NL1029576C2

NL1029576C2 - Method and device for displacing a group of components arranged in a matrix structure.

Info

Publication number: NL1029576C2
Application number: NL1029576A
Authority: NL
Inventors: Willem Antonie Hennekes; Gerardus Hermanus Joha Reulink
Original assignee: Fico Bv
Priority date: 2005-07-21
Filing date: 2005-07-21
Publication date: 2007-01-23
Also published as: WO2007011218A2; WO2007011218A3; TW200707626A; CN101228815A; EP1911336A2

Description

V. '»V. '»

Werkwijze en inrichting voor het verplaatsen van een in een matrixstructuur gerangschikte groep componentenMethod and device for displacing a group of components arranged in a matrix structure

De onderhavige uitvinding betreft een werkwijze voor het plaatsen van in een 5 matrixstructuur gerangschikte elektronische componenten op een vlakke drager, waarbij de werkwijze het oppakken van volgens een matrixstructuur gerangschikte componenten en het op de vlakke drager plaatsen van de componenten omvat.The present invention relates to a method for placing electronic components arranged in a matrix structure on a flat support, the method comprising picking up components arranged according to a matrix structure and placing the components on the flat support.

De uitvinding betreft eveneens een inrichting voor het op een vlakke drager plaatsen i 10 van in een rechthoekige structuur gerangschikte componenten, omvattende een aflevertafel waarop de componenten in een matrixstructuur worden geplaatst, positioneermiddelen voor het positioneren van een vlakke drager waarop de componenten moeten worden geplaatst en tenminste een transportelement voor het van de aflevertafel oppakken en plaatsen van een aantal in een matrix gerangschikte 15 componenten.The invention also relates to a device for placing components arranged in a rectangular structure on a flat carrier, comprising a delivery table on which the components are placed in a matrix structure, positioning means for positioning a flat carrier on which the components are to be placed and at least one transport element for picking up and placing a number of components arranged in a matrix from the delivery table.

Een dergelijke werkwijze en een dergelijke inrichting vinden veelal doch niet uitsluitend toepassing bij de productie van halfgeleiders. Halfgeleiders ondergaan bij hun productie verschillende bewerkingen die in verschillende bewerkingsstations 20 plaatsvinden. De halfgeleiders moeten tussen deze bewerkingsstations worden getransporteerd. Hiervoor worden veelal binnen een productielocatie gestandaardiseerde vlakke dragers gebruikt. De bewerkingsstations leveren de batches elektronische componenten wel veelal in een rechthoekige structuur af, doch niet in de juiste aantallen, met de juiste steek of in de juiste oriëntatie.Such a method and such a device often, but not exclusively, find application in the production of semiconductors. Semiconductors undergo different processes during their production that take place at different processing stations. The semiconductors must be transported between these processing stations. Standardized flat carriers are usually used for this within a production location. The processing stations usually deliver the batches of electronic components in a rectangular structure, but not in the right numbers, with the right pitch or in the right orientation.

2525

De vlakke dragers waarop de componenten worden geplaatst, worden veelal gevormd door vlakke platen, waarbij deze platen vervolgens in verplaatsbare kasten geschoven kunnen worden.The flat carriers on which the components are placed are often formed by flat plates, whereby these plates can subsequently be slid into movable cabinets.

30 De vlakke dragers kunnen echter eveneens worden gevormd door transportbanden die de elektronische componenten transporteren van het ene bewerkingsstation naar het volgende bewerkingsstation. De transportbanden vervullen tijdens het transport een dragende functie. In het algemeen zullen dergelijke transportbanden stilstaan tijdens het plaatsen van de elektronische componenten, zodat de term ‘drager’ gerechtvaardigd 1029578·; - 1 — --------- ------ Λ i 2 lijkt. Dergelijke transportbanden moeten dan ook worden beschouwd onder de term ‘vlakke drager’ te vallen.However, the flat carriers can also be formed by conveyor belts which transport the electronic components from one processing station to the next processing station. The conveyor belts play a supporting role during transport. In general, such conveyor belts will stand still during the placement of the electronic components, so that the term "carrier" is justified 1029578 ·; - 1 - --------- ------ Λ i 2. Such conveyor belts must therefore be considered to fall under the term "flat carrier".

Ook moeten voltooide halfgeleiders of andere elektronische componenten worden 5 verpakt tussen twee banden waarvan er tenminste een zelfklevend is. Veelal worden elektronische componenten in dergelijke banden verpakt afgeleverd.Completed semiconductors or other electronic components must also be packaged between two bands, at least one of which is self-adhesive. Electronic components are often supplied packaged in such tires.

Het doel van de uitvinding is het verschaffen van middelen waarmee aantallen, steek of oriëntatie van groepen elektronische componenten, in het bijzonder, doch niet 10 uitsluitend halfgeleiderproducten kunnen worden aangepast.The object of the invention is to provide means with which the numbers, pitch or orientation of groups of electronic components, in particular but not exclusively semiconductor products, can be adjusted.

Dit doel wordt bereikt doordat dat de componenten per een deelgroepen omvattende groep componenten worden opgepakt en dat de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst.This object is achieved in that the components per group of components comprising a subgroup are picked up and that the components per subgroup are successively placed on the flat carrier.

1515

Dit doel wordt eveneens bereikt doordat het tenminste ene transportelement is ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.This object is also achieved in that the at least one transport element is adapted to pick up the components of the delivery table per group comprising sub-groups and to place the components successively per sub-group on the flat carrier.

2020

Door het per deelgroep plaatsen van de componenten ontstaat de vrijheid de deelgroepen op verschillende dragers te plaatsen.Placing the components per subgroup creates the freedom to place the subgroups on different carriers.

Volgens een eerste voorkeursuitvoeringsvorm wordt de groep componenten met een 25 transportinrichting opgepakt en geplaatst, wordt de drager door een beweegbaar transportelement gevormd en wordt tussen de het plaatsen van een eerste deelgroep en een volgende deelgroep het transportelement verplaatst.According to a first preferred embodiment, the group of components is picked up and placed with a transport device, the carrier is formed by a movable transport element and the transport element is displaced between placing a first subgroup and a following subgroup.

Deze uitvoeringsvorm betreft tevens de maatregel dat de inrichting is ingericht voor het 30 verplaatsen van het transportelement tussen het op de drager plaatsen van de verschillende deelgroepen componenten.This embodiment also relates to the measure that the device is adapted to move the transport element between placing the various subgroups of components on the carrier.

Volgens een verdere voorkeursuitvoeringsvorm omvatten de deelgroepen componenten elk een rij componenten.According to a further preferred embodiment, the subgroups of components each comprise a row of components.

1029570- L__ - —---- - -____ ! ! 31029570- L__ - —---- - -____! ! 3

Deze maatregelen hebben tot gevolg dat - als gevolg van de beweging van het transportelement tussen het plaatsen van de diverse groepen componenten - de I onderlinge afstand - zij het in een enkele richting - tussen de rijen componenten kan 5 worden veranderd.These measures have the consequence that - as a result of the movement of the transport element between placing the various groups of components - the mutual distance - albeit in a single direction - can be changed between the rows of components.

Hiermee vormt deze werkwijze, tezamen met de voor deze werkwijze ingericht inrichting - een alternatief voor verplaatsingsinrichtingen die voorzien van transportelementen die zijn ingericht voor het veranderen van de onderlinge afstand 10 tussen de componenten tijdens het transport. Dergelijke transportelementen vereisen immers gecompliceerde technische maatregelen zodat zij kostbaar zijn. Het huidige alternatief vereist minder technische maatregelen, maar de bereikbare snelheid ligt lager.With this, this method, together with the device adapted for this method - forms an alternative to displacement devices which are provided with transport elements which are adapted to change the mutual distance between the components during transport. Such transport elements require complicated technical measures so that they are expensive. The current alternative requires fewer technical measures, but the achievable speed is lower.

15 Bij de inrichting en werkwijze volgens de onderhavige uitvinding, kan - evenals bij een transportelement met een veranderbare afstand tussen de componenten - met bij een enkele transporthandeling slechts de onderlinge afstand tussen de componenten in een enkele richting worden aangepast.With the device and method according to the present invention, - just as with a transport element with a variable distance between the components - with a single transport operation only the mutual distance between the components can be adjusted in a single direction.

20 Veelal moet niet alleen de afstand tussen de componenten worden aangepast, maar moeten de componenten om een horizontale of verticale as worden geroteerd of moeten de componenten visueel worden gecontroleerd. Om dit mogelijk te maken, verschaft een verdere voorkeursuitvoeringsvorm de werkwijze dat de eerste groep componenten in een eerste transporthandeling na het oppakken aanvankelijk op een positioneertafel 25 worden geplaatst en dat op de positioneertafel geplaatste producten in een tweede groep in een tweede transporthandeling vervolgens weer worden opgepakt voordat zij op de vlakke drager geplaatst worden. Deze uitvoeringsvorm verschaft bovendien de maatregel dat de inrichting een eerste en een tweede transportelement omvat, dat het eerste transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de 30 aflevertafel en het plaatsen van de componenten op een positioneertafel en dat het tweede transportelement is ingericht voor het transporteren vaii de componenten van de positioneertafel en het plaatsen van de componenten op de vlakke drager.20 Often, not only must the distance between the components be adjusted, but the components must be rotated about a horizontal or vertical axis or the components must be visually checked. To make this possible, a further preferred embodiment provides the method that the first group of components in a first transport operation are first placed on a positioning table after being picked up and that products placed on the positioning table in a second group in a second transport operation are subsequently picked up again before being placed on the flat support. This embodiment furthermore provides the measure that the device comprises a first and a second transport element, that the first transport element is adapted to transport the components of the delivery table and to place the components on a positioning table and that the second transport element is adapted to transporting the components of the positioning table and placing the components on the flat support.

1029578- i 41029578-1

Om ook bij het in twee fasen verplaatsen van de componenten wordt vaak gevraagd de componenten per deelgroep op verschillende dragers te kunnen plaatsen. Dit effect kan worden verkregen doordat in de tweede transporthandeling de componenten per een deelgroepen omvattende tweede groep componenten worden opgepakt en dat de 5 componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst.In order to also move the components in two phases, it is often requested to be able to place the components per subgroup on different carriers. This effect can be obtained by picking up the components per second group of components comprising a subgroup in the second transport operation and by placing the components per subgroup successively on the flat carrier.

Dit komt eveneens tot uiting in de maatregel doordat beide transportelementen zijn ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.This is also expressed in the measure in that both transport elements are adapted to pick up the components per group comprising the delivery table and to place the components successively per sub-group on the flat carrier.

1010

Met deze maatregelen kunnen bovendien andere effecten worden bereikt zoals het gefaseerd plaatsen van de componenten. Wanneer het doel is de onderlinge positie tussen de componenten in de tweede richting te veranderen, heeft het de voorkeur dat in de tweede transporthandeling de componenten per een deelgroepen omvattende tweede 15 groep componenten worden opgepakt en dat de componenten per deelgroep achtereenvolgens op de vlakke drager worden geplaatst, en dat beide transportelementen zijn ingericht voor het per een deelgroepen omvattende groep van de aflevertafel oppakken van de componenten en voor het achtereenvolgens per deelgroep op de vlakke drager plaatsen van de componenten.With these measures, other effects can also be achieved, such as the phased placement of the components. When the aim is to change the mutual position between the components in the second direction, it is preferred that in the second transport operation the components are picked up per subgroup comprising second group of components and that the components per subgroup are successively placed on the flat carrier. and that both transport elements are adapted to pick up the components of the delivery table per subgroup and to place the components successively per subgroup on the flat carrier.

2020

In principe is het mogelijk de onderlinge positie van de componenten twee maal in dezelfde richting te veranderen. Het is in de meeste gevallen echter doelmatiger wanneer de verplaatsingsrichting van de tweede transportinrichting ongelijk is aan de ! verplaatsingsrichting van de eerste transportinrichting. De bij voorkeur hiertoe 25 toegepaste inrichting omvat dan ook de maatregel dat de verplaatsingsrichting van het eerste transportelement ongelijk is aan de verplaatsingsrichting van het tweede transportelement.In principle, it is possible to change the mutual position of the components twice in the same direction. In most cases, however, it is more efficient if the direction of movement of the second transport device is unequal to the direction of travel. direction of movement of the first transport device. The device preferably used for this purpose therefore comprises the measure that the direction of movement of the first transport element is unequal to the direction of movement of the second transport element.

In het voorgaande is steeds uitgegaan dat de verplaatsingsrichting van de 30 transportelementen tussen de aflevertafel en de positioneermiddelen, respectievelijk tussen de positioneermiddelen en de drager gelijk is aan de richting waarin het transportelement wordt verplaatst tussen het plaatsen van de diverse deelgroepen.In the foregoing it has always been assumed that the direction of movement of the transport elements between the delivery table and the positioning means, or between the positioning means and the carrier, is equal to the direction in which the transport element is displaced between placing the various subgroups.

1029570- ·. 4 51029570-. 4 5

Alhoewel dit geenszins noodzakelijk is heeft deze richting de voorkeur, mede in verband met technische omstandigheden; het transportelement behoeft immers slechts in een enkele richting bewogen te worden.Although this is by no means necessary, this direction is preferred, partly in connection with technical circumstances; after all, the transport element only needs to be moved in a single direction.

5 Zoals in het voorgaande is toegelicht, heeft het de voorkeur voor beide i transporthandelingen gebruik te maken van een afzonderlijk transportelement. Om kosten te besparen, kan het interessant zijn gebruik te maken van de maatregel dat het ene transportelement is ingericht voor het transporteren van de componenten van de aflevertafel naar de positioneermiddelen en voor het transporteren van de componenten 10 van de positioneermiddelen naar de drager.As explained in the foregoing, it is preferable to use a separate transport element for both transport operations. In order to save costs, it may be interesting to use the measure that the one conveying element is arranged for conveying the components from the delivery table to the positioning means and for conveying the components from the positioning means to the carrier.

In veel situaties moeten de componenten worden geroteerd tussen de positie waarin zij op de aflevertafel en de positie waarin zij op de drager worden geplaatst. Hiertoe is het aantrekkelijk wanneer tijdens tenminste een van de transporthandelingen de 15 componenten worden geroteerd. Hiertoe is bij voorkeur tenminste een van de transportelementen ingericht voor het roteren van de componenten tijdens een van de transporthandelingen.In many situations, the components must be rotated between the position in which they are placed on the delivery table and the position in which they are placed on the carrier. For this purpose it is attractive if the components are rotated during at least one of the transport operations. To this end, at least one of the transport elements is preferably adapted to rotate the components during one of the transport operations.

Voor een efficiënte afloop van het proces is het aantrekkelijk wanneer het aantal 20 componenten dat tijdens de beide transporthandelingen wordt getransporteerd, gelijk is. De uitvinding biedt echter eveneens de mogelijkheid dat het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten ongelijk is aan het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten. Deze maatregel is vooral van toepassing wanneer het aantal op de aflevertafel geplaatste componenten ongelijk is aan 25 het aantal op de drager te plaatsen componenten. Het verschil tussen het aantal in de eerste transporthandeling getransporteerde componenten en het tijdens de tweede transporthandeling getransporteerde componenten resteert dan op de positioneertafel en bij een volgende tweede transporthandeling wordt tenminste een deel van de resterende componenten mede getransporteerd.For an efficient completion of the process, it is attractive if the number of components transported during the two transport operations is the same. However, the invention also offers the possibility that the number of components transported in the first transport operation is unequal to the components transported during the second transport operation. This measure is especially applicable when the number of components placed on the delivery table is unequal to the number of components to be placed on the carrier. The difference between the number of components transported in the first transport operation and the components transported during the second transport operation then remains on the positioning table and in a subsequent second transport operation at least a part of the remaining components is also transported.

3030

Voor transport van de componenten van de productiemiddelen naar een locatie waar de componenten verder worden verwerkt, zij het binnen dezelfde productielocatie, hetzij daarbuiten wordt wel gebruik gemaakt van banden van papier of kunststof waarop de componenten door een hechtmiddel worden gehecht, in sommige gevallen afgedekt 1029576-For transporting the components of the production means to a location where the components are further processed, be it within the same production location or outside of that, use is made of paper or plastic tapes to which the components are bonded by an adhesive, covered in some cases 1029576 -

> I> I

6 door een tweede band. Dergelijke banden zijn algemeen bekend voor transport van elektronische componenten. Het is voor de uitvinding relevant dat de componenten volgens een enkele lijn gerangschikt op een dergelijke band geplaatst moeten worden.6 by a second band. Such bands are generally known for transporting electronic components. It is relevant for the invention that the components must be arranged in a single line arranged on such a belt.

De maatregelen volgens de uitvinding bieden hiertoe de mogelijkheid doordat de 5 producten rij voor rij kunnen worden geplaatst doordat de vlakke drager is ingericht voor het opnemen van een enkele rij componenten en dat na het plaatsen van een deelgroep componenten de vlakke drager in zijn lengterichting wordt verplaatst voordat de volgende deelgroep op de vlakke drager wordt geplaatst.The measures according to the invention offer the possibility for this purpose in that the products can be placed row by row in that the flat carrier is adapted to receive a single row of components and that after placing a subset of components the flat carrier is moved in its longitudinal direction before the next subgroup is placed on the flat carrier.

10 Voor het implementeren v’an de uitvinding is het aantrekkelijk dat elk van de transportelementen oppakorganen omvat voor het elk oppakken van een aantal componenten en dat de oppakorganen bestuurbaar zijn voor het oppakken van geselecteerde componenten.For implementing the invention, it is attractive that each of the transport elements comprises pick-up members for each picking up a number of components and that the pick-up members are controllable for picking up selected components.

i 15 De besturing van de componenten wordt verder vereenvoudigd wanneer de oppakorganen in afzonderlijk bestuurbare deelgroepen zijn verdeeld, welke deelgroepen oppakorganen in rijen zijn gerangschikt. | jThe control of the components is further simplified when the pick-up members are divided into separately controllable sub-groups, which sub-groups pick-up members are arranged in rows. | j

Voor het in beide richtingen aanpassen van de afstand tussen de rijen componenten is 20 het aantrekkelijk wanneer de rijen oppakorganen in het eerste transportelement zich in een andere richting uitstrekken dan de rijen oppakorganen in het tweede transportelement.For adjusting the distance between the rows of components in both directions, it is attractive if the rows of pick-up members in the first transport element extend in a different direction than the rows of pick-up members in the second transport element.

Het tijdelijk positioneren van de componenten op de positioneertafel biedt de 25 mogelijkheid de op de positioneertafel geplaatste componenten te onderzoeken. Hiertoe verschaft een aantrekkelijke uitvoeringsvorm de maatregel dat tijdens het verblijf van de producten op de positioneertafel tenminste een hoedanigheid van de elektronische componenten visueel wordt waargenomen. In de inrichting wordt deze maatregel geïmplementeerd doordat visuele waamemingsmiddelen boven de positioneertafel 30 aanwezig zijn voor waarnemen van de hoedanigheid van op de positioneertafel geplaatste componenten.Temporary positioning of the components on the positioning table offers the possibility of examining the components placed on the positioning table. To this end, an attractive embodiment provides the measure that at least one quality of the electronic components is visually observed during the stay of the products on the positioning table. This measure is implemented in the device in that visual observation means are present above the positioning table 30 for detecting the quality of components placed on the positioning table.

De aanwezigheid van de waamemingsmiddelen biedt de mogelijkheid de waargenomen componenten te toetsen aan criteria. Hiertoe verschaft een aantrekkelijke 1029576-The presence of the detection means offers the possibility to test the observed components against criteria. To this end, an attractive 1029576

• I• I

! 7 uitvoeringsvorm de maatregel dat de visuele waarnemingsmiddelen zijn gekoppeld met keuringsmiddelen voor het beoordelen of de waargenomen componenten voldoen aan keuringscriteria.! 7 shows the measure that the visual observation means are coupled to inspection means for assessing whether the observed components meet inspection criteria.

5 Het resultaat van het keuringsproces komt tot uiting in de wijze waarop de componenten verder worden behandeld. Aldus verschaft een verdere voorkeursuitvoeringsvorm de werkwijze waarbij in afhankelijkheid van het resultaat van de waarneming van de hoedanigheid slechts een deel van de op de positioneertafel aanwezige producten tijdens de tweede transporthandeling naar de drager wordt getransporteerd. Dit betreft in het 10 algemeen de goedgekeurde componenten.5 The result of the inspection process is reflected in the way in which the components are further treated. A further preferred embodiment thus provides the method in which, depending on the result of the observation of the quality, only a part of the products present on the positioning table is transported to the carrier during the second transporting operation. This generally concerns the approved components.

Na het uitvoeren van de in het voorgaande toegelichte werkwijze zullen de afgekeurde componenten achterblijven op de positioneertafel. Deze nemen dan de plaats in van in een volgende handeling op de positioneertafel te plaatsen componenten. Het heeft dan 15 ook de voorkeur dat de na de tweede transporthandeling op de positioneertafel resterende componenten naar een reservepositie worden getransporteerd. Deze reservepositie kan worden gevormd door een daartoe ingericht deel van de positioneertafel, maar kan ook worden gevormd door een fysiek afzonderlijke tafel of platform. Deze maatregelen komen tevens tot uitdrukking wanneer de inrichting een 20 reservepositie omvat en wanneer een van de transportelementen is ingericht voor het naar de reservepositie transporteren van afgekeurde componenten.After performing the method explained above, the rejected components will remain on the positioning table. These then take the place of components to be placed on the positioning table in a subsequent operation. It is then also preferred that the components remaining on the positioning table after the second transporting operation are transported to a reserve position. This reserve position can be formed by a part of the positioning table adapted for this purpose, but can also be formed by a physically separate table or platform. These measures are also expressed when the device comprises a reserve position and when one of the transport elements is adapted to transport rejected components to the reserve position.

Het is in principe mogelijk de positie van de afgekeurde, naar de reservepositie weggevoerde componenten op te vullen met van de aflevertafel afkomstige 25 componenten; dit vereist echter een gecompliceerde besturing van het transportelement, terwijl dergelijke componenten ook kunnen worden afgekeurd. Het is dan ook aantrekkelijker wanneer na het transporteren van de resterende componenten naar de reservepositie, een gelijk aantal componenten van de reservepositie naar de positioneertafel wordt getransporteerd. Hiertoe is het uiteraard vereist dat op de 30 reservepositie een voldoende aantal goedgekeurde componenten aanwezig is. Hiertoe moet deze reservepositie op regelmatige momenten worden aangevuld met dergelijke goedgekeurde componenten. Dit concept wordt eveneens geïmplementeerd in een dergelijke inrichting, waarbij een van de transportinrichtingen is ingericht voor het 10295%? 8 transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de vlakke drager.In principle, it is possible to fill the position of the rejected components carried away to the reserve position with components originating from the delivery table; however, this requires complicated control of the transport element, while such components can also be rejected. It is therefore more attractive if, after transporting the remaining components to the reserve position, an equal number of components is transported from the reserve position to the positioning table. For this purpose, it is of course required that a sufficient number of approved components is present in the reserve position. For this purpose, this reserve position must be regularly supplemented with such approved components. This concept is also implemented in such a device, wherein one of the transport devices is arranged for 10295%. 8 transport of approved components from the reserve position to the flat carrier.

Het transport van de componenten van en naar de reservepositie kan worden uitgevoerd 5 door hetzelfde transportelement dat de tweede transporthandeling, dat willen zeggen het transportelement dat de transpprthandeling van de positioneertafel naar de vlakke drager uitvoert. Hiertoe is bij voorkeur de betreffende transportinrichting ingericht voor het transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de vlakke drager.The transport of the components from and to the reserve position can be carried out by the same transport element that performs the second transport operation, that is to say the transport element that carries out the transport operation from the positioning table to the flat carrier. To this end, the relevant transport device is preferably adapted to transport approved components from the reserve position to the flat carrier.

1010

Het transport van de afgekeurde componenten en van de goedgekeurde componenten ter vervanging van de afgekeurde componenten betreft steeds kleine aantallen componenten, veelal vele malen kleiner dan het aantal componenten dat gedurende ‘gewone’ transporthandelingen wordt getransporteerd. Op zichzelf is dit geen bezwaar 15 om door dit door het ‘normale’ transportelement te laten uitvoeren, maar het is constructief aantrekkelijk om hiervoor de transportinrichting te voorzien van extra oppakorganen.The transport of the rejected components and of the approved components to replace the rejected components always involves small numbers of components, often many times smaller than the number of components that are transported during "normal" transport operations. This in itself is no objection to having it carried out by the "normal" transport element, but it is constructively attractive to provide the transport device with additional pick-up members for this purpose.

Overigens worden andere mogelijkheden niet uitgesloten; zo is het bijvoorbeeld 20 mogelijk gebruik te maken van een apart, bijvoorbeeld voor het transport van kleine aantallen componenten ingerichte transportelementen.Other options are not excluded; for example, it is possible to make use of a separate transport elements arranged for the transport of small numbers of components.

Vervolgens zal de onderhavige uitvinding worden toegelicht aan de hand van de bijgaande tekeningen, waarin voorstellen: .25The present invention will be elucidated hereinbelow with reference to the accompanying drawings, in which: 25

Figuur 1: een schematisch perspectivisch aanzicht van een eerste uitvoeringsvorm van de uitvinding;Figure 1: a schematic perspective view of a first embodiment of the invention;

Figuur 2; een schematisch perspectivisch aanzicht van een tweede uitvoeringsvorm van de uitvinding; en 30 Figuur 3: een schematisch perspectivisch aanzicht van een transportelement dat een onderdeel vormt van de inrichting volgens de uitvinding.Figure 2; a schematic perspective view of a second embodiment of the invention; and Figure 3: a schematic perspective view of a transport element that forms part of the device according to the invention.

In figuur 1 is een in zijn geheel met 1 aangeduide inrichting getoond, die geschikt is j voor het naar een drager 3 transporteren van een bewerking doorlopen hebbende 1029576-!Figure 1 shows a device, indicated in its entirety by 1, which is suitable for transporting a processing to a carrier 3 which has passed through 1029576.

+ '-I+ '-I

9 elektronische componenten 2, zoals halfgeleiderproducten. De inrichting 3 is voorzien van een aflevertafel 4 waarop het voorgaande proces de componenten 2 volgens een rechthoekig of matrixpatroon gerangschikt aflevert. Verder omvat de inrichting een positioneertafel 5 en een dragertafel 6 waarop dragers 7 geplaatst kunnen worden. Deze 5 dragers 7 kunnen worden gevormd door bladen waarop de componenten verder kunnen worden getransporteerd.9 electronic components 2, such as semiconductor products. The device 3 is provided with a delivery table 4 on which the previous process delivers the components 2 arranged in a rectangular or matrix pattern. The device further comprises a positioning table 5 and a carrier table 6 on which carriers 7 can be placed. These carriers 7 can be formed by sheets on which the components can be further transported.

De inrichting is voorzien van een zich in de lengterichting uitstrekkende lineaire elektromotor 8 waaraan twee transportelementen 9A, 9B zijn bevestigd. De lineaire 10 elektromotor 8 is verder voorzien van een geleider voor het geleiden van de horizontale beweging van de transportelementen 9 en het ondersteunen van de transportelementen.The device is provided with a linear electric motor 8 extending in the longitudinal direction to which two transport elements 9A, 9B are attached. The linear electric motor 8 is further provided with a conductor for guiding the horizontal movement of the transport elements 9 and supporting the transport elements.

In plaats van een lineaire elektromotor 8 is het mogelijk gebruik te maken van andere lineaire aandrijfinrichtingen.Instead of a linear electric motor 8, it is possible to use other linear drive devices.

15 Het linker transportelement 9A is ingericht voor het transporteren van de componentenThe left-hand transport element 9A is adapted for transporting the components

2 van de aflevertafel 4 naar de positioneertafel 5 en is het rechter transportelement 9B2 from the delivery table 4 to the positioning table 5 and is the right transport element 9B

ingericht voor het transporteren van de componenten 2 van de positioneertafel 5 naar dearranged for transporting the components 2 from the positioning table 5 to the

drager 3. Het is overigens mogelijk voor beide functies gebruik te maken van een enkel Icarrier 3. It is also possible to use a single I for both functions

i Ii I

| transportelement 9.| transport element 9.

2020

Zoals uit de figuur blijkt, is de dichtheid van de componenten 2 op de aflevertafel 4 in een richting verschillend van die op de positioneertafel 5. Deze verandering van de afstand van tussen de componenten 2 in een enkele richting is verkregen door de op de aflevertafel aanwezige groep componenten 2 in zijn geheel op te nemen en vervolgens 25 door het transportelement 9A de componenten 2 rij voor rij neer te laten zetten, waarbij tussen het neerzetten van rijen componenten 2 op de positioneertafel 5 het transportelement 9A wordt verplaatst in de richting van de vergroting van de afstand tussen de rijen componenten 2.As can be seen from the figure, the density of the components 2 on the delivery table 4 is different in a direction from that on the positioning table 5. This change in the distance between components 2 in a single direction is obtained by the presence on the delivery table. group of components 2 as a whole and then having the transport element 9A place the components 2 down row by row, wherein between the placement of rows of components 2 on the positioning table 5 the transport element 9A is moved in the direction of the enlargement of the distance between the rows of components 2.

30 Vervolgens worden de componenten 2 verplaatst door middel van het tweede transportelement 9B. Dit transportelement 9B pakt de groep op de positioneertafel 5 aanwezige componenten 2 in hun geheel op en plaatst deze rij voor rij op de drager 3, waarbij telkens tussen het plaatsen van een rij componenten het transportelement 9B wordt verplaatst voor het vergroten van de onderlinge afstand tussen de rijen 102057.9? *' 1 10 componenten 2. Zoals uit de tekening blijkt wordt bij deze verplaatsing de afstand tussen de componenten 2 vergroot in de richting dwars op de richting waarin tijdens de eerste transporthandeling de afstand tussen de componenten 2 werd vergroot. Aldus is | de mogelijkheid gevormd de afstand tussen de componenten 2 in twee verschillende 5 richtingen te veranderen.Subsequently, the components 2 are moved by means of the second transport element 9B. This transport element 9B picks up the group of components 2 present on the positioning table 5 in their entirety and places it row-by-row on the carrier 3, wherein the transport element 9B is moved each time between placing a row of components to increase the mutual distance between the rows 102057.9? As is apparent from the drawing, the distance between the components 2 is increased in this direction in the direction transverse to the direction in which the distance between the components 2 was increased during the first transport operation. Thus is | the possibility of changing the distance between the components 2 in two different 5 directions.

Hierbij wordt opgemerkt dat de richting waarin het tweede transportelement 9B wordt bewogen tussen het plaatsen van de rijen componenten 2 zich dwars uitstrekt op de hoofdbewegingsrichting van het tweede transportelement 9B tussen het 10 positioneerelement 5 en de drager 7. De relatie tussen deze richtingen is echter afhankelijk van de onderlinge positionering van de aflevertafel 4, de positioneertafel 5 en de dragertafel 6, en kan aldus anders zijn.It is noted here that the direction in which the second transport element 9B is moved between placing the rows of components 2 extends transversely to the main direction of movement of the second transport element 9B between the positioning element 5 and the carrier 7. However, the relationship between these directions is dependent of the mutual positioning of the delivery table 4, the positioning table 5 and the carrier table 6, and may thus be different.

Bij de tot nu toe beschreven inrichting vindt alleen een aanpassing plaats van de 15 onderlinge positie van de componenten; er zijn situaties waarbij het gewenst is de componenten te draaien, hetzij om een verticale as, hetzij om een horizontale as, al of niet in combinatie met de veranderen van de afstand tussen de componenten. Het roteren van de componenten om een verticale as kan gemakkelijk worden bereikt door de een van de transportelementen een rotatiebeweging uit te laten voeren. Het roteren 20 om een horizontale as is moeilijker uitvoerbaar, maar het kan worden bereikt door gebruik te maken van een speciaal transportelement dat hiertoe is ingericht.With the device described so far only an adjustment takes place of the mutual position of the components; there are situations where it is desired to rotate the components, either about a vertical axis or about a horizontal axis, whether or not in combination with changing the distance between the components. The rotation of the components about a vertical axis can easily be achieved by having the one of the transport elements perform a rotational movement. Rotating about a horizontal axis is more difficult to perform, but it can be achieved by using a special transport element which is adapted for this purpose.

De in figuur 2 weegegeven situatie wijkt af van de in figuur 1 weergegeven situatie doordat de drager 3, dat wil zeggen het element waarop de componenten 2 worden 25 afgevoerd, wordt gevormd door een eindloze band 10, zoals wel gebruikelijk is voor het transport van elektronische componenten 2. De onderhavige inrichting, die immers de componenten 2 rij voor rij kan plaatsen is uitermate geschikt voor het plaatsen van componenten 2 op een dergelijke band 10. Hiertoe is de tweede transportinrichting ingericht voor het rij voor rij op de band 10 plaatsen van de componenten 2. Tussen het 30 plaatsen van een eerste rij componenten 2 door het tweede transportelement 9B en het plaatsen van de volgende rij componenten 2, moet niet alleen het transportelement worden verplaatst om de volgende rij componenten 2 op de afleverpositie te brengen, maar moet bovendien de band 10 worden verplaatst om het volgende lege deel van de band 10 op de afleverpositie te brengen.The situation shown in figure 2 differs from the situation shown in figure 1 in that the carrier 3, that is to say the element on which the components 2 are discharged, is formed by an endless belt 10, as is customary for the transport of electronic components 2. The present device, which can, after all, place the components 2 row by row is extremely suitable for placing components 2 on such a belt 10. For this purpose, the second transport device is adapted to place the row 10 on the belt 10 row by row. components 2. Between placing a first row of components 2 by the second transport element 9B and placing the next row of components 2, not only must the transport element be moved to bring the next row of components 2 to the delivery position, it must also the belt 10 is moved to bring the next empty part of the belt 10 to the delivery position.

11029576·; r 1111029576; r 11

Een volgend verschil met de in figuur 1 weergegeven inrichting is de aanwezigheid van een visuele waameeminrichting in de vorm van een videocamera 11. Deze videocamera 11 is boven de positioneertafel 5 geplaatst en neemt deze tafel 5 en de daarop aanwezige 5 componenten 2 waar. Deze waarneming dient voor het controleren van de aanwezigheid van componenten 2, om bijvoorbeeld waar te nemen of er geen uitval van componenten 2 is bij het voorgaande proces.A further difference with the device shown in Figure 1 is the presence of a visual observation device in the form of a video camera 11. This video camera 11 is placed above the positioning table 5 and observes this table 5 and the components 2 present thereon. This observation serves to check the presence of components 2, for example to detect whether there is no failure of components 2 in the previous process.

Een ander doel van de videocamera 11 is een controle van de kwaliteit van de 10 componenten 2. Uiteraard betreft dit alleen die aspecten van de kwaliteit die visueel I waarneembaar is. Door de videocamera 11 te koppelen met een niet in de tekening weergegeven inrichting voor het toetsen van de kwaliteit van de componenten 2 wordt het mogelijk de componenten 2 te keuren.Another aim of the video camera 11 is to check the quality of the 10 components 2. Of course, this only concerns those aspects of the quality that can be observed visually. By coupling the video camera 11 to a device for testing the quality of the components 2, which is not shown in the drawing, it becomes possible to inspect the components 2.

15 Om een nuttig gebruik te maken van deze keuringsinformatie moeten de goedgekeurde componenten 2 anders worden behandeld dan de afgekeurde componenten 2. Hiertoe omvat de betreffende, in figuur 2 afgebeelde inrichting een reservepositie 12. De reservepositie 12 kan worden gebruikt voor het plaatsen van de afgekeurde componenten 2A; de goedkeurde componenten 2 kunnen immers op de drager worden 20 geplaatst. Door het afvoeren van de afgekeurde componenten ontstaan ‘gaten’ in de rechthoekige structuur van componenten. Voor het opvullen van deze ‘gaten’ wordt bij voorkeur gebruik gemaakt van op de reservepositie aanwezige, reeds goedgekeurde componenten 2.In order to make useful use of this inspection information, the approved components 2 must be treated differently from the rejected components 2. For this purpose, the relevant device shown in Figure 2 comprises a reserve position 12. The reserve position 12 can be used for placing the rejected item. components 2A; after all, the approved components 2 can be placed on the carrier. The removal of the rejected components creates "holes" in the rectangular structure of components. For filling these "gaps", preferably already used components are present at the reserve position 2.

25 Een van de transportelementen 9A of 9B is dan ook ingericht voor het transporteren van afgekeurde componenten naar de reservepositie 12 en het transporteren van goedgekeurde componenten van de reservepositie naar de positioneertafel 6 of direct naar de band 10. Hierbij wordt erop gewezen dat de toepassing van de reservepositie 12 niet beperkt is tot inrichtingen die geschikt zijn voor het laden van banden 10, maar dat 30 deze eveneens bij andere dragers 7 toepasbaar is. Overigens zal, voorafgaande aan het hierboven beschreven ‘normale’ proces een aantal componenten 2 moeten worden gekeurd om over voldoende op de reservepositie aanwezige componenten te beschikken te aanvulling van de door afkeur ontstane ‘gaten’.One of the transport elements 9A or 9B is therefore arranged for transporting rejected components to the reserve position 12 and transporting approved components from the reserve position to the positioning table 6 or directly to the belt 10. It is pointed out here that the use of the reserve position 12 is not limited to devices suitable for loading tires 10, but that it can also be used with other carriers 7. Incidentally, prior to the "normal" process described above, a number of components 2 must be inspected in order to have sufficient components present in the reserve position to supplement the "holes" caused by rejection.

1029576- I · 121029576-1

Figuur 3 toont, schuin van onder af een schematische weergave van een transportelement 9 volgens de uitvinding. Het transportelement 9 omvat aan zijn onderzijde een plaat 15, die van een aantal openingen 16 is voorzien. Deze openingen zijn gerangschikt volgens het patroon van de elementen 2 zoals deze moeten worden 5 opgepakt. Rondom de openingen 16 zijn ringen 17 aangèbracht, die van een meegevend materiaal vervaardigd zijn. Aan de binnenzijde van het transportelement 9 is elk van de openingen 16 verbonden met een niet in de tekeningen weergegeven vacuümbron.Figure 3 shows, diagonally from below, a schematic representation of a transport element 9 according to the invention. The transport element 9 comprises on its underside a plate 15, which is provided with a number of openings 16. These openings are arranged according to the pattern of the elements 2 as they are to be picked up. Rings 17 are provided around the openings 16 and are made of a resilient material. On the inside of the transport element 9, each of the openings 16 is connected to a vacuum source not shown in the drawings.

Tussen elk van de openingen en de vacuümbron is een evenmin in de tekeningen weergegeven bestuurbare klep aangebracht waarmee het aanleggen van een vacuüm op 10 elk van de openingen bestuurbaar is. Dergelijke kleppen en de vacuümbron zijn algemeen bekend. Wanneer immers het transportelement 9 op de aflevertafel 3 of boven de positioneertafel 5 geplaatst is, kan door het activeren van de kleppen een vacuüm op de openingen worden aangelegd. Hierdoor worden de elementen onder de openingen aangegrepen. Wanneer het transportelement op de plaats waar een deel van de 15 aangegrepen elementen moet worden geplaatst, wordt een desbetreffend deel van de kleppen uitgeschakeld, waardoor het vacuüm op de betreffende openingen verloren gaat en het betreffende element wordt losgelaten.Between each of the openings and the vacuum source a controllable valve, not shown in the drawings, is provided with which the application of a vacuum to each of the openings can be controlled. Such valves and the vacuum source are generally known. After all, when the transport element 9 is placed on the delivery table 3 or above the positioning table 5, a vacuum can be applied to the openings by activating the valves. As a result, the elements are engaged under the openings. When the transport element is placed at the location where a part of the engaged elements must be placed, a relevant part of the valves is switched off, whereby the vacuum on the relevant openings is lost and the relevant element is released.

Het is mogelijk elk van de kleppen afzonderlijk bestuurbaar uit te voeren. Hiermede 20 wordt een optimale bestuurbaarheid verkregen, zij het met een gecompliceerde besturingsinrichting. Het is echter eveneens mogelijk gebruik te maken van i groepsgewijs bestuurbare kleppen of van kleppen die elk met een aantal openingen zijn verbonden ter vereenvoudiging van de besturing. De keuze tussen deze mogelijkheden is afhankelijk van de functies die met een dergelijk transportelement moeten worden 25 uitgevoerd.It is possible to design each of the valves separately controllable. Optimal controllability is hereby obtained, albeit with a complicated control device. However, it is also possible to use valves which can be controlled in groups or valves which are each connected to a number of openings to simplify control. The choice between these options depends on the functions that must be performed with such a transport element.

Hierboven is sprake van een door middel van een vacuüm functionerende aangrijpinrichting; het is evenzeer mogelijk gebruik te maken van andersoortige, bijvoorbeeld mechanische aangrijpinrichtingen.Above, there is a gripping device functioning by means of a vacuum; it is equally possible to make use of other, e.g. mechanical, gripping devices.

3030

Bij de bovenstaande uitvoeringsvoorbeelden is sprake van een of twee transportelementen 9. het is uiteraard mogelijk gebruik te maken van bijvoorbeeld drie transportelementen, waarbij het derde transportelement in het bijzonder geschikt is voor #1029576- 1.- * 13 het verplaatsen van de afgekeurde, respectievelijk vervangende elementen tussen de reservepositie en de positioneertafel.In the above exemplary embodiments, one or two transport elements are involved, it is of course possible to use, for example, three transport elements, the third transport element being particularly suitable for moving the rejected or rejected parts. replacement elements between the reserve position and the positioning table.

Het is echter eveneens mogelijk gebruik te maken van de aanzetstuk dat aan een van de 5 gewone transportelementen is bevestigd en dat dient voor het transport van de elementen van en naar de reservepositie.However, it is also possible to use the extension piece which is attached to one of the normal transport elements and which serves to transport the elements from and to the reserve position.

» 1(029576-"1 (029576-)

Claims

A method for placing electronic components arranged in a matrix structure on a flat support, comprising: 5. picking up components arranged according to a matrix structure; and - placing the components on the flat carrier, characterized in that the components are picked up per group of components comprising a subgroup and that the components per subgroup are successively placed on the flat carrier. 10

Method according to claim 1, characterized in that the group of components is picked up and placed with a transport device, that the carrier is formed by a movable transport element and that the transport element moves between placing a first subgroup and a following subgroup is becoming. 15

Method according to claim 2, characterized in that the subgroups of components each comprise a row of components.

4. Method as claimed in claim 2 or 3, characterized in that after picking up a first group of components in a first transport operation are initially placed on a positioning table and that products placed on the positioning table in a second group of components in a second transport operation are then again be picked up before being placed on the flat carrier.

Method according to claim 4, characterized in that the second group of components comprises sub-groups of components and that in the second transport operation the components per sub-group are successively placed on the flat carrier.

6. Method as claimed in claim 5, characterized in that the second group of components is picked up and placed with a second transport element and that the second transport element is moved between the placing of successive sub-groups. '1029578 ·! r »

7. Method as claimed in claim 6, characterized in that the direction of movement of the second transport device between placing the subsets of the second group of components is unequal to the direction of movement of the first transporting device between the placing of the subsets of the first group of components .

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the components are rotated during at least one of the transport operations.

A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the number of components transported in the first transport operation is unequal to the components transported during the second transport operation.

10. Method as claimed in claim 9, characterized in that the difference between the number of components transported in the first transport operation and the components transported during the second transport operation remains on the positioning table and that in a following second transport operation at least a part of the remaining components is also transported.

A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the flat carrier is adapted to receive a single row of components and that after placing a subset of components the flat carrier is displaced in its longitudinal direction before the next subset is placed on the flat carrier.

Method according to one of claims 4 to 11, characterized in that at least one quality of the electronic components is visually observed during the stay of the products on the positioning table.

13. Method as claimed in claim 12, characterized in that, depending on the result of the observation of the quality, only a part of the products present on the positioning table is transported to the carrier during the second transporting operation. 1029576-f · χ

Method according to claim 13, characterized in that the components remaining on the positioning table after the second transporting operation are transported to a reserve position.

Method according to claim 14, characterized in that after transporting the remaining components to the reserve position, an equal number of components is transported from the reserve position to the positioning table.

16. Method according to claim 14 or 15, characterized in that the transport operations from the components to and from the reserve position are performed by the same transport element that performs the second transport operation.

17. Device for placing components arranged in a rectangular structure on a flat support, comprising; ! 15. a delivery table on which the components are placed in a matrix structure; - positioning means for positioning a flat carrier on which the components are to be placed, - at least one transport element for picking up and placing a number of components arranged in a matrix from the delivery table, characterized in that the at least one transport element is adapted to picking up the components per J group comprising a subgroup of the delivery table and J for placing the components successively per subgroup on the flat carrier.

Device as claimed in claim 17, characterized in that the device is adapted for displacing the transport element between placing the different subgroups of components on the carrier.

19. Device as claimed in claim 17 or 18, characterized in that the device comprises a first and a second transport element, that the first transport element is adapted to transport the components of the delivery table and to place the components on a positioning table and that the second transport element is adapted to transport the components of the positioning table and to place the components on the flat carrier. 10295703 t V 17 i |

20. Device as claimed in claim 21, characterized in that both transport elements are arranged for picking up the components per group comprising the delivery table and for placing the components successively per sub group on the flat carrier.

Device as claimed in claim 20, characterized in that the device is adapted for displacing both transport elements between placing the different subgroups of components on the carrier. 10

Device as claimed in claim 20 or 21, characterized in that the direction of movement of the first transport element between placing the subgroups of the first group of components is unequal to the direction of movement of the second transport element between placing the subgroups of the second Group of components.

Device as claimed in claims 17 or 18, characterized in that the one transport element is adapted for transporting the components from the delivery table to the positioning means and for transporting the components 20 from the positioning means to the carrier.

Device as claimed in any of the claims 17-23, characterized in that at least one of the transport elements is adapted to rotate the components during one of the transport operations. 25

Device as claimed in any of the claims 17-24, characterized in that each of the transport elements comprises pick-up members for each picking up a number of components and that the pick-up members are controllable for picking up selected components. 30

Device as claimed in claim 25, characterized in that the pick-up members are divided into separately controllable subgroups. 1029576/5 18

Device according to claim 26, characterized in that the groups of pick-up members are arranged in rows.

28. Device as claimed in claim 27, characterized in that the rows of pick-up members in the first transport element extend in a different direction than the rows of pick-up members in the second transport element.

29. Device as claimed in claim 28, characterized in that visual observation means are present above the positioning table for detecting the quality of components placed on the positioning table.

Device as claimed in claim 29, characterized in that the visual observation means are coupled to inspection means for assessing whether the observed components meet inspection criteria. 15

Device as claimed in claim 29 or 30, characterized in that the device comprises a reserve position and that one of the transport elements is adapted to transport rejected components to the reserve position.

Device as claimed in claim 31, characterized in that one of the transport devices is adapted to transport approved components from the reserve position to the flat carrier.

Device as claimed in claim 32, characterized in that the one transport device is provided with an additional pick-up members for transport from and to the reserve position. 1029576-