0/pt unknown
- 1967-08-30 ES ES344947A patent/ES344947A1/es not_active Expired
- 1967-08-31 SE SE12111/67A patent/SE317237B/xx unknown
- 1967-09-01 CH CH1226967A patent/CH468769A/de unknown
-
1971
- 1971-12-30 MY MY87/71A patent/MY7100087A/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH468769A (de) | 1969-02-15 |
NL6710208A (es) | 1968-03-04 |
SE317237B (es) | 1969-11-10 |
US3484358A (en) | 1969-12-16 |
GB1202572A (en) | 1970-08-19 |
IL28232A (en) | 1970-10-30 |
MY7100087A (en) | 1971-12-31 |
DE1639042B2 (de) | 1971-05-19 |
DE1639042A1 (de) | 1970-02-26 |
BR6792541D0 (pt) | 1973-06-26 |
BE700937A (es) | 1967-12-18 |
ES344947A1 (es) | 1968-11-01 |
NO123048B (es) | 1971-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL142428B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een entcopolymeer. | |
NL159626B (nl) | Inrichting voor het stapelen en verpakken van staafvormige werkstukken. | |
NL157498B (nl) | Houder voor opslag, transport en het mengen van stoffen. | |
NL159033B (nl) | Inrichting voor het hanteren van voorwerpen. | |
NL150822B (nl) | Werkwijze voor het opslaan en transporteren van vloeistoffen. | |
NL162348B (nl) | Werkwijze voor het reduceren van oxydisch erts. | |
NL7713298A (nl) | Inrichting voor het orienteren en achtereen- volgend afvoeren van schijfvormige voorwerpen. | |
NL161164B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een sequestreermiddel. | |
NL159344B (nl) | Inrichting voor het richten van te transporteren voorwerpen. | |
NL152484B (nl) | Werkwijze en inrichting voor het verwerken van gebruikte stoffen. | |
NL157103B (nl) | Werkwijze voor het vergelijken van een object met een standaard. | |
BE760340A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het afschrikken van onstabiel gas | |
NL148153B (nl) | Ejecteur in het bijzonder geschikt voor een inrichting voor het verwekken van koude en/of voor het vloeibaar maken van gassen. | |
NL156078B (nl) | Inrichting voor het onderling evenwijdig richten van in hoofdzaak staafvormige voorwerpen. | |
NL157347B (nl) | Werkwijze voor het in twee reactietrappen hydrogeneren van pyrolysebenzine. | |
NL145585B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van uit pek en een copolymeer van een alkeen en een vinylverbinding samengestelde produkten. | |
NL140759B (nl) | Grijpinrichting voor het grijpen en transporteren van een voorwerp. | |
BE744726A (nl) | Werkwijze voor het vloeibaar maken en wederom in gasvormige toestand brengen van een gas, in het bijzonder aardgas | |
NL147251B (nl) | Ejecteur, in het bijzonder geschikt voor een inrichting voor het verwekken van koude en/of voor het vloeibaar maken van gassen. | |
NL141295B (nl) | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van een of meer componenten in een gasmengsel. | |
NL142016B (nl) | Werkwijze voor het behandelen van voorwerpen in een geioniseerde gasatmosfeer. | |
BE594804A (nl) | Werkwijze en inrichting voor het opstapelen van voorwerpen. | |
NL7514312A (nl) | Werkwijze voor de behandeling en het transport van voorwerpen. | |
NL139467B (nl) | Inrichting voor het in vloeistoffen brengen van gas. | |
NL149190B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een entcopolymeer. |